CN217011223U - 一种蒸镀用陶瓷加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状；第一加热区和第二加热区，分别具有加热电路，所述第一加热区和所述第二加热区沿所述加热器基体的轴向依次设置在所述加热器基体的侧面；其中，所述第一加热区的加热电路宽度大于所述第二加热区的加热电路宽度，所述第一加热区和所述第二加热相邻的两个所述加热区间隔为10‑30mm。蒸镀用陶瓷加热器分为第一加热区和第二加热区，第一加热区的加热电路的宽度大于第二加热区的加热宽度，使第一加热区的温度高于第二加热区的温度，以实现需要的温度差值，保证材料不在蒸镀用陶瓷加热器的第一加热区凝固结晶。

Description

一种蒸镀用陶瓷加热器

技术领域

本实用新型涉及蒸镀用陶瓷加热器技术领域，特别涉及一种蒸镀用陶瓷加热器。

背景技术

目前不同行业对于加热器有特殊的要求，比如在制作太阳能薄膜电池和OLED柔性面板这种真空蒸镀工艺中，因为是在高真空环境下生产制作，所以对于加热器的要求更是极为严苛，对于具有多个加热区蒸镀加热装置，需要控制不同加热区的凝固结晶，因此，需要研发一种能够实现控制不同加热区的凝固结晶的蒸镀用陶瓷加热器。

实用新型内容

(一)实用新型目的

本实用新型的目的是提供一种能够实现控制不同加热区的凝固结晶的蒸镀用陶瓷加热器。

(二)技术方案

为解决上述问题，本实用新型实施例提供了一种蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状；第一加热区和第二加热区，分别具有加热电路，所述第一加热区和所述第二加热区沿所述加热器基体的轴向依次设置在所述加热器基体的侧面；其中，所述第一加热区的加热电路宽度大于所述第二加热区的加热电路宽度，所述第一加热区和所述第二加热相邻的两个所述加热区间隔为10-30mm。

进一步地，还包括：电极，位于所述加热器基体的底面；其中，所述电极两两相对设置，两个相对设置的所述电极与所述加热器基体底面的圆心连线夹角为150°-180°。

进一步地，所述电极包括：导电层露出部；安装孔，位于所述导电层露出部；其中，所述导电层露出部的面积大于等于所述安装孔面积。

进一步地，多个所述电极不重合设置。

进一步地，所述加热器基体的侧面与所述加热器基体的底面通过弧面连接。

进一步地，所述加热电路串联或并联；其中，所述加热电路串联时，电极与加热电路连接处的宽度≥所述加热电路的宽度；N条所述加热电路并联时，电极与所述加热电路连接处的宽度≥N倍的所述加热电路的宽度；其中，N≥2。

进一步地，所述第一加热区相邻所述加热电路的间隔为0.3-3mm。

进一步地，所述第二加热区相邻所述加热电路的间隔为0.3-3mm。

进一步地，所述加热器基体的底面具有通孔；所述通孔的轴向与所述加热器基体的轴向重合；其中，所述通孔的直径为所述加热器基体内径的10-75％。

进一步地，所述加热器基体的高度为10-800mm；所述加热器基体的内径为10-300mm。

(三)有益效果

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

蒸镀用陶瓷加热器分为第一加热区和第二加热区，第一加热区的加热电路的宽度大于第二加热区的加热宽度，使第一加热区的温度高于第二加热区的温度，以实现需要的温度差值，保证材料不在蒸镀用陶瓷加热器的第一加热区凝固结晶。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的一种蒸镀用陶瓷加热器的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的一种蒸镀用陶瓷加热器的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例的一种蒸镀用陶瓷加热器的结构示意图；

图4是本实用新型一实施例的一种蒸镀用陶瓷加热器的结构示意图；

图5是本实用新型一实施例的蒸镀用陶瓷加热器地面的结构示意图；

图6是本实用新型一实施例的蒸镀用陶瓷加热器的俯视图。

附图标记：

10：加热器基体；11：第一加热区；12：第二加热区；13:电极；14：导电层露出部；15：安装孔；16：加热电路连接处；17：通孔。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

在附图中示出了根据本实用新型实施例的示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚的目的，可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域。

显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。以下将参照附图更详细地描述本实用新型。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。

