CN217605666U - 一种ic芯片光学三光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种IC芯片光学三光机，其特征在于，包括：平台轨道和与平台轨道相邻设置的显微镜，所述平台轨道包括依次相连的上料段、观察段和下料段；所述上料段设置上料夹，所述上料夹用于将放置于上料段的料片夹送至观察段位置；所述观察段设有用于放置料片的固定台，所述固定台转动连接于观察段并与推动气缸相连，所述推动气缸用于推动固定台使固定台倾斜于平台轨道所在平面；所述下料段设置下料夹，所述下料夹用于将固定台上的料片夹送至下料段。可根据工作人员需要调整观察位置和观察方向；平台轨道适用于不同规格的料片；推料位置可调，适用于各种类型的料片；上料下料灵活方便；具有良好的适应性和便捷性，大大提高了检测效率。

Description

一种IC芯片光学三光机

技术领域

本实用新型涉及IC芯片检测技术领域，具体而言，涉及一种IC芯片光学三光机。

背景技术

IC芯片是将大量的微电子元器件(晶体管、电阻、电容等)形成的集成电路放在一块塑基上做成的芯片。IC芯片在封装工序之后，必须要经过严格地检测才能保证产品的质量，芯片外观检测是一项必不可少的重要环节，它直接影响到IC产品的质量及后续生产环节的顺利进行。目前，工作人员使用的检测设备通常无法自动上料，自动化程度较低，并且对芯片放置轨道设计不合理，无法根据工作人员需要灵活调整视角，不能很好适应不同规格的料片。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在检测设备无法自动上料，自动化程度较低，并且对芯片放置轨道设计不合理，无法根据工作人员需要灵活调整视角，不能很好适应不同规格的料片的技术问题之一。

为此，本实用新型提供了一种IC芯片光学三光机。

本实用新型提供了一种IC芯片光学三光机，包括：平台轨道和与平台轨道相邻设置的显微镜，所述平台轨道包括依次相连的上料段、观察段和下料段；

所述上料段设置上料夹，所述上料夹用于将放置于上料段的料片夹送至观察段位置；

所述观察段设有用于放置料片的固定台，所述固定台转动连接于观察段并与推动气缸相连，所述推动气缸用于推动固定台使固定台倾斜于平台轨道所在平面；

所述下料段设置下料夹，所述下料夹用于将固定台上的料片夹送至下料段。

本实用新型提出的一种IC芯片光学三光机，包括平台轨道、显微镜、上料夹和下料夹，平台轨道用于放置料片并配合上料夹和下料夹完成对料片的取放，平台轨道分为上料段、观察段和下料段，上料夹设置在上料段位置，下料夹设置在下料段位置，上料夹和下料夹可在上下左右前后方向移动以完成夹取动作；具体的，在上料夹和下料夹上分别设置一个伺服电机，用于驱动上料夹和下料夹的动作；其中，上料夹与第一链轮结构相连以进行左右方向的移动，下料夹与第二链轮结构相连以进行左右方向的移动，上料夹或下料夹可通过设置在竖直方向的滑轨和水平方向的滑轨进行上下前后方向的移动，也可将滑轨替换为传动链条等。

上料夹将料片从上料段夹至观察段上的固定台后，工作人员可使用显微镜对准固定台上的料片进行观察，为方便进行观察，固定台转动连接于观察段，具体可采用转轴连接方式，推动气缸用于推动固定台进行转动，并控制固定台的转动角度，通常可使固定台与水平面之间呈45度夹角。

在完成观察后，下料夹启动，将固定台上的料片夹取至下料段。

上料夹和下料夹与控制模块相连，可在控制模块中设置控制程序，以操控上料夹和下料夹的全自动动作或半自动动作，其中半自动动作为工作人员根据检查速度或者检查程序启停上料夹和下料夹的动作，以适应不同的工况需求。

根据本实用新型上述技术方案的一种IC芯片光学三光机，还可以具有以下附加技术特征：

在上述技术方案中，所述固定台包括连接端和倾斜端，所述连接端转动连接于观察段，所述倾斜端搭接于观察段，所述推动气缸抵接于倾斜端。

在该技术方案中，固定台的连接端与观察段上的导轨转轴连接，倾斜端搭接在观察段的另一导轨上，以实现固定台的可转动，推动气缸可固定连接于倾斜端也可直接接触在倾斜端，推动气缸动作以推动倾斜端使固定台偏转，这样的设置方式具有力矩较小的优点。

