CN215976030U - 一种新型cvd炉用保温盖板 - Google Patents
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Abstract
一种新型CVD炉用保温盖板，包括保温盖板毡、上固定支架、下固定支架和保温毡，保温盖板毡上下分别设置有规格一样的上固定支架和下固定支架，所述保温毡设置在保温盖板毡与下固定支架之间，所述保温盖板毡、保温毡(6)以及固定支架外圈均设置有用扁铁焊接加固密封圈，所述保温盖板毡、保温毡以及固定支架之间通过连接螺栓连接固定。本实用新型一次性解决保温盖板由于自身重量和直径过大，中心容易发生坍塌，造成结构出现孔洞，从而影响炉内气体密封的问题，同时解决之前保温盖板只能一次性的使用的问题，降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及气相沉积炉配件技术领域，特别是涉及一种新型CVD炉用保温盖板。
背景技术
在现有单柱的大尺寸气相沉积炉的生产过程中，需要通过保温材料进行保温和密封作用，保温盖板处于密封关键部件，但是现有的保温盖板均为平面布置，主要依靠利用材料本身的抗弯强度进行支撑，这就使得当气相沉积炉尺寸很大时，就可能导致保温盖板由于自身重量和直径过大，中心容易发生坍塌，造成结构出现孔洞，从而影响炉内气体密封问题的出现，而传统的解决方式主要是通过利用粘合剂粘接，从而使保温盖板贴合于气相沉积炉上，但是粘合剂长时间经高温的烘烤，容易导致粘性失效，保温盖板仍然会形成塌陷现象，从而引起工艺事故，同时由于保温盖板层与层之间用胶粘起，无法分开，只能一次性的使用，进而大大提高了生产成本，对此我们提出了一种新型CVD炉用保温盖板。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新型CVD炉用保温盖板，以解决上述背景技术中提出的保温盖板由于自身重量和直径过大，中心容易发生坍塌，使得结构出现孔洞，从而影响炉内气体密封，造成工艺事故的问题，同时弥补传统方式不耐高温，成本高的不足。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型CVD炉用保温盖板，包括保温盖板毡、固定支架和保温毡，其特征在于：所述保温盖板毡上下设置有固定支架，所述保温毡设置在保温盖板毡与固定支架之间，所述固定支架外圈长度大于保温盖板毡内边，所述保温盖板毡、保温毡以及固定支架外圈均设置有用扁铁焊接加固密封圈，所述保温盖板毡、保温毡以及固定支架通过连接螺栓连接固定。
优选地，所述保温盖板毡由3-5层厚度为50-70mm的石墨毡重叠组成，所述保温毡选用厚度为2-4cm石墨毡或岩棉保温材料。
优选地，所述固定支架采用不锈钢或耐高温>1200℃的金属制作而成。
优选地，所述所述固定支架朝向外侧的一面上对应设置有加强筋，所述加强筋上设置有用于连接的螺孔。
优选地，所述连接螺栓选用碳碳螺杆和碳碳螺母。
优选地，所述固定支架采用“米”字状或“井”字状结构。
本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：
1、在保温盖板毡上下方设置固定支架加固，并且通过碳碳螺杆和碳碳螺母固定连接成为一个整体，一次性解决保温盖板由于自身重量和直径过大，中心容易发生坍塌，造成结构出现孔洞，从而影响炉内气体密封的问题。
2、将保温盖板毡通过多层石墨毡重叠组成，从而实现了保温盖板毡实时损坏更换，解决了之前保温盖板只能一次性的使用的问题，降低了生产成本。
3、通过设置单独的一层保温毡，进一步保障气相沉积炉端面的气密性增强，进而提高沉积效果。
附图说明
图1本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的剖面图；
