CN216957976U - 一种mems芯片工艺加工用载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种MEMS芯片工艺加工用载具，涉及到芯片加工领域，包括载具本体，所述载具本体上表面中部开设有放置槽，所述放置槽的内腔两侧均设置有夹板，两个所述夹板相互远离的一侧两端均固定连接有导向杆，所述放置槽的两侧两端内壁上均开设有导向槽，所述导向杆的一端插入导向槽的内部，且导向杆的一端通过压紧弹簧与导向槽的内壁连接。本实用新型通过在放置槽内设置有两个夹板，两个夹板在压紧弹簧的作用下能够将不同大小的芯片进行夹持限位，并通过压紧组件上的螺柱能够将夹持后的夹板压紧限位，使得夹板能够将芯片稳定夹持，提高了本装置的工作范围，同时也提高了本装置的工作效率。

Description

一种MEMS芯片工艺加工用载具

技术领域

本实用新型涉及芯片加工领域，特别涉及一种MEMS芯片工艺加工用载具。

背景技术

MEMS即Micro-Electro-Mechanical System的缩写，中文名称是微机电系统，MEMS芯片就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统。现有的MEMS芯片在加工过程中，当加工至回流焊步骤时，该MEMS芯片放置于传输带上传输至回流焊机器处焊接，然而由于直接将MEMS芯片置于传输带上，且又由于焊接的高温易使得该MEMS芯片产生一定的弯曲度，从而使得MEMS芯片难以定位准确，易将MEMS芯片的引脚焊接偏移，导致不良率升高。因此现有技术在MEMS芯片的外侧加装了专用载具，避免MEMS芯片出现弯曲的情况，但是现有的芯片载具一般都只能固定一种型号大小的芯片，不能根据需要固定不同大小的芯片，工作范围和效率较低。因此，发明一种MEMS芯片工艺加工用载具来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种MEMS芯片工艺加工用载具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种MEMS芯片工艺加工用载具，包括载具本体，所述载具本体上表面中部开设有放置槽，所述放置槽的内腔两侧均设置有夹板，两个所述夹板相互远离的一侧两端均固定连接有导向杆，所述放置槽的两侧两端内壁上均开设有导向槽，所述导向杆的一端插入导向槽的内部，且导向杆的一端通过压紧弹簧与导向槽的内壁连接，两个所述夹板相互远离的一侧中部设置有压紧组件，所述压紧组件设置于放置槽的侧壁中部，所述放置槽的槽底开设有多个呈矩形阵列分布的通孔，且放置槽的槽底两侧均粘接有橡胶条，两个所述橡胶条对称分布。

优选的，所述夹板由调节板和压板组成，所述压板固定在调节板的一侧顶部，所述调节板和压板配合形成“L”形结构，所述压板的下表面粘接有橡胶垫层。

优选的，所述压紧组件包括螺柱，所述螺柱设置于开设在放置槽中部内壁上的插槽内。

优选的，所述插槽的槽口两侧内壁上均固定连接有限位滑块，所述螺柱的两侧外壁上均开设有限位滑槽，所述限位滑块位于限位滑槽的内部。

优选的，所述插槽的中部内壁上开设有空槽，所述空槽的内部设置有调节套，所述调节套的中部开设有螺槽，所述螺柱贯穿螺槽并通过内外螺纹与螺槽连接。

优选的，所述空槽的两侧内壁上均开设有滚珠槽，所述滚珠槽的内部设置有滚珠，所述滚珠与调节套贴合连接。

本实用新型的技术效果和优点：

本实用新型通过在放置槽内设置有两个夹板，两个夹板在压紧弹簧的作用下能够将不同大小的芯片进行夹持限位，并通过压紧组件上的螺柱能够将夹持后的夹板压紧限位，使得夹板能够将芯片稳定夹持，提高了本装置的工作范围，同时也提高了本装置的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构俯视示意图。

图2为本实用新型的导向槽结构剖面示意图。

图3为本实用新型的放置槽结构剖面示意图。

图4为本实用新型的夹板结构立体示意图。

图5为本实用新型的压紧组件结构剖面示意图。

图中：1、载具本体；2、放置槽；3、夹板；4、导向杆；5、导向槽；6、压紧弹簧；7、压紧组件；8、通孔；9、橡胶条；10、调节板；11、压板；12、橡胶垫层；13、插槽；14、螺柱；15、限位滑块；16、限位滑槽；17、空槽；18、调节套；19、螺槽；20、滚珠槽；21、滚珠。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-5所示的一种MEMS芯片工艺加工用载具，包括载具本体1，载具本体1上表面中部开设有放置槽2，放置槽2能够放置芯片，放置槽2的内腔两侧均设置有夹板3，两个夹板3相互远离的一侧两端均固定连接有导向杆4，放置槽2的两侧两端内壁上均开设有导向槽5，导向杆4的一端插入导向槽5的内部，导向杆4与导向槽5配合对夹板3起到了导向的作用，使得夹板3保持水平移动，且导向杆4的一端通过压紧弹簧6与导向槽5的内壁连接，压紧弹簧6的设置使得夹板3在移动后能够自动复位，同时使得夹板3能够自动将芯片夹持，两个夹板3相互远离的一侧中部设置有压紧组件7，压紧组件7设置于放置槽2的侧壁中部，压紧组件7对夹板3起到了压紧的作用，使得夹板3将芯片稳定夹持，放置槽2的槽底开设有多个呈矩形阵列分布的通孔8，多个通孔8起到了通风的作用，且放置槽2的槽底两侧均粘接有橡胶条9，两个橡胶条9对称分布，两个橡胶条9配合对芯片起到了防护的作用。

