CN216151886U - 一种晶棒外圆滚磨机 - Google Patents
一种晶棒外圆滚磨机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216151886U CN216151886U CN202122131820.2U CN202122131820U CN216151886U CN 216151886 U CN216151886 U CN 216151886U CN 202122131820 U CN202122131820 U CN 202122131820U CN 216151886 U CN216151886 U CN 216151886U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- crystal bar
- motor
- block
- push
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Abstract
本实用新型公开了一种晶棒外圆滚磨机，包括安装台，安装台上设置有凹槽，凹槽内侧安装有第一电机，第一电机的转动轴连接有搁置板，安装台上设置有定位架，定位架上安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的伸缩端转动连接有压板，安装台上螺纹连接有推拉轴，推拉轴的一端转动连接有移动块。本实用新型将晶棒放在搁置板上通过电动伸缩杆带动压板向下抵接晶棒方便了晶棒的定位；打磨时，第一电机带动晶棒转动，然后通过推拉轴推动打磨块贴住晶棒，利用第二电机打磨块向下移动，以此方便精准对晶棒进行打磨，以此能够有效的提高晶棒打磨效率及质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶棒加工技术领域，具体为一种晶棒外圆滚磨机。
背景技术
晶圆是制作LED的主要材料，晶圆是由硅晶棒经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，硅晶棒在滚磨工序的前后都需要人工对其规格尺寸进行测量检测，从而保证硅晶棒做成的晶圆符合标准，同时需要人工借助现有设备对硅晶棒进行滚磨处理。
现有的打磨设备在使用时需要人工对硅晶棒进行固定，针对不同规格的硅晶棒需要人工调节固定工具，操作复杂，且人工借助工具对硅晶棒进行滚磨不规律，无法保证硅晶棒滚磨的精确性，需要对滚磨后的硅晶棒进行二次检测，劳动强度大与工作效率低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶棒外圆滚磨机，以解决晶棒不方便定位及打磨质量差的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶棒外圆滚磨机，包括安装台，所述安装台上设置有凹槽，所述凹槽内侧安装有第一电机，所述第一电机的转动轴连接有搁置板，第一电机带动搁置板旋转，所述安装台上设置有定位架，所述定位架上安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端转动连接有压板，电动伸缩杆伸展向下通过压板抵接搁置板表面晶棒，从而对晶棒进行定位，所述安装台上螺纹连接有推拉轴，所述推拉轴的一端转动连接有移动块。
请参阅图，所述移动块上设置有导向槽，导向槽的内侧滑动设置有安装块，安装块沿导向槽上下移动带动打磨块沿晶棒外圆上下移动进行打磨，安装块上安装有打磨块。
请参阅图，所述移动块安装有第二电机，第二电机的转动轴固定连接有螺纹杆，螺纹杆转动安装在导向槽内侧，螺纹杆上螺纹连接有安装块，第二电机带动螺纹杆转动，通过螺纹杆带动安装块沿导向槽上下移动。
请参阅图与图，所述移动块上对称设置有限位杆，限位杆滑动设置在安装台内侧，限位杆沿安装台移动在移动块移动对起到导向限位作用。
请参阅图与图，所述推拉轴的一端焊接有转盘，转动转盘带动推拉轴沿安装台带动移动块移动。
请参阅图与图，所述压板上设置有防滑垫，压板通过防滑垫增加与晶棒之间的摩擦力。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型将晶棒放在搁置板上通过电动伸缩杆带动压板向下抵接晶棒方便了晶棒的定位；打磨时，第一电机带动晶棒转动，然后通过推拉轴推动打磨块贴住晶棒，利用第二电机打磨块向下移动，以此方便精准对晶棒进行打磨，以此能够有效的提高晶棒打磨效率及质量。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的整体结构剖面图。
图中：1安装块、11凹槽、12第一电机、14搁置板、15推拉轴、16转盘、2移动块、21导向槽、22第二电机、23螺纹杆、24安装块、25打磨块、3定位架、31电动伸缩杆、32压板、33防滑垫。
具体实施方式
请参阅图1与图2，一种晶棒外圆滚磨机，包括安装台1，安装台1上设置有凹槽11，凹槽11内侧安装有第一电机12，第一电机12的转动轴连接有搁置板14，第一电机12带动搁置板14旋转，安装台1上设置有定位架3，定位架3上安装有电动伸缩杆31，电动伸缩杆31的伸缩端转动连接有压板32，电动伸缩杆31伸展向下通过压板32抵接搁置板14表面晶棒，从而对晶棒进行定位，安装台1上螺纹连接有推拉轴15，推拉轴15的一端转动连接有移动块2。
请参阅图2，移动块2上设置有导向槽21，导向槽21的内侧滑动设置有安装块24，安装块24沿导向槽21上下移动带动打磨块25沿晶棒外圆上下移动进行打磨，安装块24上安装有打磨块25。
请参阅图2，移动块2安装有第二电机22，第二电机22的转动轴固定连接有螺纹杆23，螺纹杆23转动安装在导向槽21内侧，螺纹杆23上螺纹连接有安装块24，第二电机22带动螺纹杆23转动，通过螺纹杆23带动安装块24沿导向槽21上下移动。
请参阅图1与图2，移动块2上对称设置有限位杆26，限位杆26滑动设置在安装台1内侧，限位杆26沿安装台1移动在移动块2移动对起到导向限位作用。
请参阅图1与图2，推拉轴15的一端焊接有转盘16，转动转盘16带动推拉轴15沿安装台1带动移动块2移动。
请参阅图1与图2，压板32上设置有防滑垫33，压板32通过防滑垫33增加与晶棒之间的摩擦力。
本实用新型在具体实施时：机器使用时，将晶棒放在搁置板14的上端，然后通过电动伸缩杆31伸展带动压板32向下移动抵接晶棒上端面，将晶棒固定在搁置板14与压板32之间，以此方便了不同尺寸晶棒的定位；晶棒固定后打磨时，第一电机12带动搁置板14与晶棒转动，然后通过转盘16转动推拉轴15推动移动块2带动打磨块25向晶棒靠拢对晶棒上端进行打磨，接着开启第二电机22带动螺纹杆23转动，使安装块24带动打磨块25沿晶棒向下移动进行打磨，以此方便精准的对晶棒进行打磨，以此能够有效的提高晶棒打磨效率及质量。
Claims (6)
