CN216071990U - 一种硅片分选仪用多工位上料装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片分选仪用多工位上料装置，涉及硅片分选设备领域，包括上料架、与送料机构对接的水平输送机构，上料架上设有若干个平行布置的水平输送机构及推动组件，各水平输送机构由推动组件驱动可移动，上料架底部设有驱动上料架水平移动的二号驱动组件；每个水平输送机构的进料端均转动设有可垂直、水平转换放置的插片盒；插片盒垂直放置时，最底部的硅片与插片盒下面的端板间留有供水平输送机构伸入或退出的间隔区。本实用新型中一条水平输送机构上料时，另外的水平输送机构已经伸入插片盒内完成备料，再推动上料架移动，可以无缝切换到备完料的水平输送机构，节省了水平输送机构伸缩的时间，进料效率提升。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片分选设备领域，尤其涉及一种硅片分选仪用多工位上料装置。
背景技术
硅片品质分选设备是集上料、测试以及分选于一体的用于检测硅片外观、电阻率、隐裂、少子寿命以及黑心等参数的设备。厂家将硅锭切割成硅片后进行清洗，清洗完成的硅片需要进行装片，装片后烘干送入硅片分选设备检测分类，有隐裂、崩边以及缺角等的硅片需要重新铸锭；其余的硅片会根据电阻率、厚度、尺寸、少子寿命、位错、黑边以及黑心等一系列测试参数分成不同等级。现有的硅片分选设备在装片烘干后，通过上料装置上料，现有的上料装置是由一条传送带，传送带一侧的多条竖直导轨、导轨上的支架以及支架上的插片盒组成。当一个插片盒送料完成后，传送带需要从该插片盒抽出后，才能对接下一个备完料的插片盒，传送带插入背完料的插片盒，才能开始进行送料，在传送带伸缩时间段无法进行送料。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种硅片分选仪用多工位上料装置。
本实用新型的创新点在于一条水平输送机构上料时，另外的水平输送机构已经伸入插片盒内完成备料，再推动上料架移动，可以无缝切换到备完料的水平输送机构，节省了水平输送机构伸缩的时间，进料效率提升。
为实现上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是：一种硅片分选仪用多工位上料装置，包括上料架、与送料机构对接的水平输送机构，上料架上设有若干个平行布置的水平输送机构及推动组件，各水平输送机构由推动组件驱动可移动，上料架底部设有驱动上料架水平移动的二号驱动组件，上料架水平移动方向与水平输送机构移动方向垂直；每个水平输送机构的进料端均转动设有可垂直、水平转换放置的插片盒；插片盒包括两方形的端板，两端板之间设有与两端板四角固定连接的连杆，连杆上设有用于插设硅片的槽口，若干硅片间隔并平行于端板插于槽口中，插片盒垂直放置时，最底部的硅片与插片盒下面的端板间留有供水平输送机构伸入或退出的间隔区。当一条水平输送机构对接送料机构上料时，其它各条水平输送机构相对的插片盒置成水平安放，然后在插片盒中插入硅片，插满硅片后将插片盒垂直放置，推动组件驱动水平输送机构伸入插片盒底部的间隔区内完成备料，某条水平输送机构完成上料后，二号推动组件推动上料架移动，将完成备料的水平输送机构对接送料机构，实现无缝切换，节省了单条水平输送机构伸缩的时间，进料效率提升，推动组件驱动上完料的水平输送机构退出插片盒底部的间隔区，插入盒转动水平放置，循环进行下轮插片备料。
进一步地，插片盒固定放置于支架上，支架可沿固定在上料架一侧的竖直导轨上下移动，竖直导轨与水平输送机构一一对应，竖直导轨内设有驱动支架上下移动的一号驱动组件。插片盒水平放置时，通过支架的上下升降，调节插片盒与机械手之间的操作距离，方便机械完成插片动作；插片盒垂直放置时，通过支架的上下移动，使插片盒底部间隔区对准水平输送机构，便于水平输送机构伸入。
