CN217017201U - 一种简易滴胶喷头更换装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种简易滴胶喷头更换装置，包括喷涂组件、支座、控温组件、传送组件和夹取组件。其中，喷涂组件用于对晶圆喷涂光刻胶；支座用于放置喷涂组件，且每一支座对应放置有用于喷涂同种光刻胶的喷涂组件；控温组件用于对喷涂组件内的光刻胶控温，控温组件与支座及喷涂组件连接；传送组件上放置有多个支座，并带动多个支座移动，从而带动多种喷涂组件移动，改变喷涂组件的位置；夹取组件从传送组件上夹取任一支座，从而夹取对应喷涂组件，实现喷头的更换。整个过程实现了喷头的更换，加快了工艺的制程速度，且该喷头更换装置结构简单，制作方便。

Description

一种简易滴胶喷头更换装置

技术领域

本实用新型涉及涂胶设备领域，尤指一种简易滴胶喷头更换装置。

背景技术

目前，涂胶设备是集成电路生产过程中的刚需设备。晶圆在曝光前需在表面涂上一层光刻胶，其中，不同工艺对光刻胶的厚度、粘稠度有着不同需求，所以需要不同的光刻胶来进行涂布。因此，需要在涂胶设备上增加多管不同光刻胶，对此，对应的涂胶喷头也要增加。但现有技术中，喷头更换装置结构复杂，且不能自动选择需要更换的喷头，影响工艺的制程速度。因此，急需一种简易滴胶喷头更换装置，根据涂胶工艺需求不同，加上多个涂胶喷头，然后根据工艺程序选择不同的涂胶喷头，加快工艺的制程速度。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种结构简单，且能在涂胶过程中，根据涂胶工艺的需求准确、快速地选择对应喷头的喷头更换装置，加快工艺的制程速度。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种简易滴胶喷头更换装置，包括：

喷涂组件，所述喷涂组件用于对晶圆喷涂光刻胶；

支座，所述支座用于放置所述喷涂组件，每一支座对应放置有用于喷涂同种光刻胶的喷涂组件；

控温组件，所述控温组件用于对所述喷涂组件内的光刻胶控温，所述控温组件与所述支座及所述喷涂组件连接；

传送组件，所述传送组件上放置有所述支座，所述传送组件带动多个所述支座移动，从而带动多个所述喷涂组件移动，改变所述喷涂组件的位置；

夹取组件，所述夹取组件从所述传送组件上夹取任一所述支座，从而夹取对应喷涂组件，实现喷涂组件的更换。

在一些实施方式中，所述喷涂组件包括一光阻管和喷头，所述光阻管一端与所述喷头固定连接，所述光阻管用于放置并输送所述光刻胶，所述喷头将所述光阻管内光刻胶喷射至所述晶圆上。

在一些实施方式中，所述控温组件包括第一软管、第二软管、水泵和循环水，所述第一软管套设在所述光阻管上，所述第一软管和所述第二软管内存储有循环水，且均与所述水泵连通，所述第一软管和所述第二软管远离所述水泵的一端封闭，所述水泵实现所述第一软管和所述第二软管内所述循环水的交换流通。

在一些实施方式中，所述支座与所述传送组件接触的一侧为安装面；

所述支座开设有多组放置孔，每组放置孔包括第一放置孔和第二放置孔，所述第一放置孔用于放置所述喷涂组件及套设在所述喷涂组件上的第一软管；

所述第二放置孔用于放置所述第二软管；

所述第一放置孔和所述第二放置孔内分别各设有一夹具，用于固定所述软管。

在一些实施方式中，所述喷涂组件、所述第一软管和所述第二软管从所述支座背离所述安装面的一侧插入，且所述喷头从所述安装面一侧部分伸出所述支座，所述喷头通过紧固件与所述支座固定连接。

在一些实施方式中，所述支座开设有一定位孔，所述定位孔上固定安装有一把手，供所述夹取组件夹取；

或所述支座与所述安装面相背离的一侧上延伸有一把手，供所述夹取组件夹取。

在一些实施方式中，所述夹具包括一固定部、第一夹紧部和第二夹紧部，所述固定部为螺旋环绕结构，两端连接所述第一夹紧部，中间和所述第二夹紧部卡接，所述固定部套设在所述第一软管和所述第二软管远离所述水泵的一端；

