CN212485280U - 一种新型热处理退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型热处理退火炉，包括方形退火炉，所述方形退火炉一侧内壁开设有功能槽，所述功能槽的内壁靠近开口处固定套设有密封板，所述密封板的板身呈等间状开设有多个滑动孔，所述方形退火炉另一侧的内壁呈等间状开设有多个滑动槽，多个所述滑动槽的内端均活动设置有一号活动块，多个所述一号活动块远离滑动槽的一端均固定设置有退火板，多个所述退火板远离一号活动块的一端均固定设置有二号活动块，多个所述二号活动块远离退火板的一端贯穿滑动孔通至功能槽的内端，多个所述二号活动块远离退火板的一端中心处开设有固定槽。本实用新型公开了一种新型热处理退火炉，该新型热处理退火炉操作方便，省时省力。

Description

一种新型热处理退火炉

技术领域

本实用新型涉及热处理设备技术领域，尤其涉及一种新型热处理退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

在退火炉加工零件的时候，由于有的零件比较小，如果堆积较多的话会使得退火炉加工的零件淬火不完整，导致退火炉加工的零件质量不合格，而且退火炉加工的零件在加工完成后取出零件也异常麻烦，费时费力。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型热处理退火炉。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种新型热处理退火炉，包括方形退火炉，所述方形退火炉一侧内壁开设有功能槽，所述功能槽的内壁靠近开口处固定套设有密封板，所述密封板的板身呈等间状开设有多个滑动孔，所述方形退火炉另一侧的内壁呈等间状开设有多个滑动槽，多个所述滑动槽的内端均活动设置有一号活动块，多个所述一号活动块远离滑动槽的一端均固定设置有退火板，多个所述退火板远离一号活动块的一端均固定设置有二号活动块，多个所述二号活动块远离退火板的一端贯穿滑动孔通至功能槽的内端，多个所述二号活动块远离退火板的一端中心处开设有固定槽，多个所述固定槽的内端均活动设置有固定块，多个所述固定块远离固定槽的一端固定设置有活动杆，所述功能槽的上壁和下壁均开设有T型活动槽，所述活动杆的上端和下端均固定设置有滑动块，两个所述滑动块远离活动杆的一端活动设置在T型活动槽内，所述活动杆的前侧中心处固定设置有移动块，所述功能槽的前侧中心处开设有活动孔，所述移动块远离活动杆的一端贯穿活动孔通至方形退火炉的前侧。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述方形退火炉的前侧活动设置有密封门。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述方形退火炉的下端面靠近四角处均固定设置有自锁万向轮。

作为上述技术方案的进一步描述：

多个所述退火板的前侧中心处均固定设置有手柄。

作为上述技术方案的进一步描述：

多少所述方形退火炉上端面靠前处均固定设置有挡板。

作为上述技术方案的进一步描述：

多个所述退火板是由不锈钢材料制成。

本实用新型具有如下有益效果：

相比于现有装置，该新型热处理退火炉在工作的时候即便加工较小的零件也能够完美的淬火这些小零件，使得该新型热处理退火炉加工的零件质量更好，更快速。

相比于现有装置，该新型热处理退火炉设置的退火板用于放置需要淬火的零件，这样会使得该新型热处理退火炉淬火完成后的零件更加方便收取，使用该新型热处理退火炉的时候更加快捷。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种新型热处理退火炉的正视示意图；

