CN216857468U - 升降机构及片材搬送装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了升降机构及片材搬送装置，升降机构应用于片材搬送装置，片材搬送装置包括搬运机构及升降机构，升降机构包括第一驱动器及凸轮机构，凸轮机构包括凸轮及从动件，凸轮与第一驱动器连接，第一驱动器用于驱动凸轮转动；从动件与凸轮的外轮廓接触连接，从动件能够被凸轮带动做往复升降运动，从动件设置为与待搬运片材连接。第一驱动器驱动凸轮转动，从动件沿着凸轮的外轮廓转动，被凸轮带动做往复运动，应用于片材搬送装置，可带动待搬运片材上升和下降至预设位置，本申请升降机构动力传输稳定，升降定位准确，精度高，减少了由于升降定位不准确和精度不够带来的问题，有效提高了产品的生产效率和产品质量。

Description

升降机构及片材搬送装置

技术领域

本申请属于机械设备技术领域，更具体地说，是涉及一种升降机构及片材搬送装置。

背景技术

LCD曝光机是将涂有光刻胶的基板与掩膜重叠，并将掩膜的图形烧制到基板上的设备，是半导体设备的关键设备。

LCD曝光机的主要技术指标体现在搬送控制系统的准确性、预定位和曝光定位的精度、曝光光学系统的分辨率及曝光光源的均匀稳定性上，而预定位是该设备的关键技术之一。现有搬运设备的升降定位准确性和精度较难保障，影响了产品的质量和生产效率，是目前亟需要解决的技术问题。

实用新型内容

本申请目的在于提供一种升降机构及片材搬送装置，以解决现有技术中存在的搬运设备的升降定位准确性和精度较难保障的技术问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种升降机构，应用于片材搬送装置，升降机构包括：

第一驱动器；及

凸轮机构，凸轮机构包括凸轮及从动件，凸轮与第一驱动器连接，第一驱动器用于驱动凸轮转动；从动件与凸轮的外轮廓接触连接，从动件能够被凸轮带动做往复升降运动，从动件设置为与待搬运片材连接。

可选地，升降机构还包括转动轴、第一检测组件及第二检测组件，第一检测组件包括第一检测器及第一被检测件，第二检测组件包括第二检测器及第二被检测件；转动轴连接第一驱动器，凸轮、第一被检测件及第二被检测件分别设于转动轴上；在转动轴旋转的过程中，第一被检测件与第一检测器配合工作以检测从动件是否上升至最高点，第二被检测件与第二检测器配合工作以检测从动件是否下降至最低点。

可选地，升降机构还包括固定架和升降导向件，升降导向件和第一驱动器安装于固定架上，升降导向件用于导向待搬运片材升降。

本申请还提供了一种片材搬送装置，包括支架、搬运机构及如上述任一所述的升降机构；从动件远离凸轮的一端连接支架，搬运机构连接支架，支架及搬运机构能够跟随从动件做往复升降运动；搬运机构用于横向输送待搬运片材。

可选地，搬运机构包括第二驱动器、横移传动组件和搬运臂；第二驱动器安装于支架上，横移传动组件连接于第二驱动器的输出端，横移传动组件能够将第二驱动器输出的运动转换成横向往复运动，搬运臂与横移传动组件连接，搬运臂用于支撑待搬运片材。

可选地，搬运机构包括至少两组横移传动组件及至少两个搬运臂，至少两组横移传动组件分别间隔设于支架上，至少两组横移传动组件分别与第二驱动器的输出端连接；至少两个搬运臂分别与至少两个横移传动组件连接，至少两个搬运臂用于分别支撑待搬运片材的不同位置。

可选地，支架上设有轨道，搬运臂上设有滑块，滑块滑设于轨道上。

可选地，搬运机构还包括第三检测组件；第三检测组件包括起点检测器、终点检测器和第三被检测件，起点检测器和终点检测器分别安装于支架上，第三被检测件安装于搬运臂；搬运臂横向输送待搬运片材过程中，起点检测器与第三被检测件配合工作以检测搬运臂是否到达预设的起点位置，终点检测器与第三被检测件配合工作以检测搬运臂是否到达预设的终点位置。

