CN216228685U

CN216228685U - 一种抛光机压头驱动装置

Info

Publication number: CN216228685U
Application number: CN202121720423.2U
Authority: CN
Inventors: 寇明虎; 刘泳沣
Original assignee: Beijing Tesidi Semiconductor Equipment Co ltd
Current assignee: Beijing Tesidi Semiconductor Equipment Co ltd
Priority date: 2021-07-28
Filing date: 2021-07-28
Publication date: 2022-04-08
Anticipated expiration: 2031-07-28

Abstract

本实用新型公开一种抛光机压头驱动装置，包括箱体、气缸、上固定板、中固定板、下固定板、轴、支撑杆和轴承座，所述轴的底部与压头连接，所述下固定板的下表面固定安装在所述箱体的上表面，所述支撑杆的下端固定安装在所述下固定板上表面四个角的位置，所述轴承座套设在所述支撑杆的外表面且固定安装在所述中固定板的下表面，所述支撑杆的上端与所述上固定板固定连接，所述气缸固定安装在所述上固定板的上表面，所述轴贯穿通过所述下固定板和所述中固定板，所述轴的上端贯穿所述中固定板的位置处安装有调心滚子轴承，所述调心滚子轴承的上端固定安装有轴承压盖。减少生产中因机加工或安装导致的误差造成的轴抖动，同时节省了空间。

Description

一种抛光机压头驱动装置

技术领域

本实用新型涉及抛光设备驱动领域，尤其是涉及一种抛光机压头驱动装置。

背景技术

抛光机用于对各种工件进行抛光研磨，需要抛光的工件安装在压头上进行抛光，在加工过程中，抛光机压头需要下压工件进行抛光，以前的传动是通过电机带动皮带来进行驱动，占用了较大空间，造成加工设备体积庞大，占地面积增加，且传动不稳定，会出现打滑跳动；另一方面，压头安装在用于驱动压头的轴的底部，轴与动力装置连接，进行抛光加工时，动力装置推动着轴进行下压，因为加工误差或者安装误差，会导致压头下压过程中出现抖动现象，严重影响了工件的加工精度和加工进度，并且对抛光设备造成损伤。

本实用新型为了克服上述缺陷，进行了有益的改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有技术中的上述不足，提供了一种抛光机压头驱动装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案。

一种抛光机压头驱动装置，其特殊之处在于：包括箱体、气缸、上固定板、中固定板、下固定板、轴、支撑杆和轴承座，所述轴的底部与压头连接，所述下固定板的下表面固定安装在所述箱体的上表面，所述支撑杆设置为四根，所述支撑杆的下端固定安装在所述下固定板上表面四个角的位置，所述中固定板套设在所述支撑杆的中部位置，所述支撑杆贯穿通过所述中固定板的四个角，所述轴承座套设在所述支撑杆的外表面且固定安装在所述中固定板的下表面，所述支撑杆的上端与所述上固定板固定连接，所述气缸固定安装在所述上固定板的上表面，所述轴贯穿通过所述下固定板和所述中固定板，且所述轴的上端安装在所述中固定板的中间位置，所述轴的上端贯穿所述中固定板的位置处安装有调心滚子轴承，所述调心滚子轴承的上端固定安装有轴承压盖。

优选地：所述轴承座和所述支撑杆之间设置有无油衬套。

优选地：所述轴采用花键轴。

优选地：所述抛光压头驱动装置还包括连接板、立柱，所述连接板设置在所述上固定板的下方且所述连接板的上表面中心位置与所述气缸的伸出杆固定连接，所述立柱设置有四根且所述立柱的上端与所述连接板的下表面固定连接，所述立柱的下端与所述中固定板固定连接，所述轴承压盖设置在四根立柱内。

优选地：所述抛光压头驱动装置还包括电机、电机齿轮、花键齿轮、花键固定法兰、花键轴套法兰和花键轴套，所述花键固定法兰设置在所述花键齿轮内部与所述花键齿轮固定连接，所述花键固定法兰和所述花键齿轮套设在所述花键轴外且所述花键固定法兰与所述花键轴外表面存在间隙，所述花键固定法兰的下表面与所述花键轴套的上表面固定连接，所述花键轴套与所述花键轴通过花键连接，所述花键轴套贯穿所述花键轴套法兰，所述花键轴套和所述花键轴套法兰之间设置有轴承，所述花键轴套法兰贯穿通过所述下固定板和所述箱体且与所述下固定板的上表面固定连接，所述电机齿轮与所述花键齿轮啮合，驱动所述固定法兰、花键轴套和花键轴同步旋转。

