CN217484449U - 一种用于半导体芯片的引脚检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体芯片检测技术领域,且公开了一种用于半导体芯片的引脚检测装置,包括工作台和L形板,所述L形板固定设置于工作台的上表面,所述L形板的顶部固定设置有气缸,所述气缸的输出端贯穿L形板并向下延伸且与L形板活动套接,所述气缸的输出端通过连接机构固定连接有吸盘,所述吸盘的侧壁固定连接有与吸盘内部相连通的导气管,所述导气管的另一端固定连接有气泵,所述气泵固定设置于L形板的侧壁,所述工作台的上表面设置有检测盒,所述检测盒的底部固定设置有插杆,所述工作台的内部开设有通孔。本实用新型采用吸附式卡接的方式对半导体芯片进行卡接,保证了检测结果准确的同时便于将半导体芯片取下。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体芯片检测技术领域,尤其涉及一种用于半导体芯片的引脚检测装置。
背景技术
半导体芯片:在半导体片材上进行浸蚀,布线,制成的能实现某种功能的半导体器件,不只是硅芯片,常见的还包括砷化镓和锗等半导体材料。
在对半导体芯片的引脚进行检测的过程中需要对半导体芯片进行固定,但由于半导体芯片体积较小,在检测完成后不便于将其取下,存在一定的局限性。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中在检测完成后由于半导体芯片较小,不便于将半导体芯片取下的问题,而提出的一种用于半导体芯片的引脚检测装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种用于半导体芯片的引脚检测装置,包括工作台和L形板,所述L形板固定设置于工作台的上表面,所述L形板的顶部固定设置有气缸,所述气缸的输出端贯穿L形板并向下延伸且与L形板活动套接,所述气缸的输出端通过连接机构固定连接有吸盘,所述吸盘的侧壁固定连接有与吸盘内部相连通的导气管,所述导气管的另一端固定连接有气泵,所述气泵固定设置于L形板的侧壁,所述工作台的上表面设置有检测盒,所述检测盒的底部固定设置有插杆,所述工作台的内部开设有通孔,所述插杆通过通孔向下延伸,所述工作台的下表面固定设置有限位机构,所述限位机构与插杆活动插接。
优选的,所述连接机构包括第一连接板和第二连接板,所述第一连接板固定设置于气缸的输出端的下端,所述第一连接板的下表面通过两个连接件与第二连接板固定连接,所述吸盘固定设置于第二连接板的下表面。
优选的,所述限位机构包括限位杆、限位块和两个固定板,两个所述固定板固定设置于工作台的下表面,两个所述固定板的内部均开设有通孔,所述限位杆活动穿设于两个通孔的内部,所述插杆的下端内部开设有插孔,所述限位杆的左端与插孔活动插接,所述限位块设置于两个固定板之间且与限位杆固定套接。
优选的,所述连接件为弹性伸缩杆。
优选的,所述限位杆的杆壁活动套接有弹簧,所述弹簧的两端分别与限位块以及对应的固定板的侧壁固定连接。
优选的,所述限位杆的左端开设为楔形端面,所述限位杆的右端固定设置有拉环。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种用于半导体芯片的引脚检测装置,具备以下有益效果:
1、该用于半导体芯片的引脚检测装置,通过设置的吸盘和气缸,能够在将半导体芯片放置于检测盒的内部后通过气缸带动吸盘对半导体芯片进行卡接固定,从而能够保证检测时半导体芯片的稳定性,在检测完成后能够通过吸盘对半导体芯片进行吸附,从而便于将半导体芯片取出。
2、该用于半导体芯片的引脚检测装置,通过设置的限位机构,能够利用限位杆与插孔之间的活动插接实现对插杆的固定,进而能够实现对检测盒的限位,同时能够便于对检测盒进行更换,以便于检测不同大小的半导体芯片。
该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现,本实用新型采用吸附式卡接的方式对半导体芯片进行卡接,保证了检测结果准确的同时便于将半导体芯片取下。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于半导体芯片的引脚检测装置的结构示意图;
图2为图1中局部A部分的结构放大图。
图中:1工作台、2L形板、3气缸、4吸盘、5导气管、6气泵、7检测盒、8插杆、9第一连接板、10第二连接板、11连接件、12限位杆、13限位块、14固定板、15弹簧、16拉环。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1-2,一种用于半导体芯片的引脚检测装置,包括工作台1和L形板2,其L形板2固定设置于工作台1的上表面,L形板2的顶部固定设置有气缸3,气缸3的输出端贯穿L形板2并向下延伸且与L形板2活动套接,气缸3的输出端通过连接机构固定连接有吸盘4,便于在检测结束后通过吸盘4将半导体芯片取出吸盘4的侧壁固定连接有与吸盘4内部相连通的导气管5,导气管5的另一端固定连接有气泵6,气泵6固定设置于L形板2的侧壁,工作台1的上表面设置有检测盒7,检测盒7的底部固定设置有插杆8,工作台1的内部开设有通孔,插杆8通过通孔向下延伸,工作台1的下表面固定设置有限位机构,限位机构与插杆8活动插接。
