CN215762110U - 一种加速腔体抽真空到工作压力装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种加速腔体抽真空到工作压力装置，包括放置产品的腔体、真空泵、真空计和排气阀门，所述腔体通过并联的抽真空单元依次连接真空计和真空泵，所述真空泵通过阀门组将腔体内的空气抽真空状态，所述真空计通过压力信号线进行信号控制，所述抽真空单元由真空管道和设置在真空管道上的排气阀门组成。通过上述方式，本实用新型能够缩短排气时间，大大地提高了生产效率，降低了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空压力的自动控制装置真空泵的气体管路领域，特别是涉及一种加速腔体抽真空到工作压力装置。
背景技术
真空系统被广泛应用于半导体制造设备。通常，真空系统用于在特定压力条件下运行的各种制造设备中。该制造设备可以包括薄膜沉积设备，蚀刻设备，离子注入设备，光刻设备以及包括扫描电子显微镜和二次离子质谱仪的半导体表面分析仪。
现有技术中制造设备的腔体内的气体通过真空泵将腔体内的排气从真空泵到大气压侧，如图1所示，其排气管路上只有一个排气阀门，从正常状态下排气至40豪托，所需的排气时间大约为3分钟左右，这样的设备降低了生产效率，增加了生产成本。
实用新型内容
本实用新型主要解决的技术问题是提供一种加速腔体抽真空到工作压力装置，能够缩短排气时间，大大地提高了生产效率，降低了生产成本。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种加速腔体抽真空到工作压力装置，包括放置产品的腔体、真空泵、真空计和排气阀门，所述腔体通过并联的抽真空单元依次连接真空计和真空泵，所述真空泵通过阀门组将腔体内的空气抽真空状态，所述真空计通过压力信号线进行信号控制，所述抽真空单元由真空管道和设置在真空管道上的排气阀门组成。
进一步的是，所述并联的抽真空单元至少包括2组抽真空单元。
进一步的是，所述排气阀门为仅允许真空泵的排气从真空泵到大气压侧的单向阀。
进一步的是，所述抽真空单元和真空计之间还设置有空气过滤器。
进一步的是，所述腔体内安装有真空传感器。
进一步的是，所述腔体和真空管道通过法兰连接固定。
本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种加速腔体抽真空到工作压力装置，能够缩短排气时间，大大地提高了生产效率，降低了生产成本。
附图说明
图1是现有技术的结构示意图；
图2是本实用新型一种加速腔体抽真空到工作压力装置的结构示意图；
图3是现有技术和本实用新型的工作对比图。
1、腔体；2、真空泵；3、真空计；4、第一排气阀门；5、第二排气阀门。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型较佳实施例进行详细阐述，以使实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
请参阅图2，本实用新型实施例包括：
本实用新型的一种加速腔体抽真空到工作压力装置，包括放置产品的腔体1、真空泵2、真空计3和排气阀门，所述腔体1通过并联的抽真空单元依次连接真空计3和真空泵2，所述真空泵2通过阀门组将腔体1内的空气抽真空状态，所述真空计3通过压力信号线进行信号控制，所述抽真空单元由真空管道和设置在真空管道上的排气阀门组成。
进一步的是，所述并联的抽真空单元至少包括2组抽真空单元。所述2组抽真空单元分别包括第一组抽真空单无和第二组抽真空单元，所述第一组抽真空单元包括第一真空管道和第一排气阀门4，所述第二组抽真空单元包括第二真空管道和第二排气阀门5。
进一步的是，所述排气阀门为仅允许真空泵的排气从真空泵到大气压侧的单向阀。
进一步的是，所述抽真空单元和真空计3之间还设置有空气过滤器。
进一步的是，所述腔体1内安装有真空传感器。
进一步的是，所述腔体1和第一真空管道与第二真空管道均通过法兰连接固定。
本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种加速腔体抽真空到工作压力装置，能够缩短排气时间，大大地提高了生产效率，降低了生产成本。
如图3所示，现有技术从正常状态下排气至40豪托，所需的排气时间大约为3分钟左右，而本实用新型从从正常状态下排气至40豪托，所需的排气时间可控制在1分钟内完成。本实用新型可以提高20％的产能。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种加速腔体抽真空到工作压力装置，其特征在于包括放置产品的腔体、真空泵、真空计和排气阀门，所述腔体通过并联的抽真空单元依次连接真空计和真空泵，所述真空泵通过阀门组将腔体内的空气抽真空状态，所述真空计通过压力信号线进行信号控制，所述抽真空单元由真空管道和设置在真空管道上的排气阀门组成。
2.根据权利要求1所述的一种加速腔体抽真空到工作压力装置，其特征在于：所述并联的抽真空单元至少包括2组抽真空单元。
3.根据权利要求1所述的一种加速腔体抽真空到工作压力装置，其特征在于：所述排气阀门为仅允许真空泵的排气从真空泵到大气压侧的单向阀。
4.根据权利要求1所述的一种加速腔体抽真空到工作压力装置，其特征在于：所述抽真空单元和真空计之间还设置有空气过滤器。
5.根据权利要求1所述的一种加速腔体抽真空到工作压力装置，其特征在于：所述腔体内安装有真空传感器。
6.根据权利要求1所述的一种加速腔体抽真空到工作压力装置，其特征在于：所述腔体和真空管道通过法兰连接固定。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121178316.1U CN215762110U (zh) | 2021-05-29 | 2021-05-29 | 一种加速腔体抽真空到工作压力装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121178316.1U CN215762110U (zh) | 2021-05-29 | 2021-05-29 | 一种加速腔体抽真空到工作压力装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN215762110U true CN215762110U (zh) | 2022-02-08 |
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ID=80098518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN202121178316.1U Active CN215762110U (zh) | 2021-05-29 | 2021-05-29 | 一种加速腔体抽真空到工作压力装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215762110U (zh) |
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2021
- 2021-05-29 CN CN202121178316.1U patent/CN215762110U/zh active Active
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