CN215912283U - 埋入式电子元件以及电压调节模块 - Google Patents

埋入式电子元件以及电压调节模块 Download PDF

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CN215912283U CN202121480761.3U CN202121480761U CN215912283U CN 215912283 U CN215912283 U CN 215912283U CN 202121480761 U CN202121480761 U CN 202121480761U CN 215912283 U CN215912283 U CN 215912283U
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黄立湘
缪桦
董晋
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Abstract

本申请公开了一种埋入式电子元件以及电压调节模块,所述埋入式电子元件包括基板和电子元件;所述基板内设有容置槽和导电孔,所述基板表面设有导电层,所述电子元件设于所述容置槽内,所述电子元件设有侧向延伸至所述导电孔的第一连接端子和第二连接端子;其中,所述第一连接端子和所述第二连接端子通过所述导电孔与所述导电层电性连接。本申请实施例提供的埋入式电子元件,通过在电子元件的侧向设置连接端子,并通过导电孔将连接端子和基板表面的导电层电性连接,可在电子元件封装过程中降低埋入式电子元件的整体厚度。

Description

埋入式电子元件以及电压调节模块
技术领域
本申请涉及电子元件埋入的技术领域,具体是涉及一种埋入式电子元件以及电压调节模块。
背景技术
随着电子产品朝轻薄短小方向不断发展,产品上电源模块密度越来越高,体型也越来越小。在表面贴装电子元件中,电子元件占用电路板的表面积较大,不利于实现高密度小型化。如果能将电子元件埋入到电路板内部,可以节约板面空间增强布线布件的能力,实现高密度小型化。
实用新型内容
本申请实施例提供了一种埋入式电子元件,所述埋入式电子元件包括基板和电子元件;所述基板内设有容置槽和导电孔,所述基板表面设有导电层,所述电子元件设于所述容置槽内,所述电子元件设有侧向延伸至所述导电孔的第一连接端子和第二连接端子;其中,所述第一连接端子和所述第二连接端子通过所述导电孔与所述导电层电性连接。
另一方面,本申请实施例还提供了一种电压调节模块,所述电压调节模块包括MOS管以及上述实施例中所述的埋入式电子元件,其中,所述MOS管堆叠于所述基板上。
本申请实施例提供的埋入式电子元件,通过在电子元件的侧向设置连接端子,并通过导电孔将连接端子和基板表面的导电层电性连接,可在电子元件封装过程中降低埋入式电子元件的整体厚度。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本申请埋入式电子元件的第一实施例的结构示意图;
图2是图1实施例中埋入式电子元件的又一结构示意图;
图3是图1实施例中埋入式电子元件的应用时的结构示意图;
图4是图3实施例中埋入式电子元件应用时的布局效果示意图;
图5是一般技术中电子元件应用时的布局效果示意图;
图6是本申请埋入式电子元件的第二实施例的结构示意图;
图7是本申请埋入式电子元件的第二实施例的又一结构示意图;
图8是第二实施例中埋入式电子元件的制作方法的流程示意图;
图8a-图8c是图8实施例中制作方法对应的结构示意图;
图9是第二实施例中埋入式电子元件又一制作方法的流程示意图;
图9a是图9实施例中制作方法对应的结构示意图;
图10是本申请埋入式电子元件的第三实施例的结构示意图;
图11是本申请埋入式电子元件的第三实施例的又一结构示意图;
图12是第三实施例中埋入式电子元件的制作方法的流程示意图;
图12a-图12h是图12实施例中制作方法对应的结构示意图;
图13是本申请埋入式电子元件的第四实施例的结构示意图;
图14是本申请埋入式电子元件的第四实施例的又一结构示意图;
图15是第四实施例中埋入式电子元件的制作方法的流程示意图;
图15a-图15f是图15实施例中制作方法对应的结构示意图;
图16是本申请埋入式电子元件的第五实施例的结构示意图;
图17是图16实施例中埋入式电子元件的又一结构示意图;
图18是本申请埋入式电子元件的第五实施例的又一结构示意图;
图19是第五实施例中埋入式电子元件的制作方法的流程示意图;
图19a-图19d是图19实施例中制作方法对应的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本申请作进一步的详细描述。特别指出的是,以下实施例仅用于说明本申请,但不对本申请的范围进行限定。同样的,以下实施例仅为本申请的部分实施例而非全部实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本申请保护的范围。
在本文中提及“实施例”意味着,结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例,也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是,本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
请参阅图1,图1是本申请埋入式电子元件的第一实施例的结构示意图,该电子元件可为无源电子元件,例如可为电感元件、电容元件、电阻元件等。本申请实施例中的电子元件以电感元件为例进行示例性说明。本实施例的埋入式电子元件100可以包括:基板10和电子元件12。基板10内设有至少一个容置槽111,电子元件12设有至少一个,每个容置槽111内设置有至少一个电子元件12。其中,本申请实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
其中,基板10采用绝缘材质,本实施例的基板10可采用同一种绝缘材质。具体而言,基板10包括一体成型的框架110和填充层120。
框架110设有容置槽111。框架110的高度可大于或等于放置于容置槽111中的电子元件12的高度,使得在填充或压合填充层120时,框架110可起到支撑的作用,以避免电子元件12受力太大而损坏。另外,框架110的容置槽111还起到一个定位电子元件12的放置位置的作用。
填充层120填充于容置槽111以覆盖和/或包裹电子元件12。其中,填充层120的材料可采用热塑性树脂,如聚丙烯(PP),用于对电子元件12进行封装;框架110材料可采用热固性树脂,如环氧树脂,框架110设置于电子元件12周围,环氧树脂固化后成型,再受热也不会软化,溶解,用于形成保护框架110,以避免封装过程对电子元件12造成损伤。
在本申请实施例中,基板10具有相背的第一表面101和第二表面102,第一表面101和第二表面102为沿基板10厚度方向(如图1所示的Z方向)上相背设置的两个表面。即基板10表面可包括上述的第一表面101和第二表面102。填充层120覆盖于框架110靠近第一表面101的一侧。电子元件12设于容置槽111内,且该电子元件12设有侧向延伸的连接端子121,即连接端子121的延伸方向和Z方向相交。具体而言,电子元件12具有相背设置的顶面122、底面124以及连接顶面122和底面124的侧面126,连接端子121设于侧面126上。
其中,顶面122和底面124沿基板10厚度方向(如图1所示的Z方向)上相背设置。顶面122靠近于第一表面101设置,底面124靠近于第二表面102设置,侧面126位于顶面122和底面124之间。可以理解的,电子元件12的顶面122和底面124大体平行,且二者所在平面和基板10的第一表面101、第二表面102所在的平面大体上平行。电子元件12的侧向延伸方向即可认为是大体上平行于电子元件12的顶面122或者底面124所在平面的方向。