1.一种晶棒外圆滚磨机，包括安装台(1)，其特征在于：所述安装台(1)上设置有凹槽(11)，所述凹槽(11)内侧安装有第一电机(12)，所述第一电机(12)的转动轴连接有搁置板(14)，所述安装台(1)上设置有定位架(3)，所述定位架(3)上安装有电动伸缩杆(31)，所述电动伸缩杆(31)的伸缩端转动连接有压板(32)，所述安装台(1)上螺纹连接有推拉轴(15)，所述推拉轴(15)的一端转动连接有移动块(2)。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒外圆滚磨机，其特征在于：所述移动块(2)上设置有导向槽(21)，导向槽(21)的内侧滑动设置有安装块(24)，安装块(24)上安装有打磨块(25)。
3.根据权利要求1所述的一种晶棒外圆滚磨机，其特征在于：所述移动块(2)安装有第二电机(22)，第二电机(22)的转动轴固定连接有螺纹杆(23)，螺纹杆(23)转动安装在导向槽(21)内侧，螺纹杆(23)上螺纹连接有安装块(24)。
4.根据权利要求1所述的一种晶棒外圆滚磨机，其特征在于：所述移动块(2)上对称设置有限位杆(26)，限位杆(26)滑动设置在安装台(1)内侧。
5.根据权利要求1所述的一种晶棒外圆滚磨机，其特征在于：所述推拉轴(15)的一端焊接有转盘(16)。
6.根据权利要求1所述的一种晶棒外圆滚磨机，其特征在于：所述压板(32)上设置有防滑垫(33)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122131820.2U CN216151886U (zh) | 2021-09-03 | 2021-09-03 | 一种晶棒外圆滚磨机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122131820.2U CN216151886U (zh) | 2021-09-03 | 2021-09-03 | 一种晶棒外圆滚磨机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216151886U true CN216151886U (zh) | 2022-04-01 |
Family
ID=80842324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122131820.2U Active CN216151886U (zh) | 2021-09-03 | 2021-09-03 | 一种晶棒外圆滚磨机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216151886U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114952458A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-08-30 | 宁夏中晶半导体材料有限公司 | 一种调整晶棒正晶向滚磨加工的装置和方法 |
| CN114952458B (zh) * | 2022-05-19 | 2024-04-26 | 宁夏中晶半导体材料有限公司 | 一种调整晶棒正晶向滚磨加工的装置和方法 |
-
2021
- 2021-09-03 CN CN202122131820.2U patent/CN216151886U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114952458A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-08-30 | 宁夏中晶半导体材料有限公司 | 一种调整晶棒正晶向滚磨加工的装置和方法 |
| CN114952458B (zh) * | 2022-05-19 | 2024-04-26 | 宁夏中晶半导体材料有限公司 | 一种调整晶棒正晶向滚磨加工的装置和方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111376393A (zh) | 一种单硅晶棒切磨一体机 | |
| CN216151886U (zh) | 一种晶棒外圆滚磨机 | |
| CN212471980U (zh) | 一种单硅晶棒切磨一体机 | |
| CN219075291U (zh) | 一种双面研磨抛光机 | |
| CN111113223A (zh) | 一种硅片生产用滚圆装置 | |
| CN213703034U (zh) | 一种刀具磨床砂轮固定设备 | |
| CN210209820U (zh) | 一种烘烤盒的抛光装置 | |
| CN204893091U (zh) | 金刚石锯片全自动开刃机的锯片旋转及双面磨削机构 | |
| CN210255662U (zh) | 一种马达套筒生产用抛光设备 | |
| CN211305729U (zh) | 一种具有刀具夹持稳定性好的数控刀具磨床 | |
| CN112872927A (zh) | 一种圆柱形工件整体打磨装置 | |
| CN215470292U (zh) | 一种汽车配件生产加工用工作平台 | |
| CN111136519A (zh) | 一种石柱自动打磨机 | |
| CN219212635U (zh) | 一种圆盘振动打磨机 | |
| CN220463456U (zh) | 一种打磨锥形管的拉丝机 | |
| CN218837310U (zh) | 单面研磨机 | |
| CN220094197U (zh) | 一种注塑件光亮面加工装置 | |
| CN218110319U (zh) | 一种金相试样自动磨样装置 | |
| CN103862530A (zh) | 木门窗型材端面铣床 | |
| CN210255738U (zh) | 一种机加工高精度打磨装置 | |
| CN220548041U (zh) | 一种自动化的玻璃磨边加工装置 | |
| CN220555024U (zh) | 一种具有长度测量功能的电机轴磨床 | |
| CN215616926U (zh) | 一种用于金属管件的高效打磨装置 | |
| CN220094044U (zh) | 一种砂轮加工用打磨机 | |
| CN218874799U (zh) | 一种pcb板铜面打磨装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20221223 Address after: No. 531, West District Avenue, Chengdu Hi tech Zone, 610000, Sichuan Patentee after: Chengdu Shengxin Integrated Circuit Co.,Ltd. Address before: 223400 No. 55, group 5, Xinhe village, Chamiao Town, Lianshui County, Huai'an City, Jiangsu Province Patentee before: Gu Hailang |