CN217139314U - 一种液体脱气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于液体输送设备技术领域，公开了一种液体脱气装置。该液体脱气装置包括透气管、管道和第一管路，管道上设置有真空泵抽气口，真空泵抽气口用于连接真空泵，从而将管道内抽成负压，透气管设置在管道内，液体从透气管的一端进入，从透气管的另一端流出后，液体中的气体能够从透气管中排出到管道内。透气管和第一管路连接形成回路，第一管路上设置有进液口和出液口，出液口和透气管的出口之间设置有第一阀门，进液口和透气管的进口之间设置有第二阀门，进液口和出液口之间设置有第三阀门。上述脱气装置结构简单，控制方便，制造成本低，占用空间小。

Description

一种液体脱气装置

技术领域

本实用新型涉及液体输送技术领域，尤其涉及一种液体脱气装置。

背景技术

现有的液体输送设备，通常采用载气(氢气或者氦气)压液的方式将液体输送到设备端。在供液的过程中，这些载气会混合在液体中。当使用端控制流量时，由于液体中含有气泡，会影响设备的控制精度。因此，工业上常采用脱气系统(气液分离)将液体内的气体排出。

常用的气液分离方法包括重力沉降、填料分离、离心力分离、超滤分离等。现有技术中通常采用气液分离器或在线脱气机等相关设备进行气液分离，但这些设备通常占据较大空间，管路及线路繁多，适配性较低。

因此亟需提出一种液体脱气装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种液体脱气装置，该装置结构简单，控制方便，制造成本低，占用空间小。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种液体脱气装置，包括：

管道，所述管道上设置有真空泵抽气口,所述真空泵抽气口用于连接真空泵将所述管道内抽成负压；

透气管，所述透气管设置在所述管道内，液体从所述透气管的一端进入，从所述透气管的另一端流出，液体中的气体能够从所述透气管排出到所述管道中。

第一管路，所述透气管与所述第一管路连接形成回路，所述第一管路上设置有进液口和出液口，所述出液口与所述透气管的出口之间设置有第一阀门，所述进液口与所述透气管的进口之间设置有第二阀门，所述进液口与所述出液口之间设置有第三阀门。

可选地，所述第一阀门、所述第二阀门和所述第三阀门为隔膜阀。

可选地，所述透气管盘旋呈螺旋状。

可选地，所述透气管为特氟龙软管。

可选地，所述透气管与所述第一管路的连接处采用法兰连接。

可选地，所述管道连接有真空开关。

可选地，所述管道连接有漏液检测装置。

可选地，所述漏液检测装置为漏液传感器。

可选地，还包括固定件和连接板，所述固定件与所述连接板固定连接，所述管道通过所述固定件固定在所述连接板上，所述连接板设有安装孔，用于安装到使用环境中。

可选地，所述连接板包括主板和与所述主板相连的支板，所述管道固定在所述主板上，所述第一阀门、所述第二阀门和所述第三阀门均固定在所述支板上。

有益效果：

本实用新型提供的液体脱气装置，通过将管道套设在透气管外，管道通过真空泵抽气口与真空泵连接，对管道抽真空，在工作过程中，由于透气管的内壁和外壁之间存在压差，当载气为氢气、氦气或其他分子量较小的气体时，液体进入透气管后，气体能够穿过透气管管壁，直接暴露到管道内，进而被真空泵抽走，实现气液分离。通过设置三个阀门，能够方便地控制液体的流向，使装置在脱气与不脱气状态下进行切换。具体地，当第三阀门关闭时，液体从进液口进入，依次流经第二阀门、透气管和第三阀门，再从出液口流出，完成脱气工作。当液体不需要脱气时，第一阀门和第二阀门关闭，第三阀门打开，液体从进液口进入后，经第三阀门从出液口流出，不必经过透气管，即不对液体进行脱气处理。该装置结构简单，控制方便，制造成本低，占用空间小。

附图说明

图1是本实用新型提供的液体脱气装置的局部剖视图；

图2是本实用新型提供的液体脱气装置的结构示意图；

图3是图1在A处的局部放大图。

图中：

100、透气管；200、管道；300、第一管路；310、进液口；320、出液口； 330、第一阀门；340、第二阀门；350、第三阀门；400、第二管路；410、真空泵抽气口；420、真空开关；500、第三管路；510、漏液检测装置；600、卡套式管接头；610、倒锥接头；620、法兰卡箍；630、法兰盲片；700、连接板； 710、固定件。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

