CN215617553U - 一种夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种夹持装置，包括底座、压持机构及张紧机构，压持机构设置于底座，压持装置用于压持待测试件；张紧机构凸设于底座，张紧机构用于张紧待测试件；将待测试件的柔性基板放置在底座上，调整到合适的位置之后，通过锁紧压持机构将待测试件压紧固定，张紧机构由于凸设于底座，因此能够配合压持机构，将待测试件的芯片区域微微抬升，使柔性基板处于拉伸张紧的状态，保证了贴设有芯片的柔性基板区域的平整度，便于测试的同时提高了测试结果的可靠性。

Description

一种夹持装置

技术领域

本实用新型涉及超薄芯片推力测试领域，具体为一种夹持装置。

背景技术

超薄芯片剪切强度是衡量半导体芯片贴装效果的重要指标，测试过程一般需要将待测试的超薄芯片水平固定在操作台上，利用垂直于待测芯片的刀头按照一定的方向施加推力，将芯片从柔性基板上剪切下来，剪切力数值能够反映芯片在柔性基板上的贴装效果。但由于柔性基板一般较薄且表面极为光滑，夹持后的柔性基板平整度较差，测试过程中易导致测试数据不准确。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种夹持装置。

本实用新型提供一种夹持装置，包括底座、压持机构及张紧机构，所述压持机构设置于所述底座，所述压持装置用于压持待测试件；所述张紧机构凸设于所述底座，所述张紧机构用于张紧所述待测试件。

如此设置，将待测试件的柔性基板放置在底座上，调整到合适的位置之后，通过锁紧压持机构将待测试件压紧固定，由于张紧机构凸设于底座，因此能够配合压持机构，将待测试件的芯片区域微微抬升，使柔性基板处于拉伸张紧的状态，保证了贴设有芯片的柔性基板区域的平整度，便于测试的同时提高了测试结果的可靠性。

为了便于调整张紧程度，在本实用新型的一个实施例中，所述张紧机构与所述底座可活动连接。

如此设置，能够直接调整张紧机构的凸设高度，适应多种待测试件不同的张紧需求。

为了便于调整张紧机构的凸设高度，在本实用新型的一个实施例中，所述张紧机构包括相互连接的凸台及微调件，所述底座开设有安装槽；所述凸台凸设于所述底座，所述微调件可活动地安装于所述安装槽，所述微调件用于调整所述凸台凸出所述底座的高度。

如此设置，便于调整张紧机构的凸设高度，同时，张紧机构的整体结构也较简单，便于加工。

为了避免凸台出现滑动，在本实用新型的一个实施例中，所述凸台包括凸块及柱身，所述凸块凸设于所述底座，所述柱身通过所述安装槽安装于所述底座，所述柱身远离所述凸台的一侧与所述微调件相连；所述凸块的径向尺寸小于所述柱身的径向尺寸，所述底座在所述安装槽处凸设有限位件，所述限位件用于止挡所述柱身。

如此设置，在微调件将凸台调整上升过程中，凸台的凸块能够凸出底座，在调节至最高位时，径向尺寸大于凸块的柱身能够被座体的限位件卡挡，避免凸台在底座上出现滑动或者脱落，保证了待测试件的稳定性。

为了便于凸台和微调件的加工，在本实用新型的一个实施例中，所述凸台及所述微调件分体成型。

如此设置，凸台与微调件做分体成型，便于加工，降低成本，且分体后，凸台与微调件能够采用不同的材质以及实现不同的加工精度，利于优化张紧机构的结构。

为了避免凸块在底座上出现脱离或位移现象，在本实用新型的一个实施例中，所述凸块与所述柱身一体成型。

如此设置，一体成型的凸块与柱身，机械强度高，易于成型，减少加工步骤，便于装配，同时不影响凸块对待测试件的张紧作用。

为了进一步避免待测试件与凸台之间出现滑动，在本实用新型的一个实施例中，所述凸块为钨钢件。

如此设置，采用钨钢材质的凸块具有较高的耐磨性，增加了凸块的使用寿命，且钨钢材质能够使凸块与待测试件之间的接触摩擦力增大，进一步保证了凸块与待测试件之间的稳定接触，避免出现位移导致的测试数据不准确的现象。

