CN215611113U - 自动气液分离供酸系统 - Google Patents

Abstract

本申请提出了一种自动气液分离供酸系统，属于半导体及泛半导体技术领域，自动气液分离供酸系统包括：药液桶，药液桶用于盛放液体；泵体，泵体的一端与药液桶连通；气液分离罐，与泵体的另一端连通，气液分离罐中设有网板，网板上设有通孔，其中，泵体用于抽取液体到气液分离罐中，网板用于打散液体中的气泡。通过本申请的技术方案，可自动过滤泵体抽空产生的气泡，不需要人干预，从而提高配液精度，进而改善工艺槽配液精度。

Description

自动气液分离供酸系统

技术领域

本申请属于半导体及泛半导体技术领域，具体涉及一种自动气液分离供酸系统。

背景技术

在半导体湿法设备无厂务端供酸以及由低向高供酸情况下，需通过泵从药液桶抽取方式直接向设备槽体供酸配液；此方法会导致泵在抽空时会将桶内空气与酸一起混合经过流量计进入槽体，流量计对混有气泡的酸测量误差较大，导致槽体配液浓度误差较大，从而影响工艺制程的良率。

实用新型内容

根据本申请的实施例旨在至少改善现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

有鉴于此，根据本申请的实施例的一个目的在于提供一种自动气液分离供酸系统。

为了实现上述目的，根据本申请的实施例提供了一种自动气液分离供酸系统，包括：药液桶，药液桶用于盛放液体；泵体，泵体的一端与药液桶连通；气液分离罐，与泵体的另一端连通，气液分离罐中设有网板，网板上设有通孔，其中，泵体用于抽取液体到气液分离罐中，网板用于打散液体中的气泡。

在该技术方案中，自动气液分离供酸系统包括药液桶、泵体和气液分离罐。药液桶用于盛放液体，泵体用于抽取液体到气液分离罐中。其中，气液分离罐中设有网板，在带有气泡的液体经过网板时，气泡会被打散往上浮，而液体往下沉，从而达到气液分离目的。通过自动分离泵体抽空时产生的气泡，能够防止桶内空气与液体一起混合经过流量计进入工艺槽，减小流量计对液体的测量误差，提高配液精度，无需人为干预。

另外，本申请提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：

上述技术方案中，自动气液分离供酸系统还包括：工艺槽，与气液分离罐连通，工艺槽与气液分离罐之间设有流量计和第一阀体。

在该技术方案中，动气液分离供酸系统还包括工艺槽，工艺槽与气液分离罐连通，能够使气液分离罐中的液体进入工艺槽进行配液。工艺槽与气液分离罐之间设有流量计和第一阀体，流量计能够对从气液分离罐流入工艺槽的液体流量进行测量，从而确定工艺槽配液浓度。第一阀体用于控制气液分离罐与工艺槽之间的连通或隔绝。

上述技术方案中，药液桶的数量为多个。

在该技术方案中，药液桶的数量为多个，通过设置多个药液桶，可以实现不停泵更换药液桶。

上述技术方案中，多个药液桶和泵体之间、泵体和气液分离罐之间、气液分离罐和工艺槽之间均设有供液管路；每个药液桶与泵体之间的供液管路上设有气动阀和液位传感器。

在该技术方案中，多个药液桶、泵体、气液分离罐、工艺槽之间设有供液管路，使液体能够从药液桶到工艺槽之间流通。其中，药液桶可以为两个，每个药液桶与泵体之间的供液管路上设有气动阀和液位传感器，当其中一个药液桶的液体抽完后可以立即更换为另一个桶的液体，实现自动切换，泵体无需停止就能更换药液桶。

上述技术方案中，药液桶包括筒体和盖体，盖体与筒体相连，盖体上设有药液管孔和通气孔。

在该技术方案中，药液桶包括筒体和盖体，盖体与筒体相连，用于密封药液桶。盖体上设有药液管孔和通气孔，药液管孔通过供液管路与泵体连通。由于泵体将液体抽走后会导致药液桶内真空，长时间后泵体再也无法抽取液体，通过设置通气孔，能够平衡药液桶内外气压，使泵体能够正常抽取液体。