可选地，升降机构的数量为二，两个升降机构的从动件分别连接于支架相对的两侧。

可选地，升降机构还包括固定架和升降导向件，升降导向件和第一驱动器安装于固定架上；支架设有导向连接件，导向连接件滑动连接升降导向件；在从动件被凸轮带动做往复升降运动的过程中，升降导向件和导向连接件配合工作，用于导向待搬运片材升降。

1、本申请提供的升降机构，设有凸轮和从动件，第一驱动器驱动凸轮转动，从动件沿着凸轮的外轮廓转动，被凸轮带动做往复运动，应用于片材搬送装置，与待搬运片材连接时，可带动待搬运片材上升和下降至预设位置，与现有技术相比，本申请升降机构采用凸轮和从动件配合工作产生上升和下降的动作，动力传输稳定，升降定位准确，精度高，减少了由于升降定位不准确和精度不够带来的问题，有效提高了产品的生产效率和产品质量。

2、本申请提供的片材搬送装置，搬运机构安装在支架上，搬运机构用于横向输送待搬运片材，升降机构连接支架，支架和搬运机构能够跟随从动件做往复升降运动，从而带动待搬运片材上升和下降，升降机构的定位准确，精度高，且动力传输稳定，提高了片材搬送装置的搬送效率，进而提高产生的生产效率和产品质量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的片材搬送装置的结构示意图一；

图2为本申请实施例提供的片材搬送装置的结构示意图二；

图3为图1和图2片材搬送装置中的升降机构的结构示意图；

图4为图3升降机构中的第一驱动器、凸轮、第一检测组件和第二检测组件的连接结构示意图；

图5为图1片材搬送装置的应用示意图。

其中，图中各附图标记：

10、片材搬送装置；

20、支架；21、导向连接件；22、轨道；

30、升降机构；31、第一驱动器；32、凸轮；33、从动件；34、传动块；35、固定架；36、升降导向件；37、转动轴；381、第一检测器；382、第一被检测件；391、第二检测器；392、第二被检测件；

40、搬运机构；41、第二驱动器；42、横移转动组件；421、同步带；422、同步轮；43、搬运臂；431、滑块；432、安装部；433、臂部；441、起点检测器；442、终点检测器；443、第三被检测件；

500、片材。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1至图4，现对本申请实施例提供的片材搬送装置10进行说明。该片材搬送装置10包括支架20、升降机构30及搬运机构40。升降机构30包括第一驱动器31及凸轮32机构，凸轮32机构包括凸轮32及从动件33，凸轮32与第一驱动器31连接，第一驱动器31用于驱动凸轮32转动；从动件33与凸轮32的外轮廓接触连接，从动件33能够被凸轮32带动做往复升降运动。从动件33远离凸轮32的一端连接支架20，搬运机构40连接支架20，支架20及搬运机构40能够跟随从动件33做往复升降运动；搬运机构40用于横向输送待搬运片材500。

本申请实施例提供的片材搬送装置10，设置有搬运机构40和升降机构30，搬运机构40安装在支架20上，搬运机构40用于横向输送待搬运片材500，升降机构30的从动件33连接支架20，第一驱动器31驱动凸轮32转动，从动件33沿着凸轮32的外轮廓转动，被凸轮32带动做往复运动，支架20和搬运机构40跟随从动件33做往复升降运动，从而带动待搬运片材500上升和下降，升降机构30的定位准确，精度高，且动力传输稳定，减少了由于升降定位不准确和精度不够带来的问题，提高了片材搬送装置10的搬送效率，进而提高产生的生产效率和产品质量。

