CN208695734U - 一种枚叶式晶圆清洗机 - Google Patents
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Abstract
一种枚叶式晶圆清洗机，包括设备本体，所述本体包括槽体、进料端、出料端、蚀刻室、冲淋室、磨刷室和吹干室，所述槽体为箱体式结构，槽体两端分别设有进料端和出料端，进料端和出料端下部均设有电机和传动装置，所述传动装置与槽体中部水平设置的传送辊联动，所述冲淋室和蚀刻室的上部均设有喷嘴，冲淋室下部分别设有水箱和水泵，水箱分别与喷嘴、水泵连接，蚀刻室下部设有药液箱，药液箱与喷嘴连接，磨刷室设有磨刷机构，所述磨刷机构磨刷头和升降底座，磨刷头安装在升降底座上，且与传送辊齿轮联动，磨刷头位于传送辊上方，所述吹干室内设有风刀与气管，风刀对称安装在传送辊两侧，且分别与气管联通。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造设备领域，尤其涉及一种枚叶式晶圆清洗机。
背景技术
半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，为了满足量产上的需求，半导体的电性必须是可预测并且稳定的，因此包括掺杂物的纯度以及半导体晶格结构的品质都必须严格要求。常见的品质问题包括晶格的错位、双晶面，或是堆栈错误都会影响半导体材料的特性。对于一个半导体而言，材料晶格的缺陷通常是影响元件性能的主因。
湿式制程机台在封装、光伏、面板产业使用目前属于成熟型机种设计，也是半导体加工经常使用的机台，目前用来成长高纯度单晶体半导体材料最常见的方法称为裘可斯基制程，这种制程将一个单晶的晶种放入溶解的同材质液体中，再以旋转的方式换换向上拉起。在晶种被拉起时，溶质将会沿着固体和液体的接口固化，而旋转则可让溶质的温度均匀。制程过程中，单片制程药液无法回收，发生破片问题时会造成槽体穿孔破损，维修成本高昂，产能低下。
实用新型内容
本实用新型正是针对现有技术存在的不足，提供了一种枚叶式晶圆清洗机。
为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案如下：
一种枚叶式晶圆清洗机，包括设备本体，所述本体包括槽体、进料端、出料端、蚀刻室、冲淋室、磨刷室和吹干室，所述槽体为箱体式结构，槽体两端分别设有进料端和出料端，进料端和出料端下部均设有电机和传动装置，所述传动装置与槽体中部水平设置的传送辊联动，所述冲淋室包括冲淋前室、冲淋中室和冲淋后室，所述进料端至出料端水平方向依次为冲淋前室、蚀刻室、冲淋中室、磨刷室、冲淋后室和吹干室，所述冲淋室和蚀刻室的上部均设有喷嘴，冲淋室下部分别设有水箱和水泵，水箱分别与喷嘴、水泵连接，蚀刻室下部设有药液箱，药液箱与喷嘴连接，磨刷室设有磨刷机构，所述磨刷机构磨刷头和升降底座，磨刷头安装在升降底座上，且与传送辊齿轮联动，磨刷头位于传送辊上方，所述吹干室内设有风刀与气管，风刀对称安装在传送辊两侧，且分别与气管联通。
进一步的，所述蚀刻室的喷嘴分为两段式，水平前后布置，前后段之间设有与水管连接的喷淋管，药液箱与喷嘴之间的管路螺旋式回转连接。
进一步的，所述蚀刻室与磨刷室之间的冲淋室依次分为一阶段低压冲淋、二阶段低压冲淋和中压冲淋，一阶段低压冲淋和二阶段低压冲淋的喷嘴分别位于传送辊两侧，且分别错开上下两侧的双喷嘴。
进一步的，所述升降底座上设有马达固定座，马达固定座上安装有马达，马达与磨刷头联动，磨刷头端设有倾斜对称的喷淋嘴，喷淋嘴与水箱连接。
进一步的，所述设备本体一侧设有便于维修的通道。
进一步的，所述设备本体外部连接有冷却系统装置。
进一步的，所述水箱与喷嘴之间设有过滤装置。
进一步的，所述设备本体上设有进气管与抽气管路，进气管路与抽气管路循环联通。
本实用新型与现有技术相比较，本实用新型的有益效果如下：
本实用新型所述的一种枚叶式晶圆清洗机，电机驱动传动装置带动传动辊水平传送，经冲淋室的喷嘴进行冲淋，蚀刻室内喷嘴喷出化学药液进行浸泡洗净，再经低压冲淋、中压冲淋然后磨刷物理洗净，最后冲淋后风刀热风风切吹干后产出，可连续性生产，提高了生产效率，过程中水和药液能够循环使用，节约了经济成本，生产的产品不会发生破片和污损，提高了产品良率。
附图说明
图1为本实用新型所述的一种枚叶式晶圆清洗机结构示意图；
图2为磨刷室放大结构示意图。
具体实施方式
下面将结合具体的实施例来说明本实用新型的内容。
如图1和图2所示，所述的一种枚叶式晶圆清洗机，包括设备本体1，所述本体1包括槽体2、进料端3、出料端4、蚀刻室5、冲淋室6、磨刷室 7和吹干室8，所述槽体2为箱体式结构，槽体2两端分别设有进料端3和出料端4，进料端3和出料端4下部均设有电机9和传动装置10，所述传动装置10与槽体2中部水平设置的传送辊11联动，所述冲淋室6包括冲淋前室、冲淋中室和冲淋后室，所述进料端3至出料端4水平方向依次为冲淋前室、蚀刻室5、冲淋中室、磨刷室7、冲淋后室和吹干室8，所述冲淋室6和蚀刻室5的上部均设有喷嘴12，冲淋室6下部分别设有水箱13和水泵14，水箱13分别与喷嘴12、水泵14连接，蚀刻室5下部设有药液箱15，药液箱15与喷嘴12连接，磨刷室7设有磨刷机构17，所述磨刷机构 17磨刷头17和升降底座18，磨刷头17安装在升降底座18上，且与传送辊11齿轮联动，磨刷头17位于传送辊11上方，所述吹干室8内设有风刀 19与气管20，风刀19对称安装在传送辊11两侧，且分别与气管20联通。