上述技术方案中，自动气液分离供酸系统还包括：连通器，连通器与气液分离罐的两端相连，用于测量液位；连通器上设有第一液位传感器、第二液位传感器和第三液位传感器，第一液位传感器、第二液位传感器和第三液位传感器从气液分离罐的顶部到底部依次设置，第一液位传感器用于检测气液分离罐的超过液位，第二液位传感器用于检测气液分离罐的工作液位，第三液位传感器用于检测气液分离罐的低液位。

在该技术方案中，自动气液分离供酸系统还包括连通器，连通器与气液分离罐的两端相连，用于测量液位。连通器包括第一液位传感器、第二液位传感器和第三液位传感器，第一液位传感器、第二液位传感器和第三液位传感器分别位于气液分离罐的液位管的上中下三个位置，分别检测气液分离罐的超过液位、工作液位以及低液位三个液位。当检测到超过液位时，系统报警；当检测到工作液位时，为正常情况；当检测到低液位时，从药液桶中自动补液。

上述技术方案中，自动气液分离供酸系统还包括：排气管路，与气液分离罐的一端相连，排气管路上设有第二阀体。

在该技术方案中，排气管路与气液分离罐的一端相连，用于排出气液分离罐中的气体，将气体引致设备排风口。第二阀体用于控制排气管路的启闭。

上述技术方案中，自动气液分离供酸系统还包括：阀座，阀座用于安装气动阀。

在该技术方案中，自动气液分离供酸系统还包括阀座，阀座用于安装药液桶与泵体之间的气动阀，使气动阀运行稳定。

上述技术方案中，自动气液分离供酸系统还包括：缓冲减震装置，设于泵体下方，缓冲减震装置用于泵体的缓冲减震。

在该技术方案中，自动气液分离供酸系统还包括缓冲减震装置，由于泵体在工作时震动较大，缓冲减震装置设于泵体的底部，用于泵体的缓冲减震。

根据本申请的实施例的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过根据本申请的实施例的实践了解到。

附图说明

图1是根据本申请提供的一个实施例的自动气液分离供酸系统的立体结构示意图；

图2是根据本申请提供的一个实施例的自动气液分离供酸系统的工作原理示意图。

其中，图1和图2中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10：自动气液分离供酸系统；100：药液桶；110：筒体；120：盖体；200：泵体；210：缓冲减震装置；300：气液分离罐；400：工艺槽；410：流量计；420：第一阀体；430：气动阀；440：液位传感器；510：第一液位传感器；520：第二液位传感器；530：第三液位传感器；540：第二阀体；550：阀座。

具体实施方式

为了可以更清楚地理解根据本申请的实施例的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对根据本申请的实施例进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，根据本申请的实施例的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解根据本申请的实施例，但是，根据本申请的实施例还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，根据本申请的实施例提供的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1和图2描述根据本申请提供的一些实施例。

如图1所示，根据本申请的实施例提出的一个自动气液分离供酸系统10，包括药液桶100、泵体200和气液分离罐300。具体地，药液桶100用于盛放液体，泵体200的一端与药液桶100连通，气液分离罐300与泵体200的另一端连通，气液分离罐300中设有网板，网板上设有通孔。其中，泵体200用于抽取液体到气液分离罐300中，网板用于打散液体中的气泡。

根据本申请的实施例提供的自动气液分离供酸系统10，包括药液桶100、泵体200和气液分离罐300。药液桶100用于盛放液体，泵体200用于抽取液体到气液分离罐300中。其中，气液分离罐300中设有网板，由于液体通过泵体200进入气液分离罐300时可能存在一定冲击，使气泡冲入气液分离罐300下部，通过设置网板，在带有气泡的液体经过网板时，气泡会被打散往上浮，而液体往下沉，从而达到气液分离目的。通过自动分离泵体200抽空时产生的气泡，能够防止桶内空气与液体一起混合经过流量计410进入工艺槽400，减小流量计410对液体的测量误差，提高配液精度，无需人为干预。其中，泵体200可以是隔膜泵。

进一步地，网板和气液分离罐300一体成型，能够使气液分离罐300承受住内部的压力，网板设置在气液分离罐300的中下间任意位置，网板和气液分离罐300的材质也相同。

如图2所示，在上述实施例中，动气液分离供酸系统还包括工艺槽400，工艺槽400与气液分离罐300连通，能够使气液分离罐300中的液体进入工艺槽400进行配液。工艺槽400与气液分离罐300之间设有流量计410和第一阀体420，流量计410能够对从气液分离罐300流入工艺槽400的液体流量进行测量，从而确定工艺槽400配液浓度。第一阀体420可以是气动阀430，用于控制气液分离罐300与工艺槽400之间的连通或隔绝。