参见图1，本实施例提供的液体脱气装置包括透气管100、管道200和第一管路300，管道200上设置有真空泵抽气口410，真空泵抽气口410用于连接真空泵，从而将管道内抽成负压，透气管100设置在管道200内，液体从透气管 100的一端进入，从透气管100的另一端流出后，液体中的气体能够从透气管100排出到管道200内。透气管100和第一管路300连接形成回路，第一管路 300上设置有进液口310和出液口320，出液口320和透气管100的出口之间设置有第一阀门330，进液口310和透气管100的进口之间设置有第二阀门340，进液口310和出液口320之间设置有第三阀门350。

上述的液体脱气装置，管道200套设在透气管100外，管道200上设置真空泵抽气口410，真空泵抽气口410能够连接真空泵，对管道200抽真空，在工作过程中，由于透气管100的内壁和外壁之间存在压差，当载气为氢气、氦气或其他分子量较小的气体时，液体进入透气管100后，气体能够穿过透气管100 管壁，直接暴露到管道200内，进而被真空泵抽气口410连接的真空泵抽走，实现气液分离。通过设置三个阀门，能够方便地控制液体的流向，使装置在脱气与不脱气状态下进行切换。具体地，当第三阀门350关闭时，液体从进液口 310进入，依次流经第二阀门340、透气管100和第一阀门330，再从出液口320 流出，完成脱气工作。当液体不需要脱气时，第一阀门330和第二阀门340关闭，第三阀门350打开，液体从进液口310进入后，经第三阀门350从出液口 320流出，不必经过透气管100，即不对液体进行脱气。该装置结构简单，控制方便，制造成本低，占用空间小。

继续参见图1，透气管100在真空管内盘旋呈螺旋状，从而延长液体在透气管100内的输送距离，使其有充分的时间进行脱气。为延长脱气时间，透气管 100也可以布置成S型或锯齿形等。可选地，透气管100可以为特氟龙软管。特氟龙是聚四氟乙烯的别称，特氟龙软管具有良好的耐热性、耐磨损性和耐腐蚀性。

进一步地，第一阀门330、第二阀门340和第三阀门350可以为隔膜阀，隔膜阀依靠金属膜片来控制流体运动，隔膜阀具有结构简单、流体阻力小、流通能力较通规格的其他类型阀大，无泄漏的优点。当然，第一阀门330、第二阀门 340和第三阀门350也可以为其他类型的阀门，三者的类型可以相同，也可以不同，只要是能够控制流体的流向，满足洁净度要求即可，根据需要进行设置即可。第一阀门330、第二阀门340和第三阀门350均具有连接端，第一阀门330、第二阀门340和第三阀门350通过连接端套设在第一管路300上，从而与第一管路300固定。在本实施例中，进液口310和出液口320采用半导体设备常用的接口连接方式，从而该脱气装置能够连接于大多数半导体设备，适用性强，应用范围广泛。

进一步地，管道200连接有真空开关420，具体地，管道200的一端连接有第二管路400，真空泵抽气口410和真空开关420均设置在第二管路400上。真空开关420能够实时监测管道200内的压力，防止管道200内压力过高或过低，确保装置在无人看管的情况下精确稳定地运行。

进一步地，管道200还连接有漏液检测装置510，漏液检测装置510设置在与管道200相连的第三管路500上。漏液检测装置510可以为漏液传感器，用于检测在脱气过程中，透气管100是否漏液，是否有液体渗出。

进一步地，透气管100和第一管道200之间采用卡套式管接头600进行连接。卡套式管接头600适用于气体或液体为介质的管路系统，卡套式管接头600 结构简单、使用方便、性能良好、无需焊接、不必将配管扩口等优点。

可选地，透气管100与第一管道200的连接处通过法兰连接。具体地，在透气管100连接有卡套式管接头600，卡套式管接头600的接头体一端和透气管 100连通，为了保证连接可靠，增加密封性，减少漏液概率，可在接头体内设置倒锥接头610，将倒锥接头610和透气管100连接，再将其插入到接头体中。卡套式接头的另一端和第一管路300连通，采用法兰固定连接。法兰包括两个互相配合的法兰盲片630和扣合在法兰盲片630上的法兰卡箍620，其中一个法兰盲片630具有通孔，设置在卡套式管接头600和第一管路300之间，另一个法兰盲片630和管道200的接头连接，两个法兰盲片630对接，为增加密封性，可以在两者之间设置密封圈。法兰卡箍620为包括两个铰接的半环体，半环体具有凹槽，两个半环体扣合后，形成环状结构，法兰盲片630扣合与凹槽之中，实现第一管路300、管道200及卡套式管接头600的连接。采用这种连接方式，结构更加紧凑，连接可靠，密封性好，使用安全，防止液体从管道200的接口处漏出，在其他实施例中，也可以采用其他连接方式。

