CN215856420U - 一种电镀载具和太阳能电池片电镀装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型实施例公开了一种电镀载具,涉及太阳能电池技术领域,电镀载具包括:载板、轴杆、弹性件以及多个夹持组件;轴杆通过弹性件连接于载板,弹性件带动轴杆相对于载板运动;在轴杆和载板上设置有夹持组件,在轴杆相对于载板运动时,会带动夹持组件的张开或闭合;夹持组件处于张开状态时,可进行太阳能电池片的装卸,夹持组件处于夹持状态时,可对太阳能电池片进行夹持固定;通过弹性件连接载板和轴杆,结构简单,不存在安装间隙,无需设置转轴结构即可实现实现太阳能电池片的装卸,避免了转轴结构的安装间隙中存在电镀液残留的问题,减少了电镀液的浪费,降低了生产成本,同时提升了电镀设备的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,特别是涉及一种电镀载具和太阳能电池片电镀装置。
背景技术
目前,现有的太阳电池的电极制备工艺主要使用丝网印刷工艺,而电镀技术作为新型的电极制备方法,越来越广泛的被研究。电镀电极相对于丝网印刷电极具有较高的高宽比,以及更好的电导率,使得电池的内部电阻降低,并且减少遮光等的损失,从而进一步提高太阳电池的光电转换效率。电镀作为一种较为有前景的电极制备方法,可以大幅降低太阳电池生产工艺中的成本。
现有的电镀工艺中,电镀载具上设置有转轴,电镀夹具通过转轴实现开启和闭合,进而实现太阳能电池片的装卸,电镀夹具和转轴往往需要浸入电镀液中。
采用上述的电镀载具和夹具,由于电镀载具和夹具各处不可避免的会接触电镀液,在转轴连接的缝隙处会残留部分的电镀液,造成了电镀液的浪费,连接缝隙处的电镀液难以清洗,也会影响后续的工序;并且,残留的电镀液会发生结晶或者长期反应的现象,也会导致电镀设备的寿命严重降低。
实用新型内容
本实用新型提供一种电镀载具和太阳能电池片电镀装置,旨在解决电镀过程中,电镀载具和夹具上存在电镀液残留,导致电镀液浪费、电镀设备寿命严重降低的问题。
第一方面,本实用新型公开了一种电镀载具,用于夹持太阳能电池片,所述电镀载具包括:载板、轴杆、弹性件以及多个夹持组件;
所述轴杆通过所述弹性件连接于所述载板,所述弹性件带动所述轴杆相对于所述载板运动;
多个所述夹持组件沿所述轴杆的长度方向间隔设置,所述夹持组件用于夹持所述太阳能电池片;
在所述弹性件带动所述轴杆相对于所述载板运动时,所述夹持组件处于夹持状态或张开状态。
可选地,所述弹性件设置有绝缘涂层。
可选地,所述绝缘涂层为硅胶涂层或铁氟龙涂层。
可选地,所述弹性件设置有镂空部。
可选地,所述载板设置有至少一个镂空区域,所述镂空区域用于装配所述太阳能电池片。
可选地,所述弹性件与所述载板的连接处设置有加强部,和/或,所述弹性件与所述轴杆的连接处设置有加强部。
可选地,所述弹性件的形状为曲线型、折角型或所述曲线型与所述折角型的组合。
可选地,所述电镀载具还包括:限位件;
所述限位件连接于所述载板的电镀区域以外;
所述限位件用于对所述轴杆进行限位支撑;
在所述太阳能电池片处于电镀状态时,所述电镀区域浸没在电镀液中。
可选地,所述夹持组件包括第一夹持件和第二夹持件;
所述第一夹持件包括第一悬臂,以及用于与所述太阳能电池片抵接的第一弹性曲臂,所述第一悬臂的第一端与所述轴杆连接,所述第一悬臂的第二端与所述第一弹性曲臂连接;
所述第二夹持件包括第二悬臂,以及用于与所述太阳能电池片抵接的第二弹性曲臂,所述第二悬臂的第一端与所述载板连接,所述第二悬臂的第二端与所述第二弹性曲臂连接;
所述第一夹持件与所述第二夹持件形成夹持空间,所述夹持空间用于夹持所述太阳能电池片;
所述第一弹性曲臂和/或所述第二弹性曲臂设置有触头,所述触头用于与所述太阳能电池片抵接。