优选地：所述电机通过电机支架固定安装在所述箱体的上表面且位于所述下固定板的一侧，所述电机齿轮设置在所述电机支架内且所述电机齿轮与所述电机的输出轴固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1. 本实用新型通过设置气缸、上固定板、支撑杆、连接板、立柱、中固定板、轴承座、下固定板、花键齿轮、花键固定法兰、花键轴套、电机支座、电机齿轮和花键轴等部件的配合使用，解决了现有目前市场上的加工设备传动不稳定和占用空间较大的问题，该抛光机压头驱动装置，能够实现压头的上下和旋转运动，具备有效的减少占用空间和传动稳定的优点，

2.本实用新型采用花键轴、花键固定法兰、花键齿轮、花键轴套等的配合使用，提高了设备的传动稳定性和耐用性。

3. 本实用性在轴承座与支撑杆之间设置有无油衬套，实现中固定板和轴承座在支撑杆中滑动起到抖动控制。同时，采用调心滚子轴承，可以对轴的方向进行调整，减少生产中因机加工或安装导致的误差造成的轴抖动。

附图说明

图1是本实用新型抛光机压头驱动装置的整体结构图。

图2是本实用新型抛光机压头驱动装置的侧视图。

图3是图2中A-A向剖视图。

图4是图3中A处的放大图。

附图标记：1、气缸；2、上固定板；3、支撑杆；4、连接板；5、轴承压盖；6、立柱；7、中固定板；8、轴承座；9、电机；10、下固定板；11、花键齿轮；12、花键固定法兰；13、花键轴套法兰；14、电机支座；15、电机齿轮；16、花键轴；17、箱体；18、调心滚子轴承；19、花键轴套；20、轴承。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步的说明。

本实用新型的实施例参考图1-3所示，一种抛光机压头驱动装置，包括箱体17、气缸1、上固定板2、中固定板7、下固定板10、花键轴16、支撑杆3和轴承座8，所述花键轴16的底部与压头连接，所述下固定板10的下表面固定安装在所述箱体17的上表面，所述支撑杆3设置为四根，所述支撑杆3的下端固定安装在所述下固定板10上表面四个角的位置，所述中固定板7套设在所述支撑杆3的中部位置，所述支撑杆3贯穿通过所述中固定板7的四个角，所述轴承座8套设在所述支撑杆3的外表面且固定安装在所述中固定板7的下表面。

支撑杆3的上端与所述上固定板2固定连接，所述气缸1固定安装在所述上固定板2的上表面，所述花键轴16贯穿通过所述下固定板10和所述中固定板7，且所述花键轴16的上端安装在所述中固定板7的中间位置，所述花键轴16的上端贯穿所述中固定板7的位置处安装有调心滚子轴承18，所述调心滚子轴承18的上端固定安装有轴承压盖5。

采用上述方案，通过调心滚子轴承18的设置，可以对花键轴16方向进行调整，减少生产中因机加工或安装导致的误差造成的花键轴抖动。

参考图1-3，轴承座8与中固定板7固定连接，轴承座8与支撑杆3之间设置有无油衬套。

采用上述方案：实现中固定板7和轴承座8在支撑杆3中滑动起到抖动控制。

参照图1和图3所示：抛光压头驱动装置还包括连接板、立柱，所述连接板设置在所述上固定板的下方且所述连接板的上表面中心位置与所述气缸的伸出杆固定连接，所述立柱设置有四根且所述立柱的上端与所述连接板的下表面固定连接，所述立柱的下端与所述中固定板固定连接，所述轴承压盖设置在四根立柱内。

采用上述方案：气缸的伸出杆通过连接板能够驱动花键轴的上下运动，进而实现压头上下运动。

参照图3和图4所示：所述抛光压头驱动装置还包括电机9、电机齿轮15、花键齿轮11、花键固定法兰12、花键轴套法兰13和花键轴套19，所述花键固定法兰12设置在所述花键齿轮11内部与所述花键齿轮11固定连接，所述花键固定法兰12和所述花键齿轮11套设在所述花键轴16外且所述花键固定法兰12与所述花键轴16外表面存在间隙，所述花键固定法兰12的下表面与所述花键轴套19的上表面固定连接，所述花键轴套19与所述花键轴16通过花键连接，所述花键轴套19贯穿所述花键轴套法兰13，所述花键轴套19和所述花键轴套法兰13之间设置有轴承20，所述花键轴套法兰13贯穿通过所述下固定板10和所述箱体17且与所述下固定板10的上表面固定连接，所述电机齿轮15与所述花键齿轮11啮合，驱动所述花键固定法兰12、花键轴套19和花键轴16同步旋转。