在上述技术方案中，所述固定台活动连接有压块，所述固定台设置第一位置传感器，所述第一位置传感器与压块信号连接，所述压块用于在料片到位后将料片限制在固定台上。

在该技术方案中，压块可采用转轴连接、滑轨连接等连接方式与固定台相连，其作用为料片到位后将料片限制在固定台上，以防止固定台倾斜时料片滑落，固定台上设置有第一位置传感器，第一位置传感器用于检测料片的到位情况，第一位置传感器与控制模块相连，控制模块与压块相连，控制模块根据第一位置传感器传递的信号控制压块动作以对料片进行限制，同时控制模块还可控制压块在完成料片检测后解除对料片的限制。

在上述技术方案中，所述上料段远离观察段的一侧设有上料升降机构，所述上料升降机构设有用于盛放料片的上料盒，所述上料升降机构与第二位置传感器信号连接，所述第二位置传感器用于检测上料盒内料片与平台轨道的相对位置。

在该技术方案中，上料盒内放置若干待检测料片，第二位置传感器将料片与平台轨道的相对位置信息传递至控制模块，由控制模块控制上料升降机构将待检测料片提升至与平台轨道齐平位置。

在上述技术方案中，所述上料升降机构远离上料段的一侧设有推料气缸，所述推料气缸抵接于第一料盒内的料片。

在该技术方案中，当上料升降机构将待检测料片提升至与平台轨道齐平位置后，控制模块控制推料气缸将料片从第一料盒内推动至平台轨道的上料段上。

在上述技术方案中，所述推料气缸可在水平方向上沿料片宽度方向滑动。

在该技术方案中，推料气缸在水平方向上沿料片宽度方向滑动，即沿垂直于平台轨道长度的方向上滑动以调整推料位置，从而使推料气缸适应不同长度的料片，推料气缸与控制模块相连，实现自动改变推料位置。

在上述技术方案中，所述下料段远离观察段的一侧设有下料升降机构，所述下料升降机构设有用于盛放料片的下料盒，所述下料夹还用于将放置在下料段上的料片夹至下料盒内。

在该技术方案中，完成检测后，下料夹将完成检测的料片从观察段夹取至下料段，再将下料段上的料片夹取至放置在下料升降机构上的下料盒内。

在上述任一技术方案中，所述平台轨道包括第一导轨和第二导轨，所述料片被限制在第一导轨和第二导轨之间，所述第一导轨和第二导轨之间的间距可调。

在该技术方案中，上料段、观察段和下料段形成于第一导轨和第二导轨之间，可在第一导轨和第二导轨之间设置调节杆或者采用螺栓调节等方式调节平台轨道的宽度，以适应不同宽度的料片。

在上述任一技术方案中，所述显微镜滑动连接于操作平台。

在该技术方案中，可在显微镜底部设置滑轨从而与操作平台滑动连接，以实现灵活调节显微镜的位置，方便工作人员使用。

在上述任一技术方案中，还包括控制模块，所述控制模块用于控制上料夹和下料夹的抓取/放置动作，所述控制模块与人机交互界面相连。

在该技术方案中，通过控制模块实现整个三光机的自动操作，通过人机交互界面与控制模块相连实现可视化操作，同时可利用人机界面进行检验记录、操作记录，完成对每个芯片的检测结果的记录。

综上所述，由于采用了上述技术特征，本实用新型的有益效果是：

提供了一种可全自动/半自动的芯片检测设备，可根据工作人员需要调整观察位置和观察方向；平台轨道适用于不同规格的料片；推料位置可调，适用于各种类型的料片；上料下料灵活方便，可在多方向进行调节；具有良好的适应性和便捷性，大大提高了检测效率。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型一个实施例的一种IC芯片光学三光机的正视图；

图2是本实用新型一个实施例的一种IC芯片光学三光机的俯视图；

图3是本实用新型一个实施例的一种IC芯片光学三光机的侧视图。

其中，图1至图3中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

1、平台轨道；2、显微镜；3、上料夹；4、下料夹；5、上料升降机构；6、推料气缸；7、下料升降机构；

11、上料段；12、观察段；13、下料段；14、固定台；15、推动气缸；16、第一导轨；17、第二导轨；18、调节杆；

31、第一链轮结构；

41、第二链轮结构；

141、连接端；142、倾斜端；143、压块；

51、上料盒；

71、下料盒。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其它不同于在此描述的方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图3来描述根据本实用新型一些实施例提供的一种IC芯片光学三光机。

本申请的一些实施例提供了一种IC芯片光学三光机。

如图1至图3所示，本实用新型第一个实施例提出了一种IC芯片光学三光机，包括：平台轨道1和与平台轨道1相邻设置的显微镜2，所述平台轨道1包括依次相连的上料段11、观察段12和下料段13；

所述上料段11设置上料夹3，所述上料夹3用于将放置于上料段11的料片夹送至观察段12位置；

所述观察段12设有用于放置料片的固定台14，所述固定台14转动连接于观察段12并与推动气缸15相连，所述推动气缸15用于推动固定台14使固定台14倾斜于平台轨道1所在平面；

