CN217434713U - 一种晶棒运输治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶棒运输治具，涉及半导体加工领域，包括底板，所述底板上方对称安装有两组侧板，两组所述侧板的另一端均装配有第一轴承轮，所述底板外壁装配有第二轴承轮，对称安装的所述侧板中间设置有两组直线导轨，所述直线导轨的上方均安装有齿条，所述齿条上均设置有锁紧支架，两组所述侧板中间位置处并位于底板的上方安装有阻尼器，所述阻尼器的外壁安装有齿轮。本实用新型便于锁紧支架在晶棒的前后端面夹持，所以保证了治具在运输过程中短晶棒不会发生倾覆，提高了运输的安全性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工领域，具体为一种晶棒运输治具。
背景技术
近些年来，半导体行业迎来了极大的发展机遇，在此机遇下，晶体材料的加工效率和稳定性，都提出了更高的要求。
所以晶体加工自动化是潮流发展的一种趋势，但在晶体加工过程中晶棒流转容易发生危险，在这样的环境下，晶体运输流转成为了行业的基础应用，受到了广泛的关注，有强烈的市场需求。
实用新型内容
针对的缺陷或不足，本实用新型的目的在于提供一种晶棒运输治具以解决晶体加工过程中晶棒流转容易发生危险的问题。
为实现上述实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案：
本实用新型提供的一种晶棒运输治具，包括底板，所述底板上方对称安装有两组侧板，两组所述侧板的另一端均装配有第一轴承轮，所述底板外壁装配有第二轴承轮，对称安装的所述侧板中间设置有两组直线导轨，所述直线导轨的上方均安装有齿条，所述齿条上均设置有锁紧支架，两组所述侧板中间位置处并位于底板的上方安装有阻尼器，所述阻尼器的外壁安装有齿轮。
优选地，所述齿轮与两根齿条分别对称啮合。
优选地，两组所述侧板的顶端均呈现倾斜状，所述第一轴承轮等距阵列分布于侧板顶端倾斜位置处，两组所述第一轴承轮程对称倾斜设置。
优选地，所述第二轴承轮的数量为四组，四组所述第二轴承轮分布于底板的四周。
优选地，所述锁紧支架端部安装有第一轴承轮。
优选地，所述第一轴承轮与第二轴承轮采用非金属材料包覆。
与现有技术相比，以上一个或多个技术方案存在以下有益效果：
本实用新型便于锁紧支架在晶棒的前后端面夹持，所以保证了治具在运输过程中短晶棒不会发生倾覆，提高了运输的安全性；保证了治具在运输过程中晶棒的对中放置，提高了运输的准确性。
附图说明
构成本实用新型的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
图1是本实用新型的正视结构示意图；
图2是本实用新型的侧视结构示意图；
图3是本实用新型的俯视结构示意图；
图4是本实用新型阻尼器的结构示意图
图中：
1、底板；2、侧板；3、第一轴承轮；4、第二轴承轮；5、直线导轨；6、齿条；7、齿轮；8、阻尼器；9、锁紧支架；10、摩擦块；11、抵触弹簧；12、调节螺杆。
具体实施方式
下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步说明。
应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本实用新型提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本实用新型所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本实用新型的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
请参阅图1至图3，一种晶棒运输治具，包括底板1，底板1上方对称安装有两组侧板2，两组侧板2的另一端均装配有第一轴承轮3，用于支撑圆柱形晶棒，底板1外壁装配有第二轴承轮4，对称安装的侧板2中间设置有两组直线导轨5；
直线导轨5的上方均安装有齿条6，齿条6可以沿直线导轨5方向移动，齿条6上均设置有锁紧支架9，锁紧支架9跟随齿条6一起移动，两组侧板2中间位置处并位于底板1的上方安装有阻尼器8，阻尼器8的外壁安装有齿轮7；