为了便于调节张紧结构，在本实用新型的一个实施例中，所述张紧机构与所述底座螺纹连接。

如此设置，螺纹连接的张紧机构与底座固定牢固，不易从底座的安装槽中脱落，同时螺纹连接又易于调整张紧机构凸出底座的高度，便于调整待测试件的张紧程度。

为了便于压持待测试件，在本实用新型的一个实施例中，所述压持机构包括第一压板、第二压板及锁紧件，所述第一压板及所述第二压板分别设置于所述底座相对的两侧，所述第一压板及所述第二压板分别开设有安装孔，所述锁紧件与所述安装孔相配合使所述第一压板及所述第二压板分别压持所述待测试件。

如此设置，第一压板及第二压板与锁紧件相互配合，能够将底座上的待测试件的两侧压持固定，避免在测试过程中待测试件出现位移，保证了测试数据的可靠性。

为了提升固定效果，在本实用新型的一个实施例中，所述第一压板及所述第二压板均与所述待测试件面接触。

如此设置，面接触能够使压持面积增大，固定效果更佳，且不易使待测试件出现损伤及变形，进一步保证了测试数据的可靠性。

为了便于调整压持面积，在本实用新型的一个实施例中，所述安装孔为条形孔。

如此设置，根据待测试件的大小，第一压板及第二压板与待测试件之间的压持面积能够通过锁紧件在条形孔中的固定位置做相应的调整。

附图说明

图1为本实用新型其中一个实施例中夹持装置的结构示意图；

图2为图1在另一角度下的结构示意图；

图3为图2在A-A面的剖视示意图；

图4为图2中锁紧件的结构示意图；

图5为图1所示夹持装置在另一视角下的结构示意图；

图6为图1中压持机构的结构示意图；

图7为图1中凸台结构示意图；

图8为图7所示凸台在另一视角下的结构示意图；

图9为图3中微调件结构示意图。

主要元件符号说明：

100、夹持装置；10、底座；11、安装槽；12、限位件；13、螺纹孔；20、压持机构；21、第一压板；22、第二压板；23、锁紧件；24、安装孔；30、张紧机构；31、凸台；311、凸块；312、柱身；32、微调件。

以上主要元件符号说明结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“安装于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件，它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参阅图1，图1为本实用新型其中一个实施例中夹持装置的结构示意图。

本实用新型提供一种夹持装置100，应用于芯片推力测试领域。在本实施例中，夹持装置100应用于厚度在25μm至30μm超薄芯片推力测试，可以理解，在其他实施例中，夹持装置100也可用于夹持其他厚度的芯片推力测试。

本实用新型提供的夹持装置100包括底座10及压持机构20，压持机构20设置于底座10并用于压持待测试件。底座10用于承载待测试件，压持机构20用于压持待测试件，压持机构20能够配合底座10将待测试件稳定的固定在底座上。

在本实施例中，优选的，底座10采用SUS304机加工而成，高度为10mm，表面粗糙度数值小于0.8μm，能够避免对待测试件柔性基板产生划痕损伤，可以理解，底座10的尺寸、高度以及表面粗糙度均可以根据待测试件的实际情况进行调整。

请再次参阅图1，且一并参照图2及图3，图2为图1在另一角度下的结构示意图；图3为图2在A-A面的剖视示意图。

压持机构20包括第一压板21、第二压板22及锁紧件23，第一压板21及第二压板22分别设置于底座10相对的两侧，能够压持待测试件的两侧。

在本实施例中，第一压板21及第二压板22均优选为长方体，且两者为分体设置。在其他实施例中，根据待测试件的实际情况，第一压板21及第二压板22也可设置为环形、半环形或其他形状，当然，第一压板21与第二压板22也可为一体设置。可以理解，在其他实施例中，压持机构20也可以设置一个或者三个以上的压板，只要能够有效压持待测试件即可。

