CN216972605U - 一种具有温度调节组件的铸造退火炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及铸造退火炉技术领域，具体为一种具有温度调节组件的铸造退火炉，包括：退火炉，一侧侧壁固定设置有固定安装板，固定安装板远离退火炉侧壁的一侧设置有防护壳；温度调节组件，设置在防护壳的内部，温度调节组件与防护壳内壁之间设置有隔热板；固定块，横截面呈三角形结构，固定块弹性设置在固定槽的内部；有益效果为：拆卸温度调节组件时，向下抽拉拉杆，拉杆带动固定块移动，在四组第一复位弹簧的作用下，温度调节组件沿着限位块从防护壳的内部滑出，安装温度调节组件时，将两组限位槽滑动设置在两组限位块表面，向内推动温度调节组件，在挤压第一复位弹簧的同时，固定块卡接在卡接槽内部。
Description
技术领域
本实用新型涉及铸造退火炉技术领域，具体为一种具有温度调节组件的铸造退火炉。
背景技术
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底；
退火炉会设置有温度调节组件，用以观察和控制退火炉内部的温度，以达退火炉内部到所需要的温度；
但现有的退火炉所安装的温度调节组件均是直接通过螺栓固定安装在退火炉的侧壁表面，但在实际使用过程中，温度调节组件有可能会受到外部撞击或者碰撞造成温度控制组件损坏，需要拆卸下来进行维修，但螺栓固定造成拆卸费时费力。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种具有温度调节组件的铸造退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有温度调节组件的铸造退火炉，所述具有温度调节组件的铸造退火炉包括：
退火炉，退火炉的一侧侧壁固定设置有固定安装板，固定安装板远离退火炉侧壁的一侧设置有防护壳；
温度调节组件，温度调节组件设置在防护壳的内部，温度调节组件与防护壳内壁之间设置有隔热板；
固定块，固定块横截面呈三角形结构，固定块弹性设置在固定槽的内部。
优选的，所述防护壳固定设置在固定安装板远离退火炉的一侧侧壁中心对称位置，防护壳呈中空矩形结构，防护壳的内壁固定设置有第一复位弹簧，第一复位弹簧设置有四组，四组第一复位弹簧均匀对称分布在防护壳内壁的四周。
优选的，所述防护壳的侧壁固定设置有限位块，限位块设置在防护壳远离第一复位弹簧的一侧侧壁端部，限位块设置有两组，两组限位块以防护壳为中心进行对称分布。
优选的，所述防护壳靠近限位块的一端表面开设有收纳槽，收纳槽的横截面呈“匚”型结构，且收纳槽的内部滑动设置有防护板，防护板的大小和形状和收纳槽相匹配。
优选的，所述温度调节组件的大小和防护壳的内部相匹配，且温度调节组件插接在防护壳内部的侧壁固定连接有隔热板，隔热板的侧壁开设有限位槽，限位槽开设有两组，两组限位槽分别卡接有两组限位块，限位块的大小和限位槽相匹配。
优选的，所述温度调节组件远离隔热板的一端下表面开设有卡接槽，卡接槽内部插接有固定块，固定块的大小和卡接槽相匹配。
优选的，所述固定槽开设在防护壳内部的下表面端部位置，且固定槽的大小和固定块相匹配，固定块的底部固定连接有拉杆，拉杆贯穿固定槽的底部并延伸至防护壳的正下方，且拉杆的表面套设有第二复位弹簧，第二复位弹簧固定设置在拉杆的端部和防护壳的下表面之间。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型提出的一种具有温度调节组件的铸造退火炉，在需要拆卸温度调节组件时，向下抽拉拉杆，拉杆带动固定块移动，当固定块不再插接在卡接槽的内部时，在四组第一复位弹簧的作用下，温度调节组件沿着限位块从防护壳的内部滑出，此时即可将温度调节组件拆卸出来，安装温度调节组件时，将两组限位槽滑动设置在两组限位块表面，向内推动温度调节组件，在挤压第一复位弹簧的同时，固定块卡接在卡接槽内部，当需要对温度调节组件的前端进行防护时，向外抽拉防护板，防护板在收纳槽的内部滑动。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为图1中A处结构放大示意图；
图3为本实用新型防护壳结构示意图；
图4为本实用新型温度调节组件结构示意图；
图5为本实用新型防护壳结构剖视图。
图中：退火炉1、温度调节组件2、固定安装板3、防护壳4、防护板5、收纳槽6、限位块7、第一复位弹簧8、固定槽9、固定块10、隔热板11、限位槽12、卡接槽13、拉杆14、第二复位弹簧15。
具体实施方式
下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1至图5，本实用新型提供一种技术方案：一种具有温度调节组件的铸造退火炉，具有温度调节组件的铸造退火炉包括：
退火炉1，退火炉1的一侧侧壁固定设置有固定安装板3，固定安装板3 远离退火炉1侧壁的一侧设置有防护壳4，防护壳4固定设置在固定安装板3 远离退火炉1的一侧侧壁中心对称位置，防护壳4呈中空矩形结构，防护壳4 的内壁固定设置有第一复位弹簧8，第一复位弹簧8设置有四组，四组第一复位弹簧8均匀对称分布在防护壳4内壁的四周，防护壳4的侧壁固定设置有限位块7，限位块7设置在防护壳4远离第一复位弹簧8的一侧侧壁端部，限位块7设置有两组，两组限位块7以防护壳4为中心进行对称分布，防护壳4靠近限位块7的一端表面开设有收纳槽6，收纳槽6的横截面呈“匚”型结构，且收纳槽6的内部滑动设置有防护板5，防护板5的大小和形状和收纳槽6相匹配；