具体的，夹板3由调节板10和压板11组成，压板11固定在调节板10的一侧顶部，调节板10和压板11配合形成“L”形结构，压板11对芯片起到了压紧限位的作用，压板11的下表面粘接有橡胶垫层12，橡胶垫层12的设置对芯片起到了防护的作用。

更为具体的，压紧组件7包括螺柱14，螺柱14设置于开设在放置槽2中部内壁上的插槽13内，插槽13的槽口两侧内壁上均固定连接有限位滑块15，螺柱14的两侧外壁上均开设有限位滑槽16，限位滑块15位于限位滑槽16的内部，限位滑块15和限位滑槽16配合起到了限位的作用，使得螺柱14保持线性移动，插槽13的中部内壁上开设有空槽17，空槽17的内部设置有调节套18，调节套18的中部开设有螺槽19，螺柱14贯穿螺槽19并通过内外螺纹与螺槽19连接，通过这样的设置，使得调节套18在转动时能够带动螺柱14移动，空槽17的两侧内壁上均开设有滚珠槽20，滚珠槽20的内部设置有滚珠21，滚珠21与调节套18贴合连接，滚珠21的设置降低了调节套18的摩擦力，使得调节套18便于转动。

本实用新型工作原理：

本装置在工作时，首先将两个夹板3向相反方向移动，然后将芯片放到放置槽2内，然后松开夹板3，夹板3在压紧弹簧6的作用下复位，使得两个夹板3配合将芯片初步夹持，夹板3上的压板11将芯片限位，然后通过调节套18凸出空槽17的部分带动调节套18转动，调节套18在转动的同时带动螺柱14移动柜，直至螺柱14的一端与夹板3接触，对夹板3起到了限位的作用，使得两个夹板3配合能够将芯片稳定夹持，提高了本装置的工作范围和工作效率。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种MEMS芯片工艺加工用载具，包括载具本体(1)，其特征在于：所述载具本体(1)上表面中部开设有放置槽(2)，所述放置槽(2)的内腔两侧均设置有夹板(3)，两个所述夹板(3)相互远离的一侧两端均固定连接有导向杆(4)，所述放置槽(2)的两侧两端内壁上均开设有导向槽(5)，所述导向杆(4)的一端插入导向槽(5)的内部，且导向杆(4)的一端通过压紧弹簧(6)与导向槽(5)的内壁连接，两个所述夹板(3)相互远离的一侧中部设置有压紧组件(7)，所述压紧组件(7)设置于放置槽(2)的侧壁中部，所述放置槽(2)的槽底开设有多个呈矩形阵列分布的通孔(8)，且放置槽(2)的槽底两侧均粘接有橡胶条(9)，两个所述橡胶条(9)对称分布。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS芯片工艺加工用载具，其特征在于：所述夹板(3)由调节板(10)和压板(11)组成，所述压板(11)固定在调节板(10)的一侧顶部，所述调节板(10)和压板(11)配合形成“L”形结构，所述压板(11)的下表面粘接有橡胶垫层(12)。

3.根据权利要求2所述的一种MEMS芯片工艺加工用载具，其特征在于：所述压紧组件(7)包括螺柱(14)，所述螺柱(14)设置于开设在放置槽(2)中部内壁上的插槽(13)内。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS芯片工艺加工用载具，其特征在于：所述插槽(13)的槽口两侧内壁上均固定连接有限位滑块(15)，所述螺柱(14)的两侧外壁上均开设有限位滑槽(16)，所述限位滑块(15)位于限位滑槽(16)的内部。

5.根据权利要求4所述的一种MEMS芯片工艺加工用载具，其特征在于：所述插槽(13)的中部内壁上开设有空槽(17)，所述空槽(17)的内部设置有调节套(18)，所述调节套(18)的中部开设有螺槽(19)，所述螺柱(14)贯穿螺槽(19)并通过内外螺纹与螺槽(19)连接。

6.根据权利要求5所述的一种MEMS芯片工艺加工用载具，其特征在于：所述空槽(17)的两侧内壁上均开设有滚珠槽(20)，所述滚珠槽(20)的内部设置有滚珠(21)，所述滚珠(21)与调节套(18)贴合连接。

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