CN216871919U - 一种晶片花篮抓取机构及采用该抓取机构的晶片清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶片花篮抓取机构及采用该抓取机构的晶片清洗机，晶片花篮抓取机构包括两平行排列的横向板条、平移装置、升降装置、挂架、设有四挂钩的晶片花篮；各横向板条上横向设有齿条；晶片花篮包括篮架，篮架前侧面设有两个挂钩，篮架后侧面上各晶片花篮前侧面的挂钩正后方分别设有挂钩；各挂钩所在平面平行于横向板条；各挂钩的顶面平齐且高于篮架的顶面；平移装置安装在两横向板条上；升降装置安装在平移装置上；挂架安装在升降装置的底端，挂架的四个角上各纵向设有挂杆；挂架前端两挂杆的间距等于晶片花篮前侧面两挂钩间距，挂架后端两挂杆的间距等于晶片花篮后侧面两挂钩间距。本实用新型装置具有抓取稳定，清洗效果好的特点。

Description

一种晶片花篮抓取机构及采用该抓取机构的晶片清洗机

技术领域

本实用新型属于半导体硅片清洗领域，涉及晶片花篮抓取机构及采用该抓取机构的晶片清洗机。

背景技术

在半导体器件生产中，大约有20％的工序与硅片清洗有关。硅片经过切片、倒角、研磨、表面处理、抛光、外延等不同工序加工后，表面已经受到严重的污染，清洗的目的就是为了去除硅片表面颗粒、金属离子以及有机物等污染。

目前硅片清洗主要是以化学清洗为主，化学清洗是指利用各种化学试剂和有机溶剂与吸附在被清洗物体表面上的杂质及油污发生化学反应或溶解作用，或伴以超声、加热、抽真空等物理措施，使杂质从被清除物体的表面脱附，然后用大量高纯热、冷去离子水冲洗，从而获得洁净表面的过程。化学清洗又可以分为湿法化学清洗和干法化学清洗，其中湿法化学清洗技术在硅片表面清洗中仍处于主导地位。在湿法化学清洗中，需要采用清洗花篮来盛放硅片，再将清洗花篮放入清洗液中。现有的清洗花篮抓取机构抓取花篮时容易滑动，抓取稳定性差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，针对现有技术的不足，提供晶片花篮抓取机构及采用该抓取机构的晶片清洗机，其抓取稳定，清洗效果好。

本实用新型采用的技术方案如下。

晶片花篮抓取机构，包括两平行排列的横向板条、平移装置、升降装置、挂架、设有四挂钩的晶片花篮。

各横向板条上横向设有齿条。

平移装置安装在两横向板条上。

升降装置安装在平移装置上。

晶片花篮包括篮架，篮架前侧面设有两个挂钩，篮架后侧面上各晶片花篮前侧面的挂钩正后方分别设有挂钩；各挂钩所在平面平行于横向板条；各挂钩的顶面平齐且高于篮架的顶面。

挂架安装在升降装置的底端，挂架的四个角上各纵向设有挂杆；挂架前端两挂杆的间距等于晶片花篮前侧面两挂钩间距，挂架后端两挂杆的间距等于晶片花篮后侧面两挂钩间距。

作为优选技术方案，平移装置包括平移装置架，平移装置架上设有横向运动驱动电机、两可分别与两横向板条的齿条相啮合的齿轮，两齿轮的中轴的形心在同一纵向直线上，两齿轮的中轴与横向运动驱动电机相连，通过横向运动驱动电机带动平移装置在横向板条上运动；

作为优选技术方案，所述升降装置包括垂直向设置在平移装置上的升降丝杠，升降丝杠的顶端设有升降丝杠驱动电机，或者，

所述升降装置包括垂直向设置在平移装置上的电动直线驱动器。

作为优选技术方案，挂架包括前侧板、后侧板、左侧板、右侧板，左侧板、右侧板的顶端通过平行于地面的顶板与升降装置装置相连。

顶板上设有垂直向设有若干导向柱，升降装置两横向板条下设有平行于地面的横板，横板上各垂直向设有导向柱插孔，各导向柱插入距其最近的导向柱插孔内。

作为优选技术方案，各挂钩包括垂直于横向板条的立杆，各立杆的顶端向左或向右设有伸出部分，伸出部分的底面设有开口向下的凹槽。

作为优选技术方案，各横向板条上设有横向导轨，平移装置底面上各设有可与各横向导轨上运动的滑块。

作为优选技术方案，挂杆的前、后两端的直径大于其中间部分的直径。

晶片清洗机，包括架体，机设置在架体上的上述任意一晶片花篮抓取机构、进料输送带、出料输送带、若干清洗槽；

进料输送带、出料输送带分别设置在架体的左、右两侧，各清洗槽设置在挂架下进料输送带、出料输送带之间；晶片花篮放置在进料输送带上。

作为优选技术方案，进料输送带的出料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条的左端的下方，出料输送带的进料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条的右端的下方，或者，

