CN216731478U - 一种光罩存放盒固定、开启装置及其构成的放置架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光罩存放盒固定、开启装置及其构成的放置架，其特征在于：包括安装架(1)，分别设置在所述安装(1)上的下压机构、两个侧面定位机构(6)以及开门机构；所述下压机构和两个所述侧面定位机构(6)之间形成用于放置光罩存放盒(16)的放置空间，所述下压机构用于从上方压紧所述光罩存放盒(16)，两个所述侧面定位机构(6)用于从两侧夹持所述光罩存放盒(16)，所述开门机构用于开启所述光罩存放盒(16)的盒门(122)。本实用新型通过下压机构和侧面定位机构可以对光罩存放盒进行固定，同时再通过开门机构来打开光罩存放盒的盒门，方便后续智能机械手拿取光罩，提升光罩检测效率。

Description

一种光罩存放盒固定、开启装置及其构成的放置架

技术领域

本实用新型涉及光罩检测技术领域，具体是指一种光罩存放盒固定、开启装置及其构成的放置架。

背景技术

光罩存放盒是用于存放光罩的器具，其结构如图1所示，包括盒体12，设置在盒体12上的盒门122，设置在盒体12两侧的把手121，光罩13则存放于盒体12内。该盒门122由弹簧牵引，当取出或放入光罩后，弹簧会拉动盒门122 自动关闭。

光罩在使用前或入库前需要将其从光罩存放盒内取出，以检测其表面是否附着有灰尘颗粒或是否破损，排除因光罩表面存在缺陷而影响后期电路图形的曝光质量。检测时，传统的拿取方式是由人工打开盒门122后再将光罩取出，然后将光罩放置于检测设备上进行检测。

随着科技的发展，有些企业开始采用智能机械手来拿取光罩，智能机械手不仅可以大幅提高工作效率，并且可以避免拿取过程中误伤光罩，因此采用智能机械手进行作业是未来的发展趋势。然而，目前还没有一种能够很好的将光罩存放盒进行固定并打开光罩存放盒以配合智能机械手拿取动作的装置，基于此，本申请提供一种光罩存放盒固定、开启装置及其构成的放置架，以配合智能机械手的拿取动作，进一步提高工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述问题，提供一种光罩存放盒固定、开启装置及其构成的放置架，其能够很好的固定并打开光罩存放盒，以便于智能机械手能够拿取光罩存放盒内部的光罩，提高智能机械手的工作效率。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：一种光罩存放盒固定、开启装置，其包括安装架，分别设置在所述安装架上的下压机构、两个侧面定位机构以及开门机构；所述下压机构和两个所述侧面定位机构之间形成用于放置光罩存放盒的放置空间，所述下压机构用于从上方压紧所述光罩存放盒，两个所述侧面定位机构用于从两侧夹持所述光罩存放盒，所述开门机构用于开启所述光罩存放盒的盒门。

进一步的，所述开门机构包括设置在所述安装架上的电机，安装于所述电机主轴上的摇臂。

再进一步的，所述下压机构包括设置在安装架上的压杆，设置在所述压杆下端的压轮，设置在所述压杆上的扭簧；所述压杆能上下转动，且所述压杆向上转动时能挤压所述扭簧。

所述侧面定位机构包括设置在所述安装架上的安装座，设置在所述安装座上的侧面导向轮；两个所述侧面定位机构上的所述侧面导向轮能从两侧夹持所述光罩存放盒。

所述安装座上设置有安装槽，所述安装槽内安装有安装块，所述安装块背向所述光罩存放盒一侧与所述安装槽的槽壁之间设置有压缩弹簧；所述侧面导向轮设置于所述安装块上，所述安装块能在所述安装槽内移动，且所述安装块移动时能挤压所述压缩弹簧。