为理解方便，现对本申请实施例中出现的部分名称解释如下：

R角：一种圆弧状交界。

本实用新型实施例中，如图1-6所示，提供了一种蒸镀用陶瓷加热器(以下简称加热器)，主要包括加热器基体10，该加热器基体10为圆筒状，且具有侧面和一个底面；第一加热区11和第二加热区12，分别具有加热电路，第一加热区11和第二加热区12沿加热器基体10的轴向依次设置在加热器基体10的侧面；其中，第一加热区11的加热电路宽度大于第二加热区12的加热电路宽度，第一加热区11和第二加热相邻的两个加热区间隔为10-30mm。

具体的，蒸镀用陶瓷加热器为筒状加热器，竖直设置，热电路实质为加热电阻。第一加热区11高于第二加热区12设置，第一加热区11的加热电路和第二加热区12的加热电路均为相同的材质，且具有相同的厚度，第一加热区11的加热电路宽度大于第二加热区12的加热电路宽度，第一加热区11加热电路的最下的边缘与第二加热区12加热电路最上的边缘间隔为10-30mm，以使第一加热区11的温度高于和第二加热区12的温度100-200℃，实现需要的温度差值，保证在蒸镀过程中，材料不在加热器上部(第一加热区11附近)凝固结晶。大于10mm目的是减少不同加热区之间的热传导影响，低于30mm是防止相邻加热区之间出现温度死区，从而降低加热器的加热效果。第一加热区11加热电路的最下的边缘与第二加热区12加热电路最上的边缘间隔优选间隔20mm。

一些实施例中，加热器还包括电极13，该电极13位于加热器基体10的底面；其中，电极13两两相对设置，两个相对设置的电极13与加热器基体10底面的圆心连线夹角为150°-180°。

具体的，加热器基体10的侧壁包括有热解氮化硼(PBN)衬底，其两侧依次设置有导电层和外部PBN绝缘层，其中，导电层的材料为热解石墨(PG)或者掺硼的热解石墨，导电层的厚度为10-50μm，优选20-40μm；外部PBN绝缘层的厚度为50-200μm，优选80-150μm；PBN衬底厚度为0.8-3.0mm，优选0.8-1.5mm。

每个加热区对应一组电极13组，每组电极13组包括两个电极13，两个电极13不区分正负极，电极13位于加热器基体10的底面，其中，电极13两两相对设置，两个相对设置的电极13与加热器基体10底面的圆心连线夹角为150°-180°，优选180°，目的尽量保证与两个电极13连接的电源线对加热器施加的拉力尽量保持在同一直线上，以实现力的平衡。

当设置多个加热区时，加热器基体10的底面存在多组电极13，与加热器基体10底面的圆心连线夹角为150°-180°的两个电极13可以为同组的电极13(与同一个加热区对应的电极13)，也可以为不同组的电极13(与不同加热区对应的电极13)；电极13两两相对设置，优选两个电极13至加热器基体10底面圆心的距离相等，即以加热器基体10底面的中点为圆心，电极13沿周向设置。

一些实施例中，电极13包括导电层露出部14；导电层露出部14具有安装孔15，其中，导电层露出部14的面积大于等于安装孔15面积。

具体的，导电层露出部14为导电层的一部分，导电层露出部14的形状不做限制，导电层露出部14优先选择为环形，其圆心出开设有安装孔15，用于与电源线的连接部装配，导电层露出部14为单面露出，即加热器基体10底面的导电层朝向加热器外侧的一面露出；其中，安装孔15为通孔。

一些实施例中，安装孔15的直径为1-20mm；导电层露出部14的面积大于等于安装孔15面积。其中，安装孔15的直径可以为1mm、2mm、4mm、6mm、8mm、10mm、12mm、14mm、16mm、18mm或20mm。

一些实施例中，多个电极13不重合设置。

一些实施例中，加热器基体10的侧面与加热器基体10的底面通过弧面连接。

具体的，加热器基体10的侧面与加热器基体10的底面的连接处为R角结构，这样设置，可以实现加热器的应力平衡，用于防止加热器基体10的侧面与加热器基体10的底面的连接处开裂。

一些实施例中，加热电路宽度为1-40mm。

具体的，加热电路宽度为1-10mm时，相邻的加热电路宽度波动小于加热电路宽度的宽度值的5％；加热电路宽度为10-20mm时，相邻的加热电路宽度波动小于加热电路宽度的宽度值的3％；加热电路宽度为30-40mm时，相邻的加热电路宽度波动小于加热电路宽度的宽度值的1％。这样可以有效的保证加热器相邻加热电路的温度一致性，防止加热器出现局部温度过高的问题。

