CN216354074U - 半导体先进先出加热机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了半导体先进先出加热机构，包括加热罐，所述加热罐的底部两端均通过螺栓安装有固定板，所述固定板的底部一端通过螺栓安装有支撑柱，所述支撑柱的底部焊接有基板，所述基板的顶部中间安装有储料箱，所述加热罐的顶部一端安装有进料管，所述加热罐的底部一端安装有出料管，所述加热罐的内部由上至下依次安装有输料斜板，所述加热罐的内壁两侧均对称通过固定架安装有吸气头，所述加热罐的外壁两侧中间均安装有冷却箱，所述冷却箱的顶部一端安装有抽风机，且抽风机一端通过导气管与吸气头连接，抽风机另一端伸入到冷却箱内，所述冷却箱内部两端均安装有过滤网，本实用新型，能对产生的碳化物和有害气体进行处理，保护了加工环境。

Description

半导体先进先出加热机构

技术领域

本实用新型涉及半导体器件加工技术领域，具体为半导体先进先出加热机构。

背景技术

半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间，利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件，半导体器件通过半导体材料制成，半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，石英级半导体，通常加热到一定温度会释出碳化物和有害气体，现有的加热机构不能对产生的碳化物和有害气体进行处理，影响加工环境，因此，设计半导体先进先出加热机构是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的在于提供半导体先进先出加热机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：半导体先进先出加热机构，包括加热罐，所述加热罐的底部两端均通过螺栓安装有固定板，所述固定板的底部一端通过螺栓安装有支撑柱，所述支撑柱的底部焊接有基板，所述基板的顶部中间安装有储料箱，所述加热罐的顶部一端安装有进料管，所述加热罐的底部一端安装有出料管，所述加热罐的内部由上至下依次安装有输料斜板，所述加热罐的内壁两侧均对称通过固定架安装有吸气头，所述加热罐的外壁两侧中间均安装有冷却箱，所述冷却箱的顶部一端安装有抽风机，且抽风机一端通过导气管与吸气头连接，抽风机另一端伸入到冷却箱内，所述冷却箱内部两端均安装有过滤网，所述冷却箱内部中间安装有环形冷凝管，所述冷却箱的一侧固定有净化箱，所述净化箱的内壁一端安装有纤维滤布滤芯，所述净化箱的内壁另一端安装有活性炭滤芯，所述净化箱外壁一端中间安装有排风扇。

在进一步的实施例中，所述加热罐的内壁顶部和底部均焊接有稳固板，所述进料管和出料管一端均固定在稳固板上，对进料管和出料管进行稳固，保证稳定。

在进一步的实施例中，所述环形冷凝管一端安装有进液管，所述环形冷凝管另一端安装有出液管，且进液管和出液管均穿过冷却箱与阀塞连接，方便进液出液。

在进一步的实施例中，所述纤维滤布滤芯和活性炭滤芯的顶端和底端均安装有插柱，所述净化箱的内壁顶部和底部开设有与插柱相配合的插槽，方便纤维滤布滤芯和活性炭滤芯的安装固定。

在进一步的实施例中，所述净化箱的底部一端安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的底部与固定板的顶部连接，保证净化箱稳定。

在进一步的实施例中，所述净化箱的内壁底部两端均安装有集尘斜板，所述集尘斜板的底部中间安装有振动电机，所述净化箱的底部中间通过螺纹连接有集尘盒，通过振动电机振动将集尘斜板上的灰尘振落并落入到集尘盒内进行收集。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：抽风机工作，通过吸气头将含有碳化物的有害气体吸入冷却箱内，通过过滤网对气体中的较大杂质进行过滤，高温气体与环形冷凝管内的冷却液进行热交换，实现降温处理，处理后的气体进入净化箱内，通过纤维滤布滤芯对气体中的细小杂质进行过滤，活性炭滤芯吸附异味，排风扇工作，将净化后的气体排出，保护了加工环境，通过集尘斜板、振动电机和集尘盒相配合，方便灰尘的收集。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

附图标记为：加热罐1、进料管2、出料管3、基板4、支撑柱5、固定板6、输料斜板7、吸气头8、冷却箱9、抽风机10、过滤网11、环形冷凝管12、净化箱13、纤维滤布滤芯14、活性炭滤芯15、排风扇16、集尘斜板17、振动电机18、集尘盒19、储料箱20、缓冲弹簧21。

