CN217264873U - 一种多晶硅还原炉用石墨夹头 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种多晶硅还原炉用石墨夹头，属于多晶硅还原炉技术领域。该多晶硅还原炉用石墨夹头，包括石墨底座和夹持组件。所述夹持组件包括螺纹套筒、限位圆板、第一夹块和第二夹块，在上述实现过程中，将硅芯穿过通口和插槽，使硅芯插进第一插孔内部，然后旋转螺纹套筒，使螺纹套筒带动限位圆板向石墨底座移动，进行会使限位圆板向石墨底座的方向推动第一夹块和第二夹块，进而会使第一夹块和第二夹块向插槽内部移动，而第一夹块向插槽内部移动的同时还会向下移动，第二夹块向插槽内部移动的同时还会向上移动，进而会使第一夹块和第二夹块对硅芯进行夹持固定，进而可提高硅芯的稳定性，可减小倒棒的风险。

Description

一种多晶硅还原炉用石墨夹头

技术领域

本申请涉及多晶硅还原炉领域，具体而言，涉及一种多晶硅还原炉用石墨夹头。

背景技术

多晶硅是用于生产半导体和太阳能光伏产品的主要原料，在多晶硅还原炉中，需要用硅芯作为还原炉中进行还原反应沉积多晶硅的热载体。

在多晶硅还原炉中，需要使用石墨夹头对硅芯进行连接固定，但现有的大多数的石墨夹头，只是简单的在石墨底座上加工方形或圆锥形的孔洞，而硅芯是直接插放在孔洞内，缺乏对硅芯的固定机构，硅芯难以被卡紧，硅芯的稳定性较差，随着硅芯重量的逐渐增加，出现倒棒现象的风险会逐渐加大。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本申请提供了一种多晶硅还原炉用石墨夹头，旨在改善现有的大多数的石墨夹头缺乏硅芯固定机构的问题。

本申请实施例提供了一种多晶硅还原炉用石墨夹头，包括石墨底座和夹持组件。

所述石墨底座的外壁套设有连接套筒，所述石墨底座的一侧开设有第一插孔，所述第一插孔一端的孔壁开设有插槽。

所述夹持组件包括螺纹套筒、限位圆板、第一夹块和第二夹块，所述螺纹套筒螺纹套接于所述连接套筒的外壁，所述限位圆板与所述螺纹套筒的一端相连，所述限位圆板的中心开设有通口，所述通口与所述插槽对应设置，所述第一夹块滑动插接于所述插槽内部的顶部，所述第一夹块的上表面倾斜设置，所述第一夹块的上表面与所述插槽的槽壁相贴合，所述第二夹块滑动插接于所述插槽内部的底部，所述第二夹块的下表面倾斜设置，所述第二夹块的下表面与所述插槽的槽壁相贴合，所述第一夹块与所述第二夹块对应设置。

在上述实现过程中，将硅芯穿过通口和插槽，使硅芯插进第一插孔内部，然后旋转螺纹套筒，使螺纹套筒带动限位圆板向石墨底座移动，进行会使限位圆板向石墨底座的方向推动第一夹块和第二夹块，进而会使第一夹块和第二夹块向插槽内部移动，而第一夹块向插槽内部移动的同时还会向下移动，第二夹块向插槽内部移动的同时还会向上移动，进而会使第一夹块和第二夹块对硅芯进行夹持固定，进而可提高硅芯的稳定性，可减小倒棒的风险。

在一种具体的实施方案中，所述第一插孔远离所述插槽的一端开设有第二插孔，所述第二插孔开设有若干个，若干个所述第二插孔依次首尾相连，若干个所述第二插孔的孔径依次递减，所述第一插孔与若干个所述第二插孔的中心均处于同一水平直线上。