图2为本实用新型提出的一种新型热处理退火炉的正剖示意图；

图3为本实用新型提出的一种新型热处理退火炉的功能槽局部示意图；

图4为本实用新型提出的一种新型热处理退火炉的T型活动槽局部示意图。

图例说明：

1、方形退火炉；2、滑动槽；3、一号活动块；4、挡板；5、退火板；6、手柄；7、移动块；8、自锁万向轮；9、滑动孔；10、活动孔；11、密封门；12、二号活动块；13、密封板；14、固定槽；15、滑动块；16、功能槽；17、活动杆；18、固定块；19、T型活动槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种新型热处理退火炉，包括方形退火炉1，方形退火炉1一侧内壁开设有功能槽16，功能槽16的内壁靠近开口处固定套设有密封板13，密封板13的板身呈等间状开设有多个滑动孔9，方形退火炉1另一侧的内壁呈等间状开设有多个滑动槽2，多个滑动槽2的内端均活动设置有一号活动块3，当移动退火板5的时候一号活动块3会在滑动槽2内移动，使得退火板5移动的更加方便省力，同时一号活动块3可以通过滑动槽2固定住退火板5使得退火板5更加稳定，多个一号活动块3远离滑动槽2的一端均固定设置有退火板5，多个退火板5远离一号活动块3的一端均固定设置有二号活动块12，多个二号活动块12远离退火板5的一端贯穿滑动孔9通至功能槽16的内端，多个二号活动块12远离退火板5的一端中心处开设有固定槽14，多个固定槽14的内端均活动设置有固定块18，多个固定块18远离固定槽14的一端固定设置有活动杆17，功能槽16的上壁和下壁均开设有T型活动槽19，T型活动槽19可以通过滑动块15固定活动杆17，使得活动杆17更加稳定，当活动杆17移动的时候会带动滑动块15在T型活动槽19内活动，使得活动杆17移动的时候更加方便，活动杆17的上端和下端均固定设置有滑动块15，两个滑动块15远离活动杆17的一端活动设置在T型活动槽19内，活动杆17的前侧中心处固定设置有移动块7，功能槽16的前侧中心处开设有活动孔10，移动块7远离活动杆17的一端贯穿活动孔10通至方形退火炉1的前侧。

方形退火炉1的前侧活动设置有密封门11，密封门11用于封闭方形退火炉1，方形退火炉1的下端面靠近四角处均固定设置有自锁万向轮8，自锁万向轮8使得该新型热处理退火炉移动的时候更加方便，多个退火板5的前侧中心处均固定设置有手柄6，手柄6方便拉动退火板5，多少方形退火炉1上端面靠前处均固定设置有挡板4，挡板4用于阻挡淬火时候的零件，使得零件不会滚落，多个退火板5是由不锈钢材料制成，不锈钢材料质地坚硬熔点高不易损坏。

工作原理：当使用该新型热处理退火炉的时候，首先打开密封门11，然后向内侧移动移动块7，移动块7向内侧移动的时候带动活动杆17箱内侧移动，活动杆17向内侧移动后会使得固定块18插进固定槽14内，然后向前拉动手柄6，手柄6拉动后带动退火板5向前移动，退火板5向前移动会带动二号活动块12向前移动，二号活动块12向前移动带动固定块18向前移动，固定块18向前移动带动活动杆17向前移动，因为固定块18插进固定槽14内所以活动杆17向前移动会通过多个固定块18带动多个二号活动块12同时向前移动，使得操作人员只要拉动其中一个退火板5就可以把所有的退火板5拉出，操作非常方便。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种新型热处理退火炉，包括方形退火炉(1)，其特征在于：所述方形退火炉(1)一侧内壁开设有功能槽(16)，所述功能槽(16)的内壁靠近开口处固定套设有密封板(13)，所述密封板(13)的板身呈等间状开设有多个滑动孔(9)，所述方形退火炉(1)另一侧的内壁呈等间状开设有多个滑动槽(2)，多个所述滑动槽(2)的内端均活动设置有一号活动块(3)，多个所述一号活动块(3)远离滑动槽(2)的一端均固定设置有退火板(5)，多个所述退火板(5)远离一号活动块(3)的一端均固定设置有二号活动块(12)，多个所述二号活动块(12)远离退火板(5)的一端贯穿滑动孔(9)通至功能槽(16)的内端，多个所述二号活动块(12)远离退火板(5)的一端中心处开设有固定槽(14)，多个所述固定槽(14)的内端均活动设置有固定块(18)，多个所述固定块(18)远离固定槽(14)的一端固定设置有活动杆(17)，所述功能槽(16)的上壁和下壁均开设有T型活动槽(19)，所述活动杆(17)的上端和下端均固定设置有滑动块(15)，两个所述滑动块(15)远离活动杆(17)的一端活动设置在T型活动槽(19)内，所述活动杆(17)的前侧中心处固定设置有移动块(7)，所述功能槽(16)的前侧中心处开设有活动孔(10)，所述移动块(7)远离活动杆(17)的一端贯穿活动孔(10)通至方形退火炉(1)的前侧。

2.根据权利要求1所述的一种新型热处理退火炉，其特征在于：所述方形退火炉(1)的前侧活动设置有密封门(11)。

3.根据权利要求1所述的一种新型热处理退火炉，其特征在于：所述方形退火炉(1)的下端面靠近四角处均固定设置有自锁万向轮(8)。

4.根据权利要求1所述的一种新型热处理退火炉，其特征在于：多个所述退火板(5)的前侧中心处均固定设置有手柄(6)。

5.根据权利要求1所述的一种新型热处理退火炉，其特征在于：多少所述方形退火炉(1)上端面靠前处均固定设置有挡板(4)。

6.根据权利要求1所述的一种新型热处理退火炉，其特征在于：多个所述退火板(5)是由不锈钢材料制成。

Images