作为另一种方案，所述安装架的前端设置有前端红外传感器，其后端设置有后端红外传感器。

所述安装架和/或所述侧面定位机构上设置有用于限定所述光罩存放盒前后位置的伸缩气缸和限位柱。

所述安装架或所述侧面定位机构上设置有用于支撑所述光罩存放盒的底部侧面导向轮。

本申请还提供了一种放置架，其包括支架和若干个上述的光罩存放盒固定、开启装置；所有光罩存放盒固定、开启装置均设置于支架上。

与现有技术相比，本申请具有如下有益效果：

(1)本实用新型通过下压机构和侧面定位机构可以对光罩存放盒进行固定，同时再通过开门机构来打开光罩存放盒的盒门，方便后续智能机械手拿取光罩，提升光罩检测效率。

(2)本实用新型通过设置限位柱和伸缩气缸来对光罩存放盒的前后位置进行定位，并设置前端红外传感器和后端红外传感器对光罩存放盒的位置进行检测，其能够确保光罩存放盒放置到位，提升后续智能机械手拿取光罩时的准确率。

本申请的一部分附加特性可以在下面的描述中进行说明。通过对以下描述和相应附图的检查或者对实施例的生产或操作的了解，本申请的一部分附加特性对于本领域技术人员是明显的。本申请披露的特性可以通过对以下描述的具体实施例的各种方法、手段和组合的实践或使用得以实现和达到。

附图说明

在此所述的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的限定。在各图中，相同标号表示相同部件。其中，

图1为现有光罩存放盒的结构图。

图2为本实用新型的光罩存放盒固定、开启装置的第一视角的结构图。

图3为本实用新型的光罩存放盒固定、开启装置的第二视角的结构图。

图4为本实用新型的侧面定位机构的结构图。

图5为本实用新型的安装座上设置有安装槽的结构图。

图6为本实用新型的侧面导向轮设置于安装块上的结构图。

图7为光罩存放盒放置于光罩存放盒固定、开启装置内的结构图。

图8为本实用新型的放置架只设置一组支架时的结构图。

图9为本实用新型的放置架设置有多组支架时的结构图。

上述附图中的附图标记为：1—安装架，2—前端红外传感器，3—伸缩气缸， 4—底部侧面导向轮，5—限位柱，6—侧面定位机构，61—安装座，62—侧面导向轮，63—安装块，64—压缩弹簧，65—安装槽，7—电机，8—摇臂，9—压轮， 10—扭簧，11—后端红外传感器，12—盒体，121—把手，122—盒门，13—光罩，14—支架，15—压杆，16—光罩存放盒。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，如果本申请的说明书和权利要求书及上述附图中涉及到术语“第一”、“第二”等，其是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，如果涉及到术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本申请中，如果涉及到术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等，其指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。

此外，在本申请中，如果涉及到术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”等应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

实施例1

本实施例公开了一种光罩存放盒固定、开启装置，其用于放置图1中所示的光罩存放盒。具体的，如图2、3所示，其包括安装架1，分别设置在所述安装架1上的下压机构、两个侧面定位机构6以及开门机构。该安装架1包括有底板，连接在底板后端的后端板，设置在后端板左右两端且位于底板上方的两根横梁。两个侧面定位机构6分别设置于底板左右两侧，而下压机构设置在横梁上。根据实际使用情况，下压机构的数量可设置为多个，它们分别分布于左右两根横梁上。下压机构和两个所述侧面定位机构6之间形成用于放置光罩存放盒16的放置空间，而后端板上可设置一个放置口。使用时将光罩存放盒16从放置口推入到放置空间内，由下压机构从上方压紧该光罩存放盒16，两个侧面定位机构6则从两侧夹持所述光罩存放盒16，从而将光罩存放盒16固定。

该开门机构可以安装于横梁上，其位于靠近底板前端一侧，用于开启所述光罩存放盒16的盒门122。

具体的，所述开门机构包括设置在所述安装架1上的电机7，安装于所述电机7主轴上的摇臂8。该电机7能驱动摇臂8转动，当光罩存放盒16放入到放置空间内后，电机7驱动摇臂8转动，摇臂8转动的过程中其前端抵靠光罩存放盒16的盒门122的边缘，进而推动盒门122打开。当电机7带动摇臂8反转时，由于摇臂8不再给盒门122施加推力，盒门122在光罩存放盒16内弹簧的拉力作用下自行关闭。