进一步地，支架由滑动块和放置板组成，插片盒垂直放置时，放置板置于远离水平输送机构的插片盒一侧，滑动块一端活动连接在竖直导轨上，另一端铰连放置板，滑动块上设有驱动放置板转动的转动组件。转动组件可以带动放置板转动，放置板可以从竖直方向逆时针转至水平方向，也可以从水平方向顺时针转至竖直方向。
进一步地，紧贴插片盒一侧的放置板端面上设有若干限位块，所述限位块构成矩形的四个角，插片盒刚好放入限位块构成的矩形内。通过增加限位块将插片盒放置在放置板的固定位置，便于后续对插片盒夹紧固定的定位。
进一步地，远离插片盒的放置板的端面上设有双向伸缩气缸，双向伸缩气缸两端的活塞连接夹紧块；插片盒两端板外侧的放置板中间贯穿设有通槽，夹紧块穿出通槽与插片盒呈夹紧或松开连接。当机械手将插片盒安放在放置板上后，双向伸缩气缸活塞杆带动通槽中的夹紧块相互靠近直到夹住插片盒的两端板，插片盒被牢固固定在放置板上，实现自动夹紧插片盒的功能；若需要取走插片盒时，双向伸缩气缸的活塞杆伸长，夹紧块与插片盒松开，方便拆卸。
进一步地，送料机构的进料端接近水平输送机构的出料端，送料机构与水平输送机构位于同一水平面上。送料机构与水平输送机构对接顺滑，硅片的移送效率更高。
进一步地，水平输送机构包括水平输送带以及驱动水平输送带转动的电机。水平输送带输送平稳，维修方便。
本实用新型的有益效果是 ：
1. 本实用新型中设置若干条水平输送机构，一条上料时，其余可以备料，备料完成，水平输送机构伸入插片盒内，上料的水平输送机构完成上料后，利用二号推动组件推动上料架移动完成下一条水平输送机构与送料机构的无缝对接切换，节省了单条水平输送机构伸缩的时间，进料效率提升。
2. 本实用新型中插片盒通过支架转动实现水平放置与垂直放置的转换，通过竖直导轨可上下移动配合水平输送机构与机械手的动作，完成装载硅片与等待上料等备料工作。
3. 本实用新型中通过增加限位块将插片盒放置在放置板的固定位置，便于后续对插片盒夹紧固定的定位。
4. 本实用新型中机械手将插片盒安放在放置板上后，利用双向伸缩气缸和夹紧块动作，实现自动夹紧插片盒。
附图说明
图1为本实用新型的正面结构示意图。
图2为本实用新型的背面结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例1：如图1、2所示，一种硅片分选仪用多工位上料装置，包括上料架1、与送料机构9对接的水平输送机构2，水平输送机构2包括水平输送带2.1以及驱动水平输送带2.1转动的电机2.2，上料架1上设有若干个平行布置的水平输送机构2及推动组件5，各水平输送机构2由推动组件5驱动可移动，上料架1底部设有驱动上料架1水平移动的二号驱动组件8，上料架1水平移动方向与水平输送机构2移动方向垂直；每个水平输送机构2的进料端均转动设有可垂直、水平转换放置的插片盒3；插片盒3包括两方形的端板3.1，两端板3.1之间设有与两端板四角固定连接的连杆3.2，连杆3.2上设有用于插设硅片4的槽口，若干硅片4间隔并平行于端板3.1插于槽口中，插片盒3垂直放置时，最底部的硅片4与插片盒3下面的端板3.1间留有供水平输送机构2伸入或退出的间隔区3.3；插片盒3固定放置于支架6上，支架6可沿固定在上料架1一侧的竖直导轨7上下移动，竖直导轨7与水平输送机构2一一对应，竖直导轨7内设有驱动支架6上下移动的一号驱动组件10，支架6由滑动块6.1和放置板6.2组成，插片盒3垂直放置时，放置板6.2置于远离水平输送机构2的插片盒3一侧，滑动块6.1一端活动连接在竖直导轨7上，另一端铰连放置板6.2，滑动块6.1上设有驱动放置板6.2转动的转动组件6.5；紧贴插片盒3一侧的放置板6.2端面上设有若干限位块6.21，限位块6.21构成矩形的四个角，插片盒3刚好放入限位块6.21构成的矩形内；远离插片盒3的放置板6.2的端面上设有双向伸缩气缸6.3，双向伸缩气缸6.3两端的活塞连接夹紧块6.4；插片盒3两端板外侧的放置板6.2中间贯穿设有通槽6.22，夹紧块6.4穿出通槽6.22与插片盒3呈夹紧或松开连接。