一个实施例中，如图1所示，支架20为四方形框架结构，支架20的四个侧边均可用于安装部432件。当然，支架20的结构不仅限于四方形框架结构，在可以安装如本申请实施例的升降机构30和搬运机构40的前提下，能够正常运行的支架20结构均可。

可选地，升降机构30还包括传动块34，传动块34的两端分别连接从动件33和支架20，传动块34用于带动支架20和搬运机构40上升和下降。

可选地，升降机构30还包括固定架35和升降导向件36，升降导向件36和第一驱动器31安装于固定架35上；支架20设有导向连接件21，导向连接件21滑动连接升降导向件36。在从动件33被凸轮32带动做往复升降运动的过程中，升降导向件36和导向连接件21配合工作，用于导向待搬运片材500升降。

可选地，升降机构30还包括转动轴37、第一检测组件及第二检测组件，第一检测组件包括第一检测器381及第一被检测件382，第二检测组件包括第二检测器391及第二被检测件392；转动轴37连接第一驱动器31，凸轮32、第一被检测件382及第二被检测件392分别设于转动轴37上。在转动轴37旋转的过程中，第一被检测件382与第一检测器381配合工作以检测从动件33是否上升至最高点，第二被检测件392与第二检测器391配合工作以检测从动件33是否下降至最低点。

一个示例中，如图3所示，第一被检测件382和第二被检测件392均为片状结构，第一被检测件382设有第一豁口，第二被检测件392设有第二豁口。第一检测器381具有两个可相互感应的第一检测臂，第一被检测件382的周缘可转动地位于两个第一检测臂之间，在从动件33未到达最高点时，用于间隔两个第一检测臂。第二检测器391具有两个可相互感应的第二检测臂，第二被检测件392的周缘可转动地位于两个第二检测臂之间，在从动件33未到达最低点时，用于间隔两个第二检测臂。当从动件33随凸轮32运动上升到最高点时，第一豁口对应两个第一检测臂的位置，两个第一检测臂相互感应，触发第一检测器381；从动件33随凸轮32运动下降到最低点时，第二豁口对应两个第二检测臂的位置，两个第二检测臂相互感应，触发第二检测器391。

可选地，升降机构30的数量为二，两个升降机构30的从动件33分别连接于支架20相对的两侧。采用两个第一驱动器31分别驱动两个凸轮32同时转动，带动支架20的两侧同时上升或下降，两套独立的驱动系统同时工作，动力输出稳定，提高升降稳定性。

第一驱动器31可以为电机，通过电机驱动转动轴37转动，带动凸轮32转动。

在本申请一个实施例中，请参阅图1和图2，搬运机构40包括第二驱动器41、横移传动组件42和搬运臂43；第二驱动器41安装于支架20上，横移传动组件42连接于第二驱动器41的输出端，横移传动组件42能够将第二驱动器41输出的运动转换成横向往复运动，搬运臂43与横移传动组件42连接，搬运臂43用于支撑待搬运片材500。

可选地，搬运机构40包括至少两组横移传动组件42及至少两个搬运臂43，至少两组横移传动组件42分别间隔设于支架20上，至少两组横移传动组件42分别与第二驱动器41的输出端连接；至少两个搬运臂43分别与至少两个横移传动组件42连接，至少两个搬运臂43用于分别支撑待搬运片材500的不同位置。

在一个示例中，如图1所示，搬运机构40包括两组横移传动组件42及两个搬运臂43，两组横移传动组件42间隔、平行设置于支架20上，两个搬运臂43与两组横移传动组件42一一对应连接。搬运时，两个搬运臂43平行移动，两个搬运臂43可配合工作，共同搬运一件片材500，增加搬运的稳定性，或者两个搬运臂43分别单独搬运片材500，提高搬运效率。