在一种具体的实施方案中，所述螺纹套筒的内壁开设有内螺纹槽，所述连接套筒的外壁开设有外螺纹槽，内螺纹槽与外螺纹槽螺纹连接。

在一种具体的实施方案中，所述螺纹套筒的外壁设置有手持部，所述手持部设置有若干个，若干个所述手持部均匀分布。

在一种具体的实施方案中，所述插槽槽壁的顶部开设有第一限位槽，所述第一限位槽倾斜设置，所述第一限位槽与所述第一夹块的上表面平行设置。

在一种具体的实施方案中，所述第一夹块的上表面设置有第一滑块，所述第一滑块滑动连接于所述第一限位槽内部。

在一种具体的实施方案中，所述第一限位槽内部设置有第一限位杆，所述第一限位杆与所述第一夹块的上表面平行设置，所述第一滑块滑动套接于所述第一限位杆的杆体。

在一种具体的实施方案中，所述插槽槽壁的底部开设有第二限位槽，所述第二限位槽倾斜设置，所述第二限位槽与所述第二夹块的下表面平行设置。

在一种具体的实施方案中，所述第二夹块的下表面设置有第二滑块，所述第二滑块滑动连接于所述第二限位槽内部。

在一种具体的实施方案中，所述第二限位槽内部设置有第二限位杆，所述第二限位杆与所述第二夹块的下表面平行设置，所述第二滑块滑动套接于所述第二限位杆的杆体。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本申请实施方式提供的多晶硅还原炉用石墨夹头整体剖面结构示意图；

图2为本申请实施方式提供的石墨底座剖面结构示意图；

图3为本申请实施方式提供的夹持组件结构示意图；

图4为本申请实施方式提供的第一夹块和第一滑块部分结构示意图；

图5为本申请实施方式提供的第二夹块和第二滑块部分结构示意图。

图中：100-石墨底座；110-连接套筒；120-第一插孔；130-插槽；131-第一限位槽；1311-第一限位杆；132-第二限位槽；1321-第二限位杆；140-第二插孔；200-夹持组件；210-螺纹套筒；211-手持部；220-限位圆板；221-通口；230-第一夹块；231-第一滑块；240-第二夹块；241-第二滑块；300-硅芯。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述。

为使本申请实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

请参阅图1，本申请提供一种多晶硅还原炉用石墨夹头，包括石墨底座100和夹持组件200。

请参阅图1和2，石墨底座100的外壁套设有连接套筒110，石墨底座100的一侧开设有第一插孔120，第一插孔120用于插硅芯300，硅芯300插进第一插孔120内部，第一插孔120一端的孔壁开设有插槽130，第一插孔120远离插槽130的一端开设有第二插孔140，第二插孔140开设有若干个，若干个第二插孔140依次首尾相连，若干个第二插孔140的孔径依次递减，第一插孔120与若干个第二插孔140的中心均处于同一水平直线上，若干个孔径不同的第二插孔140可用插接若干种规格不同的硅芯300，适应范围较广。

请参阅图1-5，夹持组件200包括螺纹套筒210、限位圆板220、第一夹块230和第二夹块240，螺纹套筒210螺纹套接于连接套筒110的外壁，螺纹套筒210的内壁开设有内螺纹槽，连接套筒110的外壁开设有外螺纹槽，内螺纹槽与外螺纹槽螺纹连接，螺纹套筒210的外壁设置有手持部211，手持部211设置有若干个，若干个手持部211，若干个手持部211使得工人旋转螺纹套筒210较为方便，均匀分布，限位圆板220与螺纹套筒210的一端相连，限位圆板220的中心开设有通口221，通口221与插槽130对应设置，通口221用于硅芯300的穿过。

在本申请中，第一夹块230滑动插接于插槽130内部的顶部，第一夹块230的上表面倾斜设置，第一夹块230的上表面与插槽130的槽壁相贴合，插槽130槽壁的顶部开设有第一限位槽131，第一限位槽131倾斜设置，第一限位槽131与第一夹块230的上表面平行设置，第一夹块230的上表面设置有第一滑块231，第一滑块231滑动连接于第一限位槽131内部，第一限位槽131内部设置有第一限位杆1311，第一限位杆1311与第一夹块230的上表面平行设置，第一滑块231滑动套接于第一限位杆1311的杆体。

在本实施例中，第二夹块240滑动插接于插槽130内部的底部，第二夹块240的下表面倾斜设置，第二夹块240的下表面与插槽130的槽壁相贴合，插槽130槽壁的底部开设有第二限位槽132，第二限位槽132倾斜设置，第二限位槽132与第二夹块240的下表面平行设置，第二夹块240的下表面设置有第二滑块241，第二滑块241滑动连接于第二限位槽132内部，第二限位槽132内部设置有第二限位杆1321，第二限位杆1321与第二夹块240的下表面平行设置，第二滑块241滑动套接于第二限位杆1321的杆体，第一夹块230与第二夹块240对应设置。

