CN215261535U - 一种新型的4寸wafer寻边校正制具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型的4寸wafer寻边校正制具，包括支撑座，与支撑座顶部相固接的检测座，所述检测座的顶部中心处开设有检测槽，所述检测槽内腔的圆周侧壁上固接有数个导向杆，数个所述导向杆远离检测座的一端均滑动连接有弧形夹紧块，所述弧形夹紧块的内腔中心处开设有与导向杆相配合的滑槽，所述检测座与弧形夹紧块之间连接有套设在导向杆上的伸缩弹簧，所述支撑座内腔中心处沿其长度方向上开设有螺纹槽，本实用新型设计结构合理，检测座中开设有供晶圆放置的检测槽，利用检测槽盛放待检测的晶圆，检测槽中设置夹紧结构，利用夹紧结构对检测槽中的晶圆进行夹紧，能快速有效缩短维护时间，且制具简洁轻便。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶片检测技术领域，具体为一种新型的4寸wafer寻边校正制具。
背景技术
Wafer有叫做晶圆，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％，在晶圆生产过后需要对晶圆进行检测，从而保证了晶圆质量。
目前现有的晶圆检测都是使用抽测机进行抽测，在抽测过程中需要使用专制的圆形托盘，将生产好的晶圆放置在托盘槽中观察大小是否相同即可，但是托盘中没有夹紧机构，放置晶圆容易发生偏移，从而造成检测的误差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新型的4寸wafer寻边校正制具，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型的4寸wafer寻边校正制具，包括支撑座，与支撑座顶部相固接的检测座，所述检测座的顶部中心处开设有检测槽，所述检测槽内腔的圆周侧壁上固接有数个导向杆，数个所述导向杆远离检测座的一端均滑动连接有弧形夹紧块，所述弧形夹紧块的内腔中心处开设有与导向杆相配合的滑槽，所述检测座与弧形夹紧块之间连接有套设在导向杆上的伸缩弹簧，所述支撑座内腔中心处沿其长度方向上开设有螺纹槽。
优选的，所述弧形夹紧块设置的数量为三个，相邻两个所述弧形夹紧块之间的夹角为120°，三个所述弧形夹紧块的延长线的连线交点与检测座的圆心相重合。
优选的，所述弧形夹紧块远离检测座的一端设置有软质防护垫。
优选的，所述导向杆呈T形形状，所述导向杆的T形形状的横段的长度与滑槽的槽宽相同。
优选的，所述导向杆一侧的检测座的内腔侧壁上固接有刻度杆，所述弧形夹紧块内腔设置有与刻度杆相配合的限位槽。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型的一种新型的4寸wafer寻边校正制具通过检测座中开设有供晶圆放置的检测槽，利用检测槽盛放待检测的晶圆，能快速有效缩短维护时间，提升操作效率，制具简洁轻便，方便使用，通过弧形夹紧块、导向杆与伸缩弹簧组成一个夹紧结构，利用夹紧结构对检测槽中的晶圆进行夹紧，且也能够利用夹紧结构中弧形夹紧块的位移情况来判断晶圆质量或是边角的齐平性。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构主视图；
图2为本实用新型的检测座俯视图；
图3为本实用新型的A部分放大结构示意图；
图4为本实用新型的整体结构剖面侧视图；
图中、1、支撑座；2、检测座；3、检测槽；4、导向杆；5、弧形夹紧块；6、滑槽；7、伸缩弹簧；8、软质防护垫；9、螺纹槽；10、限位槽；11、刻度杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例。