此外，第一压板21及第二压板22分别开设有安装孔24，锁紧件23与安装孔24相配合使第一压板21及第二压板22分别压持待测试件。在本实施例中，第一压板21及第二压板22分别开设有两个安装孔24，可以理解，根据实际压持需求，安装孔24并不限于两个，每个压板上的安装孔24可设置为一个或者三个以上。

请参阅图4，图4为图2中锁紧件的结构示意图。

作为优选，锁紧件23优选为锁紧螺钉。

请再次参阅图2，且一并参阅图5，图5为图1所示夹持装置在另一视角下的结构示意图。

底座10上还开设有螺纹孔13，锁紧件23能够通过安装孔24、螺纹孔13配合第一压板21及第二压板22将待测试件稳定的固定在底座10上。

请参阅图6，图6为图1中压持机构的结构示意图。

作为优选，安装孔24为条形孔，优选为腰形孔。如此设置，根据待测试件的大小，第一压板21及第二压板22与待测试件之间的压持面积能够通过锁紧件23在条形孔中的固定位置做相应的调整。可以理解，安装孔24的主要作用是配合第一压板21、第二压板22及锁紧件23固定待测试件，因此安装孔24的形状也可为圆形孔，只要不影响固定待测试件即可。

此外，为了提升固定效果，避免待测试件出现位移、变形或者损伤，在本实施例中，第一压板21及第二压板22均与待测试件之间为面接触，相对于线接触的压持装置，面接触压持待测试件的效果更佳，也更易调整。

在现有技术中，针对厚度在25μm至30μm的超薄芯片，一般会贴装在厚度为100μm至200μm的柔性基板上，例如聚酰亚胺(PI)材质的柔性基板，但由于柔性基板较薄且表面光滑，一般的夹持方式夹持后的柔性基板平整度较差，测试过程中易导致测试数据不准确。

基于此，本实用新型提供的夹持装置100还包括张紧机构30，张紧机构30凸设于底座10；在使用过程中，将柔性基板贴设有芯片的区域置于张紧机构30上，压持机构20压持待测试件相对的两侧，凸设于底座10的张紧机构30能够起到张紧待测试件的作用，从而使柔性基板贴设有芯片的区域平整性提高，便于后续对芯片剪切测试，提高测试数据的准确性。

在本实施例中，优选的，张紧机构30与底座10可活动连接，如此设置，便于调整张紧机构30凸设于底座10的高度。可以理解，张紧机构30也可与底座10固定连接，只要能够满足待测试件的张紧需求即可。

在本实施例中，张紧机构30包括相互连接的凸台31及微调件32，底座10开设有安装槽11；凸台31凸设于底座10，微调件32可活动地安装于安装槽11，微调件32用于调整凸台31凸出底座10的高度。可以理解，凸台31与微调件32可以是一体成型也可以是分体成型，只要不影响张紧机构30的张紧作用即可。

其中，优选的，凸台31包括凸块311及柱身312，凸块311凸设于底座，柱身312通过安装槽11安装于底座10，柱身312远离凸台31的一侧与微调件32相连；凸块311的径向尺寸小于柱身312的径向尺寸，底座10在安装槽11处凸设有限位件12，限位件12用于止挡柱身312。限位件12与底座10为一体结构，因此柱身312能够被限位件12卡挡，作为优选，凸块311与柱身312为一体成型，如此设置，柱身312在被限位件12卡挡时，凸块311能够凸出底座10起到张紧作用的同时避免了凸块311出现位移或者脱落现象，保证了测试数据准确可靠。

优选的，凸块311采用钨钢件，凸块311与待测试件相接触的一面尺寸大于待测试件的芯片尺寸，如此设置，能够保证推刀剪切位置处于张紧的柔性基板区域，避免测试数据出现偏差，同时便于操作测试推刀进行剪切。

请参阅图7及图8，图7为图1中凸台结构示意图；图8为图7所示凸台在另一视角下的结构示意图。

在本实施例中，凸块311优选为5mm*5mm的正方形块体，柱身312优选为直径为7mm的圆柱，正方形的凸块311嵌套在底座10的安装槽11中，正方形凸块311的厚度为4mm。可以理解，凸块311及柱身312的大小均可以根据待测试件的实际情况进行调整。