图中：1.保温盖板毡、2.固定支架、3.加强筋、4.连接螺栓、5.密封圈、6.保温毡。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种新型CVD炉用保温盖板，包括保温盖板毡1、固定支架2和保温毡6，所述保温盖板毡1为圆饼状，其中，保温盖板毡1由3-5层厚度为50-70mm的石墨毡重叠组成，且不通过粘合胶沾合，所述保温毡6设置在保温盖板毡1下方，所述保温毡6的大小与保温盖板毡1一致，其中，保温毡6与保温盖板毡1完全贴合，所述固定支架2设置有两块，一块设置在保温盖板毡1上方，另一块设置在保温毡6下方，且上下两块固定支架2结构一致，其中，所述固定支架2以及保温盖板毡1和保温毡6上均设置有一一对应的螺丝孔，所述固定支架2、保温盖板毡1和保温毡6通过连接螺栓4，并且保温盖板毡1、保温毡6以及固定支架2外圈均设置有用扁铁焊接加固密封圈5，其中，固定支架2外圈长度大于保温盖板毡1内边，从而使得保温盖板毡1和保温毡6外圈密封圈5厚度更厚，进而保障保温盖板毡1和保温毡6的保温密封性。
使用时，将保温毡6一面与沉积炉内壁接触，之后将保温盖板毡1与保温毡6对其，之后将固定支架2分别与保温盖板毡1和保温毡6接触固定，同时通过若干连接螺栓4穿过固定支架2、保温盖板毡1和保温毡6上的螺丝孔固定，从而依靠上下固定支架2对整个保温盖板起到支撑作用，解决保温盖板由于自身重量和直径过大，中心容易发生坍塌，造成结构出现孔洞，从而影响炉内气体密封的问题。
为了实现固定支架2的固定，本实施例中，固定支架2上设置有加强筋3，所述加强筋3通过连接螺栓4与固定支架2固定，且固定支架2外圈采用扁铁焊接加固，从而保证了固定支架2的稳固效果。
为了方便对保温盖板毡1情况的观测，从而确定是否可以更换，所述固定支架2设置为圆环状，从而通过圆环孔隙观察保温盖板毡1使用情况。
对于保温毡6，本实施例中，保温毡6为石墨毡，本领域技术人员还可以根据需要替换为岩棉或者其他保温材料。
对于固定支架2，本实施例中，固定支架2采用“米”字状结构，本领域技术人员还可以根据需要替换为“井”字状结构，同时固定支架2采用不锈钢或其他耐高温>1200℃的金属制作而成。
本说明书中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (6)
1.一种新型CVD炉用保温盖板，包括保温盖板毡(1)、上固定支架(2)、下固定支架(7)和保温毡(6)，其特征在于：所述保温盖板毡(1)上下分别设置有规格一样的上固定支架(2)和下固定支架(7)，所述保温毡(6)设置在保温盖板毡(1)与下固定支架(7)之间，所述保温盖板毡(1)、保温毡(6)以及上固定支架(2)和下固定支架(7)外圈均设置有用扁铁焊接加固密封圈(5)，所述保温盖板毡(1)、保温毡(6)以及固定支架之间通过连接螺栓(4)连接固定。
2.根据权利要求1所述的一种新型CVD炉用保温盖板，其特征在于：所述保温盖板毡(1)由3-5层厚度为50-70mm的石墨毡重叠组成，所述保温毡(6)选用厚度为2-4cm石墨毡或岩棉保温材料。
3.根据权利要求1所述的一种新型CVD炉用保温盖板，其特征在于：所述固定支架(2)采用不锈钢或耐高温>1200℃的金属制作而成。
4.根据权利要求3所述的一种新型CVD炉用保温盖板，其特征在于：所述上固定支架(2)和下固定支架(7)朝向外侧的一面上对应设置有加强筋(3)，所述加强筋(3)上设置有用于连接的螺孔。
5.根据权利要求1所述的一种新型CVD炉用保温盖板，其特征在于：所述连接螺栓(4)选用碳碳螺杆和碳碳螺母。
6.根据权利要求3所述的一种新型CVD炉用保温盖板，其特征在于：所述上固定支架(2)和下固定支架(7)外圈长度大于保温盖板毡(1)内边，采用“米”字状或“井”字状结构。
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