所述蚀刻室5的喷嘴12分为两段式，水平前后布置，前后段之间设有与水管连接的喷淋管，药液箱15与喷嘴12之间的管路螺旋式回转连接，一次蚀刻后冲淋后再次蚀刻，能够提高蚀刻效果，螺旋式回转连接能够提高药液存储量，且占用空间小。
所述蚀刻室5与磨刷室7之间的冲淋室6依次分为一阶段低压冲淋、二阶段低压冲淋和中压冲淋，一阶段低压冲淋和二阶段低压冲淋的喷嘴12 分别位于传送辊11两侧，且分别错开上下两侧的双喷嘴12，充分冲淋洗净产片表面残留的药液等杂质。
所述升降底座18上设有马达固定座21，马达固定座21上安装有马达，马达与磨刷头17联动，磨刷头17端设有倾斜对称的喷淋嘴22，喷淋嘴22 与水箱13连接，确保磨刷头17运转传动良好，且磨刷充分，喷淋嘴22有效冲淋去除残留脏污。
所述设备本体1一侧设有便于维修的通道23，极大的方便了维护人员及时观察以及维护设备，确保设备运转的正常可靠。
所述设备本体1外部连接有冷却系统装置24，对于高温制程中产生的热量能够迅速吸收，控制制程的温度，达到最佳的生产工艺及良品率。
所述水箱13与喷嘴12之间设有过滤装置，减少污染源，提高产品的清洁度，提高产品的良率。
所述设备本体1上设有进气管23与抽气管路24，进气管23路与抽气管路24循环联通，控制设备本体1内工作环境的同时，对于高温制程中产生的热量能够循环利用，节约生产成本。
所述的一种枚叶式晶圆清洗机，电机9驱动传动装置10带动传动辊11 水平传送，经冲淋室6的喷嘴12进行冲淋，蚀刻室5内喷嘴12喷出化学药液进行浸泡洗净，再经低压冲淋、中压冲淋然后磨刷物理洗净，最后冲淋后风刀19热风风切吹干后产出，可连续性生产，提高了生产效率，过程中水和药液能够循环使用，节约了经济成本，生产的产品不会发生破片和污损，提高了产品良率。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，包括设备本体(1)，所述本体(1)包括槽体(2)、进料端(3)、出料端(4)、蚀刻室(5)、冲淋室(6)、磨刷室(7)和吹干室(8)，所述槽体(2)为箱体式结构，槽体(2)两端分别设有进料端(3)和出料端(4)，进料端(3)和出料端(4)下部均设有电机(9)和传动装置(10)，所述传动装置(10)与槽体(2)中部水平设置的传送辊(11)联动，所述冲淋室(6)包括冲淋前室、冲淋中室和冲淋后室，所述进料端(3)至出料端(4)水平方向依次为冲淋前室、蚀刻室(5)、冲淋中室、磨刷室(7)、冲淋后室和吹干室(8)，所述冲淋室(6)和蚀刻室(5)的上部均设有喷嘴(12)，冲淋室(6)下部分别设有水箱(13)和水泵(14)，水箱(13)分别与喷嘴(12)、水泵(14)连接，蚀刻室(5)下部设有药液箱(15)，药液箱(15)与喷嘴(12)连接，磨刷室(7)设有磨刷机构(16)，所述磨刷机构(16)磨刷头(17)和升降底座(18)，磨刷头(17)安装在升降底座(18)上，且与传送辊(11)齿轮联动，磨刷头(17)位于传送辊(11)上方，所述吹干室(8)内设有风刀(19)与气管(20)，风刀(19)对称安装在传送辊(11)两侧，且分别与气管(20)联通。
2.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述蚀刻室(5)的喷嘴(12)分为两段式，水平前后布置，前后段之间设有与水管连接的喷淋管，药液箱(15)与喷嘴(12)之间的管路螺旋式回转连接。
3.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述蚀刻室(5)与磨刷室(7)之间的冲淋室(6)依次分为一阶段低压冲淋、二阶段低压冲淋和中压冲淋，一阶段低压冲淋和二阶段低压冲淋的喷嘴(12)分别位于传送辊(11)两侧，且分别错开上下两侧的双喷嘴(12)。
4.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述升降底座(18)上设有马达固定座(21)，马达固定座(21)上安装有马达，马达与磨刷头(17)联动，磨刷头(17)端设有倾斜对称的喷淋嘴(22)，喷淋嘴(22)与水箱(13)连接。
5.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述设备本体(1)一侧设有便于维修的通道。
6.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述设备本体(1)外部连接有冷却系统装置。
7.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述水箱(13)与喷嘴(12)之间设有过滤装置。
8.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，所述设备本体(1)上设有进气管(23)与抽气管路(24)，进气管(23)路与抽气管路(24)循环联通。
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Cited By (2)
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| TWI726617B (zh) * | 2020-02-13 | 2021-05-01 | 大陸商北京爍科精微電子裝備有限公司 | 用於清洗晶圓的裝置 |
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