CN217359573U - 一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备。一种晶圆搬运装置包括有晶圆搬运部，所述晶圆搬运部包括，连接于直线导轨的搬运手，搬运手沿直线导轨延伸长度小于直线导轨。在直线导轨限定的基础上不会增加搬运手复位占用的空间，从而减小晶圆搬运装置占用空间，提升晶圆检测效率；且所述搬运手沿直线导轨延伸，通过直线导轨限定搬运手运动方向及行程范围，便于通过直线导轨的延伸方向提升搬运手运动方向及范围，减少使用人员的错误操作，增加安全性。

Description

一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备。

背景技术

晶圆测试效率对降低晶圆生产晶粒成本影响很大，当前提升晶圆测试效率的技术方向中，其中之一便是提高供料效率，减少因供料（特别是更换料盒）占用的时间。

实用新型内容

为提升晶圆测试效率，本实用新型提出一种晶圆搬运装置及晶圆检测设。

本实用新型的技术方案为：一种晶圆搬运装置包括有晶圆搬运部，所述晶圆搬运部包括，连接于直线导轨的搬运手，搬运手沿直线导轨延伸长度小于直线导轨。

进一步的，所述晶圆搬运装置还包括晶圆校准部，所述晶圆校准部沿直线导轨设置并位于搬运手运动路径下方，使搬运手转移的晶圆能够放置于晶圆校准部。

进一步的，所述晶圆校准部包括旋转托盘以及扫边器，使放置于旋转托盘的晶圆能够通过扫边器检测边沿位置从而获取晶圆的中心位置。

进一步的，所述晶圆搬运部还包括上侧搬运部，所述上侧搬运部连接于限位导轨，所述限位导轨延伸方向与直线导轨一致。

进一步的，所述限位导轨与直线导轨沿水平方向相互背离设置。

进一步的，所述晶圆搬运装置连接于升降导轨，用于实现晶圆搬运装置沿不同位置高度的转移晶圆。

一种晶圆检测设备，设置有上述晶圆搬运装置，

所述晶圆检测设备还包括堆叠料架，所述叠料架沿竖直方向排布有多个置放晶圆的料盒。

进一步的，所述堆叠料架设置有限位部，用于放置料盒；所述限位部设置有沿水平方向的切换导轨，使料盒能够在竖直方向错开。

进一步的，所述限位部能够放置多个料盒。

进一步的，所述晶圆检测设备为自动光学检测设备，用于对晶圆的外观进行光学检测。

本实用新型的有益效果在于：在直线导轨限定的基础上不会增加搬运手复位占用的空间，从而减小晶圆搬运装置占用空间，提升晶圆检测效率；且所述搬运手沿直线导轨延伸，通过直线导轨限定搬运手运动方向及行程范围，便于通过直线导轨的延伸方向提升搬运手运动方向及范围，减少使用人员的错误操作，增加安全性。

附图说明

图1为本实用新型晶圆搬运装置结构示意图；

图2为本实用新型晶圆搬运部结构示意图；

图3为本实用新型晶圆校准部结构示意图；

图4为本实用新型晶圆检测设备结构示意图；

图5为本实用新型限位部结构示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1和图2所示，一种晶圆搬运装置100包括有晶圆搬运部20，包括，

连接于直线导轨21的搬运手22，所述搬运手22用于转移晶圆；使搬运手22能够沿直线导轨21运动，从而使搬运手22能够转移不同位置的晶圆，当然，搬运手22沿直线导轨21运动还需要驱动装置，如电机通过皮带连接于搬运手22、气缸驱动搬运手22，在此不做赘述；搬运手22沿直线导轨21延伸长度小于直线导轨21，在直线导轨21限定的长度距离内，所述搬运手22不会增加占用的长度距离，从而减小搬运手22复位后占用的空间。

采用上述技术方案，在直线导轨21限定的基础上不会增加搬运手22复位占用的空间，从而减小晶圆搬运装置100占用空间；且所述搬运手22沿直线导轨21延伸，通过直线导轨21限定搬运手22运动方向及行程范围，便于通过直线导轨21的延伸方向提升搬运手22运动方向及范围，减少使用人员的错误操作，增加安全性。

如图1和图2所示，所述晶圆搬运装置20还包括晶圆校准部30，用于调整晶圆的方向，由于晶圆检测前需要将晶圆的方向与预设方向对准，便于准确捕捉晶圆上晶粒的位置，故晶圆的方向识别相当重要；所述晶圆校准部30沿直线导轨21设置并位于搬运手22运动路径下方，使搬运手22转移的晶圆能够放置于晶圆校准部30，晶圆能够放置于晶圆校准部30完成校准后，搬运手22能够沿直线方向取走晶圆，不会改变晶圆的方向；在应用实践中，晶圆放置于测试位置前方向偏差一般在5°内即可，故晶圆校准部30校准的角度偏差以及搬运手22转移晶圆引起的角度偏差小于5°即可。