该下压机构包括设置在安装架1上的压杆15，设置在所述压杆15下端的压轮9，设置在所述压杆15上的扭簧10。具体设置时，该压杆15上具有转轴，整个压杆15通过转轴安装在安装架1的横梁上，并且该压杆15能以转轴为中心上下转动。该扭簧10套设在压杆15的转轴上，当压杆15向上转动时能挤压所述扭簧10。压轮9安装于压杆15的下端，并且能够转动，方便光罩存放盒 16推入放置空间内。

通过上述结构，当将光罩存放盒16推入放置空间的过程中，光罩存放盒16 向上顶起压杆15，使压杆15向上转动，此时扭簧10受挤压，又由于扭簧10的回复力作用，使得压杆15有一个向下的压力，进而使压轮9向下压紧光罩存放盒16的上表面。

如图4～6所示，所述侧面定位机构6包括设置在安装架1的底板上的安装座 61，设置在安装座61上的侧面导向轮62。当将光罩存放盒16推入到放置空间内时，左右两个侧面定位机构6上的侧面导向轮62能从两侧夹持该光罩存放盒 16。该侧面导向轮62能够转动，方便光罩存放盒16推入放置空间。

另外，所述安装座61上表面设置有安装槽65，安装槽65内安装有安装块 63，安装块63背向光罩存放盒16一侧与所述安装槽65的槽壁之间设置有压缩弹簧64。该安装块63的宽度小于安装槽65的宽度，使得安装块63能在所述安装槽65内移动，并且当安装块63移动时能挤压所述压缩弹簧64，使压缩弹簧 64收缩。

侧面导向轮62设置于所述安装块63上，在初始状态下，左右两个侧面定位机构6上的侧面导向轮62之间的距离略小于光罩存放盒16的宽度，当将光罩存放盒16推入放置空间时，光罩存放盒16挤压左右两个侧面定位机构6的侧面导向轮62，使安装块63在安装槽65内移动，此时压缩弹簧64被压缩，又由于压缩弹簧64的回复力作用，使得左右两个侧面定位机构6的侧面导向轮62 从两侧将光罩存放盒16夹紧。

另外，安装架1上设置有用于限定所述光罩存放盒16前后位置的伸缩气缸3 和限位柱5。具体设置时，限位柱5位于安装架1的前端，而伸缩气缸3则位于安装架1的后端。当光罩存放盒16推入到位时，光罩存放盒16的把手121抵靠到限位柱5上，通过限位柱5来限定光罩存放盒16前端的位置。光罩存放盒16推送到位后，控制伸缩气缸3的伸缩头伸出，从后端对光罩存放盒16进行限位。当然，伸缩气缸3和限位柱5也可设置在侧面定位机构6的安装座上，或者安装架1和侧面定位机构6的安装座上都设置伸缩气缸3和限位柱5，其设置方式同样是限位柱5在前，伸缩气缸3在后。

使用时，将光罩存放盒16的盒门122朝向前端并将光罩存放盒16从放置口推入到放置空间内，使光罩存放盒16两侧的把手抵靠在限位柱5上，当光罩存放盒16推送到位后控制伸缩气缸3的伸缩头伸出，从后端对光罩存放盒16进行限位，此时下压机构从上方压紧光罩存放盒16，两个侧面定位机构6从两侧将光罩存放盒16夹紧，光罩存放盒16得以固定。控制电机7工作，电机7驱动摇臂8转动，摇臂8转动的过程中其前端抵靠光罩存放盒16的盒门122的边缘，进而推动盒门122打开，如图7所示，智能机械手从前端将光罩13取出进行检测并入库，光罩13取出后控制伸缩气缸3的伸缩头收缩，取出光罩存放盒 16即可。