具体实施方式

在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：半导体先进先出加热机构，包括加热罐1，加热罐1的底部两端均通过螺栓安装有固定板6，固定板6的底部一端通过螺栓安装有支撑柱5，支撑柱5的底部焊接有基板4，基板4的顶部中间安装有储料箱20，加热罐1的顶部一端安装有进料管2，加热罐1的底部一端安装有出料管3，加热罐1的内壁顶部和底部均焊接有稳固板，进料管2和出料管3一端均固定在稳固板上，对进料管2和出料管3进行稳固，保证稳定；加热罐1的内部由上至下依次安装有输料斜板7，加热罐1的内壁两侧均对称通过固定架安装有吸气头8，加热罐1的外壁两侧中间均安装有冷却箱9，冷却箱9的顶部一端安装有抽风机10，且抽风机10一端通过导气管与吸气头8连接，抽风机10另一端伸入到冷却箱9内，冷却箱9内部两端均安装有过滤网11，冷却箱9内部中间安装有环形冷凝管12，环形冷凝管12一端安装有进液管，环形冷凝管12另一端安装有出液管，且进液管和出液管均穿过冷却箱9与阀塞连接，方便进液出液；冷却箱9的一侧固定有净化箱13，净化箱13的内壁一端安装有纤维滤布滤芯14，净化箱13的内壁另一端安装有活性炭滤芯15，纤维滤布滤芯14和活性炭滤芯15的顶端和底端均安装有插柱，净化箱13的内壁顶部和底部开设有与插柱相配合的插槽，方便纤维滤布滤芯14和活性炭滤芯15的安装固定；净化箱13外壁一端中间安装有排风扇16，净化箱13的内壁底部两端均安装有集尘斜板17，集尘斜板17的底部中间安装有振动电机18，净化箱13的底部中间通过螺纹连接有集尘盒19，通过振动电机18振动将集尘斜板17上的灰尘振落并落入到集尘盒19内进行收集；净化箱13的底部一端安装有缓冲弹簧21，缓冲弹簧21的底部与固定板6的顶部连接，保证净化箱13稳定。

工作原理：抽风机10工作，通过吸气头8将含有碳化物的有害气体吸入冷却箱9内，通过过滤网11对气体中的较大杂质进行过滤，高温气体与环形冷凝管12内的冷却液进行热交换，实现降温处理，处理后的气体进入净化箱13内，通过纤维滤布滤芯14对气体中的细小杂质进行过滤，活性炭滤芯15吸附异味，排风扇16工作，将净化后的气体排出，保护了加工环境，通过集尘斜板17、振动电机18和集尘盒19相配合，方便灰尘的收集。

以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.半导体先进先出加热机构，包括加热罐（1），其特征在于：所述加热罐（1）的底部两端均通过螺栓安装有固定板（6），所述固定板（6）的底部一端通过螺栓安装有支撑柱（5），所述支撑柱（5）的底部焊接有基板（4），所述基板（4）的顶部中间安装有储料箱（20），所述加热罐（1）的顶部一端安装有进料管（2），所述加热罐（1）的底部一端安装有出料管（3），所述加热罐（1）的内部由上至下依次安装有输料斜板（7），所述加热罐（1）的内壁两侧均对称通过固定架安装有吸气头（8），所述加热罐（1）的外壁两侧中间均安装有冷却箱（9），所述冷却箱（9）的顶部一端安装有抽风机（10），且抽风机（10）一端通过导气管与吸气头（8）连接，抽风机（10）另一端伸入到冷却箱（9）内，所述冷却箱（9）内部两端均安装有过滤网（11），所述冷却箱（9）内部中间安装有环形冷凝管（12），所述冷却箱（9）的一侧固定有净化箱（13），所述净化箱（13）的内壁一端安装有纤维滤布滤芯（14），所述净化箱（13）的内壁另一端安装有活性炭滤芯（15），所述净化箱（13）外壁一端中间安装有排风扇（16）。

2.根据权利要求1所述的半导体先进先出加热机构，其特征在于：所述加热罐（1）的内壁顶部和底部均焊接有稳固板，所述进料管（2）和出料管（3）一端均固定在稳固板上。

3.根据权利要求1所述的半导体先进先出加热机构，其特征在于：所述环形冷凝管（12）一端安装有进液管，所述环形冷凝管（12）另一端安装有出液管，且进液管和出液管均穿过冷却箱（9）与阀塞连接。

4.根据权利要求1所述的半导体先进先出加热机构，其特征在于：所述纤维滤布滤芯（14）和活性炭滤芯（15）的顶端和底端均安装有插柱，所述净化箱（13）的内壁顶部和底部开设有与插柱相配合的插槽。

5.根据权利要求1所述的半导体先进先出加热机构，其特征在于：所述净化箱（13）的底部一端安装有缓冲弹簧（21），所述缓冲弹簧（21）的底部与固定板（6）的顶部连接。

6.根据权利要求1所述的半导体先进先出加热机构，其特征在于：所述净化箱（13）的内壁底部两端均安装有集尘斜板（17），所述集尘斜板（17）的底部中间安装有振动电机（18），所述净化箱（13）的底部中间通过螺纹连接有集尘盒（19）。

Images