第二方面,本实用新型公开了一种太阳能电池片电镀装置,所述太阳能电池片电镀装置包括:电镀槽、电镀电源、阳极板以及上述的电镀载具;
所述阳极板设置于所述电镀槽内,所述阳极板与所述电镀电源的正极电连接;
所述电镀电源的负极与所述第一夹持件和/或所述第二夹持件电连接;
所述电镀载具可取出地设置于所述电镀槽内。
本实用新型实施例中,电镀载具包括:载板、轴杆、弹性件以及多个夹持组件;轴杆通过弹性件连接于载板,在弹性件的作用下,轴杆相对于载板运动;在轴杆和载板上设置有夹持组件,在轴杆相对于载板运动时,会带动夹持组件的张开或闭合。夹持组件处于张开状态时,可进行太阳能电池片的装卸,夹持组件处于夹持状态时,可对太阳能电池片进行夹持固定;通过弹性件连接载板和轴杆,结构简单,不存在安装间隙,无需设置转轴结构即可实现实现太阳能电池片的装卸,避免了转轴结构的安装间隙中存在电镀液残留的问题,减少了电镀液的浪费,降低了生产成本,同时提升了电镀设备的使用寿命。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对本实用新型实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了本实用新型实施例中的一种电镀载具结构示意图之一;
图2示出了本实用新型实施例中的一种电镀载具结构示意图之二;
图3示出了本实用新型实施例中的一种电镀载具结构示意图之三;
图4示出了本实用新型实施例中的一种电镀载具结构示意图之四;
图5示出了本实用新型实施例中的一种电镀载具结构示意图之五;
图6示出了本实用新型实施例中的一种电镀载具结构示意图之六;
图7示出了本实用新型实施例中的一种太阳能电池片电镀装置结构示意图之一;
图8示出了本实用新型实施例中的一种太阳能电池片电镀装置结构示意图之二。
附图标记说明
10-载板;20-轴杆;30-弹性件;40-夹持组件;50-限位件;60-电镀槽;70-电镀电源;80-阳极板;401-第一夹持件;402-第二夹持件。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
参照图1至图6所示,本实用新型实施例公开了一种电镀载具,用于夹持太阳能电池片,所述电镀载具包括:载板10、轴杆20、弹性件30以及多个夹持组件40;所述轴杆20通过所述弹性件30连接于所述载板10,所述弹性件30带动所述轴杆20相对于所述载板10运动;多个所述夹持组件40沿所述轴杆20的长度方向间隔设置,所述夹持组件40用于夹持所述太阳能电池片;在所述弹性件30带动所述轴杆20相对于所述载板10运动时,所述夹持组件40处于夹持状态或张开状态。
具体的,在太阳能电池片电镀过程中,需要利用电镀载具对待电镀的太阳能电池片进行夹持,并移动至电镀槽60内实现电镀,电镀载具的一部分需要浸入电镀液中。现有的电镀载具通常包括载板10和与载板10转轴连接的夹具,夹具依靠转轴相对于载板10转动,实现太阳能电池片的装卸。采用上述转轴连接的方式,由于转轴需要浸入电镀液中,在转轴的连接缝隙处会产生电镀液残留的现象,造成电镀液的浪费,连接缝隙处的电镀液难以清洗,也会影响后续的工序;并且,残留的电镀液会发生结晶或者长期反应的现象,也会导致电镀设备的寿命严重降低。
本实用新型实施例中,电镀载具包括:载板10、轴杆20、弹性件30以及多个夹持组件40;载板10是电镀过程中,承载太阳能电池片的主要部件,载板10的形状可以采用矩形、圆形等,载板10的厚度可以根据电镀的实际需求进行选择,在载板10的外表面设置有绝缘涂层,避免在载板10上形成电镀层。
轴杆20通过弹性件30连接于载板10,具体的连接方式可以为,弹性件30的与载板10以及轴杆20可采用焊接、铆接等方式固定;优选地,轴杆20、弹性件30以及载板10可采用一体成型的方式进行制作,提升了电镀载具的整体强度和美观性。