进一步地,基板10内设有导电孔130,该导电孔130的轴线延伸方向与基板10的第一表面101和第二表面102均相交。换言之,导电孔130的轴线延伸方向和基板10的厚度方向大体相同,或者导电孔130的轴线延伸方向和图1所示的Z方向大体相同,即导电孔130的端面和第一表面101或者第二表面102大体平行设置。优选地,第一表面101和第二表面102平行设置,导电孔130的两端面均和第一表面101平行。
其中,连接端子121自电子元件12的侧面延伸至导电孔130,即连接端子121的侧向延伸方向大致为基板10的第一表面101或第二表面102所在平面的延伸方向。导电孔130连通至连接端子121或者导电孔130穿设于连接端子121,以使得连接端子121和导电孔130电性连接。
在本申请实施例中,基板10的表面设有导电层14。其中,导电层14可以设在基板10的第一表面101或者第二表面102。此时,导电孔130连通至导电层14并与导电层14电性连接,连接端子121通过导电孔130和导电层14电性连接,即电子元件12可在基板10的单面实现导通。如图1所示,导电层14设于基板10的第一表面101。即导电孔130和连接端子121可分别设有多个,且导电孔130和连接端子121对应设置,每一连接端子121通过一个导电孔130和设于第一表面101上的导电层14电性连接。当然,导电层14也可设于基板10的第二表面102。每一连接端子121通过一个导电孔130和设于第二表面102上的导电层14电性连接,以此可使电子元件12在基板10的单面实现导通。
当然,在其他实施方式中,导电层14可以分别设在基板10的第一表面101和第二表面102上。请参阅图2,图2是图1实施例中埋入式电子元件的又一结构示意图。其中,导电层14可包括第一导电层141和第二导电层142。第一导电层141设于第一表面101上,第二导电层142设于第二表面102上。需要说明的是,本申请中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
导电孔130可包括第一导电孔131和第二导电孔132,连接端子121可包括第一连接端子121a和第二连接端子121b。其中,第一导电孔131连通至第一导电层141,第二导电孔132连通至第二导电层142。第一连接端子121a通过第一导电孔131连接至第一导电层141,第二连接端子121b通过第二导电孔132连接至第二导电层142。此时,电子元件12可以在基板10的第一表面101和第二表面102即双面实现导通。
本申请实施例提供的埋入式电子元件,通过在电子元件的侧面设置连接端子,并通过导电孔连通至基板表面的导电层,从而实现电子元件在基板的单面或者双面导通。同时,相较于连接端子设置电子元件的顶面或者侧面的技术方案,本申请实施例将连接端子设于电子元件的侧面,在电子元件封装时可降低整体结构厚度,且在电子元件埋入基板内的过程中,相较于电子元件贴装过程的环境要求相对较低。另外,相较于电子元件贴装于基板表面的技术方案,本申请实施例中电子元件埋入基板内部,可以增加基板表面其他元器件或者芯片等器件的贴装面积。
可以理解的,电子元件12可以具有多个连接端子121,本申请上述实施例中示例出了电子元件12具有两个连接端子121的实施例。与此相应的,导电孔130设有两个,且和两个连接端子121分别对应设置,即每一导电孔130穿设于每一连接端子121。当然,在其他实施例中,电子元件12可以具有三个连接端子,例如三脚结构的电感元件,其具有三个引脚。此时,导电孔130可以设有三个,且和三个连接端子分别对应设置,即每一连接端子121和每一导电孔130分别电性连接。其中,多个连接端子121中的部分连接端子可以通过导电孔130连接至设于第一表面101或者第二表面102上的导电层,多个连接端子121中的另一部分连接端子可以通过导电孔130连接至设于第一表面101或者第二表面102上的导电层,以此实现电子元件在基板的单面或者双面导通。
其中,在一些实施方式中,导电孔130内侧壁覆盖有导电物质,以实现导电孔130和基板表面的导电层的电连接。例如,可以通过电镀的方式在导电孔130的内侧壁覆盖铜层、铜镍合金层、铜镍金合金层等金属层。当然,在其他一些实施方式中,导电孔130内填充有导电物质,以实现导电孔130和基板表面的导电层的电连接。例如,可以在导电孔130内形成铜柱、合金柱等金属柱状结构。
进一步地,本申请实施例提供的埋入式电子元件在一些应用场景中对提高电路板板面有效贴装面积具有较大的贡献。请参阅图3-图5,图3是图1实施例中埋入式电子元件的应用时的结构示意图,图4是图3实施例中埋入式电子元件应用时的布局效果示意图,图5是一般技术中电子元件应用时的布局效果示意图。
其中,以埋入式电子元件用于电压调节模块为例,电压调节模块一般用于为CPU提供稳定的工作电压。电压调节模块1000大致包括埋入式电子元件100以及MOS管800(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor,金氧半场效晶体管)。如图5所示,在一般技术方案中,通常将MOS管800以及埋入式电子元件100中的基板10和电子元件12等平铺在PCB母板900上,并通过电性连接导通以为CPU供电,而通常一个CPU需要大致10个电压调节模块1000来为其提供稳定的供电电压。基于此,上述平铺方案将占用较大的贴装面积,不利于小型化布局。
本申请实施例将电子元件12埋入基板10内,并在基板10上堆叠MOS管800,以形成电压调节模块1000,然后将该电压调节模块1000设于PCB母板900上,以此来为CPU提供稳定的供电电压。结合图4和图5可以很明显看出,通过埋入式电子元件堆叠形成的电压调节模块在PCB母板上占用的贴装面积大幅下降,为小型化布局具有很好的促进效果。当然,在一些其他应用场景中,也可以在埋入式电子元件上堆叠IC、电容、电感等器件,以减小电路板板面的贴装面积。
请参阅图6,图6是本申请埋入式电子元件的第二实施例的结构示意图。其中,第二实施例和第一实施例的区别在于:导电孔和导电层之间的连通方式不同。
本实施例的埋入式电子元件200可以包括:基板20和电子元件22,电子元件22设于基板20内。其中,电子元件22设有侧向延伸的连接端子221。基板20具有相背的第一表面201和第二表面202,基板20内设有导电孔230。连接端子221自电子元件22的侧面延伸至导电孔230。关于基板20和电子元件22的具体结构可参考前述实施例。
导电孔230可包括相对设置的导通端2301和截止端2302,导通端2301和截止端2302分别与第一表面201和第二表面202对应设置。即导通端2301和截止端2302中的一者对应于第一表面201设置,另一者对应于第二表面202设置。其中,导通端2301用于实现导电孔230和基板表面的导电层之间的电性连接,截止端2302用于实现导电孔230和基板表面的导电层之间的绝缘。例如,导通端2301和第一表面201对应设置即相接设置,导通端2301和第一表面201上的导电层电性连接。截止端2302和第二表面202对应设置即邻近设置,截止端2302和第二表面202上的导电层绝缘,以实现导电孔230的单端导通。进一步地,截止端2302和临近该截止端2302的基板20表面之间设置有绝缘槽250,该绝缘槽250的底壁和导电孔230的截止端2302相接,且绝缘槽250的孔径大于截止端2302的孔径。
具体而言,绝缘槽250内填充有绝缘材料,以隔离开导电孔230的截止端2302和基板表面的导电层,使得导电孔230的一端可以导通,另一端截止导通,使得电子元件22的连接端子221通过导电孔230连接至导电层并在导电孔230的一端实现电性连接。
在本申请实施例中,以电子元件22设有两个连接端子即第一连接端子221a和第二连接端子221b为例。其中,导电层包括设于第一表面201上的第一导电层241和设于第二表面202上的第二导电层242,导电孔230包括连通至第一导电层241的第一导电孔231和连通至第一导电层241的第二导电孔232。其中,第一连接端子221a通过第一导电孔231连接至第一导电层241,第二连接端子221b通过第二导电孔232连接至第一导电层241。
其中,第一导电孔231可包括相对设置的第一导通端2311和第一截止端2312,第二导电孔232可包括相对设置的第二导通端2321和第二截止端2322。具体而言,第一导通端2311和第二导通端2321可分别与第一表面201上的导电层即第一导电层241电连接。第一截止端2312和第二表面202之间设置有第一绝缘槽251,第二截止端2322和第二表面202之间设置有第二绝缘槽252。