实施例2

本实施例在实施例1的基础上，其在安装架1的前端设置有前端红外传感器 2，安装架1的后端设置有后端红外传感器11。如果后端红外传感器11检测到光罩存放盒16而前端红外传感器2没有检测到光罩存放盒16，说明光罩存放盒 16还需要进一步向前推送。当后端红外传感器11没有检测到光罩存放盒16而前端红外传感器2检测到光罩存放盒16，说明可能由于光罩存放盒16没有与限位柱5抵靠等原因而使得光罩存放盒16过度向前推送。只有当光罩存放盒16 推送到位后，前端红外传感器2和后端红外传感器11均会检测到光罩存放盒16，此时智能机械手才会进行后续的拿取动作。

实施例3

本实施例在实施例1或2的基础上，其在安装架1上设置有底部侧面导向轮 4，该底部侧面导向轮4能够转动，其用于支撑所述光罩存放盒16。即当光罩存放盒16从放置口推入时会被置于底部侧面导向轮4上，通过设置底部侧面导向轮4可以更顺畅的将光罩存放盒16推入放置空间内。当然，该底部侧面导向轮4也可以设置于侧面定位机构6的安装座上。

实施例4

本实施例提供了一种放置架，该放置架包括有支架14和若干个上述实施例 1～3中任意一种光罩存放盒固定、开启装置。具体设置时，所有的光罩存放盒固定、开启装置均设置于支架14上。

具体的，支架14包括两块相对设置的安装板，光罩存放盒固定、开启装置则由上至下依次安装在两块安装板之间。如图8、9所示，该支架14可以设置为一组，也可以设置为多组，每一组支架14上都安装有光罩存放盒固定、开启装置。

需要注意的是，本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

另外，上述具体实施例是示例性的，本领域技术人员可以在本实用新型公开内容的启发下想出各种解决方案，而这些解决方案也都属于本实用新型的公开范围并落入本实用新型的保护范围之内。本领域技术人员应该明白，本实用新型说明书及其附图均为说明性而并非构成对权利要求的限制。本实用新型的保护范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：包括安装架(1)，分别设置在所述安装架(1)上的下压机构、两个侧面定位机构(6)以及开门机构；所述下压机构和两个所述侧面定位机构(6)之间形成用于放置光罩存放盒(16)的放置空间，所述下压机构用于从上方压紧所述光罩存放盒(16)，两个所述侧面定位机构(6)用于从两侧夹持所述光罩存放盒(16)，所述开门机构用于开启所述光罩存放盒(16)的盒门(122)。

2.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述开门机构包括设置在所述安装架(1)上的电机(7)和安装于所述电机(7)主轴上的摇臂(8)。

3.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述下压机构包括设置在安装架(1)上的压杆(15)、设置在所述压杆(15)下端的压轮(9)和设置在所述压杆(15)上的扭簧(10)；所述压杆(15)能上下转动，且所述压杆(15)向上转动时能挤压所述扭簧(10)。

4.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述侧面定位机构(6)包括设置在所述安装架(1)上的安装座(61)和设置在所述安装座(61)上的侧面导向轮(62)；两个所述侧面定位机构(6)上的所述侧面导向轮(62)能从两侧夹持所述光罩存放盒(16)。

5.根据权利要求4所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述安装座(61)上设置有安装槽(65)，所述安装槽(65)内安装有安装块(63)，所述安装块(63)背向所述光罩存放盒(16)一侧与所述安装槽(65)的槽壁之间设置有压缩弹簧(64)；所述侧面导向轮(62)设置于所述安装块(63)上，所述安装块(63)能在所述安装槽(65)内移动，且所述安装块(63)移动时能挤压所述压缩弹簧(64)。

6.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述安装架(1)的前端设置有前端红外传感器(2)，其后端设置有后端红外传感器(11)。

7.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述安装架(1)和/或所述侧面定位机构(6)上设置有用于限定所述光罩存放盒(16)前后位置的伸缩气缸(3)和限位柱(5)。

8.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述安装架(1)或所述侧面定位机构(6)上设置有用于支撑所述光罩存放盒(16)的底部侧面导向轮(4)。

9.一种放置架，其特征在于：包括支架(14)和若干个权利要求1～8任一项所述的光罩存放盒固定、开启装置；所有光罩存放盒固定、开启装置均设置于支架(14)上。

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