在一些实施例中，药液桶100的数量为多个，通过设置多个药液桶100，可以实现不停泵更换药液桶100。多个药液桶100、泵体200、气液分离罐300、工艺槽400之间设有供液管路，使液体能够从药液桶100到工艺槽400之间流通。其中，药液桶100可以为两个，每个药液桶100与泵体200之间的供液管路上设有气动阀430和液位传感器440，当其中一个药液桶100的液体抽完后可以立即更换为另一个桶的液体，实现自动切换，泵体200无需停止就能更换药液桶100。

进一步地，药液桶100包括筒体110和盖体120，盖体120与筒体110相连，用于密封药液桶100。盖体120上设有药液管孔和通气孔，药液管孔通过供液管路与泵体200连通。由于泵体200将液体抽走后会导致药液桶100内真空，长时间后泵体200再也无法抽取液体，通过设置通气孔，能够平衡药液桶100内外气压，使泵体200能够正常抽取液体。

在上述实施例中，自动气液分离供酸系统10还包括连通器，连通器与气液分离罐300的两端相连，用于测量液位。连通器包括第一液位传感器510、第二液位传感器520和第三液位传感器530，第一液位传感器510、第二液位传感器520和第三液位传感器530分别位于气液分离罐300的液位管的上中下三个位置，分别检测气液分离罐300的超过液位、工作液位以及低液位三个液位。当检测到超过液位时，系统报警；当检测到工作液位时，为正常情况；当检测到低液位时，从药液桶100中自动补液。

在一些实施例中，自动气液分离供酸系统10还包括排气管路，排气管路与气液分离罐300的一端相连，用于排出气液分离罐300中的气体，将气体引致设备排风口。第二阀体540可以是气动阀430，用于控制排气管路的启闭。

在一些实施例中，自动气液分离供酸系统10还包括阀座550，阀座550用于安装药液桶100与泵体200之间的气动阀430，使气动阀430运行稳定。

在上述实施例中，自动气液分离供酸系统10还包括底座和缓冲减震装置210，底座设于泵体200底部，用于安装泵体200。由于泵体200在工作时震动较大，缓冲减震装置210设于底座远离泵体200的一侧，用于泵体200的缓冲减震。

如图1和图2所示，根据本申请一个具体实施例的自动气液分离供酸系统10，包括气液分离罐300、缓冲减震装置210、药液桶100、盖体120、阀座550、供液管路和液位传感器440。

气液分离罐300：由强度高、耐化学腐蚀的塑料制成，例如PVDF、PTFE。在气液分离罐300的中下间任意位置设计一块网板以作为均流板(由于需要承受内部压力，故均流板和气液分离罐300是一体设置的，材质也相同)，带有气泡的药液经过均流板时气泡会被打散往上浮，而液体往下沉，从而达到气液分离目的；在罐体的上方开三个螺纹孔，其中一个螺纹孔用于与泵出口相连，另一个螺纹孔外接排气管路和气动阀430用于排气，将酸气引致设备排风口；罐体底部开两个螺纹孔，一个作为出口与工艺槽400相连，出口与工艺槽之间的供液管路设有第一阀体420与流量计410，另一个用一根管路与顶部剩余的螺纹孔相连构成连通器，用来测液位。本实用新型中提到的管路均可采用耐高温的塑料制成，例如PFA。

缓冲减震装置210：由于泵体200在工作时震动较大，为解决这一问题，在泵体200的底座下安装缓冲减震装置210，具体实施方案为在底座底部垫一块塑料块作为减震材料，更具体地，此处选用减震性好且化学稳定性好的聚氨酯塑料块。

盖体120：盖体120为药液桶100的密封件，但由于泵体200将药液抽走后会导致药液桶100内真空，长时间后泵体200再也无法抽取药液；由此在盖体120上除了药液管孔之外，还需要开孔平衡内外气压，由此在瓶盖上开有一个药液管孔以及一个通气孔。盖体120由耐酸碱性好的塑料制成，例如PTFE。