轴杆20以及载板10上设置有多个夹持组件40,夹持组件40用于夹持太阳能电池片,轴杆20相对于载板10的运动方式可以为:绕轴杆20与载板10的连接点,轴杆20摆动,或者,轴杆20绕自身轴线旋转;通过绕连接点摆动或是绕自身轴线旋转的方式,均可带动夹持组件40处于张开状态或是夹持状态,夹持组件40处于张开状态时,可进行太阳能电池片的装卸,夹持组件40处于夹持状态时,可对太阳能电池片进行夹持固定。
一种实施例中,在选择绕轴杆20与载板10的连接点,轴杆20摆动的方式控制夹持组件40开合时,弹性件30对轴杆20施加弹力,弹力的施加方式可以为:在轴杆20靠近载板10时,弹性件30处于弹性拉伸状态,弹性件30会提供弹力使轴杆20远离载板10,此时,夹持组件40具有张开的趋势,为克服夹持组件40的张开趋势,可以在轴杆20或是载板10上设置卡接部,例如挂钩、卡扣等结构,能够对夹持组件40进行固定,以保证夹持组件40对太阳能电池片夹持的稳定性,也可以采用驱动机构对轴杆20施加力,以使夹持组件40闭合;或是,在轴杆20远离载板10时,弹性件30处于弹性压缩状态,弹性件30会提供弹力使轴杆20靠近载板10,此时,夹持组件40具有闭合的趋势,当太阳能电池片放置于夹持组件40中时,能够对其实现夹持;在装卸太阳能电池片时,可以采用驱动机构或是人工的方式克服弹性件30的夹持力,实现太阳能电池片的取放。
另一种实施例中,在选择轴杆20绕自身轴线旋转的方式控制夹持组件40开合时,可以采用扭簧形式的弹性件30,对轴杆20施加旋转力,使轴杆20绕自身轴线旋转,从而带动夹持组件40的开合。采用上述旋转开合的方式,轴杆20相对于载板10不存在位移变化,能够节省操作空间。
本实用新型实施例中,电镀载具包括:载板、轴杆、弹性件以及多个夹持组件;轴杆通过弹性件连接于载板,在弹性件的作用下,轴杆相对于载板运动;在轴杆和载板上设置有夹持组件,在轴杆相对于载板运动时,会带动夹持组件的张开或闭合。夹持组件处于张开状态时,可进行太阳能电池片的装卸,夹持组件处于夹持状态时,可对太阳能电池片进行夹持固定;通过弹性件连接载板和轴杆,结构简单,不存在安装间隙,无需设置转轴结构即可实现实现太阳能电池片的装卸,避免了转轴结构的安装间隙中存在电镀液残留的问题,减少了电镀液的浪费,降低了生产成本,同时提升了电镀设备的使用寿命。
可选地,所述弹性件30设置有绝缘涂层。
具体的,在电镀过程中,弹性件30会与电镀液接触,在弹性件30与电镀液接触的位置设置有绝缘涂层,能够避免在弹性件30表面形成电镀层,减少电镀液的损耗,提升太阳能电池片的电镀品质。
可选地,所述绝缘涂层为硅胶涂层或铁氟龙涂层。
具体的,绝缘涂层可以采用硅胶涂层或铁氟龙涂层,优选地,可以采用铁氟龙涂层,铁氟龙涂层具有耐高温、耐磨损、耐腐蚀、表面摩擦系数低等优势。
可选地,所述弹性件30设置有镂空部。
具体的,在电镀过程中,针对太阳能电池片不同位置,电镀液消耗也不不同,从而电镀液的浓度也会产生差异,为保证电镀的均匀性,电镀液在电镀槽60内各个位置的浓度应尽可能相同。在弹性件30设置有镂空部,弹性件30镂空部两侧的电镀液可通过镂空部实现对流,进而保证了电镀液浓度的均一,提升了电镀质量。
可选地,参照图1至图3所示,所述载板10设置有至少一个镂空区域,所述镂空区域用于装配所述太阳能电池片。
具体的,载板10设置有镂空区域,镂空区域可用于装夹电镀太阳能电池片,镂空区域的数量可以根据单次电镀的太阳能电池片的数量进行设置;同时,电镀液还可以穿过镂空区域实现对流,避免了由于电镀液对流不良导致太阳能电池片电镀质量差的问题。
优选地,在载板10的非电镀区域也可以设置镂空部,使载板10轻量化,便于载板10的转运和吊装,同时,镂空部两侧的电镀液可通过镂空部实现对流,进而保证了电镀液浓度的均一,提升了电镀质量。