请参阅图9，图9为图3中微调件结构示意图。在本实施例中，微调件32优选为采用SUS304机加工制成的微调螺钉，这种微调螺钉采用了M10*1的螺纹，高度为6mm。此外，微调件32远离凸台的一侧开设有十字凹槽，可以理解，十字凹槽也可设置为一字形或者其他形状，只要能够便于螺丝刀拧动调整微调件32即可。

优选的，在本实施例中，张紧机构30的微调件32与底座10螺纹连接，微调件32与底座10的螺纹连接能够使张紧机构30与底座10固定牢固，不易从底座10的安装槽11中脱落，同时螺纹连接又易于调整张紧机构30的凸台31凸出底座10的高度，便于调整待测试件的张紧程度。

此时，整个夹持装置100的使用过程为：将待测试件的柔性基板放置在底座10上，将待测试件贴设有芯片的区域调整至张紧机构30的凸台31上，使芯片在凸台31区域内，确认调整到合适位置后，通过压持机构20将待测试件压紧固定，可采用带力矩的螺丝刀转动微调件32，使凸台31凸出底座10的表面与柔性基板相接触，使柔性基板贴设有芯片的区域逐渐张紧平整，将调整好的夹持装置100放置在推拉力测试工作平台的固定端，然后完成测试即可。

本实用新型提供的夹持装置100，包括底座10、压持机构20及张紧机构30，压持机构20设置于底座10，压持机构20用于压持待测试件；张紧机构30凸设于底座10，张紧机构30用于张紧待测试件；将待测试件的柔性基板放置在底座10上，调整到合适的位置之后，通过锁紧压持机构20将待测试件压紧固定，张紧机构30由于凸设于底座10，因此能够配合压持机构20，将待测试件的芯片区域微微抬升，使柔性基板处于拉伸张紧的状态，保证了贴设有芯片的柔性基板区域的平整度，便于测试的同时提高了测试结果的可靠性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种夹持装置，其特征在于，包括底座(10)、压持机构(20)及张紧机构(30)，所述压持机构(20)设置于所述底座(10)，所述压持机构用于压持待测试件；所述张紧机构(30)凸设于所述底座(10)，所述张紧机构(30)用于张紧所述待测试件。

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述张紧机构(30)与所述底座(10)可活动连接。

3.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述张紧机构(30)包括相互连接的凸台(31)及微调件(32)，所述底座(10)开设有安装槽(11)；所述凸台(31)凸设于所述底座(10)，所述微调件(32)可活动地安装于所述安装槽(11)，所述微调件(32)用于调整所述凸台(31)凸出所述底座(10)的高度。

4.根据权利要求3所述的夹持装置，其特征在于，所述凸台(31)包括凸块(311)及柱身(312)，所述凸块(311)凸设于所述底座(10)，所述柱身(312)通过所述安装槽(11)安装于所述底座(10)，所述柱身(312)远离所述凸台(31)的一侧与所述微调件(32)相连；所述凸块(311)的径向尺寸小于所述柱身(312)的径向尺寸，所述底座(10)在所述安装槽(11)处凸设有限位件(12)，所述限位件(12)用于止挡所述柱身(312)。

5.根据权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，所述凸台(31)及所述微调件(32)分体成型；及/或，

所述凸块(311)与所述柱身(312)一体成型。

6.根据权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，所述凸块(311)为钨钢件。

7.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述张紧机构(30)与所述底座(10)为螺纹连接。

8.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述压持机构(20)包括第一压板(21)、第二压板(22)及锁紧件(23)，所述第一压板(21)及所述第二压板(22)分别设置于所述底座(10)相对的两侧，所述第一压板(21)及所述第二压板(22)分别开设有安装孔(24)，所述锁紧件(23)与所述安装孔(24)相配合使所述第一压板(21)及所述第二压板(22)分别压持所述待测试件。

9.根据权利要求8所述的夹持装置，其特征在于，所述第一压板(21)及所述第二压板(22)均与所述待测试件面接触。

10.根据权利要求8所述的夹持装置，其特征在于，所述安装孔(24)为条形孔。

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