CN216558160U - 一种刻蚀清洗机硅片烘干装置 - Google Patents
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 80
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 80
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 80
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 241000220317 Rosa Species 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002120 nanofilm Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Images
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型公开一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，涉及光伏自动化设备领域。该刻蚀清洗机硅片烘干装置，过滤箱，所述过滤箱前端设有风机主体；连接板，所述连接板顶部设有风刀盒，所述风刀盒内腔固定连接有上风刀，所述上风刀底部开设有上出风口，所述上风刀顶部固定连接有第一风管。该刻蚀清洗机硅片烘干装置，热风从第一风管和第二风管进入上风刀和上出风口内，通过上出风口下出风口斜口吹向从上滚筒和下滚筒经过的硅片主体，当硅片主体经过时，硅片主体上的水在热风的作用下向硅片主体移动的反方向移动，达到硅片主体被吹干的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏自动化设备技术领域，具体为一种刻蚀清洗机硅片烘干装置。
背景技术
HIT太阳能光伏电池是以光照射侧的p/i型a-Si膜和背面侧的i/n型a-Si膜夹住单结晶硅片来构成的。HIT太阳能光伏电池基板以硅基板为主，在硅基板上沉积高能隙的硅纳米薄膜，表层再沉积透明导电膜，背面设有背表面电场。通过优化硅的表面结构，可以降低透明导电氧化层和a-Si层的光学吸收损耗。
随着对晶体硅电池的生产工艺的不断改进，电池的硅片在清洗的最后一道工艺会采用“冷水脱水”的方法以使得电池片拥有更好的电性能，因此，硅片由滚筒运输经过刻蚀清洗设备前道工序水洗时会有大量的冷水被带入设备内，影响设备正常运行，且容易影响硅片的生产质量，因此，提出一种刻蚀清洗机硅片烘干装置以解决上述问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，包括：
过滤箱，所述过滤箱前端设有风机主体；
连接板，所述连接板顶部设有风刀盒，所述风刀盒内腔固定连接有上风刀，所述上风刀底部开设有上出风口，所述上风刀顶部固定连接有第一风管，所述第一风管顶部穿过风刀盒向上延伸；
第一旋转杆，所述连接板顶部设有第一旋转杆，所述第一旋转杆外壁固定连接有下滚筒，所述下滚筒顶部设有硅片主体，所述硅片主体位于上出风口下方。
优选的，所述风刀盒内腔固定连接有下风刀，所述下风刀顶部开设有下出风口，所述下出风口位于硅片主体下方，所述下风刀底部设有第二风管。
优选的，所述连接板顶部设有第二旋转杆，所述第二旋转杆外壁固定连接有上滚筒，所述硅片主体外壁活动插接在上滚筒和下滚筒之间，所述上滚筒和下滚筒活动插接在上出风口和下出风口之间。
优选的，所述下滚筒左端固定连接有第一齿轮，所述上滚筒左端固定连接有第二齿轮，所述下滚筒左端固定连接的第一齿轮与上滚筒左端固定连接的第二齿轮啮合连接。
优选的，所述过滤箱左端设有连接管，所述第一风管上端活动插接在连接管内，所述连接管外壁设有风阀。
优选的，所述过滤箱左壁开设有凹槽，所述过滤箱左壁开设的凹槽内壁互动插接有移动板。
本实用新型公开了一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，其具备的有益效果如下：
1、该刻蚀清洗机硅片烘干装置，通过设置第一旋转杆、下滚筒、第二旋转杆、上滚筒和硅片主体的位置关系，使得下滚筒转动带动上滚筒同时转动，使得带动硅片主体向后移动，再通过上风刀、上出风口、下风刀、下出风口与硅片主体的位置关系，热风从第一风管和第二风管进入上风刀和上出风口内，通过上出风口下出风口斜口吹向从上滚筒和下滚筒经过的硅片主体，当硅片主体经过时，硅片主体上的水在热风的作用下向硅片主体移动的反方向移动，达到硅片主体被吹干的效果，便于满足硅片主体表面干燥无水渍的工艺需求，也保证硅片主体表面洁净，从而实现硅片经滚筒运输出刻蚀清洗设备后表面干燥，方便硅片后续操作处理。