所述下料段13设置下料夹4，所述下料夹4用于将固定台14上的料片夹送至下料段13。

本实施例提出的一种IC芯片光学三光机，包括平台轨道1、显微镜2、上料夹3和下料夹4，平台轨道1用于放置料片并配合上料夹3和下料夹4完成对料片的取放，平台轨道1分为上料段11、观察段12和下料段13，上料夹3设置在上料段11位置，下料夹4设置在下料段13位置，上料夹3和下料夹4可在上下左右前后方向移动以完成夹取动作；具体的，在上料夹3和下料夹4上分别设置一个伺服电机，用于驱动上料夹3和下料夹4的动作；其中，上料夹3与第一链轮结构31相连以进行左右方向的移动，下料夹4与第二链轮结构41相连以进行左右方向的移动，上料夹3或下料夹4可通过设置在竖直方向的滑轨和水平方向的滑轨进行上下前后方向的移动，也可将滑轨替换为传动链条等。

上料夹3将料片从上料段11夹至观察段12上的固定台14后，工作人员可使用显微镜2对准固定台14上的料片进行观察，为方便进行观察，固定台14转动连接于观察段12，具体可采用转轴连接方式，推动气缸15用于推动固定台14进行转动，并控制固定台14的转动角度，通常可使固定台14与水平面之间呈45度夹角。

在完成观察后，下料夹4启动，将固定台14上的料片夹取至下料段13。

上料夹3和下料夹4与控制模块相连，可在控制模块中设置控制程序，以操控上料夹3和下料夹4的全自动动作或半自动动作，其中半自动动作为工作人员根据检查速度或者检查程序启停上料夹3和下料夹4的动作，以适应不同的工况需求。

本实用新型第二个实施例提出了一种IC芯片光学三光机，且在第一个实施例的基础上，如图1至图3所示，所述固定台14包括连接端141和倾斜端142，所述连接端141转动连接于观察段12，所述倾斜端142搭接于观察段12，所述推动气缸15抵接于倾斜端142。

在该实施例中，固定台14的连接端141与观察段12上的导轨转轴连接，倾斜端142搭接在观察段12的另一导轨上，以实现固定台14的可转动，推动气缸15可固定连接于倾斜端142也可直接接触在倾斜端142，推动气缸15动作以推动倾斜端142使固定台14偏转，这样的设置方式具有力矩较小的优点。

本实用新型第三个实施例提出了一种IC芯片光学三光机，且在上述任一实施例的基础上，如图1至图3所示，所述固定台14活动连接有压块143，所述固定台14设置第一位置传感器，所述第一位置传感器与压块143信号连接，所述压块143用于在料片到位后将料片限制在固定台14上。

在该实施例中，压块143可采用转轴连接、滑轨连接等连接方式与固定台14相连，其作用为料片到位后将料片限制在固定台14上，以防止固定台14倾斜时料片滑落，固定台14上设置有第一位置传感器，第一位置传感器用于检测料片的到位情况，第一位置传感器与控制模块相连，控制模块与压块143相连，控制模块根据第一位置传感器传递的信号控制压块143动作以对料片进行限制，同时控制模块还可控制压块143在完成料片检测后解除对料片的限制。

本实用新型第四个实施例提出了一种IC芯片光学三光机，且在上述任一实施例的基础上，如图1至图3所示，所述上料段11远离观察段12的一侧设有上料升降机构5，所述上料升降机构5设有用于盛放料片的上料盒51，所述上料升降机构5与第二位置传感器信号连接，所述第二位置传感器用于检测上料盒51内料片与平台轨道1的相对位置。

在该实施例中，上料盒51内放置若干待检测料片，第二位置传感器将料片与平台轨道1的相对位置信息传递至控制模块，由控制模块控制上料升降机构5将待检测料片提升至与平台轨道1齐平位置。

本实用新型第五个实施例提出了一种IC芯片光学三光机，且在上述任一实施例的基础上，如图1至图3所示，所述上料升降机构5远离上料段11的一侧设有推料气缸6，所述推料气缸6抵接于第一料盒内的料片。

在该实施例中，当上料升降机构5将待检测料片提升至与平台轨道1齐平位置后，控制模块控制推料气缸6将料片从第一料盒内推动至平台轨道1的上料段11上。

本实用新型第六个实施例提出了一种IC芯片光学三光机，且在上述任一实施例的基础上，如图1至图3所示，所述推料气缸6可在水平方向上沿料片宽度方向滑动。

在该实施例中，推料气缸6在水平方向上沿料片宽度方向滑动，即沿垂直于平台轨道1长度的方向上滑动以调整推料位置，从而使推料气缸6适应不同长度的料片，推料气缸6与控制模块相连，实现自动改变推料位置。