工作时，其中一水平输送机构2与送料机构9对接进行送料，其余水平输送机构2在推动组件5作用下从插片盒3内缩回，转动组件6.5带动放置板6.2从竖直方向逆时针转至水平方向，双向伸缩气缸6.3活塞杆伸出，机械手取下空的插片盒3，限位块6.21间放入装满硅片4的插片盒3，双向伸缩气缸6.3活塞杆带动夹紧块6.4回缩，固定好插片盒3，转动组件6.5带动放置板6.2从水平方向顺时针转至竖直方向，推动组件5推动水平输送机构2进料端伸入插片盒3间隔区3.3，完成备料；二号驱动组件8推动上料架1平移，使备料完成的水平输送机构2与送料机构9对接，备料完成的水平输送机构2立刻开始送料，实现不间断送料。
所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
Claims (7)
1.一种硅片分选仪用多工位上料装置，其特征在于，包括上料架、与送料机构对接的水平输送机构，上料架上设有若干个平行布置的水平输送机构及推动组件，各水平输送机构由推动组件驱动可移动，上料架底部设有驱动上料架水平移动的二号驱动组件，上料架水平移动方向与水平输送机构移动方向垂直；每个水平输送机构的进料端均转动设有可垂直、水平转换放置的插片盒；插片盒包括两方形的端板，两端板之间设有与两端板四角固定连接的连杆，连杆上设有用于插设硅片的槽口，若干硅片间隔并平行于端板插于槽口中，插片盒垂直放置时，最底部的硅片与插片盒下面的端板间留有供水平输送机构伸入或退出的间隔区。
2.根据权利要求1所述的硅片分选仪用多工位上料装置，其特征在于，所述插片盒固定放置于支架上，支架可沿固定在上料架一侧的竖直导轨上下移动，竖直导轨与水平输送机构一一对应，竖直导轨内设有驱动支架上下移动的一号驱动组件。
3.根据权利要求2所述的硅片分选仪用多工位上料装置，其特征在于，所述支架由滑动块和放置板组成，插片盒垂直放置时，放置板置于远离水平输送机构的插片盒一侧，滑动块一端活动连接在竖直导轨上，另一端铰连放置板，滑动块上设有驱动放置板转动的转动组件。
4.根据权利要求3所述的硅片分选仪用多工位上料装置，其特征在于，紧贴插片盒一侧的放置板端面上设有若干限位块，所述限位块构成矩形的四个角，插片盒刚好放入限位块构成的矩形内。
5.根据权利要求3所述的硅片分选仪用多工位上料装置，其特征在于，远离插片盒的放置板的端面上设有双向伸缩气缸，双向伸缩气缸两端的活塞连接夹紧块；插片盒两端板外侧的放置板中间贯穿设有通槽，夹紧块穿出通槽与插片盒呈夹紧或松开连接。
6.根据权利要求1所述的硅片分选仪用多工位上料装置，其特征在于，送料机构的进料端接近水平输送机构的出料端，送料机构与水平输送机构位于同一水平面上。
7.根据权利要求1所述的硅片分选仪用多工位上料装置，其特征在于，水平输送机构包括水平输送带以及驱动水平输送带转动的电机。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202121752552.XU CN216071990U (zh) | 2021-07-30 | 2021-07-30 | 一种硅片分选仪用多工位上料装置 |
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|---|---|---|---|---|
| CN117566413A (zh) * | 2024-01-16 | 2024-02-20 | 苏州锐杰微科技集团有限公司 | 一种基板上料机构、塑封机及其工作方法 |
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| CN117566413B (zh) * | 2024-01-16 | 2024-03-15 | 苏州锐杰微科技集团有限公司 | 一种基板上料机构、塑封机及其工作方法 |
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