一些实施例中，加热电路串联或并联设置；其中，加热电路串联时，电极13与加热电路连接处16的宽度≥加热电路的宽度；N条加热电路并联时，电极13与加热电路连接处16的宽度≥N倍的加热电路的宽度。例如，加热电路宽度为10mm，加热电路串联时，电极13与加热电路连接处16的宽度至少为10mm；两条加热电路并联时，电极13与加热电路连接处16的宽度至少为20mm。

一些实施例中，相邻加热电路的间隔为0.3-3mm，加热器使用电压的范围为0-90V，用于防止相邻加热电路被击穿。

相邻加热电路间隔距离与加热器的使用电压对应。具体的，如果加热器使用电压为0-30V，则相邻加热电路间隔距离可以为0.3-0.6mm；如果加热器使用电压为30-60V，则相邻加热电路间隔距离可以为0.7-1.0mm；如果加热器使用电压为60-90V，则相邻加热电路间隔距离可以为1.1-1.5mm；如果加热器使用电压为90V以上，则相邻加热电路间隔距离可以为1.6-3mm。如果相邻加热电路的间隔超过3mm，加热器的单个加热区会出现温度不均的问题。

一些实施例中，加热器基体10的底面具有通孔17；通孔17的轴向与加热器基体10的轴向重合；其中，通孔17的直径为加热器基体10内径的10-75％。例如，通孔17的直径可以为加热器基体10内径的10％、20％、30％、40％、50％、60％、70或75％。一方面，通孔17可以减少因热传导导致的热损失，另一方面，通孔17可以用于安装固定加热器。一些实施例中，加热器基体10高度为10-800mm；加热器基体10内径为10-300mm。例如，加热器基体10高度可以为10mm、100mm、200mm、300mm、400mm、500mm、600mm、700mm或800mm；加热器基体10内径为10mm、50mm、100mm、150mm、200mm、250mm或300mm。

一些实施例中，加热器还包括连接区，用于连接电极13与每个加热区。

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

蒸镀用陶瓷加热器分为第一加热区11和第二加热区12，第一加热区11的加热电路的宽度大于第二加热区12的加热宽度，使第一加热区11的温度高于第二加热区12的温度，以实现需要的温度差值，保证材料不在蒸镀用陶瓷加热器的第一加热区11凝固结晶。以上参照本实用新型的实施例对本实用新型予以了说明。但是，这些实施例仅仅是为了说明的目的，而并非为了限制本实用新型的范围。本实用新型的范围由所附权利要求及其等价物限定。不脱离本实用新型的范围，本领域技术人员可以做出多种替换和修改，这些替换和修改都应落在本实用新型的范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，包括：

加热器基体(10)，为圆筒状；

第一加热区(11)和第二加热区(12)，分别具有加热电路，所述第一加热区(11)和所述第二加热区(12)沿所述加热器基体(10)的轴向依次设置在所述加热器基体(10)的侧面；其中，

所述第一加热区(11)的加热电路宽度大于所述第二加热区(12)的加热电路宽度，所述第一加热区(11)和所述第二加热相邻的两个所述加热区间隔为10-30mm。

2.根据权利要求1所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，还包括：

电极(13)，位于所述加热器基体(10)的底面；其中，

所述电极(13)两两相对设置，两个相对设置的所述电极(13)与所述加热器基体(10)底面的圆心连线夹角为150°-180°。

3.根据权利要求2所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，所述电极(13)包括：

导电层露出部(14)；

安装孔(15)，位于所述导电层露出部(14)；其中，

所述导电层露出部(14)的面积大于等于所述安装孔(15)面积。

4.根据权利要求2或3所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，

多个所述电极(13)不重合设置。

5.根据权利要求2所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，

所述加热器基体(10)的侧面与所述加热器基体(10)的底面通过弧面连接。

6.根据权利要求2所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，

所述加热电路串联或并联；其中，

所述加热电路串联时，电极(13)与加热电路连接处(16)的宽度≥所述加热电路的宽度；

N条所述加热电路并联时，电极(13)与所述加热电路连接处(16)的宽度≥N倍的所述加热电路的宽度；其中，N≥2。

7.根据权利要求6所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，

所述第一加热区(11)相邻所述加热电路的间隔为0.3-3mm。

8.根据权利要求6所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，

所述第二加热区(12)相邻所述加热电路的间隔为0.3-3mm。

9.根据权利要求2或5所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，

所述加热器基体(10)的底面具有通孔(17)；

所述通孔(17)的轴向与所述加热器基体(10)的轴向重合；其中，

所述通孔(17)的直径为所述加热器基体(10)内径的10-75％。

10.根据权利要求1所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，

所述加热器基体(10)的高度为10-800mm；

所述加热器基体(10)的内径为10-300mm。

Images