本实施例通过在导电孔230的截止端2302和第二表面202的第二导电层242之间设置绝缘槽250,使得第一导电孔231和第二导电孔232分别与第一表面201的第一导电层241电性连接,进而使得电子元件22的第一连接端子221a通过第一导电孔231连接至第一导电层241,第二连接端子221b通过第二导电孔232连接至第一导电层241,以此实现电子元件在基板的单面即第一表面导通。同理也可以得出电子元件在基板的第二表面实现导通的技术方案,本申请实施例不再赘述。
请参阅图7,图7是本申请埋入式电子元件的第二实施例的又一结构示意图。其中,图7实施例和图6实施例的区别在于:电子元件在基板的双面实现导通。
在本实施例中,电子元件22设有两个连接端子即第一连接端子221a和第二连接端子221b。其中,导电层24包括设于第一表面201上的第一导电层241和设于第二表面202上的第二导电层242,导电孔230包括连通至第二导电层242的第一导电孔231和连通至第一导电层241的第二导电孔232。其中,第一连接端子221a通过第一导电孔231连接至第二导电层242,第二连接端子221b通过第二导电孔232连接至第一导电层241。
其中,第一导电孔231可包括相对设置的第一导通端2311和第一截止端2312,第二导电孔232可包括相对设置的第二导通端2321和第二截止端2322。具体而言,第一导通端2311和第二表面202上的导电层即第二导电层242电连接,第二导通端2321和第一表面201上的导电层即第一导电层241电连接。第一截止端2312和第一表面201之间设置有第一绝缘槽251,第二截止端2322和第二表面202之间设置有第二绝缘槽252。
本实施例通过在第一导电孔231的截止端和第一表面201的第一导电层之间设置第一绝缘槽251,以及在第二导电孔232的截止端和第二表面202的第二导电层之间设置第二绝缘槽252,使得第一导电孔231和第二表面202的第二导电层242电性连接,第二导电孔232和第一表面201的第一导电层241电性连接。进而使得电子元件22的第一连接端子221a通过第一导电孔231连接至第二导电层242,第二连接端子221b通过第二导电孔232连接至第一导电层241,以此实现电子元件在基板的双面即第一表面和第二表面同时导通。同理,可以得出电子元件22的第一连接端子221a可通过第一导电孔231连接至第一导电层241,第二连接端子221b通过第二导电孔232连接至第二导电层242。
请参阅图8,图8是本申请第二实施例中埋入式电子元件的制作方法的流程示意图,该制作方法能够被用于制作第二实施例中的埋入式电子元件。其中,该制作方法大致包括如下步骤:
S801、提供一基板以及电子元件,并将电子元件设于基板内。请参阅图8a-图8c,图8a-图8c是图8实施例中制作方法对应的结构示意图。其中,基板20具有相背设置的第一表面201和第二表面202,电子元件22设有侧向延伸的连接端子221。关于基板20以及电子元件22的具体结构特征可参考前述实施例的具体描述,此处不再赘述。
例如,将电子元件埋入到基板中的具体过程可以为:首先将电子元件放置在框架的容置槽中,然后对容置槽和框架填充绝缘材料,并对绝缘材料进行压合以形成与框架一体成型的填充层。
S802、在基板上开设导电孔,并将导电孔进行导电化处理。其中,电子元件22的连接端子221侧向延伸至导电孔230,导电孔230穿设于电子元件22的连接端子221,以使得电子元件22的连接端子221和导电孔230电性连接。可以理解的,连接端子221和导电孔230可分别设有多个,且每一导电孔230和每一连接端子221分别对应设置,具体可参阅前述实施例的具体描述。
进一步地,可以通过电镀工艺将导电孔进行导电化处理。即可通过沉铜、电镀等工艺在导电孔的内侧壁覆盖一层导电物质,以实现导电孔和连接端子的电连接。或者可通过沉铜、电镀等工艺在导电孔内填充导电物质,即可以在导电孔内形成金属柱状结构,以实现导电孔和连接端子的电连接。
可以理解的,在实际生产工艺中,基板上开设的导电孔一般贯穿于基板的第一表面和第二表面,即可以通过钻孔的方式在基板上形成通孔,然后通过沉铜、电镀等工艺在通孔的基础上形成导电孔。
S803、在基板表面形成导电层,且该导电层和导电孔电性连接,以使得连接端子通过导电孔和导电层电性连接。
具体而言,可以通过沉铜、电镀等工艺在基板的第一表面201和/或第二表面202形成导电层24。如图8c所示,通过沉铜、电镀等工艺在基板的第一表面201形成导电层24。可以理解的,在图2所示的实施例中,可以通过沉铜、电镀等工艺在基板的第一表面201和第二表面202分别形成第一导电层241和第二导电层242。关于导电层24未尽详述的具体结构特征可以参考前述实施例中的具体描述。
在本申请部分实施方式中,即在实际生产工艺中,可首先通过钻孔的方式在基板上开设贯穿于基板的导电孔,然后通过沉铜、电镀等工艺在导电孔的内侧壁覆盖导电物质或者在导电孔内填充导电物质。与此同时,可以同步在基板表面形成导电层,然后对导电层进行图形化处理以得到所需的线路。换言之,导电孔内的导电物质和基板表面的导电层可以通过相同的工艺一次同步形成,可以提升生产效率。
本实施例提供的埋入式电子元件的制作方法,通过将电子元件埋入基板内,并在基板开设和电子元件侧向延伸的连接端子电性连接的导电孔,以及在基板表面设置导电层使得该导电层和导电孔电性连接,从而使得电子元件的连接端子可以通过导电孔连接至导电层,进而实现电子元件在基板的单面或者双面导通。本实施例提供的制作方法在电子元件封装时可降低整体结构厚度,且可以增加基板表面其他元器件或者芯片等器件的贴装面积。
可以理解的,每一个连接端子一般从基板的一个表面引出导通,这就使得导电孔需要实现单端导通。基于此,本申请实施例在步骤S803之前需要对导电孔进行进一步处理,以使得导电孔能够实现单端导通。
具体而言,请参阅图9,图9是本申请第二实施例中埋入式电子元件的又一制作方法的流程示意图,该制作方法能够被用于制作第二实施例中的埋入式电子元件。其中,该制作方法大致包括如下步骤:
S901、提供一基板以及电子元件,并将电子元件设于基板内。该步骤可参考前述实施例中的步骤S801,故此不再赘述。
S902、在基板上开设导电孔,并对导电孔的一端进行处理以形成绝缘槽。请参阅图9a,图9a是图9实施例中制作方法对应的结构示意图。其中,导电孔230可包括相对设置的导通端2301和截止端2302,导通端2301相接于基板20的一表面,截止端2302临近于基板20的另一表面设置,绝缘槽250位于截止端2302和临近该截止端2302的基板20表面之间。例如,导通端2301和第一表面201相接,截止端2302临近于第二表面202设置,绝缘槽250位于截止端2302和第二表面202之间。可以理解的,在实际生产工艺中,基板20上开设贯穿于基板20的第一表面201和第二表面202的通孔,然后通过沉铜、电镀等工艺在通孔的基础上形成导电孔230。进一步通过背钻的方式在导电孔230的一端形成截止端2302以及绝缘槽250。
进一步地,绝缘槽250的底壁和导电孔230的截止端2302相接,且绝缘槽250的孔径大于截止端2302的孔径。绝缘槽250内填充有绝缘材料,以隔离开导电孔230的截止端2302和基板表面的导电层24,使得导电孔230的一端可以导通,另一端截止导通,进而将电子元件22的连接端子221电性导出并在导电孔230的一端实现电连接。关于绝缘槽以及导电孔未尽详述的结构特征可参考前述实施例中的具体描述。
S903、将导电孔进行导电化处理,并在基板表面形成导电层。其中,导电层和导电孔电性连接,以使得连接端子通过导电孔和导电层电性连接。该步骤可参考前述实施例中的具体描述,故此不再赘述。
在本申请部分实施例中,即在实际生产工艺中,可首先通过钻孔方式在基板上开设贯穿于基板的导电孔,然后通过背钻对导电孔的一端进行处理以形成绝缘槽并在绝缘槽内填充绝缘材料;接下来通过沉铜、电镀等工艺在导电孔的内侧壁覆盖导电物质或者在导电孔内填充导电物质。与此同时,可以同步在基板表面形成导电层,然后对导电层进行图形化处理以得到所需的线路。换言之,导电孔内的导电物质和基板表面的导电层可以通过相同的工艺一次同步形成,可以提升生产效率。
