CN211429547U - 一种镂空式陶瓷复合加热器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种镂空式陶瓷复合加热器，属于加热器制备技术领域，加热器包括PBN基体，PBN基体设有镂空段，镂空段上侧的PBN基体外壁和镂空段下侧的PBN基体外壁上分别设有PG涂层电路，两部分的PG涂层电路为相互独立的电路，PG涂层电路上涂覆一层PBN涂层。本实用新型采用镂空设计，使加热器不同的加热部分互相影响的作用降低，解决了普通加热器无法产生温度差的问题，满足了物料上下层蒸发需要不同温度的需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种镂空式陶瓷复合加热器，属于加热器制备技术领域。
背景技术
目前现有的热解氮化硼-热解石墨(PBN-PG)立体复合加热器采用多个加热区域分别加热的方式进行加热，每个加热区域的PG电路是不连通的，但每个区域之间的PBN基体是连续的，现有加热器由于每个加热区域之间的PBN基体是连续的，整体的加热均匀性好，但是有些物料上下层蒸发所需温度不同，需要加热器产生温度梯度，这时每个加热区域会互相影响，导致加热器不同加热区域的温度梯度过小，无法满足物料对温度梯度的需求。
中国专利文件CN110592557A一种内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器，属于加热器技术领域，装置包含PBN基体、PG涂层电路以及PBN涂层保护层；PBN基体内部中空，PBN基体内壁上设有PG涂层电路，PG涂层电路与PBN基体的内表面贴合，PBN涂层保护层附于PG涂层电路上，通过化学气相沉积制备PBN基体，通过雕刻沉积PG涂层制备电路，最终得到内表面加热的加热器。该加热器提高了加热器加热的均匀性，但并不能解决需要加热器加热产生温度差的问题。
有鉴于此，解决加热器无法产生温度差的问题，更好的满足市场的需求，是十分重要的。
发明内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供一种镂空式陶瓷复合加热器，该加热器解决了普通加热器无法产生温度差的问题，满足了物料上下层蒸发需要不同温度的需求。
本实用新型的技术方案如下：
一种镂空式陶瓷复合加热器，包括PBN基体，PBN基体设有镂空段，镂空段上侧的PBN基体外壁和镂空段下侧的PBN基体外壁上分别设有PG涂层电路，两部分的PG涂层电路为相互独立的电路，PG涂层电路上涂覆一层PBN涂层。
优选的，PBN基体为内部中空的圆柱体。
优选的，镂空段上侧的PG涂层电路为条形折线，折线穿过镂空段所在高度的PBN基体后垂直连接至PBN基体下端的电极A，镂空段下侧的PG涂层电路为条形折线，折线连接至PBN基体下端的电极B。
优选的，PBN基体上端设有凸沿，方便放置的同时有效防止加热器内部物料加热蒸发后进入到加热器的侧面区域，影响加热效果。
优选的，镂空段至少设有1个，根据不同物料的情况，确定具体的镂空段数量。
进一步优选的，镂空段为圆弧段。
优选的，PG涂层电路厚度为5微米-200微米。
优选的，PBN涂层厚度为30微米-400微米。
本实用新型的有益效果在于：
1、本实用新型采用镂空设计，使加热器不同的加热部分互相影响的作用降低，解决了普通加热器无法产生温度差的问题，满足了物料上下层蒸发需要不同温度的需求。
2、本实用新型设有凸沿，方便放置的同时有效防止加热器内部物料加热蒸发后进入到加热器的侧面区域，影响加热效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
其中：1、PBN基体；2、镂空段；3、电极A；4、电极B；5、凸沿。
具体实施方式
下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。
实施例1：
如图1所示，本实施例提供一种镂空式陶瓷复合加热器，包括PBN基体1，PBN基体1设有1个镂空段2，镂空段2上侧的PBN基体外壁和镂空段下侧的PBN基体外壁上分别设有PG涂层电路，两部分的PG涂层电路为相互独立的电路，PG涂层电路上涂覆一层PBN涂层，PBN基体为内部中空的圆柱体，PG涂层电路厚度为5微米，PBN涂层厚度为30微米。
加热器使用时，坩埚放入加热器内，坩埚内物料高度高于镂空段2，PBN基体设置上下两个不同的加热温度，对物料上下层分别进行加热，达到不同温度同时对物料加热的效果。
实施例2：
一种镂空式陶瓷复合加热器，结构如实施例1所述，不同之处在于，镂空段2为圆弧段，圆弧段的弧长小于PBN基体的圆周长，与镂空段同高度的PBN基体仍有上下相连的壁，如图1所示。镂空段2上侧的PG涂层电路为条形折线，折线穿过镂空段2所在高度的PBN基体后垂直连接至PBN基体下端的电极A3，如图1所示，镂空段2下侧的PG涂层电路为条形折线，折线连接至PBN基体下端的电极B4，电极A3和电极B4均为2个，图1未显示全。
实施例3：
一种镂空式陶瓷复合加热器，结构如实施例1所述，不同之处在于，PBN基体1上端设有凸沿5，方便放置的同时有效防止加热器内部物料加热蒸发后进入到加热器的侧面区域，影响加热效果。
实施例4：
一种镂空式陶瓷复合加热器，结构如实施例1所述，不同之处在于，PG涂层电路厚度为200微米，PBN涂层厚度为400微米。
Claims (8)
1.一种镂空式陶瓷复合加热器，其特征在于，包括PBN基体，PBN基体设有镂空段，镂空段上侧的PBN基体外壁和镂空段下侧的PBN基体外壁上分别设有PG涂层电路，两部分的PG涂层电路为相互独立的电路，PG涂层电路上涂覆一层PBN涂层。
2.如权利要求1所述的镂空式陶瓷复合加热器，其特征在于，PBN基体为内部中空的圆柱体。
3.如权利要求1所述的镂空式陶瓷复合加热器，其特征在于，镂空段上侧的PG涂层电路为条形折线，折线穿过镂空段所在高度的PBN基体后垂直连接至PBN基体下端的电极A，镂空段下侧的PG涂层电路为条形折线，折线连接至PBN基体下端的电极B。
4.如权利要求1所述的镂空式陶瓷复合加热器，其特征在于，PBN基体上端设有凸沿。
5.如权利要求1所述的镂空式陶瓷复合加热器，其特征在于，镂空段至少设有一个。
6.如权利要求1所述的镂空式陶瓷复合加热器，其特征在于，镂空段为圆弧段。
7.如权利要求1所述的镂空式陶瓷复合加热器，其特征在于，PG涂层电路厚度5微米-200微米。
8.如权利要求1所述的镂空式陶瓷复合加热器，其特征在于，PBN涂层厚度为30微米-400微米。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020418858.0U CN211429547U (zh) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | 一种镂空式陶瓷复合加热器 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202020418858.0U CN211429547U (zh) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | 一种镂空式陶瓷复合加热器 |
Publications (1)
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| CN211429547U true CN211429547U (zh) | 2020-09-04 |
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ID=72276234
Family Applications (1)
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| CN202020418858.0U Active CN211429547U (zh) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | 一种镂空式陶瓷复合加热器 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN211429547U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112822798A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-18 | 博宇（天津）半导体材料有限公司 | 一种立式陶瓷加热器 |
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2020
- 2020-03-27 CN CN202020418858.0U patent/CN211429547U/zh active Active
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