可选地,所述弹性件30与所述载板10的连接处设置有加强部,和/或,所述弹性件30与所述轴杆20的连接处设置有加强部。
具体的,在弹性件30使用过程中,在弹性件30与载板10以及轴杆20的连接处会反复受到弹力的作用,因此,在弹性件30与载板10以及轴杆20的连接处设置加强部,加强部的具体结构可以为加强筋或加强板,也可以对弹性件30的连接处进行局部加粗处理,以提升弹性件30在连接处的机械强度,能够保证弹性件30在反复形变时,不易发生损坏,提高了电镀载具使用的稳定性和耐久性。在实际制作中,可以采用横截面渐变式的弹性件30,能够更好的将受力均匀传递至弹性件30的各个位置。
可选地,参照图4至图6所示,所述弹性件的形状为曲线型、折角型或所述曲线型与所述折角型的组合。
具体的,参照图4所示,弹性件30的具体形状可以为曲线型,曲线型具体可以包括:圆弧形、椭圆形、抛物线型、双曲线型等;或者,参照图5所示,弹性件30的形状也可以为折角型,折角型的角度可以根据载板10和轴杆20的装配需求进行选择;参照图6所示,也可以将曲线型和折角型进行组合。优选的,选择曲线型的弹性件30,曲线型的弹性件30在各个位置的受力较为均匀,不会在弹性件30上存在应力集中点,弹性件30在受力形变时,不易折断损坏,提高了电镀载具的耐久性。
弹性件30也可以采用扭簧形式,对轴杆20施加旋转力,使轴杆20绕自身轴线旋转,从而带动夹持组件40的开合。采用上述旋转开合的方式,轴杆20相对于载板10不存在位移变化,能够节省操作空间。
可选地,参照图3和图7所示,所述电镀载具还包括:限位件50;所述限位件50连接于所述载板10的电镀区域以外;所述限位件50用于对所述轴杆20进行限位支撑;在所述太阳能电池片处于电镀状态时,所述电镀区域浸没在电镀液中。
具体的,载板10的部分区域上设置有待镀太阳能电池片,在电镀过程中,该区域即为电镀区域,电镀区域需浸入电镀液中,除电镀区域以外的其它区域,无需浸入电镀液。因此,可以在除电镀区域以外的其它区域上设置限位件50。
针对轴杆20绕自身轴线旋转,控制夹持组件40开合的方式,可以在限位件50上设置安装孔,轴杆20穿设于安装孔中,轴杆20可在安装孔中自由旋转;针对绕轴杆20与载板10的连接点,轴杆20摆动控制夹持组件40开合的方式,可以在限位件50上设置穿槽,轴杆20可通过穿槽与载板10相对运动,实现夹持组件40的开合,当轴杆20位于穿槽内时,穿槽可对轴杆20进行限位。通过设置限位件50,能够对夹持组件40和轴杆20形成限位,使其不会发生位置偏移,对太阳能电池片的电镀点位夹持也更加精准,提升了电镀的品质。并且,在电镀过程中,限位件50处于电镀液液面之上,不会接触电镀液,也就不会存在电镀液残留的问题。
可选地,参照图1和图2所示,所述夹持组件40包括第一夹持件401和第二夹持件402;所述第一夹持件401包括第一悬臂,以及用于与所述太阳能电池片抵接的第一弹性曲臂,所述第一悬臂的第一端与所述轴杆20连接,所述第一悬臂的第二端与所述第一弹性曲臂连接;所述第二夹持件402包括第二悬臂,以及用于与所述太阳能电池片抵接的第二弹性曲臂,所述第二悬臂的第一端与所述载板10连接,所述第二悬臂的第二端与所述第二弹性曲臂连接;所述第一夹持件401与所述第二夹持件402形成夹持空间,所述夹持空间用于夹持所述太阳能电池片;所述第一弹性曲臂和/或所述第二弹性曲臂设置有触头,所述触头用于与所述太阳能电池片抵接。
具体的,第一夹持件401与轴杆20连接,第二夹持件402与载板10连接,第一夹持件401与第二夹持件402之间形成夹持空间,夹持空间用于放置太阳能电池片。第一夹持件401与轴杆20可采用一体成型的制作工艺,第二夹持件402与载板10也可采用一体成型的制作工艺,在一体成型件无需导电的区域均设置绝缘涂层,可以有效减少开裂和漏电的情况发生,减少电镀载具的故障率。