所述第一夹紧部与所述第二夹紧部通过紧固件固定，与所述固定部共同实现对所述第一软管和所述第二软管的固定。

在一些实施方式中，所述支座上设有一组放置孔；

所述支座背离所述安装面的一侧为台阶结构；所述定位孔背离所述安装面的一侧低于所述放置孔背离所述安装面的一侧，形成所述台阶结构。

在一些实施方式中，所述支座侧边上固定有一个感应器，所述感应器用于感应所述支座是否已正确放置在所述传送组件上。

在一些实施方式中，所述夹取组件包括驱动件、传送件和机械臂；

所述驱动件驱动所述传送件运动，从而带动所述机械臂运动，使所述机械臂在固定的路程内进行往返运动，抓取所述支座。机械臂端头得夹子夹取不同滴胶喷头，机械臂端头的夹子由气缸上的两根气管进行控制；

所述传送组件根据预先设定的程序移动；

根据选择的所述喷涂组件不同，所述传送组件的移动距离不同，从而改变所述喷涂组件的位置，使所述机械臂夹取的所述喷涂组件不同。

与现有技术相比，本实用新型所提供的一种简易滴胶喷头更换装置具有以下有益效果：

本实用新型所提供的一种简易滴胶喷头更换装置，其设置了用于放置喷涂组件的支座，且每一支座对应放置有用于喷涂同种光刻胶的喷涂组件，然后将多个支座放置在传送组件上，使传送组件带动多个支座移动，从而带动多种喷涂组件移动，改变喷涂组件的位置。此时，夹取组件从传送组件上夹取任一支座，从而夹取对应喷涂组件，实现喷头的更换。整个过程实现了喷头的更换，加快了工艺的制程速度，且该喷头更换装置结构简单，制作方便。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明：

图1是本实用新型产品部分结构的立体结构分解图；

图2是本实用新型产品支座的立体结构示意图；

图3是本实用新型第一软管、第二软管及光阻管的立体结构示意图。

附图标号说明：

100、光阻管；

200、支座；201、第一放置孔；202、第二放置孔；203、定位孔；204、把手；205、感应器；

300、夹具；301、固定部；302、第一夹紧部；303、第二夹紧部；

400、第一软管；

500、第二软管。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。

为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与实用新型相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。

还应当进一步理解，在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和 /或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。

在本文中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

作为一个具体实施例，参见图1，一种简易滴胶喷头更换装置，包括喷涂组件、支座200、控温组件、传送组件和夹取组件。本具体实施例中，通过喷涂组件对晶圆进行光刻胶喷涂，而支座200用于放置喷涂组件，值得注意的是，每一个支座200上放置的喷涂组件属于同种喷涂组件，且喷涂组件数量不限，具体数量可根据实际喷涂时需要的数量为准。

为保证喷涂效果，本实施例还设置了控温组件，用于对喷涂组件内的光刻胶控温，因为温度会影响涂胶时的厚度和均匀性，此时，控温组件与支座200 及喷涂组件连接。传送组件用于传送喷涂组件，一个传送组件上放置有多个支座200，传送组件通过带动多个支座200移动，从而带动多种喷涂组件移动，进而改变喷涂组件的位置，这时，夹取组件从传送组件上夹取任一支座200，从而夹取对应喷涂组件，实现喷涂组件的更换。

在一个实施例中，喷涂组件包括一光阻管100和喷头，光阻管100用于放置并输送光刻胶，光阻管100一端与喷头固定连接，通过喷头即可将光阻管100内的光刻胶喷射至晶圆上，实现对晶圆的喷涂。

在一个实施例中，参见图1及图2，通过水循环实现对喷涂组件的控温，此时控温组件包括第一软管400、第二软管500、水泵和循环水，其中，第一软管400套设在光阻管100上，第一软管400和第二软管500内均存储有循环水，与水泵连通，且第一软管400和第二软管500远离水泵的一端封闭。

在本实施例中，水泵能实现第一软管400和第二软管500内循环水的交换流通，使得套设在光阻管100上的第一软管400内循环水能通过水循环进行热量交换，实现温度平衡。此时，光阻管100通过与第一软管400内循环水的热量传递，实现对光刻胶的温度控制。