温度调节组件2，温度调节组件2设置在防护壳4的内部，温度调节组件2 与防护壳4内壁之间设置有隔热板11，温度调节组件2的大小和防护壳4的内部相匹配，且温度调节组件2插接在防护壳4内部的侧壁固定连接有隔热板11，隔热板11的侧壁开设有限位槽12，限位槽12开设有两组，两组限位槽12分别卡接有两组限位块7，限位块7的大小和限位槽12相匹配，温度调节组件2 远离隔热板11的一端下表面开设有卡接槽13，卡接槽13内部插接有固定块10，固定块10的大小和卡接槽13相匹配；
固定块10，固定块10横截面呈三角形结构，固定块10弹性设置在固定槽 9的内部，固定槽9开设在防护壳4内部的下表面端部位置，且固定槽9的大小和固定块10相匹配，固定块10的底部固定连接有拉杆14，拉杆14贯穿固定槽9的底部并延伸至防护壳4的正下方，且拉杆14的表面套设有第二复位弹簧15，第二复位弹簧15固定设置在拉杆14的端部和防护壳4的下表面之间。
工作原理：实际使用时，在需要拆卸温度调节组件2时，向下抽拉拉杆14，拉杆14带动固定块10移动，当固定块10不再插接在卡接槽13的内部时，在四组第一复位弹簧8的作用下，温度调节组件2沿着限位块7从防护壳4的内部滑出，此时即可将温度调节组件2拆卸出来，安装温度调节组件2时，将两组限位槽12滑动设置在两组限位块7表面，向内推动温度调节组件2，在挤压第一复位弹簧8的同时，固定块10卡接在卡接槽13内部；
当需要对温度调节组件2的前端进行防护时，向外抽拉防护板5，防护板5 在收纳槽6的内部滑动。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种具有温度调节组件的铸造退火炉，其特征在于：所述具有温度调节组件的铸造退火炉包括：
退火炉(1)，退火炉(1)的一侧侧壁固定设置有固定安装板(3)，固定安装板(3)远离退火炉(1)侧壁的一侧设置有防护壳(4)；
温度调节组件(2)，温度调节组件(2)设置在防护壳(4)的内部，温度调节组件(2)与防护壳(4)内壁之间设置有隔热板(11)；
固定块(10)，固定块(10)横截面呈三角形结构，固定块(10)弹性设置在固定槽(9)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种具有温度调节组件的铸造退火炉，其特征在于：所述防护壳(4)固定设置在固定安装板(3)远离退火炉(1)的一侧侧壁中心对称位置，防护壳(4)呈中空矩形结构，防护壳(4)的内壁固定设置有第一复位弹簧(8)，第一复位弹簧(8)设置有四组，四组第一复位弹簧(8)均匀对称分布在防护壳(4)内壁的四周。
3.根据权利要求2所述的一种具有温度调节组件的铸造退火炉，其特征在于：所述防护壳(4)的侧壁固定设置有限位块(7)，限位块(7)设置在防护壳(4)远离第一复位弹簧(8)的一侧侧壁端部，限位块(7)设置有两组，两组限位块(7)以防护壳(4)为中心进行对称分布。
4.根据权利要求3所述的一种具有温度调节组件的铸造退火炉，其特征在于：所述防护壳(4)靠近限位块(7)的一端表面开设有收纳槽(6)，收纳槽(6)的横截面呈“匚”型结构，且收纳槽(6)的内部滑动设置有防护板(5)，防护板(5)的大小和形状和收纳槽(6)相匹配。
5.根据权利要求1所述的一种具有温度调节组件的铸造退火炉，其特征在于：所述温度调节组件(2)的大小和防护壳(4)的内部相匹配，且温度调节组件(2)插接在防护壳(4)内部的侧壁固定连接有隔热板(11)，隔热板(11)的侧壁开设有限位槽(12)，限位槽(12)开设有两组，两组限位槽(12)分别卡接有两组限位块(7)，限位块(7)的大小和限位槽(12)相匹配。
6.根据权利要求5所述的一种具有温度调节组件的铸造退火炉，其特征在于：所述温度调节组件(2)远离隔热板(11)的一端下表面开设有卡接槽(13)，卡接槽(13)内部插接有固定块(10)，固定块(10)的大小和卡接槽(13)相匹配。
7.根据权利要求1所述的一种具有温度调节组件的铸造退火炉，其特征在于：所述固定槽(9)开设在防护壳(4)内部的下表面端部位置，且固定槽(9)的大小和固定块(10)相匹配，固定块(10)的底部固定连接有拉杆(14)，拉杆(14)贯穿固定槽(9)的底部并延伸至防护壳(4)的正下方，且拉杆(14)的表面套设有第二复位弹簧(15)，第二复位弹簧(15)固定设置在拉杆(14)的端部和防护壳(4)的下表面之间。
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- 2022-04-08 CN CN202220812448.3U patent/CN216972605U/zh active Active
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