阀座550：用于安装两个气动阀430。阀座550由耐腐蚀的塑料或金属制成，例如PP，在耐化学腐蚀的同时成本较低。

液位传感器440：本实用新型包含5个液位传感器440用于检测管内有无液体的检测，其中两个位于气动阀430与泵体200之间的两条支路上，每条支路各一个，其作用在于，当其中一个药液桶100的药液抽完后可以立即更换为另一个药液桶100的药液，实现自动切换；其余三个分别位于气液分离罐300的液位管的上中下三个位置，分别检测气液分离罐300的超过液位、工作液位以及低液位三个液位。检测到超过液位时，系统报警；工作液位为正常情况；检测到低液位时，自动补液。

供液管路：供液管路包括从药液桶100汇集点到工艺槽400的管路，药液桶100选择支路包括从药液桶100到泵入口处的管路，排气管路包括从气液分离罐300到排风口的管路。

本具体实施例具有以下有益效果：

1、可自动过滤泵体200抽空产生的气泡，不需要人干预，从而提高配液精度，进而改善工艺槽400配液精度。

2、采用两个药液桶100，一用一备用，可实现不停泵更换药液桶100。

在根据本申请的实施例中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在根据本申请的实施例中的具体含义。

根据本申请的实施例的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述根据本申请的实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对根据本申请的实施例的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于根据本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为根据本申请的优选实施例而已，并不用于限制根据本申请的实施例，对于本领域的技术人员来说，根据本申请的实施例可以有各种更改和变化。凡在根据本申请的实施例的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在根据本申请的实施例的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种自动气液分离供酸系统，其特征在于，包括：

药液桶(100)，所述药液桶(100)用于盛放液体；

泵体(200)，所述泵体(200)的一端与所述药液桶(100)连通；

气液分离罐(300)，与所述泵体(200)的另一端连通，所述气液分离罐(300)中设有网板，所述网板上设有通孔；

其中，所述泵体(200)用于抽取液体到所述气液分离罐(300)中，所述网板用于打散所述液体中的气泡。

2.根据权利要求1所述的自动气液分离供酸系统，其特征在于，所述自动气液分离供酸系统还包括：

工艺槽(400)，与所述气液分离罐(300)连通，所述工艺槽(400)与所述气液分离罐(300)之间设有流量计(410)和第一阀体(420)。

3.根据权利要求2所述的自动气液分离供酸系统，其特征在于，

所述药液桶(100)的数量为多个。

4.根据权利要求3所述的自动气液分离供酸系统，其特征在于，

多个所述药液桶(100)和所述泵体(200)之间、所述泵体(200)和所述气液分离罐(300)之间、所述气液分离罐(300)和所述工艺槽(400)之间均设有供液管路；

每个所述药液桶(100)与所述泵体(200)之间的供液管路上设有气动阀(430)和液位传感器(440)。

5.根据权利要求4所述的自动气液分离供酸系统，其特征在于，

所述药液桶(100)包括筒体(110)和盖体(120)，所述盖体(120)与所述筒体(110)相连，所述盖体(120)上设有药液管孔和通气孔。

6.根据权利要求5所述的自动气液分离供酸系统，其特征在于，所述自动气液分离供酸系统还包括：

连通器，所述连通器与所述气液分离罐(300)的两端相连，用于测量液位；

所述连通器上设有第一液位传感器(510)、第二液位传感器(520)和第三液位传感器(530)，所述第一液位传感器(510)、所述第二液位传感器(520)和所述第三液位传感器(530)从所述气液分离罐(300)的顶部到底部依次设置，所述第一液位传感器(510)用于检测所述气液分离罐(300)的超过液位，所述第二液位传感器(520)用于检测所述气液分离罐(300)的工作液位，所述第三液位传感器(530)用于检测所述气液分离罐(300)的低液位。

7.根据权利要求6所述的自动气液分离供酸系统，其特征在于，所述自动气液分离供酸系统还包括：

排气管路，与所述气液分离罐(300)的一端相连，所述排气管路上设有第二阀体(540)。

8.根据权利要求7所述的自动气液分离供酸系统，其特征在于，所述自动气液分离供酸系统还包括：

阀座(550)，所述阀座(550)用于安装所述气动阀(430)。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的自动气液分离供酸系统，其特征在于，所述自动气液分离供酸系统还包括：

缓冲减震装置(210)，设于泵体(200)的底部，所述缓冲减震装置(210)用于泵体(200)的缓冲减震。

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