在第一夹持件401上设置第一弹性曲臂,当第一弹性曲臂与太阳能电池片抵接时,第一弹性曲臂能够提供一定的弹性缓冲,能够将太阳能电池片的刚性受力转化为弹性受力,避免了太阳能电池片破碎、隐裂的问题,提升了电镀太阳能电池片的良品率。
同样的,在第二夹持件402上设置第二弹性曲臂,第一夹持件和第二夹持件采用相同或者相近的结构,均能提供一定的弹性缓冲,在第二弹性曲臂与太阳能电池片接触时,能够将太阳能电池片的刚性受力转化为弹性受力,避免了太阳能电池片破碎、隐裂的问题,提升了电镀太阳能电池片的良品率。
在第一弹性曲臂和/或第二弹性曲臂与太阳能电池片接触的位置设置有触头,可以使第一弹性曲臂和/或第二弹性曲臂与太阳能电池片之间形成点接触,减少了接触面积,避免第一弹性曲臂和第二弹性曲臂遮挡太阳能电池片上的待电镀区域,由于触头体积较小,与太阳能电池片的电镀触点接触精度较高,能够提升电镀过程的良品率。
参照图7和图8所示,本实用新型还公开了一种太阳能电池片电镀装置,所述太阳能电池片电镀装置包括:电镀槽60、电镀电源70、阳极板80以及上述的电镀载具;所述阳极板80设置于所述电镀槽60内,所述阳极板80与所述电镀电源70的正极电连接;所述电镀电源70的负极与所述第一夹持件401和/或所述第二夹持件402电连接;所述电镀载具可取出地设置于所述电镀槽60内。
具体的,电镀槽60可以采用方形槽,在电镀槽60内盛放有电镀液;电镀液包括水溶性金属盐、缓冲剂。在电镀过程中,电镀液中可补充添加铜粉、镍粉、氧化铜粉、铜盐、锡盐或镍盐中的一项或多项到电镀槽60中以维持电镀液的浓度稳定和保证电镀工艺的持续。
阳极板80与电镀电源70的正极电连接,阳极板80的数量可以根据电镀的实际需求进行设置。阳极板80的结构可以包括:面状结构、网状结构、线条状结构、点状结构中的一种或多种组合。作为一种优选地,可以选用网状结构或者点状矩阵结构的阳极板80,相对于面状结构的阳极板80,网状结构或者点状矩阵结构的阳极板80,电镀液的流动性更好,电镀的均匀性也会有提升。
电镀电源70为直流电源或脉冲电源。优选地,可采用直流电源作为电镀电源70,在相同的电流密度下,电镀速率更快,提升了太阳能电池片的电镀效率。
电镀电源70的负极与第一夹持件401和/或第二夹持件402电连接,可以根据电镀类型,如仅需要太阳能电池片单面电镀,则电镀电源70的负极仅与第一夹持件401或第二夹持件402电连接;如仅需要太阳能电池片双面电镀,则电镀电源70的负极同时与第一夹持件401和第二夹持件402电连接。
电镀载具可通过机械手的抓取,可取出地设置于电镀槽60内,便于电池片的拆装,提升了生产效率。
本实用新型实施例中,由于采用的上述的电镀载具,电镀载具包括:载板、轴杆、弹性件以及多个夹持组件;轴杆通过弹性件连接于载板,在弹性件的作用下,轴杆相对于载板运动;在轴杆和载板上设置有夹持组件,在轴杆相对于载板运动时,会带动夹持组件的张开或闭合。夹持组件处于张开状态时,可进行太阳能电池片的装卸,夹持组件处于夹持状态时,可对太阳能电池片进行夹持固定;通过弹性件连接载板和轴杆,结构简单,不存在安装间隙,无需设置转轴结构即可实现实现太阳能电池片的装卸,避免了转轴结构的安装间隙中存在电镀液残留的问题,减少了电镀液的浪费,降低了生产成本,同时提升了电镀设备的使用寿命。
需要说明的是,在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。
上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述,但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式,上述的具体实施方式仅仅是示意性的,而不是限制性的,本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下,在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下,还可做出很多形式,这些均属于本实用新型的保护之内。