参见图3，本实施例直接将第一软管400套设在光阻管100上，再通过另一第二软管500实现控温的设置实施起来非常简单，便于生产，降低成本。

在一个实施例中，参见图1及图2，支座200开设有多组放置孔，每组放置孔包括第一放置孔201和第二放置孔202，第一放置孔201用于放置喷涂组件及套设在喷涂组件上的第一软管400，第二放置孔202用于放置第二软管 500。本实施例中，第一放置孔201和第二放置孔202数量对应喷涂组件的数量设置，通过在支座200上开设放置孔实现对喷涂组件、第一软管400和第二软管500的固定，结构简单，布局合理。

为进一步保证整个喷头更换装置的稳定性，参见图1，在第一放置孔201 和第二放置孔202内分别各设置了一夹具300，用于固定第一软管400和第二软管500，保证第一软管400和第二软管500不会脱落，同时也是为了让第一软管400和第二软管500内的循环水不外漏。

在本实施例中，支座200与传送组件接触的一侧为安装面，喷涂组件、第一软管400和第二软管500均从支座200背离安装面的一侧插入。值得注意的是，喷头从安装面一侧部分伸出支座200，这样设置便于喷头对晶圆喷涂光刻胶。为保证喷涂时喷头的稳定性，从而不影响喷涂的效果，喷头通过紧固件，与支座200固定连接，如螺钉、销钉等。本实施例仅提供一种可实施方案，可有多种固定方法，在此不多作赘述。

参见图1，作为对本实施例的优化，夹具300包括一固定部301、第一夹紧部302和第二夹紧部303，固定部301为螺旋环绕结构，两端连接第一夹紧部302，中间和第二夹紧部303卡接，固定部301套设在第一软管400和第二软管500远离水泵的一端。第一夹紧部302与第二夹紧部303通过紧固件固定，与固定部301共同实现对第一软管400或第二软管500的固定。

本实施例中，将固定部301设为螺旋环绕结构更有助于对第一软管400 或第二软管500的固定，结合第一夹紧部302和第二夹紧部303，能有效避免固定的第一软管400或第二软管500的脱落。

在一个实施例中，参见图1及图2，支座200开设有一定位孔203，定位孔203上固定安装有一把手204，供夹取组件夹取，设置把手204便于夹取组件的夹取，防止支座200在夹取过程中脱落，且设置一专门用于夹取的部位能有效避免在夹取过程中和其他部位产生干涉，减少对其余部位的损坏。还有另一种设置把手204的方法，即支座200与安装面相背离的一侧上延伸有一把手204，但与通过紧固件固定安装把手204相比，直接延伸的把手204因夹取损坏后只能更换整个支座，而通过紧固件固定的把手204在损坏后只需要更换把手204，降低成本。

在一个实施例中，参见图2，支座200上仅设置一组放置孔，且定位孔203 背离安装面的一侧低于放置孔背离安装面的一侧，从而使支座200背离安装面的一侧形成台阶结构。该设置与上个实施例中设置一把手204相结合，在节省材料、降低成本的同时还能进一步避免夹取组件在夹取支座200的过程中和其他部位产生干涉，形成双重保险。

在一个实施例中，参见图1，支座200侧边上固定有一个感应器205，感应器205用于感应支座200是否已正确放置在传送组件上。因为传送组件用于将支座200传送至某一位置后，供夹取组件夹取，为保证能准确、稳定地夹取支座200，在放置支座200时确认支座200是否放置好是十分有必要的。为此，在支座200侧边上固定有一个用于感应支座200是否已正确放置在传送组件上的感应器205，保证整个喷头更换装置的使用性能。

在本实施例中，感应器205设置的位置及数量不作硬性要求，能达到确认支座200是否正确放置在传送组件上即可。

在一个实施例中，夹取组件包括驱动件、传送件和机械臂，驱动件驱动传送件运动，从而带动机械臂运动，使机械臂在固定的路程内进行往返运动，机械臂端头设有用于夹取不同支座200的夹子，夹子由气缸上的两根气管进行控制。

此外，传送组件根据预先设定的程序移动，即根据选择的喷涂组件不同，传送组件的移动距离不同，从而改变喷涂组件的位置，使机械臂夹取的喷涂组件不同。

在一个实施例中，传送组件具体可包括传送车、传送轨道、传送齿轮、驱动件和控制件。其中，传送车固定在传送轨道上，和传送轨道保持相对静止，用于放置支座。传送轨道套设在传送齿轮上，控制件预设有一程序，通过有线或无线电连接至驱动件，根据预设程序控制驱动件的启动和停止。驱动件和传送齿轮驱动连接，当驱动件启动时，驱动件带动传送齿轮转动，从而带动传送轨道运动，进而带动传送车移动，改变支座的位置。