进料输送带的出料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条的右端的下方，出料输送带的进料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条的左端的下方。

本实用新型的有益效果是：挂架的四个角上各纵向设有挂杆，篮架后侧面上各晶片花篮前侧面的挂钩正后方分别设有挂钩，采用这种结构，抓取晶片花篮有四个挂接点，抓取迅速且稳定性好、可靠性好，晶片花篮容易保持平衡。挂架采用框架结构，整体刚度高。挂杆的前、后两端的直径大于其中间部分的直径，挂放容易。设有导向柱，容易保证花篮升降的稳定性。各横向板条上设有横向导轨，平移装置底面上各设有可与各横向导轨上运动的滑块，挂架水平运动平稳。

附图说明

图1是本实用新型晶片花篮抓取机构一较佳实施例的结构示意图。

图2是图1的A部分的局部放大图。

图3是图2的B部分的局部放大图。

图4是图3的C部分的局部放大图。

图5是图1所示晶片花篮抓取机构的左视图。

图6是图5的D部分的局部放大图。

图7是图6的E部分的局部放大图。

图8是图6的F部分的局部放大图。

图9是本实用新型晶片清洗机的结构示意图。

图10是图9的H部分的局部放大图。

图11是图9的G部分的局部放大图。

图12是图11的I部分的局部放大图。

图13是本实用新型晶片花篮抓取机构一较佳实施例的结构示意图。

图14是图13的J部分的局部放大图。

图15是本实用新型晶片花篮抓取机构一较佳实施例的结构示意图。

图16是图15的K部分的局部放大图。

其中：横向板条-1；齿条-11；横向导轨-12；滑块-13；

平移装置-2；移装置架-21；横向运动驱动电机-22；齿轮-23；

升降装置-3；升降丝杠-31；升降丝杠驱动电机-32；

挂架-4；挂杆-41；前侧板-42；、后侧板-43；、左侧板-44；、右侧板-45；顶板-46；导向柱-47；横板-48；

晶片花篮-5；挂钩-51；篮架-52；立杆-53；伸出部分-54；凹槽-55；

晶片-6。

具体实施方式

下面，结合附图和实施例对本发明作进一步说明。

实施例1。如图1-8所示，晶片花篮抓取机构，其特征在于：包括两平行排列的横向板条1、平移装置2、升降装置3、挂架4、设有四挂钩51的晶片花篮5。

各横向板条1上横向设有齿条11。

平移装置2安装在两横向板条1上。

升降装置3安装在平移装置2上。

晶片花篮5包括篮架52，篮架52前侧面设有两个挂钩51，篮架52后侧面上各晶片花篮5前侧面的挂钩51正后方分别设有挂钩51；各挂钩51所在平面平行于横向板条1；各挂钩51的顶面平齐且高于篮架52的顶面。

挂架4安装在升降装置3的底端，挂架4的四个角上各纵向设有挂杆41；挂架4前端两挂杆41的间距等于晶片花篮5前侧面两挂钩51间距，挂架4后端两挂杆41的间距等于晶片花篮5后侧面两挂钩51间距。

平移装置2包括平移装置架21，平移装置架21上设有横向运动驱动电机22、两可分别与两横向板条1的齿条11相啮合的齿轮23，两齿轮23的中轴的形心在同一纵向直线上，两齿轮23的中轴与横向运动驱动电机22相连，通过横向运动驱动电机22带动平移装置2在横向板条1上运动；

所述升降装置3包括垂直向设置在平移装置2上的升降丝杠31，升降丝杠31的顶端设有升降丝杠驱动电机32。

挂架4包括前侧板42、后侧板43、左侧板44、右侧板45，左侧板44、右侧板45的顶端通过平行于地面的顶板46与升降丝杠31的底端装置相连。

各挂钩51包括垂直于横向板条1的立杆53，各立杆53的顶端向左或向右设有伸出部分54，伸出部分54的底面设有开口向下的凹槽55。

各横向板条1上设有横向导轨12，平移装置2底面上各设有可与各横向导轨12上运动的滑块13。

挂杆41的前、后两端的直径大于其中间部分的直径。

实施例2。如图9-12所示，晶片清洗机，包括架体7，机设置在架体7上的如实施例1所述晶片花篮抓取机构、进料输送带73、出料输送带71、若干清洗槽72。

进料输送带73、出料输送带71分别设置在架体7的左、右两侧，各清洗槽72设置在挂架4下进料输送带73、出料输送带71之间；晶片花篮5放置在进料输送带73上。

进料输送带73的出料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条1的左端的下方，出料输送带71的进料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条1的右端的下方，或者，