连接机构包括第一连接板9和第二连接板10,第一连接板9固定设置于气缸3的输出端的下端,第一连接板9的下表面通过两个连接件11与第二连接板10固定连接,吸盘4固定设置于第二连接板10的下表面,便于在气缸3工作时能够实现对吸盘4的高度调节。
机构包括限位杆12、限位块13和两个固定板14,两个固定板14固定设置于工作台1的下表面,两个固定板14的内部均开设有通孔,限位杆12活动穿设于两个通孔的内部,插杆8的下端内部开设有插孔,限位杆12的左端与插孔活动插接,利用限位杆12与插孔之间的插接能够实现对插杆8的固定,从而能够尽量避免检测盒7晃动限位块13设置于两个固定板14之间且与限位杆12固定套接,利用限位块13能够避免限位杆12与两个固定块分离掉落。
连接件11为弹性伸缩杆,利用弹性伸缩杆的弹力进行缓冲,能够尽量避免气缸3在工作时将半导体芯片压坏。
限位杆12的杆壁活动套接有弹簧15,弹簧15的两端分别与限位块13以及对应的固定板14的侧壁固定连接,利用弹簧15的弹力对限位块13进行挤压,从而能够在没有外力时使限位杆12始终与插孔保持插接状态。
限位杆12的左端开设为楔形端面,限位杆12的右端固定设置有拉环16,便于通过拉动拉环16带动限位杆12运动,从而实现对限位机构的控制。
本实用新型中,检测时,将半导体芯片放置于检测盒7的内部,启动气缸3,气缸3的输出端通过连接机构带动吸盘4向下运动至检测盒7的额内部并挤压半导体芯片,从而能够将半导体芯片卡紧,在检测结束后,启动气泵6,气泵6通过吸盘4对半导体芯片进行吸附,从而能够便于将半导体芯片取出,在需要对不同大小的半导体芯片检测时,拉动拉环16,拉环16带动限位杆12从插孔的内部移出,从而便于对检测盒7进行更换,即便于对不同大小的半导体芯片进行检测。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于半导体芯片的引脚检测装置,包括工作台(1)和L形板(2),其特征在于,所述L形板(2)固定设置于工作台(1)的上表面,所述L形板(2)的顶部固定设置有气缸(3),所述气缸(3)的输出端贯穿L形板(2)并向下延伸且与L形板(2)活动套接,所述气缸(3)的输出端通过连接机构固定连接有吸盘(4),所述吸盘(4)的侧壁固定连接有与吸盘(4)内部相连通的导气管(5),所述导气管(5)的另一端固定连接有气泵(6),所述气泵(6)固定设置于L形板(2)的侧壁,所述工作台(1)的上表面设置有检测盒(7),所述检测盒(7)的底部固定设置有插杆(8),所述工作台(1)的内部开设有通孔,所述插杆(8)通过通孔向下延伸,所述工作台(1)的下表面固定设置有限位机构,所述限位机构与插杆(8)活动插接。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片的引脚检测装置,其特征在于,所述连接机构包括第一连接板(9)和第二连接板(10),所述第一连接板(9)固定设置于气缸(3)的输出端的下端,所述第一连接板(9)的下表面通过两个连接件(11)与第二连接板(10)固定连接,所述吸盘(4)固定设置于第二连接板(10)的下表面。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片的引脚检测装置,其特征在于,所述限位机构包括限位杆(12)、限位块(13)和两个固定板(14),两个所述固定板(14)固定设置于工作台(1)的下表面,两个所述固定板(14)的内部均开设有通孔,所述限位杆(12)活动穿设于两个通孔的内部,所述插杆(8)的下端内部开设有插孔,所述限位杆(12)的左端与插孔活动插接,所述限位块(13)设置于两个固定板(14)之间且与限位杆(12)固定套接。
4.根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片的引脚检测装置,其特征在于,所述连接件(11)为弹性伸缩杆。
5.根据权利要求3所述的一种用于半导体芯片的引脚检测装置,其特征在于,所述限位杆(12)的杆壁活动套接有弹簧(15),所述弹簧(15)的两端分别与限位块(13)以及对应的固定板(14)的侧壁固定连接。
6.根据权利要求3所述的一种用于半导体芯片的引脚检测装置,其特征在于,所述限位杆(12)的左端开设为楔形端面,所述限位杆(12)的右端固定设置有拉环(16)。
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