可选地，横移传动组件42包括同步带421及至少两个同步轮422，其中一个同步轮422连接第二驱动器41的输出端，同步带421连接至少两个同步轮422，同步带421为横向设置。第二驱动器41可以为两端连接有转轴的电机，电机转动驱动两端的转轴转动，转轴带动同步轮422转动，同步带421随着同步轮422的转动而运动，从而带动搬运臂43横向移动。

可选地，支架20上设有轨道22，搬运臂43上设有滑块431，滑块431滑设于轨道22上。轨道22和滑块431的配合工作对搬运臂43的移动具有支撑和导向的作用，使搬运臂43沿轨道22的延伸方向稳定地往复运动。

当搬运机构40包括两组横移传动组件42及两个搬运臂43时，对应地，轨道22的数量为二，两条轨道22与两个搬运臂43的滑块431一一滑动连接。

可选地，搬运臂43包括安装部432及连接安装部432的至少一个臂部433，安装部432连接横移传动组件42，滑块431设置于安装部432。如此，安装部432可连接多个臂部433，每个臂部433均可单独工作搬运片材500，提高工作效率，或者多个臂部433配合工作搬运片材500，多个臂部433用于支撑片材500的多个位置，以增加搬运的稳定性。

可选地，臂部433远离安装部432的一端设有弯折结构，用于增加臂部433与片材500的接触面积，增加搬运的稳定性。

可选地，搬运机构40还包括第三检测组件；第三检测组件包括起点检测器441、终点检测器442和第三被检测件443，起点检测器441和终点检测器442分别安装于支架20上，第三被检测件443安装于搬运臂43；搬运臂43横向输送待搬运片材500过程中，起点检测器441与第三被检测件443配合工作以检测搬运臂43是否到达预设的起点位置，终点检测器442与第三被检测件443配合工作以检测搬运臂43是否到达预设的终点位置。

当搬运机构40包括两组横移传动组件42及两个搬运臂43时，对应地，第三检测组件的数量为二，两组第三检测组件分别用于检测两个搬运臂43的是否到达预设的起点位置或终点位置。

可以理解地，片材搬送装置10还包括控制系统，第一驱动器31、第一检测器381、第二检测器391、第二驱动器41、起点检测器441、终点检测器442均电连接控制系统，控制系统用于接收第一检测器381、第二检测器391、起点检测器441、终点检测器442的检测信号，并向第一驱动器31和第二驱动器41发出操作信号，以控制第一驱动器31和第二驱动器41的运作。

应用时，片材搬送装置10与其他设备配合使用，将片材500放置于片材搬送装置10上的设备成为上游设备，接收片材搬送装置10搬送的片材500的设备成为下游设备。

如图5所示，设片材搬送装置10处于初始状态中，此时，从动件33下降至最低点，搬运臂43位于起点位置。上游设备将待搬运片材500放置于搬运臂43上，片材搬送装置10启动，第二被检测件392触发第二检测器391，第三被检测件443触发起点检测器441，第一驱动器31驱动凸轮32转动，带动从动件33上升，至最高点，待搬运片材500上升至最高点，第一被检测件382触发第一检测器381；第二驱动器41驱动横向移动组件运动，带动搬运臂43从起点向终点移动，至终点位置，待搬运片材500移动至终点位置，第三被检测件443触发终点检测器442；第一驱动器31驱动凸轮32转动，带动从动件33下降，至最低点，待搬运片材500下降至最低点，下游设备接收待搬运片材500，完成一次片材500搬送。第二驱动器41驱动横向移动组件反向运动，带动搬运臂43回至起点，开始另一件待搬运片材500的搬送，重复上述操作，如此循环，可连续搬送片材500。

本申请实施例的片材搬送装置10可采用两个升降机构30，通过两套独立的驱动系统，带动从动件33上升和下降，从而带动支架20和搬运机构40上升和下降，搬运机构40采用双处理轴驱动器，两套横向移动组件运动，与第三检测组件配合使用，可准确定位搬运位置，搬运的准确度和精度高，而且，可根据需要同时搬运多片片材500，搬运效率高。