以使得当外部动力源推动单根齿条6的一侧时，齿条6沿直线导轨5移动，带动中间齿轮7旋转，中间的齿轮7又带动另一根齿条6进行直线运动，从而实现了两根齿条6的同步相对运动，从而实现了两侧的锁紧支架9的同步相对运动；
当外部动力源作用在同根齿条6的另一侧，或者作用在另一根齿条6的同侧，就会使锁紧支架9进行相反的同步相对运动，从而实现晶棒的锁紧或打开状态；
当晶棒放置到侧板2上方的第一轴承轮3上时，通过外部动力源，可以实现晶棒轴向的夹紧，同时实现晶棒的对中放置；
由于中间齿轮7下方安装有阻尼器8，所述阻尼器8可以在齿轮7转动的过程中提供摩擦阻尼，在本实用新型的一些实施例中，如图4所示，阻尼器8由摩擦块10、抵触弹簧11以及调节螺杆12组成，摩擦块10的底端与抵触弹簧11连接，调节螺杆12用以控制抵触弹簧11对摩擦块10的抵触力，以此控制摩擦块10对齿轮7的抵触力，通过摩擦块10对齿轮7的抵触力可作为齿轮7转动过程中的阻力，所以晶棒锁紧或打开状态具有一定的阻尼功能；
上述的结构设计便于锁紧支架9在晶棒的前后端面夹持，所以保证了治具在运输过程中短晶棒不会发生倾覆，提高了运输的安全性。
请着重参阅图1至图3所示，齿轮7与两根齿条6分别对称啮合，上述的结构设计便于实现齿轮7传动。
请着重参阅图1至图3所示，两组侧板2的顶端均呈现倾斜状，第一轴承轮3等距阵列分布于侧板2顶端倾斜位置处，两组第一轴承轮3程对称倾斜设置；
上述的结构设计以防止晶棒被第一轴承轮3碰伤。
请着重参阅图1至图3所示，第二轴承轮4的数量为四组，四组第二轴承轮4分布于底板1的四周；
上述的结构设计便于方便整个治具的移动和定位。
请着重参阅图1至图3所示，锁紧支架9端部安装有第一轴承轮3；
上述的结构设计便于锁紧支架9端部的第一轴承轮3配合侧板2顶端的第一轴承轮3，以实现对晶棒的夹持。
请着重参阅图1至图3所示，第一轴承轮3与第二轴承轮4采用非金属材料包覆，以防止晶棒被第一轴承轮3碰伤。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种晶棒运输治具，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)上方对称安装有两组侧板(2)，两组所述侧板(2)的另一端均装配有第一轴承轮(3)，所述底板(1)外壁装配有第二轴承轮(4)，对称安装的所述侧板(2)中间设置有两组直线导轨(5)，所述直线导轨(5)的上方均安装有齿条(6)，所述齿条(6)上均设置有锁紧支架(9)，两组所述侧板(2)中间位置处并位于底板(1)的上方安装有阻尼器(8)，所述阻尼器(8)的外壁安装有齿轮(7)。
2.根据权利要求1所述的晶棒运输治具，其特征在于：所述齿轮(7)与两根齿条(6)分别对称啮合。
3.根据权利要求1所述的晶棒运输治具，其特征在于：两组所述侧板(2)的顶端均呈现倾斜状，所述第一轴承轮(3)等距阵列分布于侧板(2)顶端倾斜位置处，两组所述第一轴承轮(3)程对称倾斜设置。
4.根据权利要求1所述的晶棒运输治具，其特征在于：所述第二轴承轮(4)的数量为四组，四组所述第二轴承轮(4)分布于底板(1)的四周。
5.根据权利要求1所述的晶棒运输治具，其特征在于：所述锁紧支架(9)端部安装有第一轴承轮(3)。
6.根据权利要求1所述的晶棒运输治具，其特征在于：所述第一轴承轮(3)与第二轴承轮(4)采用非金属材料包覆。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN117342193A (zh) * | 2023-12-05 | 2024-01-05 | 广州田嘉工业装备有限公司 | 移载设备及工件移载方法 |
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2022
- 2022-05-24 CN CN202221256477.2U patent/CN217434713U/zh active Active
Cited By (2)
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