当然,在本申请另一些实施例中,可首先通过钻孔方式在基板上开设贯穿于基板的导电孔,然后通过沉铜、电镀等工艺在导电孔的内侧壁覆盖导电物质或者在导电孔内填充导电物质,并同步在基板表面形成导电层。接下来通过背钻对导电孔的一端进行处理以形成绝缘槽并在绝缘槽内填充绝缘材料;然后对导电层进行图形化处理以得到所需的线路。
本申请实施例提供的制作方法,通过在导电孔的一端和基板表面之间设置绝缘槽,以实现导电孔的单端导通,进而可以通过导电孔将电子元件的连接端子电性连接至基板的第一表面或第二表面上的导电层。
请参阅图10,图10是本申请埋入式电子元件的第三实施例的结构示意图。其中,第三实施例和第一、二实施例的区别在于:导电孔和导电层之间的连通方式不同。
本实施例的埋入式电子元件300可以包括:基板30和电子元件32,电子元件32设于基板30内。其中,电子元件32设有侧向延伸的连接端子321。基板30具有相背的第一表面301和第二表面302,基板30内设有导电孔330。连接端子321自电子元件32的侧面延伸至导电孔330。关于基板30和电子元件32的具体结构可参考前述实施例。
导电孔330可包括相对设置的导通端3301和截止端3302,导通端3301和截止端3302分别与第一表面301和第二表面302对应设置。即导通端3301和截止端3302中的一者对应于第一表面301设置,另一者对应于第二表面302设置。其中,导通端3301用于实现导电孔330和基板表面的导电层之间的电性连接,截止端3302用于实现导电孔330和基板表面的导电层之间的绝缘。例如,导通端3301相接于第一表面301,导通端3301和第一表面301上的导电层电性连接。截止端3302相接于第二表面302,截止端3302和第二表面302上的导电层绝缘设置,以实现导电孔330的单端导通。
进一步地,基板30表面设有绝缘层360,该绝缘层360完全覆盖于导电孔330的截止端3302。本实施例通过将绝缘层360覆盖于导电孔330的截止端3302,以隔离开导电孔330的截止端3302和基板表面的导电层,使得导电孔330的一端可以导通,另一端截止导通,进而将电子元件32的连接端子321连接至导电孔330并在导电孔330的一端实现电连接。可以理解的,绝缘层360采用绝缘材料制成,例如可以采用诸如聚丙烯、环氧树脂等树脂材料制成。
在本申请实施例中,以电子元件32设有两个连接端子即第一连接端子321a和第二连接端子321b为例。其中,导电层可包括设于第一表面301上的第一导电层341和设于第二表面302上的第二导电层342,导电孔330包括连通至第一导电层341的第一导电孔331和连通至第一导电层341的第二导电孔332。其中,第一连接端子321a通过第一导电孔331连接至第一导电层341,第二连接端子321b通过第二导电孔332连接至第一导电层341。
其中,第一导电孔331可包括相对设置的第一导通端3311和第一截止端3312,第二导电孔332可包括相对设置的第二导通端3321和第二截止端3322。具体而言,第一导通端3311和第二导通端3321可分别与第一表面301上的导电层即第一导电层341电连接。第一截止端3312和第二导电层342之间设置有第一绝缘层361,第二截止端3322和第二导电层342之间设置有第二绝缘层362。换言之,第一绝缘层361设于第二表面302上,且覆盖于第一截止端3312。第二绝缘层362设于第二表面302上,且覆盖于第二截止端3322。第二表面302上的第二导电层342同时覆盖于第一绝缘层361、第二绝缘层362以及第二表面302。
本实施例通过在导电孔330的截止端3302和第二表面302的第二导电层342之间设置绝缘层360,使得第一导电孔331和第二导电孔332分别与第一表面301的第一导电层341电性连接,进而使得电子元件32的第一连接端子321a通过第一导电孔331连接至第一导电层341,第二连接端子321b通过第二导电孔332连接至第一导电层341,以此实现电子元件在基板的单面即第一表面导通。同理也可以得出电子元件在基板的第二表面实现导通的技术方案,本申请实施例不再赘述。
请参阅图11,图11是本申请埋入式电子元件的第三实施例的又一结构示意图。其中,图11实施例和图10实施例的区别在于:电子元件在基板的双面实现导通。
在本实施例中,电子元件32设有两个连接端子即第一连接端子321a和第二连接端子321b。其中,导电层可包括设于第一表面301上的第一导电层341和设于第二表面302上的第二导电层342,导电孔330包括连通至第二导电层342的第一导电孔331和连通至第一导电层341的第二导电孔332。其中,第一连接端子321a通过第一导电孔331连接至第二导电层342,第二连接端子321b通过第二导电孔332连接至第一导电层341。
其中,第一导电孔331可包括相对设置的第一导通端3311和第一截止端3312,第二导电孔332可包括相对设置的第二导通端3321和第二截止端3322。具体而言,第一导通端3311和第二表面302上的导电层即第二导电层342电连接,第二导通端3321和第一表面301上的导电层即第一导电层341电连接。第一截止端3312和第一导电层341之间设置有第一绝缘层361,第二截止端3322和第二导电层342之间设置有第二绝缘层362。换言之,第一绝缘层361设于第一表面301上,且覆盖于第一截止端3312。第二绝缘层362设于第二表面302上,且覆盖于第二截止端3322。第一表面301上的第一导电层341同时覆盖于第一绝缘层361以及第一表面301。第二表面302上的第二导电层342同时覆盖于第二绝缘层362以及第二表面302。
本实施例通过在第一导电孔331的截止端和第一表面301上的第一导电层之间设置第一绝缘层361,以及在第二导电孔332的截止端和第二表面302上的第二导电层之间设置第二绝缘层362,使得第一导电孔331和第二表面302的第二导电层342电性连接,第二导电孔332和第一表面301的第一导电层341电性连接。进而使得电子元件32的第一连接端子321a通过第一导电孔331连接至第二导电层342,第二连接端子321b通过第二导电孔332连接至第一导电层341,以此实现电子元件在基板的双面即第一表面和第二表面同时导通。同理,可以得出电子元件32的第一连接端子321a可通过第一导电孔331连接至第一导电层341,第二连接端子321b通过第二导电孔332连接至第二导电层342。
进一步地,在本申请部分实施例中,基板30表面设有焊盘370,该焊盘370和导电孔330的截止端3302相接,且该焊盘370的尺寸不小于导电孔330的截止端3302。换言之,焊盘370位于绝缘层360和截止端3302之间,且绝缘层360完全覆盖于焊盘370,以避免截止端3302和设于基板对应表面的导电层发生连通的风险。
具体而言,基板30表面分别设有第一焊盘371和第二焊盘372。第一焊盘371和第一截止端3312相接,且位于第一截止端3312和第一绝缘层361之间。第二焊盘372和第二截止端3322相接,且位于第二截止端3322和第二绝缘层362之间。其中,第一绝缘层361完全覆盖于第一焊盘371,且第一焊盘371的尺寸不小于第一截止端3312。第二绝缘层362完全覆盖于第二焊盘372,且第二焊盘372的尺寸不小于第二截止端3322。
请参阅图12,图12是本申请第三实施例中埋入式电子元件的制作方法的流程示意图,该制作方法能够被用于制作第三实施例中的埋入式电子元件。其中,该制作方法大致包括如下步骤:
S1201、提供一基板以及电子元件,并将电子元件设于基板内。请参阅图12a-图12h,图12a-图12h是图12实施例中制作方法对应的结构示意图。其中,基板30具有相背设置的第一表面301和第二表面302,电子元件32设有侧向延伸的连接端子321。关于基板30以及电子元件32的具体结构特征可参考前述实施例中的具体描述,此处不再赘述。
S1202、在基板上开设导电孔,且该导电孔穿设于电子元件的连接端子。其中,电子元件32的连接端子321和导电孔330电性连接。可以理解的,连接端子321和导电孔330可分别设有多个,且每一导电孔330和每一连接端子321分别对应设置,具体可参阅前述实施例的描述。