本实用新型第七个实施例提出了一种IC芯片光学三光机，且在上述任一实施例的基础上，如图1至图3所示，所述下料段13远离观察段12的一侧设有下料升降机构7，所述下料升降机构7设有用于盛放料片的下料盒71，所述下料夹4还用于将放置在下料段13上的料片夹至下料盒71内。

在该实施例中，完成检测后，下料夹4将完成检测的料片从观察段12夹取至下料段13，再将下料段13上的料片夹取至放置在下料升降机构7上的下料盒71内。

本实用新型第八个实施例提出了一种IC芯片光学三光机，且在上述任一实施例的基础上，如图1至图3所示，所述平台轨道1包括第一导轨16和第二导轨17，所述料片被限制在第一导轨16和第二导轨17之间，所述第一导轨16和第二导轨17之间的间距可调。

在该实施例中，上料段11、观察段12和下料段13形成于第一导轨16和第二导轨17之间，可在第一导轨16和第二导轨17之间设置调节杆18或者采用螺栓调节等方式调节平台轨道1的宽度，以适应不同宽度的料片。

本实用新型第九个实施例提出了一种IC芯片光学三光机，且在上述任一实施例的基础上，如图1至图3所示，所述显微镜2滑动连接于操作平台。

在该实施例中，可在显微镜2底部设置滑轨从而与操作平台滑动连接，以实现灵活调节显微镜2的位置，方便工作人员使用。

本实用新型第十个实施例提出了一种IC芯片光学三光机，且在上述任一实施例的基础上，如图1至图3所示，还包括控制模块，所述控制模块用于控制上料夹3和下料夹4的抓取/放置动作，所述控制模块与人机交互界面相连。

在该实施例中，通过控制模块实现整个三光机的自动操作，通过人机交互界面与控制模块相连实现可视化操作，同时可利用人机界面进行检验记录、操作记录，完成对每个芯片的检测结果的记录。

在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种IC芯片光学三光机，其特征在于，包括：平台轨道(1)和与平台轨道(1)相邻设置的显微镜(2)，所述平台轨道(1)包括依次相连的上料段(11)、观察段(12)和下料段(13)；

所述上料段(11)设置上料夹(3)，所述上料夹(3)用于将放置于上料段(11)的料片夹送至观察段(12)位置；

所述观察段(12)设有用于放置料片的固定台(14)，所述固定台(14)转动连接于观察段(12)并与推动气缸(15)相连，所述推动气缸(15)用于推动固定台(14)使固定台(14)倾斜于平台轨道(1)所在平面；

所述下料段(13)设置下料夹(4)，所述下料夹(4)用于将固定台(14)上的料片夹送至下料段(13)。

2.根据权利要求1所述的一种IC芯片光学三光机，其特征在于，所述固定台(14)包括连接端(141)和倾斜端(142)，所述连接端(141)转动连接于观察段(12)，所述倾斜端(142)搭接于观察段(12)，所述推动气缸(15)抵接于倾斜端(142)。

3.根据权利要求1所述的一种IC芯片光学三光机，其特征在于，所述固定台(14)活动连接有压块(143)，所述固定台(14)设置第一位置传感器，所述第一位置传感器与压块(143)信号连接，所述压块(143)用于在料片到位后将料片限制在固定台(14)上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的一种IC芯片光学三光机，其特征在于，所述上料段(11)远离观察段(12)的一侧设有上料升降机构(5)，所述上料升降机构(5)设有用于盛放料片的上料盒(51)，所述上料升降机构(5)与第二位置传感器信号连接，所述第二位置传感器用于检测上料盒(51)内料片与平台轨道(1)的相对位置。

5.根据权利要求4所述的一种IC芯片光学三光机，其特征在于，所述上料升降机构(5)远离上料段(11)的一侧设有推料气缸(6)，所述推料气缸(6)抵接于第一料盒内的料片。

6.根据权利要求5所述的一种IC芯片光学三光机，其特征在于，所述推料气缸(6)可在水平方向上沿料片宽度方向滑动。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的一种IC芯片光学三光机，其特征在于，所述下料段(13)远离观察段(12)的一侧设有下料升降机构(7)，所述下料升降机构(7)设有用于盛放料片的下料盒(71)，所述下料夹(4)还用于将放置在下料段(13)上的料片夹至下料盒(71)内。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的一种IC芯片光学三光机，其特征在于，所述平台轨道(1)包括第一导轨(16)和第二导轨(17)，所述料片被限制在第一导轨(16)和第二导轨(17)之间，所述第一导轨(16)和第二导轨(17)之间的间距可调。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的一种IC芯片光学三光机，其特征在于，所述显微镜(2)滑动连接于操作平台。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的一种IC芯片光学三光机，其特征在于，还包括控制模块，所述控制模块用于控制上料夹(3)和下料夹(4)的抓取/放置动作，所述控制模块与人机交互界面相连。

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