2、该刻蚀清洗机硅片烘干装置，通过设置过滤箱左壁开设有凹槽，过滤箱左壁开设的凹槽内壁互动插接有移动板，移动板顶部卡接有过滤芯，方便拆卸，便于选择过滤效率，便于更换过滤芯，节省成本，方便车间员工操作调节，节省人工。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型风刀盒结构示意图；
图3为本实用新型第一风管结构示意图；
图4为本实用新型上出风口结构示意图。
图中：1、过滤箱；101、风机主体；102、连接管；103、风阀；104、移动板；2、连接板；201、风刀盒；202、第一风管；203、第二风管；204、上风刀；205、上出风口；206、下风刀；207、下出风口；3、第一旋转杆；301、下滚筒；302、第二旋转杆；303、上滚筒；304、硅片主体。
具体实施方式
本实用新型实施例公开一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，如图1-4所示，包括：
根据附图1所示，过滤箱1，过滤箱1前端设有风机主体101，风刀吹出的热风，由风机产生，风机由变频器控制，可调节频率控制风量大小，从风机出来的热风经过过滤箱进行过滤；
根据附图4所示，连接板2，连接板2顶部设有风刀盒201，风刀盒201内腔固定连接有上风刀204，上风刀204底部开设有上出风口205，上风刀204顶部固定连接有第一风管202，第一风管202顶部穿过风刀盒201向上延伸，热风从第一风管202进入上风刀204内，且上出风口205设置为斜口，具有一定角度，使风力能够比较集中于向硅片主体304运动的反方向，当硅片主体304经过时，硅片主体304上的水在热风的作用下向硅片移动的反方向移动，以此达到硅片主体304上表面被吹干的效果；
根据附图3和4所示，第一旋转杆3，连接板2顶部设有第一旋转杆3，第一旋转杆3外壁固定连接有下滚筒301，下滚筒301顶部设有硅片主体304，硅片主体304位于上出风口205下方，便于对硅片主体304进行输送。
根据附图4所示，风刀盒201内腔固定连接有下风刀206，下风刀206顶部开设有下出风口207，下出风口207位于硅片主体304下方，下风刀206底部设有第二风管203，热风从第二风管203进入下风刀206内，且下出风口207设置为斜口，使风力能够比较集中于向硅片主体304运动的反方向，当硅片主体304经过时，硅片主体304上的水在热风的作用下向硅片移动的反方向移动，以此达到硅片主体304下表面被吹干的效果。
根据附图3和4所示，连接板2顶部设有第二旋转杆302，第二旋转杆302外壁固定连接有上滚筒303，硅片主体304外壁活动插接在上滚筒303和下滚筒301之间，便于对硅片主体304进行输送，上滚筒303和下滚筒301活动插接在上出风口205和下出风口207之间，且便于热风吹向硅片主体304。
根据附图1、2和4所示，下滚筒301左端固定连接有第一齿轮，上滚筒303左端固定连接有第二齿轮，下滚筒301左端固定连接的第一齿轮与上滚筒303左端固定连接的第二齿轮啮合连接，便于使下滚筒301转动同时带动上滚筒303转动。
根据附图1所示，过滤箱1左端设有连接管102，第一风管202上端活动插接在连接管102内，连接管102外壁设有风阀103，从风机出来的热风经过过滤箱过滤，在通过风阀103进入到风刀吹到硅片主体304表面，风阀103方便调节风量大小。
根据附图1所示，过滤箱1左壁开设有凹槽，过滤箱1左壁开设的凹槽内壁互动插接有移动板104，移动板104顶部卡接有过滤芯，方便拆卸，便于选择过滤效率，便于更换过滤芯，节省成本，方便车间员工操作调节，节省人工。
工作原理：为了便于对硅片主体304外壁的水分进行处理，使用者可以通过将硅片主体304放置在上滚筒303与下滚筒301之间，通过下滚筒301逆时针向后转动，使得向后转动的下滚筒301带动上滚筒303顺时针向后移动，使得上滚筒303与下滚筒301外壁推动硅片主体304向后移动，且通过启动风机主体101，再打开风阀103，热风通过第一风管202进入上风刀204内，通过上出风口205向下吹出，硅片主体304向后移动时，热风经过硅片主体304的上表面，能够将硅片主体304的上表面的水吹干并烘干，且热风通过第二风管203进入下风刀206内，通过下出风口207向上吹出，热风经过硅片主体304的下表面，能够将硅片主体304的下表面的水吹干并烘干，便于对硅片主体304外壁的水分进行处理。