S1203、将导电孔进行导电化处理,并在基板表面形成导电层。其中,导电层和导电孔电性连接,以使得连接端子通过导电孔和导电层电性连接。该步骤可参考前述实施例中的具体描述,故此不再赘述。
在实际生产工艺中,可首先通过钻孔方式在基板上开设贯穿于基板的导电孔,然后通过沉铜、电镀等工艺在导电孔的内侧壁覆盖导电物质或者在导电孔内填充导电物质。与此同时,可以同步在基板表面形成导电层,然后对导电层进行图形化处理以得到所需的线路。换言之,导电孔内的导电物质和基板表面的导电层可以通过相同的工艺一次同步形成,可以提升生产效率。
其中,如图12c所示,导电层可包括设于第一表面301上的第一导电层341和设于第二表面302上的第二导电层342。此时,导电孔330的两端分别与第一导电层341和第二导电层342电性连接。
S1204、对导电层进行局部处理以露出部分基板表面。其中,在该露出的基板表面上可以保留部分导电物质以形成焊盘,该焊盘完全覆盖于导电孔的截止端,且该焊盘和导电层间隔设置。
如图12d所示,导电孔330包括连通至第二导电层342的第一导电孔331和连通至第一导电层341的第二导电孔332。第一连接端子321a通过第一导电孔331连接至第二导电层342,第二连接端子321b通过第二导电孔332连接至第一导电层341。第一导电孔331可包括相对设置的第一导通端3311和第一截止端3312,第二导电孔332可包括相对设置的第二导通端3321和第二截止端3322。第一导通端3311和第二导电层342电连接,第二导通端3321和第一导电层341电连接。第一截止端3312和第一表面301相接,第二截止端3322和第二表面302相接。
在第一导电层341对应于第一截止端3312的区域进行局部处理以露出部分第一表面301,以使得第一截止端3312和第一导电层341间隔绝缘。在第二导电层342对应于第二截止端3322的区域进行局部处理以露出部分第二表面302,以使得第二截止端3322和第二导电层342间隔绝缘。其中,当第一导电层141和第二导电层342为铜层时,可以通过减铜工艺对导电层进行局部处理以露出部分基板表面。当然,也可以通过钻孔等其他工艺对导电层进行处理以露出部分基板表面。
在本实施例中,在对导电层进行处理后会保留一部分导电物质以形成覆盖于导电孔一端的焊盘结构。该焊盘结构和导电孔相接并完全覆盖于导电孔的一端,且该焊盘结构和导电层间隔绝缘,以使得导电孔的一端和导电层绝缘。具体而言,在第一导电层341对应于第一截止端3312的区域进行局部处理形成第一焊盘371,该第一焊盘371覆盖于第一表面301的部分表面以及完全覆盖于第一截止端3312。在第二导电层342对应于第二截止端3322的区域进行局部处理形成第二焊盘372,该第二焊盘372覆盖于第二表面302的部分表面以及完全覆盖于第二截止端3322。其中,第一焊盘371和第一导电层341间隔绝缘,第二焊盘372和第二导电层342间隔绝缘。
当然,在其他实施方式中,在部分露出的基板表面上可以不用保留导电物质,即不会形成焊盘结构。如图12e所示,在对导电层进行处理后露出基板表面,并形成以基板表面为底壁的凹槽380结构,且该凹槽380结构完全覆盖于导电孔的截止端,以使得导电孔的截止端和导电层绝缘。例如,去除部分第一导电层341形成以第一表面301为底壁的第一凹槽381,去除部分第二导电层342形成以第二表面302为底壁的第二凹槽382。其中,第一凹槽381的底壁和第一截止端3312相接,且第一凹槽381的孔径大于第一截止端3312,进而使得第一截止端3312和第一导电层341绝缘。第二凹槽382的底壁和第二截止端3322相接,且第二凹槽382的孔径大于第二截止端3322,进而使得第二截止端3322和第二导电层342绝缘。
S1205、在露出的基板表面上填充绝缘材料以形成绝缘层,且该绝缘层完全覆盖于导电孔的截止端。
如图12f所示,露出的基板表面形成有焊盘结构,绝缘层完全覆盖于上述焊盘结构。其中,该焊盘结构和导电孔相接并完全覆盖于导电孔的一端,且该焊盘结构和导电层间隔绝缘,以使得导电孔的一端和导电层绝缘。具体而言,第一焊盘371完全覆盖于第一截止端3312,在第一焊盘371上形成有第一绝缘层361,该第一绝缘层361完全覆盖于第一焊盘371。第二焊盘372完全覆盖于第二截止端3322,在第二焊盘372上形成有第二绝缘层362,该第二绝缘层362完全覆盖于第二焊盘372。
如图12g所示,露出的基板表面没有形成有焊盘结构,绝缘层完全覆盖于凹槽的底壁。其中,在第一凹槽381内填充绝缘材料形成第一绝缘层361,该第一绝缘层361完全覆盖于第一凹槽381的底壁以及第一截止端3312。在第二凹槽382内填充绝缘材料形成第二绝缘层362,该第二绝缘层362完全覆盖于第二凹槽382的底壁以及第二截止端3322。
本申请实施例提供的制作方法,通过去除部分导电层以露出部分基板表面,并在露出的基板表面上形成绝缘层,且使得该绝缘层完全覆盖于导电孔的一端,使得导电孔的一端和导电层绝缘,另一端和导电层电性连接,进而使得电子元件的连接端子可通过导电孔连接至导电层。
进一步地,在形成绝缘层后为了保持埋入式电子元件的外观一致性以及便于后续制作线路,通常会在绝缘层上填充导电物质以与导电层形成完整面。具体而言,请继续参阅图12h,在步骤S1205之后还包括步骤S1206,即在绝缘层上填充导电物质,以使得导电层背离基板的一侧表面平齐,进而保持整体结构的外观一致性以及便于后续制作线路。
其中,可通过沉铜、电镀等工艺上在绝缘层上覆盖导电物质,以填补去除的部分导电层,使得导电层背离基板的表面平齐。例如,在第一绝缘层361上覆盖填充导电物质使得第一导电层341在背离第一表面301的一侧平齐,在第二绝缘层362上覆盖填充导电物质使得第二导电层342在背离第二表面302的一侧平齐。
请参阅图13,图13是本申请埋入式电子元件的第四实施例的结构示意图。其中,第四实施例和第一至第三实施例的区别在于:导电孔和导电层之间的连通方式不同。
本实施例的埋入式电子元件400可以包括:基板40和电子元件42,电子元件42设于基板40内。其中,电子元件42设有侧向延伸的连接端子421。基板40具有相背的第一表面401和第二表面402,基板40内设有导电孔430。连接端子421自电子元件42的侧面延伸至导电孔430。关于基板40和电子元件42的具体结构可参考前述实施例。
导电孔430可包括相对设置的导通端4301和截止端4302,导通端4301和截止端4302分别与第一表面401和第二表面402对应设置。即导通端4301和截止端4302中的一者对应于第一表面401设置,另一者对应于第二表面402设置。其中,导通端4301用于实现导电孔430的电性连接,截止端4302用于实现导电孔430的绝缘,以此实现导电孔430的单端导通。例如,导通端4301相接于第一表面401,截止端4302相接于第二表面402,以实现导电孔430的单端导通。
基板40的表面设有第一导电层44,第一导电层44可以设于基板的第一表面401和/或第二表面402。第一导电层44覆盖于导电孔430的端部,并与导电孔430电性连接。在本实施例中,第一导电层44可设有两层,一层设于第一表面401上,一层设于第二表面402上。第一表面401上的第一导电层44完全覆盖于导电孔430的一端,第二表面402上的第一导电层44完全覆盖于导电孔430的另一端。其中,第一表面401上的第一导电层44未覆盖导电孔430的区域露出第一表面401,第二表面402上的第一导电层44未覆盖导电孔430的区域露出第二表面402。换言之,第一导电层44开窗以露出部分基板表面,第一导电层44未开窗区域覆盖于导电孔430的端部。
第一导电层44背离基板40的一侧设有绝缘层46,即绝缘层46覆盖于第一导电层44背离基板40的一侧。可以理解的,绝缘层46投影于基板表面的正投影可以完全覆盖于该基板表面,即绝缘层46同时覆盖于第一导电层44和基板40表面,且该绝缘层46背离基板40的一面与基板40表面大体上平行。其中,绝缘层46开设有导电盲孔450,该导电盲孔450和第一导电层44电性连接,以使得导电盲孔450和导电孔430电性连接。其中,导电盲孔450的内侧壁覆盖有导电物质,以实现导电盲孔450和导电层的电性连接。例如,可以通过电镀的方式在导电盲孔450的内侧壁覆盖铜层、铜镍合金层、铜镍金合金层等金属层。当然,在其他一些实施方式中,导电盲孔450内填充有导电物质,以实现导电盲孔450和导电层的电性连接。例如,可以在导电盲孔450内形成铜柱、合金柱等金属柱状结构。