进料输送带73的出料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条1的右端的下方，出料输送带71的进料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条1的左端的下方。

实施例3。如图13-14所示，所述升降装置3包括垂直向设置在平移装置2上的电动直线驱动器33。

实施例4。如图15-16所示，本实施例与实施例1的不同在于：顶板46上设有垂直向设有若干导向柱47，升降丝杠31两横向板条1下设有平行于地面的横板48，横板48上各垂直向设有导向柱插孔，各导向柱47插入距其最近的导向柱插孔内。

以上所列举的实施方式仅供理解本实用新型之用，并非是对本实用新型所描述的技术方案的限定，有关领域的普通技术人员，还可以作出多种变化或变形，所有等同的变化或变形都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。本实用新型未详述之处，均为本技术领域技术人员的公知技术。

Claims (10)

1.晶片花篮抓取机构，其特征在于：包括两平行排列的横向板条（1）、平移装置（2）、升降装置（3）、挂架（4）、设有四挂钩（51）的晶片花篮（5）；

各横向板条（1）上横向设有齿条（11）；

平移装置（2）安装在两横向板条（1）上；

升降装置（3）安装在平移装置（2）上；

晶片花篮（5）包括篮架（52），篮架（52）前侧面设有两个挂钩（51），篮架（52）后侧面上各晶片花篮（5）前侧面的挂钩（51）正后方分别设有挂钩（51）；各挂钩（51）所在平面平行于横向板条（1）；各挂钩（51）的顶面平齐且高于篮架（52）的顶面；

挂架（4）安装在升降装置（3）的底端，挂架（4）的四个角上各纵向设有挂杆（41）；挂架（4）前端两挂杆（41）的间距等于晶片花篮（5）前侧面两挂钩（51）间距，挂架（4）后端两挂杆（41）的间距等于晶片花篮（5）后侧面两挂钩（51）间距。

2.如权利要求1所述的晶片花篮抓取机构，其特征在于：平移装置（2）包括平移装置架（21），平移装置架（21）上设有横向运动驱动电机（22）、两可分别与两横向板条（1）的齿条（11）相啮合的齿轮（23），两齿轮（23）的中轴的形心在同一纵向直线上，两齿轮（23）的中轴与横向运动驱动电机（22）相连，通过横向运动驱动电机（22）带动平移装置（2）在横向板条（1）上运动。

3.如权利要求1所述的一种晶片花篮抓取机构，其特征在于：所述升降装置（3）包括垂直向设置在平移装置（2）上的升降丝杠（31），升降丝杠（31）的顶端设有升降丝杠驱动电机（32），或者，

所述升降装置（3）包括垂直向设置在平移装置（2）上的电动直线驱动器（33）。

4.如权利要求3所述的晶片花篮抓取机构，其特征在于：挂架（4）包括前侧板（42）、后侧板（43）、左侧板（44）、右侧板（45），左侧板（44）、右侧板（45）的顶端通过平行于地面的顶板（46）与升降装置（3）装置相连。

5.如权利要求4所述的晶片花篮抓取机构，其特征在于：顶板（46）上设有垂直向设有若干导向柱（47），升降装置（3）两横向板条（1）下设有平行于地面的横板（48），横板（48）上各垂直向设有导向柱插孔，各导向柱（47）插入距其最近的导向柱插孔内。

6.如权利要求1所述的晶片花篮抓取机构，其特征在于：各挂钩（51）包括垂直于横向板条（1）的立杆（53），各立杆（53）的顶端向左或向右设有伸出部分（54），伸出部分（54）的底面设有开口向下的凹槽（55）。

7.如权利要求1所述的晶片花篮抓取机构，其特征在于：各横向板条（1）上设有横向导轨（12），平移装置（2）底面上各设有可与各横向导轨（12）上运动的滑块（13）。

8.如权利要求1所述的晶片花篮抓取机构，其特征在于：挂杆（41）的前、后两端的直径大于其中间部分的直径。

9.晶片清洗机，其特征在于：包括架体（7），机设置在架体（7）上的如权利要求1-8任意一权利要求所述晶片花篮抓取机构、进料输送带（73）、出料输送带（71）、若干清洗槽（72）；

进料输送带（73）、出料输送带（71）分别设置在架体（7）的左、右两侧，各清洗槽（72）设置在挂架（4）下进料输送带（73）、出料输送带（71）之间；晶片花篮（5）放置在进料输送带（73）上。

10.如权利要求9所述的晶片清洗机，其特征在于：进料输送带（73）的出料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条（1）的左端的下方，出料输送带（71）的进料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条（1）的右端的下方，或者，

进料输送带（73）的出料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条（1）的右端的下方，出料输送带（71）的进料端位于晶片花篮抓取机构的两横向板条（1）的左端的下方。

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