在实际生产中，传送组件可有多种设置方式，并不局限于此，能根据设定好的程序移动不同的距离，从而改变喷涂组件的位置，使机械臂夹取的喷涂组件不同即可。

此时，在本实用新型中，机械臂移动的位置不变，仅改变传送组件的移动位置，从而改变机械臂夹取的喷头，实现整个喷头的更换，结构简单。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，包括：

喷涂组件，所述喷涂组件用于对晶圆喷涂光刻胶；

支座，所述支座用于放置所述喷涂组件，每一支座对应放置有用于喷涂同种光刻胶的喷涂组件；

控温组件，所述控温组件用于对所述喷涂组件内的光刻胶控温，所述控温组件与所述支座及所述喷涂组件连接；

传送组件，所述传送组件上放置有多个所述支座，所述传送组件带动多个所述支座移动，从而带动多种所述喷涂组件移动，改变所述喷涂组件的位置；

夹取组件，所述夹取组件从所述传送组件上夹取任一所述支座，从而夹取对应喷涂组件，实现喷涂组件的更换。

2.根据权利要求1所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，

所述喷涂组件包括一光阻管和喷头，所述光阻管一端与所述喷头固定连接，所述光阻管用于放置并输送所述光刻胶，所述喷头将所述光阻管内光刻胶喷射至所述晶圆上。

3.根据权利要求2所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，

所述控温组件包括第一软管、第二软管、水泵和循环水，所述第一软管套设在所述光阻管上，所述第一软管和所述第二软管内存储有循环水，且均与所述水泵连通，所述第一软管和所述第二软管远离所述水泵的一端封闭，所述水泵实现所述第一软管和所述第二软管内所述循环水的交换流通。

4.根据权利要求3所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，

所述支座开设有多组放置孔，每组放置孔包括第一放置孔和第二放置孔，所述第一放置孔用于放置所述喷涂组件及套设在所述喷涂组件上的第一软管；

所述第二放置孔用于放置所述第二软管；

所述第一放置孔和所述第二放置孔内分别各设有一夹具，用于固定所述第一软管和第二软管。

5.根据权利要求4所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，

所述支座与所述传送组件接触的一侧为安装面；

所述喷涂组件、所述第一软管和所述第二软管从所述支座背离所述安装面的一侧插入，且所述喷头从所述安装面一侧部分伸出所述支座，所述喷头通过紧固件与所述支座固定连接。

6.根据权利要求4所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，

所述夹具包括一固定部、第一夹紧部和第二夹紧部，所述固定部为螺旋环绕结构，两端连接所述第一夹紧部，中间和所述第二夹紧部卡接，所述固定部套设在所述第一软管和所述第二软管远离所述水泵的一端；

所述第一夹紧部与所述第二夹紧部通过紧固件固定，与所述固定部共同实现对所述第一软管或所述第二软管的固定。

7.根据权利要求5所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，

所述支座开设有一定位孔，所述定位孔上固定安装有一把手，供所述夹取组件夹取；

或所述支座与所述安装面相背离的一侧上延伸有一把手，供所述夹取组件夹取。

8.根据权利要求7所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，

所述支座上设有一组放置孔；

所述支座背离所述安装面的一侧为台阶结构；所述定位孔背离所述安装面的一侧低于所述放置孔背离所述安装面的一侧，形成所述台阶结构。

9.根据权利要求1所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，

所述支座侧边上固定有一个感应器，所述感应器用于感应所述支座是否已正确放置在所述传送组件上。

10.根据权利要求1所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，

所述夹取组件包括驱动件、传送件和机械臂；

所述驱动件驱动所述传送件运动，从而带动所述机械臂运动，使所述机械臂在固定的路程内进行往返运动，抓取所述支座；

所述机械臂的端头固定有一夹子，用于夹取不同的喷涂组件，夹子由另设的气缸上的两根气管进行控制；

所述传送组件根据预先设定的程序移动；

根据选择的所述喷涂组件不同，所述传送组件的移动距离不同，从而改变所述喷涂组件的位置，使所述机械臂夹取的所述喷涂组件不同。

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