绝缘层46背离基板40的一侧设有第二导电层47,即第二导电层47覆盖于绝缘层46背离基板40的一侧。其中,第二导电层47和导电盲孔450电性连接,使得第二导电层47和导电孔430电性连接。
进一步地,导电盲孔450对应于导电孔430的一端设置,使得导电孔430形成单端导通的连接方式。即导电盲孔450对应于导电孔430的导通端4301的设置,并与导通端4301电性连接。电子元件42的连接端子421通过导电孔430和第二导电层47电性连接。
在本申请实施例中,以电子元件42设有两个连接端子即第一连接端子421a和第二连接端子421b为例。其中,第一导电层44可包括设于第一表面401上的第一导电I层441和设于第二表面402上的第一导电II层442。导电孔430可包括间隔设置的第一导电孔431和第二导电孔432,第一导电孔431的两端分别连通至第一导电I层441和第一导电II层442,第二导电孔432的两端分别连通至第一导电I层441和第一导电II层442。
其中,第一导电孔431可包括相对设置的第一导通端4311和第一截止端4312,第二导电孔432可包括相对设置的第二导通端4321和第二截止端4322。具体而言,第一导通端4311和第二导通端4321可分别与第一表面401上的第一导电I层441电性连接。第一截止端4312和第二截止端4322可分别与第二表面402上的第一导电II层442电性连接。
即第一导电I层441通过开窗分别覆盖第一导通端4311和第二导通端4321,以避免第一导通端4311和第二导通端4321直接连接,从而避免第一连接端子421a和第二连接端子421b直接连接。第一导电II层442通过开窗分别覆盖第一截止端4312和第二截止端4322,以避免第一截止端4312和第二截止端4322直接连接,从而避免第一连接端子421a和第二连接端子421b直接连接。
绝缘层46可包括设于第一表面401上的第一绝缘层461和设于第二表面402上的第二绝缘层462。第一绝缘层461同时覆盖于第一导电I层441以及第一表面401,第二绝缘层462同时覆盖于第一导电II层442以及第二表面402。
其中,第一绝缘层461开设有导电盲孔450,导电盲孔450对应于导电孔430的导通端4301的设置,并与第一导电I层441电性连接。例如,导电盲孔450可包括对应于第一导通端4311设置的第一导电盲孔451和对应于第二导通端4321设置的第二导电盲孔452。第一导电盲孔451和第一导通端4311上的第一导电I层441电性连接,第二导电盲孔452和第二导通端4321上的第一导电I层441电性连接,使得第一导电盲孔451和第一导通端4311电性连接,第二导电盲孔452和第二导通端4321电性连接。
第二导电层47可包括设于第一绝缘层461上的第二导电I层471和设于第二绝缘层462上的第二导电II层472。其中,第一导电盲孔451和第二导电I层471电性连接,第二导电盲孔452和第二导电I层471电性连接,使得第一导通端4311和第二导电I层471电性连接,第二导通端4321和第二导电I层471电性连接,进而使得电子元件42的第一连接端子421a通过第一导电孔431连接至第二导电I层471,第二连接端子421b通过第二导电孔432连接至第二导电I层471,以此实现电子元件在基板的单面即第一表面导通。同理也可以得出电子元件在基板的第二表面实现导通的技术方案,本申请实施例不再赘述。
请参阅图14,图14是本申请埋入式电子元件的第四实施例的又一结构示意图。其中,图14实施例和图13实施例的区别在于:电子元件在基板的双面实现导通。
在本实施例中,电子元件42设有两个连接端子即第一连接端子421a和第二连接端子421b。其中,第一导电层44可包括设于第一表面401上的第一导电I层441和设于第二表面402上的第一导电II层442。导电孔430可包括间隔设置第一导电孔431和第二导电孔432,第一导电孔431的两端分别连通至第一导电I层441和第一导电II层442,第二导电孔432的两端分别连通至第一导电I层441和第一导电II层442。
其中,第一导电孔431可包括相对设置的第一导通端4311和第一截止端4312,第二导电孔432可包括相对设置的第二导通端4321和第二截止端4322。具体而言,第一导通端4311和第二截止端4322可分别与第一表面401上的第一导电I层441电性连接。第二导通端4321和第一截止端4312可分别与第二表面402上的第一导电II层442电性连接。
即第一导电I层441通过开窗分别覆盖第一导通端4311和第二截止端4322,以避免第一导通端4311和第二截止端4322直接连接,从而避免第一连接端子421a和第二连接端子421b直接连接。第一导电II层442通过开窗分别覆盖第二导通端4321和第一截止端4312,以避免第二导通端4321和第一截止端4312直接连接,从而避免第一连接端子421a和第二连接端子421b直接连接。
绝缘层46可包括设于第一表面401上的第一绝缘层461和设于第二表面402上的第二绝缘层462。第一绝缘层461同时覆盖于第一导电I层441以及第一表面401,第二绝缘层462同时覆盖于第一导电II层442以及第二表面402。
其中,绝缘层46开设有导电盲孔450,导电盲孔450对应于导电孔430的导通端4301的设置,并与第一导电层44电性连接。例如,导电盲孔450可包括对应于第一导通端4311设置的第一导电盲孔451和对应于第二导通端4321设置的第二导电盲孔452。第一导电盲孔451和第一导通端4311上的第一导电I层441电性连接,第二导电盲孔452和第二导通端4321上的第一导电II层442电性连接,使得第一导电盲孔451和第一导通端4311电性连接,第二导电盲孔452和第二导通端4321电性连接。
第二导电层47可包括设于第一绝缘层461上的第二导电I层471和设于第二绝缘层462上的第二导电II层472。其中,第一导电盲孔451和第二导电I层471电性连接,第二导电盲孔452和第二导电II层472电性连接,使得第一导通端4311和第二导电I层471电性连接,第二导通端4321和第二导电II层472电性连接,进而使得电子元件42的第一连接端子421a通过第一导电孔431、第一导电盲孔451电性连接至第二导电I层471,第二连接端子421b通过第二导电孔432、第二导电盲孔452电性连接至第二导电II层472,以此实现电子元件在基板的双面即第一表面和第二表面同时导通。同理可得出电子元件422的第一连接端子421a通过第一导电孔431连接至第二导电II层472,第二连接端子421b通过第二导电孔432连接至第二导电I层471。
请参阅图15,图15是本申请第四实施例中埋入式电子元件的制作方法的流程示意图,该制作方法能够被用于制作第四实施例中的埋入式电子元件。其中,该制作方法大致包括如下步骤:
S1501、提供一基板以及电子元件,并将电子元件设于基板内。请参阅图15a-图15f,图15a-图15f是图15实施例中制作方法对应的结构示意图。其中,基板40具有相背设置的第一表面401和第二表面402,电子元件42设有侧向延伸的连接端子421。关于基板40以及电子元件42的具体结构特征可参考前述实施例中的具体描述,此处不再赘述。
S1502、在基板上开设导电孔,且该导电孔穿设于电子元件的连接端子。其中,电子元件42的连接端子421和导电孔430电性连接。可以理解的,连接端子421和导电孔430可分别设有多个,且每一导电孔430和每一连接端子421分别对应设置,具体可参阅前述实施例的描述。
S1503、将导电孔进行导电化处理,并在基板表面形成金属层。如图15c所示,在实际生产工艺中,可首先通过钻孔方式在基板上开设贯穿于基板的导电孔430,然后通过沉铜、电镀等工艺在导电孔的内侧壁覆盖导电物质或者在导电孔内填充导电物质。与此同时,可以同步在基板表面形成金属层48,然后对金属层48进行图形化处理以得到所需的线路。其中,金属层48可分别覆盖于第一表面401和第二表面402,导电孔430的两端分别与金属层48电性连接。
