CN211771523U - 一种真空蒸镀机的点源加热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空蒸镀机的点源加热装置，包括坩埚盖，坩埚喷嘴，坩埚体和喷嘴，所述坩埚喷嘴的上端连接坩埚盖，所述坩埚喷嘴的下端连接坩埚体，所述坩埚体插入喷嘴内侧壁，所述坩埚盖内侧采用多层钽片叠加的结构，本实用新型的真空蒸镀机的点源加热装置通过改变喷嘴及中板的结构来改善点源加热性能，从而提升加热源内部蒸汽压的均一性，提高了产品生产良率，为企业节省了成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及光电生产制造领域，特别涉及一种真空蒸镀机的点源加热装置。
背景技术
OLED真空蒸镀机是一条设备连线，长约一百米，是整个OLED生产过程的核心设备。蒸镀是OLED制造工艺的关键，通过真空蒸镀机能够将OLED有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到玻璃基板上。在生产过程中，由于加热器内部蒸汽压不稳定，造成OLED有机材料蒸镀到玻璃基板厚度不均匀，从而影响产品的品质。
发明内容
为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种真空蒸镀机的点源加热装置，通过改变喷嘴及中板的结构来改善点源加热性能，从而提升加热源内部蒸汽压的均一性。
本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空蒸镀机的点源加热装置，包括坩埚盖，坩埚喷嘴，坩埚体和喷嘴，所述坩埚喷嘴的上端连接坩埚盖，所述坩埚喷嘴的下端连接坩埚体，所述坩埚体插入喷嘴内侧壁，所述坩埚盖内侧采用多层钽片叠加的结构。
作为本实用新型的进一步改进，所述多层钽片叠加结构为双层钽片中板，还设有网孔板，所述网孔板通过焊接的方式与坩埚喷嘴连接，同时双层钽片中板焊接在网孔板上，在进行蒸镀时，有机材料通过双层钽片中板后再挥发到坩埚喷嘴口，或通过网孔板直接挥发到坩埚喷嘴口。
作为本实用新型的进一步改进，所述多层钽片叠加结构为四层钽片中板，还设有无孔板，无孔板通过焊接的方式与坩埚喷嘴连接，同时四层钽片中板焊接在无孔板上，在进行蒸镀时，有机材料从下往上依次穿过4个四层钽片中板再挥发到坩埚喷嘴口。
作为本实用新型的进一步改进，所述四层钽片中板从下到上中板共有4片，依次为第一片为0.5mm厚下层圆形网板，孔直径为1mm；第二片为0.3mm厚中层圆形网板，孔直径为0.5mm；第三片为0.3mm厚中层圆板，上面开有3个直径为4mm的孔；第四片为0.3mm厚上层圆板，中间为直径30mm的大孔。
本实用新型的有益效果是：本实用新型的真空蒸镀机的点源加热装置通过改变喷嘴及中板的结构来改善点源加热性能，从而提升加热源内部蒸汽压的均一性，提高了产品生产良率，为企业节省了成本。
附图说明
图1为本实用新型结构整体示意图；
图2为本实用新型结构实施例一示意图；
图3为本实用新型结构实施例二示意图；
图中标示：1-坩埚盖；2-坩埚喷嘴；3-坩埚体；4-喷嘴；5-双层钽片中板；6-网孔板；7-四层钽片中板；8-无孔板。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
图1出示了本实用新型一种真空蒸镀机的点源加热装置的一种实施方式，包括坩埚盖1，坩埚喷嘴2，坩埚体3和喷嘴4，所述坩埚喷嘴2的上端连接坩埚盖，所述坩埚喷嘴2的下端连接坩埚体3，所述坩埚体3插入喷嘴内侧壁，所述坩埚盖1内侧采用多层钽片叠加的结构。
如图2所示，所述多层钽片叠加结构为双层钽片中板5，还设有网孔板6，所述网孔板6通过焊接的方式与坩埚喷嘴2连接，同时双层钽片中板5焊接在网孔板6上，在进行蒸镀时，有机材料通过双层钽片中板5后再挥发到坩埚喷嘴2口，或通过网孔板6直接挥发到坩埚喷嘴2口。
如图3所示，所述多层钽片叠加结构为四层钽片中板7，还设有无孔板8，所述无孔板8通过焊接的方式与坩埚喷嘴2连接，同时四层钽片中板7焊接在无孔板8上，在进行蒸镀时，有机材料从下往上依次穿过4个四层钽片中板7再挥发到坩埚喷嘴2口。
所述四层钽片中板7从下到上中板共有4片，依次为第一片为0.5mm厚下层圆形网板，孔直径为1mm；第二片为0.3mm厚中层圆形网板，孔直径为0.5mm；第三片为0.3mm厚中层圆板，上面开有3个直径为4mm的孔；第四片为0.3mm厚上层圆板，中间为直径30mm的大孔。
Claims (3)
1.一种真空蒸镀机的点源加热装置，其特征在于：包括坩埚盖(1)，坩埚喷嘴(2)，坩埚体(3)和喷嘴(4)，所述坩埚喷嘴(2)的上端连接坩埚盖，所述坩埚喷嘴(2)的下端连接坩埚体(3)，所述坩埚体(3)插入喷嘴内侧壁，所述坩埚盖(1)内侧采用多层钽片叠加的结构,所述多层钽片叠加结构为双层钽片中板(5)，还设有网孔板(6)，所述网孔板(6)通过焊接的方式与坩埚喷嘴(2)连接，同时双层钽片中板(5)焊接在网孔板(6)上，在进行蒸镀时，有机材料通过双层钽片中板(5)后再挥发到坩埚喷嘴(2)口，或通过网孔板(6)直接挥发到坩埚喷嘴(2)口。
2.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机的点源加热装置，其特征在于：所述多层钽片叠加结构为四层钽片中板(7)，还设有无孔板(8)，所述无孔板(8)通过焊接的方式与坩埚喷嘴(2)连接，同时四层钽片中板(7)焊接在无孔板(8)上，在进行蒸镀时，有机材料从下往上依次穿过4个四层钽片中板(7)再挥发到坩埚喷嘴(2)口。
3.根据权利要求2所述的一种真空蒸镀机的点源加热装置，其特征在于：所述四层钽片中板(7)从下到上中板共有4片，依次为第一片为0.5mm厚下层圆形网板，孔直径为1mm；第二片为0.3mm厚中层圆形网板，孔直径为0.5mm；第三片为0.3mm厚中层圆板，上面开有3个直径为4mm的孔；第四片为0.3mm厚上层圆板，中间为直径30mm的大孔。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN111962027A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-11-20 | 云谷（固安）科技有限公司 | 一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置 |
| CN112359324A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-02-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀坩埚 |
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| CN111962027A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-11-20 | 云谷（固安）科技有限公司 | 一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置 |
| CN111962027B (zh) * | 2020-07-31 | 2022-09-06 | 云谷（固安）科技有限公司 | 一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置 |
| CN112359324A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-02-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀坩埚 |
| CN112359324B (zh) * | 2020-10-29 | 2023-02-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀坩埚 |
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