本申请实施例的片材搬送装置10结构不复杂，提高了片材500的搬送速度和效率，同时也提高了片材500搬送的稳定性，结构构思巧妙、集成度高、动作可靠、降低了设备的维护成本。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种升降机构，应用于片材搬送装置，其特征在于：所述升降机构包括：

第一驱动器；及

凸轮机构，所述凸轮机构包括凸轮及从动件，所述凸轮与所述第一驱动器连接，所述第一驱动器用于驱动所述凸轮转动；所述从动件与所述凸轮的外轮廓接触连接，所述从动件能够被所述凸轮带动做往复升降运动，所述从动件设置为与待搬运片材连接。

2.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于：所述升降机构还包括转动轴、第一检测组件及第二检测组件，所述第一检测组件包括第一检测器及第一被检测件，所述第二检测组件包括第二检测器及第二被检测件；所述转动轴连接所述第一驱动器，所述凸轮、所述第一被检测件及所述第二被检测件分别设于所述转动轴上；在所述转动轴旋转的过程中，所述第一被检测件与所述第一检测器配合工作以检测所述从动件是否上升至最高点，所述第二被检测件与所述第二检测器配合工作以检测所述从动件是否下降至最低点。

3.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于：所述升降机构还包括固定架和升降导向件，所述升降导向件和第一驱动器安装于所述固定架上，所述升降导向件用于导向所述待搬运片材升降。

4.一种片材搬送装置，其特征在于：包括支架、搬运机构及如权利要求1至3任一所述的升降机构；所述从动件远离所述凸轮的一端连接所述支架，所述搬运机构连接所述支架，所述支架及所述搬运机构能够跟随所述从动件做往复升降运动；所述搬运机构用于横向输送待搬运片材。

5.如权利要求4所述的片材搬送装置，其特征在于：所述搬运机构包括第二驱动器、横移传动组件和搬运臂；所述第二驱动器安装于所述支架上，所述横移传动组件连接于所述第二驱动器的输出端，所述横移传动组件能够将所述第二驱动器输出的运动转换成横向往复运动，所述搬运臂与所述横移传动组件连接，所述搬运臂用于支撑所述待搬运片材。

6.如权利要求5所述的片材搬送装置，其特征在于：所述搬运机构包括至少两组所述横移传动组件及至少两个搬运臂，至少两组所述横移传动组件分别间隔设于所述支架上，至少两组所述横移传动组件分别与所述第二驱动器的输出端连接；至少两个所述搬运臂分别与至少两个所述横移传动组件连接，至少两个所述搬运臂用于分别支撑所述待搬运片材的不同位置。

7.如权利要求6所述的片材搬送装置，其特征在于：所述支架上设有轨道，所述搬运臂上设有滑块，所述滑块滑设于所述轨道上。

8.如权利要求5所述的片材搬送装置，其特征在于：所述搬运机构还包括第三检测组件；所述第三检测组件包括起点检测器、终点检测器和第三被检测件，所述起点检测器和终点检测器分别安装于所述支架上，所述第三被检测件安装于所述搬运臂；所述搬运臂横向输送所述待搬运片材过程中，所述起点检测器与所述第三被检测件配合工作以检测所述搬运臂是否到达预设的起点位置，所述终点检测器与所述第三被检测件配合工作以检测所述搬运臂是否到达预设的终点位置。

9.如权利要求7所述的片材搬送装置，其特征在于：所述升降机构的数量为二，两个所述升降机构的所述从动件分别连接于所述支架相对的两侧。

10.如权利要求4所述的片材搬送装置，其特征在于：所述升降机构还包括固定架和升降导向件，所述升降导向件和第一驱动器安装于所述固定架上；所述支架设有导向连接件，所述导向连接件滑动连接所述升降导向件；在所述从动件被所述凸轮带动做往复升降运动的过程中，所述升降导向件和所述导向连接件配合工作，用于导向所述待搬运片材升降。

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