该多晶硅还原炉用石墨夹头的工作原理：使用时，将硅芯300穿过通口221和插槽130，使硅芯300插进第一插孔120内部，然后旋转螺纹套筒210，使螺纹套筒210带动限位圆板220向石墨底座100移动，进行会使限位圆板220向石墨底座100的方向推动第一夹块230和第二夹块240，进而会使第一夹块230和第二夹块240向插槽130内部移动，而第一夹块230向插槽130内部移动的同时还会向下移动，第二夹块240向插槽130内部移动的同时还会向上移动，进而会使第一夹块230和第二夹块240对硅芯300进行夹持固定，进而可提高硅芯300的稳定性，可减小倒棒的风险。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于，包括

石墨底座(100)，所述石墨底座(100)的外壁套设有连接套筒(110)，所述石墨底座(100)的一侧开设有第一插孔(120)，所述第一插孔(120)一端的孔壁开设有插槽(130)；

夹持组件(200)，所述夹持组件(200)包括螺纹套筒(210)、限位圆板(220)、第一夹块(230)和第二夹块(240)，所述螺纹套筒(210)螺纹套接于所述连接套筒(110)的外壁，所述限位圆板(220)与所述螺纹套筒(210)的一端相连，所述限位圆板(220)的中心开设有通口(221)，所述通口(221)与所述插槽(130)对应设置，所述第一夹块(230)滑动插接于所述插槽(130)内部的顶部，所述第一夹块(230)的上表面倾斜设置，所述第一夹块(230)的上表面与所述插槽(130)的槽壁相贴合，所述第二夹块(240)滑动插接于所述插槽(130)内部的底部，所述第二夹块(240)的下表面倾斜设置，所述第二夹块(240)的下表面与所述插槽(130)的槽壁相贴合，所述第一夹块(230)与所述第二夹块(240)对应设置。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于，所述第一插孔(120)远离所述插槽(130)的一端开设有第二插孔(140)，所述第二插孔(140)开设有若干个，若干个所述第二插孔(140)依次首尾相连，若干个所述第二插孔(140)的孔径依次递减，所述第一插孔(120)与若干个所述第二插孔(140)的中心均处于同一水平直线上。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于，所述螺纹套筒(210)的内壁开设有内螺纹槽，所述连接套筒(110)的外壁开设有外螺纹槽，内螺纹槽与外螺纹槽螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于，所述螺纹套筒(210)的外壁设置有手持部(211)，所述手持部(211)设置有若干个，若干个所述手持部(211)均匀分布。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于，所述插槽(130)槽壁的顶部开设有第一限位槽(131)，所述第一限位槽(131)倾斜设置，所述第一限位槽(131)与所述第一夹块(230)的上表面平行设置。

6.根据权利要求5所述的一种多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于，所述第一夹块(230)的上表面设置有第一滑块(231)，所述第一滑块(231)滑动连接于所述第一限位槽(131)内部。

7.根据权利要求6所述的一种多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于，所述第一限位槽(131)内部设置有第一限位杆(1311)，所述第一限位杆(1311)与所述第一夹块(230)的上表面平行设置，所述第一滑块(231)滑动套接于所述第一限位杆(1311)的杆体。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于，所述插槽(130)槽壁的底部开设有第二限位槽(132)，所述第二限位槽(132)倾斜设置，所述第二限位槽(132)与所述第二夹块(240)的下表面平行设置。

9.根据权利要求8所述的一种多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于，所述第二夹块(240)的下表面设置有第二滑块(241)，所述第二滑块(241)滑动连接于所述第二限位槽(132)内部。

10.根据权利要求9所述的一种多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于，所述第二限位槽(132)内部设置有第二限位杆(1321)，所述第二限位杆(1321)与所述第二夹块(240)的下表面平行设置，所述第二滑块(241)滑动套接于所述第二限位杆(1321)的杆体。

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