如图1-4所示，一种新型的4寸wafer寻边校正制具，包括支撑座1，支撑座1的外径为Φ20.70mm，与支撑座1顶部相固接的检测座2，检测座2的外径为Φ106mm、厚度Φ7.50mm，检测座2的外形小巧，检测座2的顶部中心处开设有检测槽3，检测槽3的槽深为5mm，外径为Φ101.60mm，这样便于对多个晶圆同时进行检测，检测槽3内腔的圆周侧壁上固接有数个导向杆4，数个导向杆4远离检测座2的一端均滑动连接有弧形夹紧块5，弧形夹紧块5的内腔中心处开设有与导向杆4相配合的滑槽6，检测座2与弧形夹紧块5之间连接有套设在导向杆4上的伸缩弹簧7，支撑座1内腔中心处沿其长度方向上开设有螺纹槽9，螺纹槽9的外径为Φ20.70mm。
将支撑座1底部螺纹槽9对准抽测机上的安装件进行安装，当检测时，手动的拨动检测座2中的弧形夹紧块5并将待检测的晶圆放置到检测槽3中，放入完全后松开手，晶圆挤压弧形夹紧块5，三个弧形夹紧块5同时受到挤压，在挤压力的作用下，三个弧形夹紧块5沿着导向杆4运动，直至将晶圆限位在检测槽3的中心处，观察三个弧形夹紧块5的位移是否相同，此时伸缩弹簧7也会受到挤压，产生的反作用力将推动弧形夹紧块5紧靠晶圆的侧壁，然后接着放置其他的晶圆，从而观察弧形夹紧块5是否会沿着导向杆4运动，一旦运动即说明晶圆检测不合格，边角未齐平，反之则为合格。
进一步地，如图1-2所示，弧形夹紧块5设置的数量为三个，相邻两个弧形夹紧块5之间的夹角为120°，三个弧形夹紧块5的延长线的连线交点与检测座2的圆心相重合，三个弧形夹紧块5构成一个等边三角形结构，三角形具有稳定性，从而对晶圆的三个方向进行限位固定，使晶圆放置在检测座2的中心处，进而能保证了对晶圆的检测，检测效果快。
进一步地，如图2-3所示，弧形夹紧块5远离检测座2的一端设置有软质防护垫8，软质防护垫8的质地柔软，从而在对晶圆的夹持过程中起到保护作用，减少了对晶圆侧边的磨损，进而对晶圆起到良好的保护。
进一步地，如图3所示，导向杆4呈T形形状，导向杆4的T形形状的横段的长度与滑槽6的槽宽相同，T形形状便于伸入到滑槽6中，由于T形形状的横段的长度大于竖段的宽度，能够减少导向杆4与弧形夹紧块5分离的可能。
进一步地，如图2-3所示，导向杆4一侧的检测座2的内腔侧壁上固接有刻度杆11，弧形夹紧块5内腔设置有与刻度杆11相配合的限位槽10，一方面利用刻度杆11来观察弧形夹紧块5的位移，当弧形夹紧块5受到晶圆的挤压后会沿着刻度杆11滑动，在刻度杆11上的活动杆距离即为弧形夹紧块5的距离，判断每个弧形夹紧块5的位移是否相同，进而确定每个晶圆的边角的弧度是否相同，达到快速检测的目的，另一方面刻度杆11也能够起到良好的导向作用，保证了弧形夹紧块5沿直线运动。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (5)
1.一种新型的4寸wafer寻边校正制具，包括支撑座(1)，与支撑座(1)顶部相固接的检测座(2)，其特征在于：所述检测座(2)的顶部中心处开设有检测槽(3)，所述检测槽(3)内腔的圆周侧壁上固接有数个导向杆(4)，数个所述导向杆(4)远离检测座(2)的一端均滑动连接有弧形夹紧块(5)，所述弧形夹紧块(5)的内腔中心处开设有与导向杆(4)相配合的滑槽(6)，所述检测座(2)与弧形夹紧块(5)之间连接有套设在导向杆(4)上的伸缩弹簧(7)，所述支撑座(1)内腔中心处沿其长度方向上开设有螺纹槽(9)。
2.根据权利要求1所述的一种新型的4寸wafer寻边校正制具，其特征在于：所述弧形夹紧块(5)设置的数量为三个，相邻两个所述弧形夹紧块(5)之间的夹角为120°，三个所述弧形夹紧块(5)的延长线的连线交点与检测座(2)的圆心相重合。
3.根据权利要求1所述的一种新型的4寸wafer寻边校正制具，其特征在于：所述弧形夹紧块(5)远离检测座(2)的一端设置有软质防护垫(8)。
4.根据权利要求1所述的一种新型的4寸wafer寻边校正制具，其特征在于：所述导向杆(4)呈T形形状，所述导向杆(4)的T形形状的横段的长度与滑槽(6)的槽宽相同。
5.根据权利要求1所述的一种新型的4寸wafer寻边校正制具，其特征在于：所述导向杆(4)一侧的检测座(2)的内腔侧壁上固接有刻度杆(11)，所述弧形夹紧块(5)内腔设置有与刻度杆(11)相配合的限位槽(10)。
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