采用上述方案，通过花键轴16与花键轴套19、花键固定法兰12、花键轴套法兰13的配合使用，提高了传动的稳定性和耐用性。

参照图1和图2，所述电机9通过电机支架14固定安装在所述箱体17的上表面且位于所述下固定板10的一侧，所述电机齿轮15设置在所述电机支架14内且所述电机齿轮15与所述电机9的输出轴固定连接，电机齿轮15与花键齿轮11啮合。

采用上述方案：通过采用花键齿轮11和电机齿轮15配合使用，减少了设备占用体积，提高了传动稳定性和使用寿命。

本实用新型的工作原理：

需要加工时，花键轴16下方与压头固定连接，气缸1伸出杆伸长，花键轴16上侧固定安装在中固定板7，气缸1伸出杆运作推动中固定板7和轴承座8顺着支撑杆3向下平稳滑动，推动花键轴16向下运动，调心滚子轴承18调节角度，花键轴16下端与压头连接，压头下压至工件。电机9驱动电机齿轮15转动，随之花键齿轮11转动带动花键轴16和压头转动，加工需要中止时，电机9停止转动，花键轴16带动压头停止运动，气缸1伸出杆向上运动，花键轴16带动压头上移，然后操作加工换件等工作。

综上所述：该抛光机压头花键副驱动结构，通过设置气缸、上固定板、支撑杆、连接板、立柱、中固定板、轴承座、下固定板、花键齿轮、花键固定法兰、花键轴套法兰、无油衬套、调心滚子轴承、花键轴套、电机支座、电机齿轮、电机、轴承压盖，箱体和花键轴的配合使用，解决了现有目前市场上抛光加工设备占用面积大和传动不稳定的问题，同时也解决了现有压头抖动影响生产的问题。

以上所述实施方式仅表达了本实用新型的一种实施方式，但并不能因此而理解为对本实用新型范围的限制。应当指出，对于本领域的需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种抛光机压头驱动装置，其特征在于：包括箱体、气缸、上固定板、中固定板、下固定板、轴、支撑杆和轴承座，所述轴的底部与压头连接，所述下固定板的下表面固定安装在所述箱体的上表面，所述支撑杆设置为四根，所述支撑杆的下端固定安装在所述下固定板上表面四个角的位置，所述中固定板套设在所述支撑杆的中部位置，所述支撑杆贯穿通过所述中固定板的四个角，所述轴承座套设在所述支撑杆的外表面且固定安装在所述中固定板的下表面，所述支撑杆的上端与所述上固定板固定连接，所述气缸固定安装在所述上固定板的上表面，所述轴贯穿通过所述下固定板和所述中固定板，且所述轴的上端安装在所述中固定板的中间位置，所述轴的上端贯穿所述中固定板的位置处安装有调心滚子轴承，所述调心滚子轴承的上端固定安装有轴承压盖。

2.根据权利要求1所述的一种抛光机压头驱动装置，其特征在于：所述轴承座和所述支撑杆之间设置有无油衬套。

3.根据权利要求1或2所述的一种抛光机压头驱动装置，其特征在于：所述轴采用花键轴。

4.根据权利要求3所述的一种抛光机压头驱动装置，其特征在于：所述抛光机压头驱动装置还包括连接板、立柱，所述连接板设置在所述上固定板的下方且所述连接板的上表面中心位置与所述气缸的伸出杆固定连接，所述立柱设置有四根且所述立柱的上端与所述连接板的下表面固定连接，所述立柱的下端与所述中固定板固定连接，所述轴承压盖设置在四根立柱内。

5.根据权利要求4所述的一种抛光机压头驱动装置，其特征在于：所述抛光机压头驱动装置还包括电机、电机齿轮、花键齿轮、花键固定法兰、花键轴套法兰和花键轴套，所述花键固定法兰设置在所述花键齿轮内部与所述花键齿轮固定连接，所述花键固定法兰和所述花键齿轮套设在所述花键轴外且所述花键固定法兰与所述花键轴外表面存在间隙，所述花键固定法兰的下表面与所述花键轴套的上表面固定连接，所述花键轴套与所述花键轴通过花键连接，所述花键轴套贯穿所述花键轴套法兰，所述花键轴套和所述花键轴套法兰之间设置有轴承，所述花键轴套法兰贯穿通过所述下固定板和所述箱体且与所述下固定板的上表面固定连接，所述电机齿轮与所述花键齿轮啮合，驱动所述固定法兰、花键轴套和花键轴同步旋转。

6.根据权利要求5所述的一种抛光机压头驱动装置，其特征在于：所述电机通过电机支架固定安装在所述箱体的上表面且位于所述下固定板的一侧，所述电机齿轮设置在所述电机支架内且所述电机齿轮与所述电机的输出轴固定连接。