S1504、对上述金属层进行图形化处理以得到第一导电层。如图15d所示,可以通过蚀刻、光刻等工艺对金属层48进行图形化处理以得到第一导电层44。其中,第一导电层44可包括设于第一表面401上的第一导电I层441和设于第二表面402上的第一导电II层442,导电孔430的两端分别与第一导电I层441、第一导电II层442电性连接。
可以理解的,当电子元件42在基板40的单面导通时,第一导电层44设于基板40的第一表面401或者第二表面402。当电子元件42在基板40的双面导通时,第一导电层44设于基板40的第一表面401和第二表面402。本实施例以电子元件42在基板40的双面导通为例,即第一导电层44包括第一导电I层441和第一导电II层442,导电孔430的两端分别与第一导电I层441、第一导电II层442电性连接。
导电孔430可包括间隔设置第一导电孔431和第二导电孔432,第一导电孔431可包括相对设置的第一导通端4311和第一截止端4312,第二导电孔432可包括相对设置的第二导通端4321和第二截止端4322。第一导通端4311和第二截止端4322可分别与第一导电I层441电性连接。第二导通端4321和第一截止端4312可分别与第一导电II层442电性连接。关于第一导电层44未尽详述的特征可参考前述实施例的描述。
S1505、在第一导电层上设置绝缘层,且该绝缘层覆盖于基板表面。如图15e所示,绝缘层46设于第一导电层44背离基板40的一侧,绝缘层46上设有导电盲孔450,该导电盲孔450和第一导电层44电性连接。
其中,绝缘层46可包括设于第一表面401上的第一绝缘层461和设于第二表面402上的第二绝缘层462。导电盲孔450和导电孔430对应设置,即每一导电盲孔450能够与导电孔430的一端电性连接。
在本实施例中,绝缘层46可包括设于第一表面401上的第一绝缘层461和设于第二表面402上的第二绝缘层462。第一绝缘层461同时覆盖于第一导电I层441以及第一表面401,第二绝缘层462同时覆盖于第一导电II层442以及第二表面402。
第一绝缘层461开设有第一导电盲孔451,第二绝缘层462开设有第二导电盲孔452。第一导电I层441位于第一导电盲孔451和第一导电孔431之间,第一导电II层442位于第二导电盲孔452和第二导电孔432之间。以此使得第一导电孔431的第一导通端4311通过第一导电I层441和第一导电盲孔451电性连接,第二导电孔432的第二导通端4321通过第一导电II层442和第二导电盲孔452电性连接。
可以理解的,当电子元件42需要在基板40的单面导通时,第一导电盲孔451和第二导电盲孔452可以间隔设于第一绝缘层461或者第二绝缘层462,并分别与第一导电孔431和第二导电孔432电性连接。关于绝缘层46未尽详述的特征可参考前述实施例的描述。
其中,在绝缘层46上开设导电盲孔450的具体实施方式大致包括如下两种:(1)、首先在绝缘片材上开设导电盲孔,然后将绝缘片材贴合在基板表面并覆盖第一导电层以形成绝缘层,上述导电盲孔与第一导电层对应设置且电性连接。(2)、首先将绝缘片材贴合在基板表面并覆盖第一导电层以形成绝缘层,然后在绝缘层上对应于第一导电层的区域开设导电盲孔,使得导通盲孔和第一导电层电性连接。
S1506、在绝缘层上形成第二导电层。如图15f所示,绝缘层46中的导电盲孔450和第二导电层47电性连接。
第二导电层47可包括设于第一绝缘层461上的第二导电I层471和设于第二绝缘层462上的第二导电II层472。第一导电盲孔451和第二导电I层471电性连接,第二导电盲孔452和第二导电II层472电性连接。此时,第一导电孔431通过第一导电盲孔451和第二导电I层471电性连接,第二导电孔432通过第二导电盲孔452和第二导电II层472电性连接。进而使得电子元件42的第一连接端子421a通过第一导电孔431和第二导电I层471电性连接,第二连接端子421b通过第二导电孔432和第二导电II层472电性连接,以实现电子元件在基板的双面导通。
可以理解的,当电子元件42需要在基板40的单面导通时,第一导电盲孔451和第二导电I层471电性连接,第二导电盲孔452和第二导电I层471电性连接。第一导电孔431通过第一导电盲孔451和第二导电I层471电性连接,第二导电孔432通过第二导电盲孔452和第二导电I层471电性连接。或者,第一导电盲孔451和第二导电II层472电性连接,第二导电盲孔452和第二导电II层472电性连接。第一导电孔431通过第一导电盲孔451和第二导电II层472电性连接,第二导电孔432通过第二导电盲孔452和第二导电II层472电性连接。关于第二导电层47未尽详述的特征可参考前述实施例的描述。
请参阅图16,图16是本申请埋入式电子元件的第五实施例的结构示意图。其中,第五实施例和第一至第四实施例的区别在于:电子元件和导电层之间的连通方式不同。
本实施例的埋入式电子元件500可以包括:基板50和电子元件52,电子元件52设于基板50内。其中,电子元件52设有侧向延伸的连接端子521。基板50具有相背的第一表面501和第二表面502,基板50内设有导电盲孔530。连接端子521自电子元件52的侧面延伸至导电盲孔530。关于基板50和电子元件52的具体结构可参考前述实施例。
其中,导电盲孔530自基板50表面延伸至基板50内部。例如,导电盲孔530可以设置多个,多个导电盲孔530可以自基板50的第一表面501或者第二表面502延伸至基板50内部。或者,多个导电盲孔530中的部分导电盲孔530自基板50的第一表面501延伸至基板50内部,多个导电盲孔530中的另一部分导电盲孔530自基板50的第二表面502延伸至基板50内部。可以理解的,导电盲孔530和连接端子521可分别设有多个,且导电盲孔530和连接端子521对应设置,即每一连接端子521通过一个导电盲孔530和设于基板50表面上的导电层电性连接。
具体而言,导电盲孔530内侧壁覆盖有导电物质,以实现导电盲孔530和基板表面的导电层的电连接。例如,可以通过电镀的方式在导电盲孔530的内侧壁覆盖铜层、铜镍合金层、铜镍金合金层等金属层。当然,在其他一些实施方式中,导电盲孔530内填充有导电物质,以实现导电盲孔530和基板表面的导电层的电连接。例如,可以在导电盲孔530内形成铜柱、合金柱等金属柱状结构或者金属锥形结构。
进一步地,导电盲孔530连通至连接端子521,并与连接端子521电性连接。例如,导电盲孔530的底壁抵接于连接端子521,以使得导电盲孔530的底壁和连接端子521电性连接。或者,导电盲孔530的一端延伸至连接端子521的内部,以使得导电盲孔530的底壁、侧壁和连接端子521电性连接。
当然,在其他实施方式中,如图17所示,导电盲孔530可以穿设于连接端子521,此时导电盲孔530的侧壁和连接端子521电性连接。
在本实施例中,以电子元件52的连接端子521包括第一连接端子521a和第二连接端子521b为例。导电盲孔530可包括第一导电盲孔531和第二导电盲孔532。第一导电盲孔531连通至第一连接端子521a,第二导电盲孔532连通至第二连接端子521b。
第一导电盲孔531和第二导电盲孔532在基板50的第一表面501上间隔设置,且均自第一表面501延伸至基板50内部。其中,第一导电盲孔531和第二导电盲孔532的轴线大体平行。
基板50的第一表面501上设有导电层54。第一导电盲孔531和第二导电盲孔532分别与导电层54电性连接,第一连接端子521a通过第一导电盲孔531和导电层54电性连接,第二连接端子521b通过第二导电盲孔532和导电层54电性连接,以此可使电子元件在基板单面导通。
当然,在其他实施方式中,第一导电盲孔531和第二导电盲孔532在基板50的第二表面502上间隔设置,且均自第二表面502延伸至基板50内部。基板50的第二表面502上设有导电层54,第一连接端子521a通过第一导电盲孔531和导电层54电性连接,第二连接端子521b通过第二导电盲孔532和导电层54电性连接。