该装置还包括连接板700和固定件710，固定件710和连接板700固定连接，管道200和第一管路300通过固定件710固定在连接板700上，连接板700上开设有安装孔，用于安装到使用环境中。具体地，连接板700包括一个长方形的主板，安装孔设置在主板上，管道200沿主板的长度方向设置在主板上，固定件710为设有凹槽的块状结构，管道200固定在凹槽和主板之间。在本实施例中，固定件710有两个，沿管道的长度方向间隔设置，固定件710与主板之间为螺纹连接，在其他事实例中，固定件710可以为一个、三个或其他数量，固定件710和主板之间也可以采用焊接或其他连接方式。可以理解地，固定件 710凹槽的形状可以根据管道200的形状进行设置，本实施例中，管道200的横截面形状为圆形，因此凹槽的横截面为半圆形，管道200横截面的形状与凹槽横截面的形状相吻合，从而使管道200固定稳固。固定件710的厚度根据需要进行设置，为增加连接的稳固性，可以适当增加固定件710的厚度。进一步地，连接板700还包括支板，支板与主板连接，第一阀门330、第二阀门340及第三阀门350均固定在支板上。在本实施例中，支板与主板平呈阶梯状设置，支板的数量有三个，沿主板的长度方向间隔排列，与三个阀门的位置相对应。可选地，支板与主板可以一体成型，或采用焊接、螺纹连接等方式进行连接，第一阀门330、第二阀门340及第三阀门350与三个支板之间可采用螺纹连接或焊接等连接方式，在此不做具体限定。在其他实施例中，支板的数量也可以为一个，三个阀门均连接在一个支板上，支板与主板的位置关系可以根据第一阀门330、第二阀门340、第三阀门350、第一支路以及管道200的位置关系进行设置。将管道200及阀门均固定在固定板上，一方面方便该装置和其他设备进行连接，另一方面能够使该装置整体结构更加稳定，具有一定的减振效果，防止部件松动或在使用过程中因振动而破损。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种液体脱气装置，其特征在于，包括：

管道(200)，所述管道(200)上设置有真空泵抽气口(410),所述真空泵抽气口(410)用于连接真空泵将所述管道(200)内抽成负压；

透气管(100)，所述透气管(100)设置在所述管道(200)内，液体从所述透气管(100)的一端进入，从所述透气管(100)的另一端流出，液体中的气体能够从所述透气管(100)排出到所述管道(200)中；

第一管路(300)，所述透气管(100)与所述第一管路(300)连接形成回路，所述第一管路(300)上设置有进液口(310)和出液口(320)，所述出液口(320)与所述透气管(100)的出口之间设置有第一阀门(330)，所述进液口(310)与所述透气管(100)的进口之间设置有第二阀门(340)，所述进液口(310)与所述出液口(320)之间设置有第三阀门(350)。

2.根据权利要求1所述的液体脱气装置，其特征在于，所述第一阀门(330)、所述第二阀门(340)和所述第三阀门(350)为隔膜阀。

3.根据权利要求2所述的液体脱气装置，其特征在于，所述透气管(100)与所述第一管路(300)的连接处采用法兰连接。

4.根据权利要求1所述的液体脱气装置，其特征在于，所述透气管(100)盘旋呈螺旋状。

5.根据权利要求1所述的液体脱气装置，其特征在于，所述透气管(100)为特氟龙软管。

6.根据权利要求1所述的液体脱气装置，其特征在于，所述管道(200)连接有真空开关(420)。

7.根据权利要求1所述的液体脱气装置，其特征在于，所述管道(200)连接有漏液检测装置(510)。

8.根据权利要求7所述的液体脱气装置，其特征在于，所述漏液检测装置(510)为漏液传感器。

9.根据权利要求1-8任一项所述的液体脱气装置，其特征在于，还包括固定件(710)和连接板(700)，所述固定件(710)与所述连接板(700)固定连接，所述管道(200)通过所述固定件(710)固定在所述连接板(700)上，所述连接板(700)设有安装孔，用于安装到使用环境中。

10.根据权利要求9所述的液体脱气装置，其特征在于，所述连接板(700)包括主板和与所述主板相连的支板，所述管道(200)固定在所述主板上，所述第一阀门(330)、所述第二阀门(340)和所述第三阀门(350)均固定在所述支板上。

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