采用上述技术方案，搬运手22将晶圆转移至晶圆校准部30完成角度校准，搬运手22再将校准的晶圆转移到晶圆测试位置，即完成晶圆的校准；晶圆校准部30如上方案设置，有利于减小占用空间，也即晶圆校准部30位于搬运手22运动的路径中，结构紧凑。

如图1、图2和图3所示，所述晶圆校准部30包括旋转托盘31以及扫边器32，使放置于旋转托盘31的晶圆能够通过扫边器32检测边沿位置从而获取晶圆的中心位置；所述旋转托盘31用于调整晶圆的角度，从而使校准后的晶圆满足放置于测试位置的角度要求；扫边器32用于检测晶圆的边缘，通过晶圆的边缘还原晶圆的中心和角度；使晶圆的实际角度与测试位置的预设角度一致。

如图1和图2所示，所述晶圆搬运部20还包括上侧搬运部221，所述上侧搬运部221连接于限位导轨211，所述限位导轨211延伸方向与直线导轨21一致；也即上侧搬运部221与搬运手22分别控制用于转移晶圆，从而提升转移晶圆的效率，例如搬运手22用于将晶圆放置于晶圆校准部30，校准后的晶圆由上侧搬运部221转移。

采用上述技术方案，提升晶圆校准工作效率。

如图1和图2所示，所述限位导轨211与直线导轨21沿水平方向相互背离设置，即所述限位导轨211和直线导轨21尽量远离，从而减少上侧搬运部221与搬运手22相对运动带来的干涉，使用安全可靠。

如图1和图2所示，所述晶圆搬运装置100连接于升降导轨40，用于实现晶圆搬运装置100沿不同位置高度的转移晶圆；满足不同高度位置晶圆的搬运。

如图1、图2、图3和图4所示，一种晶圆检测设备200设置有上述的晶圆搬运装置100，

所述晶圆检测设备200还包括堆叠料架300，所述叠料架300沿竖直方向排布有多个置放晶圆的料盒201，能够放置多个料盒，从而增加晶圆放置的数量，减小更换料盒对工作效率的影响。

如图1、图2、图3、图4和图5所示，所述堆叠料架300设置有限位部301，用于放置料盒201；所述限位部301设置有沿水平方向的切换导轨，使料盒201能够在竖直方向错开；从而便于位置同一竖直方向的料盒错开，便于更换料盒201；所述限位部301能够放置多个料盒201，降低更换料盒201的频率，使位于同一高度位置的料盒201有多个；所述晶圆检测设备200为自动光学检测设备，用于对晶圆的外观进行光学检测，自动光学检测设备检测效率要求高，故采用上述的晶圆搬运装置100能够提升检测效率，降低成本。

以上是本实用新型的较佳实施例，不用于限定本实用新型的保护范围。应当认可，本领域技术人员在理解了本实用新型技术方案后所作的非创造性变形和改变，应当也属于本实用新型的保护和公开的范围。

Claims (10)

1.一种晶圆搬运装置，其特征在于：所述晶圆搬运装置（100）包括有晶圆搬运部（20），所述晶圆搬运部（20）包括，

连接于直线导轨（21）的搬运手（22），搬运手（22）沿直线导轨（21）延伸长度小于直线导轨（21）。

2.根据权利要求1所述的晶圆搬运装置，其特征在于：

所述晶圆搬运装置（100）还包括晶圆校准部（30），所述晶圆校准部（30）沿直线导轨（21）设置并位于搬运手（22）运动路径下方，使搬运手（22）转移的晶圆能够放置于晶圆校准部（30）。

3.根据权利要求2所述的晶圆搬运装置，其特征在于：

所述晶圆校准部（30）包括旋转托盘（31）以及扫边器（32），使放置于旋转托盘（31）的晶圆能够通过扫边器（32）检测边沿位置从而获取晶圆的中心位置。

4.根据权利要求1所述的晶圆搬运装置，其特征在于：

所述晶圆搬运部（20）还包括上侧搬运部（221），所述上侧搬运部（221）连接于限位导轨（211），所述限位导轨（211）延伸方向与直线导轨（21）一致。

5.根据权利要求4所述的晶圆搬运装置，其特征在于：

所述限位导轨（211）与直线导轨（21）沿水平方向相互背离设置。

6.根据权利要求1所述的晶圆搬运装置，其特征在于：

所述晶圆搬运装置（100）连接于升降导轨（40），用于实现晶圆搬运装置（100）沿不同位置高度的转移晶圆。

7.一种晶圆检测设备，其特征在于：所述晶圆检测设备（200）设置有上述权利要求1-6任意一项所述晶圆搬运装置（100），

所述晶圆检测设备（200）还包括堆叠料架（300），所述叠料架（300）沿竖直方向排布有多个置放晶圆的料盒（201）。

8.根据权利要求7所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述堆叠料架（300）设置有限位部（301），用于放置料盒（201）；所述限位部（301）设置有沿水平方向的切换导轨，使料盒（201）能够在竖直方向错开。

9.根据权利要求8所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述限位部（301）能够放置多个料盒（201）。

10.根据权利要求7所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述晶圆检测设备（200）为自动光学检测设备，用于对晶圆的外观进行光学检测。

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