Claims (10)
1.一种电镀载具,用于夹持太阳能电池片,其特征在于,所述电镀载具包括:载板、轴杆、弹性件以及多个夹持组件;
所述轴杆通过所述弹性件连接于所述载板,所述弹性件带动所述轴杆相对于所述载板运动;
多个所述夹持组件沿所述轴杆的长度方向间隔设置,所述夹持组件用于夹持所述太阳能电池片;
在所述弹性件带动所述轴杆相对于所述载板运动时,所述夹持组件处于夹持状态或张开状态。
2.根据权利要求1所述的电镀载具,其特征在于,所述弹性件设置有绝缘涂层。
3.根据权利要求2所述的电镀载具,其特征在于,所述绝缘涂层为硅胶涂层或铁氟龙涂层。
4.根据权利要求1所述的电镀载具,其特征在于,所述弹性件设置有镂空部。
5.根据权利要求1所述的电镀载具,其特征在于,所述载板设置有至少一个镂空区域,所述镂空区域用于装配所述太阳能电池片。
6.根据权利要求1所述的电镀载具,其特征在于,所述弹性件与所述载板的连接处设置有加强部,和/或,所述弹性件与所述轴杆的连接处设置有加强部。
7.根据权利要求1所述的电镀载具,其特征在于,所述弹性件的形状为曲线型、折角型或所述曲线型与所述折角型的组合。
8.根据权利要求1所述的电镀载具,其特征在于,所述电镀载具还包括:限位件,所述限位件连接于所述载板的电镀区域以外;
所述限位件用于对所述轴杆进行限位支撑;
在所述太阳能电池片处于电镀状态时,所述电镀区域浸没在电镀液中。
9.根据权利要求1所述的电镀载具,其特征在于,所述夹持组件包括第一夹持件和第二夹持件;
所述第一夹持件包括第一悬臂,以及用于与所述太阳能电池片抵接的第一弹性曲臂,所述第一悬臂的第一端与所述轴杆连接,所述第一悬臂的第二端与所述第一弹性曲臂连接;
所述第二夹持件包括第二悬臂,以及用于与所述太阳能电池片抵接的第二弹性曲臂,所述第二悬臂的第一端与所述载板连接,所述第二悬臂的第二端与所述第二弹性曲臂连接;
所述第一夹持件与所述第二夹持件形成夹持空间,所述夹持空间用于夹持所述太阳能电池片;
所述第一弹性曲臂和/或所述第二弹性曲臂设置有触头,所述触头用于与所述太阳能电池片抵接。
10.一种太阳能电池片电镀装置,其特征在于,所述太阳能电池片电镀装置包括:电镀槽、电镀电源、阳极板以及权利要求1-9任一项所述的电镀载具;
所述阳极板设置于所述电镀槽内,所述阳极板与所述电镀电源的正极电连接;
所述电镀电源的负极与所述第一夹持件和/或所述第二夹持件电连接;
所述电镀载具可取出地设置于所述电镀槽内。
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CN (1) | CN215856420U (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN116856040A (zh) * | 2023-09-01 | 2023-10-10 | 昆山科比精工设备有限公司 | 一种硅片镀铜用导电治具 |
CN117089912A (zh) * | 2023-10-18 | 2023-11-21 | 无锡釜川科技股份有限公司 | 水平夹持式电镀装置 |
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2021
- 2021-07-07 CN CN202121544163.8U patent/CN215856420U/zh active Active
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