请参阅图18,图18是本申请埋入式电子元件的第五实施例的又一结构示意图。其中,图18实施例和图16实施例的区别在于:电子元件在基板的双面实现导通。
在本实施例中,电子元件52的连接端子包括第一连接端子521a和第二连接端子521b。其中,导电层包括设于第一表面501上的第一导电层541和设于第二表面502上的第二导电层542,导电盲孔530包括连通至第一导电层541的第一导电盲孔531和连通至第二导电层542的第二导电盲孔532。其中,第一连接端子521a通过第一导电盲孔531连接至第一导电层541,第二连接端子521b通过第二导电盲孔532连接至第二导电层542,以使得电子元件在基板的第一表面和第二表面同时导通。
可以理解的,上述结构可以进行简单变化即可得出电子元件52的第一连接端子521a可通过第一导电盲孔531连接至第二导电层542,第二连接端子521b可通过第二导电盲孔532连接至第一导电层541。
请参阅图19,图19是本申请第五实施例中埋入式电子元件的制作方法的流程示意图,该制作方法能够被用于制作第五实施例中的埋入式电子元件。其中,该制作方法大致包括如下步骤:
S1901、提供一基板以及电子元件,并将电子元件设于基板内。请参阅图19a-图19d,图19a-图19d是图19实施例中制作方法对应的结构示意图。其中,基板50具有相背设置的第一表面501和第二表面502,电子元件52设有侧向延伸的连接端子521。关于基板50以及电子元件52的具体结构特征可参考前述实施例中的具体描述,此处不再赘述。
S1902、在基板上开设导电盲孔,且该导电盲孔连通至电子元件的连接端子。其中,电子元件52的连接端子521和导电盲孔530电性连接。可以理解的,连接端子521和导电盲孔530可分别设有多个,每一导电盲孔530和每一连接端子521分别对应且电性连接,具体可参阅前述实施例中的描述。
具体而言,以电子元件52的连接端子521包括间隔设置的第一连接端子521a和第二连接端子521b为例。导电盲孔530可包括间隔设置的第一导电盲孔531和第二导电盲孔532。第一导电盲孔531连通至第一连接端子521a,第二导电盲孔532连通至第二连接端子521b。
进一步地,第一导电盲孔531和第二导电盲孔532自基板表面延伸至基板内部。如图19b所示,第一导电盲孔531和第二导电盲孔532均自基板50的第一表面501延伸至基板50内部。如图19c所示,第一导电盲孔531自基板50的第一表面501延伸至基板50内部,第二导电盲孔532自基板50的第二表面502延伸至基板50内部。第一导电盲孔531和第一连接端子521a电性连接,第二导电盲孔532和第二连接端子521b电性连接。当然,在其他实施例中,第一导电盲孔531和第二导电盲孔532均自基板50的第二表面502延伸至基板50内部。
可以理解的,可通过钻控深孔的方式在基板表面开设导电盲孔,以使得导电盲孔连通至电子元件的连接端子。
如图19b所示,在基板50的第一表面501分别钻控深孔以形成第一导电盲孔531和第二导电盲孔532。其中,当第一连接端子521a和第二连接端子521b与第一表面501的间距相同时,第一导电盲孔531和第二导电盲孔532可同步成型;当第一连接端子521a和第二连接端子521b与第一表面501的间距不同时,第一导电盲孔531和第二导电盲孔532可分别单独成型。
如图19c所示,在基板50的第一表面501钻控深孔以形成第一导电盲孔531,在基板50的第二表面502钻控深孔以形成第二导电盲孔532。其中,当第一连接端子521a和第一表面501之间的间距与第二连接端子521b和第二表面502之间的间距相同时,第一导电盲孔531和第二导电盲孔532可同步成型;当第一连接端子521a和第一表面501之间的间距与第二连接端子521b和第二表面502之间的间距不同时,第一导电盲孔531和第二导电盲孔532可分别单独成型。
S1903、将导电盲孔进行导电化处理,并在基板表面形成导电层。如图19d所示,以第一导电盲孔531自基板50的第一表面501延伸至基板50内部,第二导电盲孔532自基板50的第二表面502延伸至基板50内部为例。导电层可包括设于第一表面501上的第一导电层541和设于第二表面502上的第二导电层542,第一导电层541和第一导电盲孔531电性连接,第二导电层542和第二导电盲孔532电性连接。其中,第一连接端子521a通过第一导电盲孔531连接至第一导电层541,第二连接端子521b通过第二导电盲孔532连接至第二导电层542,以使得电子元件在基板的第一表面和第二表面同时导通。
可以理解的,当电子元件在基板单面导通时,导电层可形成于基板的一个表面。例如,当第一导电盲孔531和第二导电盲孔532均自基板50的第一表面501延伸至基板50内部时,导电层54设于第一表面501。
进一步地,在实际生产工艺中,可通过沉铜、电镀等工艺在导电盲孔的内侧壁覆盖导电物质或者在导电盲孔内填充导电物质。与此同时,同步在基板表面形成导电层,以此使得导电盲孔和导电层电性连接。
本申请实施例提供的埋入式电子元件的制作方法,通过在基板表面开设导电盲孔连通至电子元件的连接端子,使得电子元件可以借由导电盲孔连通至基板表面的导电层,工艺流程简单,有利于提高生产效率。
需要说明的是,术语“包括”和“具有”以及他们任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元,而是可选地还包括没有列出的步骤或单元,或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设置固有的其他步骤或单元。
以上所述仅为本申请的部分实施例,并非因此限制本申请的保护范围,凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效装置或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种埋入式电子元件,其特征在于,包括:
基板,所述基板内设有容置槽和导电孔,所述基板表面设有导电层,
电子元件,设于所述容置槽内,所述电子元件设有侧向延伸至所述导电孔的第一连接端子和第二连接端子;
其中,所述第一连接端子和所述第二连接端子通过所述导电孔与所述导电层电性连接。
2.根据权利要求1所述的埋入式电子元件,其特征在于,所述基板表面包括相背的第一表面以及第二表面,所述导电层设置在所述第一表面和/或者第二表面。
3.根据权利要求2所述的埋入式电子元件,其特征在于,所述导电孔包括相对的导通端和截止端,所述导通端相接于所述第一表面和第二表面中的一者,所述截止端临近于所述第一表面和第二表面中的另一者,所述截止端和临近所述截止端的所述基板表面之间设置有绝缘槽。
4.根据权利要求3所述的埋入式电子元件,其特征在于,所述绝缘槽的底壁与所述导电孔截止端相接,且所述绝缘槽孔径大于所述导电孔的截止端。
5.根据权利要求3所述的埋入式电子元件,其特征在于,所述绝缘槽内填充有绝缘材料。
6.根据权利要求1所述的埋入式电子元件,其特征在于,所述基板表面包括相背的第一表面和第二表面,所述导电层包括设于所述第一表面上的第一导电层和设于所述第二表面上的第二导电层,所述导电孔包括连通至所述第一导电层的第一导电孔和连通至所述第二导电层的第二导电孔;所述第一连接端子通过所述第一导电孔连接至所述第一导电层,所述第二连接端子通过所述第二导电孔连接至所述第二导电层。
7.根据权利要求6所述的埋入式电子元件,其特征在于,所述第一导电孔穿设于所述第一连接端子,所述第二导电孔穿设于所述第二连接端子。
8.根据权利要求1-7任一项所述的埋入式电子元件,其特征在于,所述导电孔的内侧壁覆盖有导电物质,或者所述导电孔内填充有导电物质,以实现所述导电孔和所述导电层的电连接。
9.根据权利要求1-7任一项所述的埋入式电子元件,其特征在于,所述基板为绝缘基板,所述电子元件为无源电子元件。
10.一种电压调节模块,其特征在于,所述电压调节模块包括MOS管以及权利要求1-9任一项所述的埋入式电子元件,其中,所述MOS管堆叠于所述基板上。
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