且通过向左拉动移动板104，使得移动板104带动滤芯向左移动，使得滤芯向过滤箱1外移动，便于对滤芯进行拆卸更换，便于选择过滤效率，方便更换过滤芯，节省成本。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，其特征在于，包括：
过滤箱(1)，所述过滤箱(1)前端设有风机主体(101)；
连接板(2)，所述连接板(2)顶部设有风刀盒(201)，所述风刀盒(201)内腔固定连接有上风刀(204)，所述上风刀(204)底部开设有上出风口(205)，所述上风刀(204)顶部固定连接有第一风管(202)，所述第一风管(202)顶部穿过风刀盒(201)向上延伸；
第一旋转杆(3)，所述连接板(2)顶部设有第一旋转杆(3)，所述第一旋转杆(3)外壁固定连接有下滚筒(301)，所述下滚筒(301)顶部设有硅片主体(304)，所述硅片主体(304)位于上出风口(205)下方。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，其特征在于：所述风刀盒(201)内腔固定连接有下风刀(206)，所述下风刀(206)顶部开设有下出风口(207)，所述下出风口(207)位于硅片主体(304)下方，所述下风刀(206)底部设有第二风管(203)。
3.根据权利要求1所述的一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，其特征在于：所述连接板(2)顶部设有第二旋转杆(302)，所述第二旋转杆(302)外壁固定连接有上滚筒(303)，所述硅片主体(304)外壁活动插接在上滚筒(303)和下滚筒(301)之间，所述上滚筒(303)和下滚筒(301)活动插接在上出风口(205)和下出风口(207)之间。
4.根据权利要求3所述的一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，其特征在于：所述下滚筒(301)左端固定连接有第一齿轮，所述上滚筒(303)左端固定连接有第二齿轮，所述下滚筒(301)左端固定连接的第一齿轮与上滚筒(303)左端固定连接的第二齿轮啮合连接。
5.根据权利要求1所述的一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，其特征在于：所述过滤箱(1)左端设有连接管(102)，所述第一风管(202)上端活动插接在连接管(102)内，所述连接管(102)外壁设有风阀(103)。
6.根据权利要求1所述的一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，其特征在于：所述过滤箱(1)左壁开设有凹槽，所述过滤箱(1)左壁开设的凹槽内壁互动插接有移动板(104)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220117116.3U CN216558160U (zh) | 2022-01-17 | 2022-01-17 | 一种刻蚀清洗机硅片烘干装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220117116.3U CN216558160U (zh) | 2022-01-17 | 2022-01-17 | 一种刻蚀清洗机硅片烘干装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216558160U true CN216558160U (zh) | 2022-05-17 |
Family
ID=81561851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202220117116.3U Ceased CN216558160U (zh) | 2022-01-17 | 2022-01-17 | 一种刻蚀清洗机硅片烘干装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216558160U (zh) |
-
2022
- 2022-01-17 CN CN202220117116.3U patent/CN216558160U/zh not_active Ceased
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| IW01 | Full invalidation of patent right | ||
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