CN215404643U - 一种单晶炉用石墨坩埚提升装置 - Google Patents

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邵苏涛
张垒
张加强
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Jiaxiang County Xinxing Electronic Carbon Technology Co ltd
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Abstract

一种单晶炉用石墨坩埚提升装置,其包括:底座,底座顶部螺栓连接有单晶炉,单晶炉内壁底部转动连接有坩埚轴,坩埚轴顶部一端插接连接有坩埚,底座顶部一侧螺栓连接有提升立杆,提升立杆靠近单晶炉的一侧通过电机转动连接有转板,转板相对单晶炉的一侧螺栓连接有提升泵,提升泵靠近单晶炉的一端螺栓连接有顶板,顶板靠近单晶炉内壁的一侧固定连接有连接杆,连接杆靠近坩埚开口的外弧位置贯穿连接有固定环,连接杆远离顶板的一端固定连接有提升底板,通过在放入坩埚时,将提升装置一起放入,方便在坩埚加工完成后直接进行提升,代替人工方便使用。

Description

一种单晶炉用石墨坩埚提升装置
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种单晶炉用石墨坩埚提升装置。
背景技术
石墨坩埚时一种在单晶炉内用于将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备用具。
目前石墨坩埚在单晶炉内加热冶炼完成后,需要将石墨坩埚取出,但是现在通常是人工进行提升,因此造成人工工作量大,且存在一定安全隐患,同时由于坩埚与单晶炉之间的缝隙较小,因此在加热完成后再插入提升装置,非常的不方便,但由于现在坩埚在冶炼过程中需要旋转,因此普通的提升装置非常影响单晶炉的加工。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:现在坩埚提升为人工操作,非常的不便。
本实用新型解决技术问题采用的技术方案是:一种单晶炉用石墨坩埚提升装置,其包括:底座,底座顶部螺栓连接有单晶炉,所述单晶炉内壁底部转动连接有坩埚轴,所述坩埚轴顶部一端插接连接有坩埚,所述底座顶部一侧螺栓连接有提升立杆,所述提升立杆靠近单晶炉的一侧通过电机转动连接有转板,所述转板相对单晶炉的一侧螺栓连接有提升泵,所述提升泵靠近单晶炉的一端螺栓连接有顶板,所述顶板靠近单晶炉内壁的一侧固定连接有连接杆,所述连接杆靠近坩埚开口的外弧位置贯穿连接有固定环,所述连接杆远离顶板的一端固定连接有提升底板。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述提升底板靠近坩埚底部外弧的内壁开设有转动槽,所述转动槽内壁滑动连接有转动环,所述转动环相对转动槽内壁的一侧转动连接有转动辊,方便进行转动夹持,进而使得提升效果更加稳定。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述转动环相对坩埚的一侧贯穿且滑动连接有滑杆,所述滑杆另一端固定连接有限位环,所述限位环与滑杆远离坩埚的一侧与相对内壁之间均焊接有弹簧,方便对坩埚的底部进行稳定,从而更加稳定的进行提升。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述提升底板相对坩埚底部一侧的内壁转动连接有底转杆,方便坩埚正常运转。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述固定环内弧一侧焊接连接有弹簧,所述弹簧另一端环节连接有固定弧板,所述固定弧板相对坩埚的一侧转动连接有弧板转杆,在提升时保证坩埚顶部的稳定,减少倾倒发生。
本实用新型具有以下优点:
通过在放入坩埚时,将提升装置一起放入,方便在坩埚加工完成后直接进行提升,代替人工方便使用;通过将提升装置与坩埚在加工前一起放入,进而降低由于缝隙较小带来不好提升的问题,同时设置转动结构和固定结构,在不影响本身加工旋转的同时,保证了坩埚的稳定。
附图说明
图1是本实用新型一优选实施例的正剖视结构示意图;
图2是本实用新型一优选实施例图1的A处放大结构示意图;
图3是本实用新型一优选实施例单晶炉的俯视结构示意图。
附图标记说明:1、底座;2、单晶炉;3、坩埚轴;4、坩埚;5、提升立杆;6、转板;7、提升泵;8、顶板;9、连接杆;10、固定环;11、提升底板;12、转动槽;13、转动环;14、转动辊;15、滑杆;16、限位环;17、弹簧;18、底转杆;19、固定弧板;20、弧板转杆。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
请结合参阅图1-3,一种单晶炉用石墨坩埚提升装置,其特征在于,包括:底座1,底座1顶部螺栓连接有单晶炉2,单晶炉2内壁底部转动连接有坩埚轴3,坩埚轴3顶部一端插接连接有坩埚4,底座1顶部一侧螺栓连接有提升立杆5,提升立杆5靠近单晶炉2的一侧通过电机转动连接有转板6,通过夹持提升的方式,进而使得提升装置实用性更高,转板6相对单晶炉2的一侧螺栓连接有提升泵7,提升泵7靠近单晶炉2的一端螺栓连接有顶板8,顶板8靠近单晶炉2内壁的一侧固定连接有连接杆9,连接杆9靠近坩埚4开口的外弧位置贯穿连接有固定环10,连接杆9远离顶板8的一端固定连接有提升底板11,通过转动的夹持结构在,在不影响坩埚4正常运转的同时,使得提升更加的稳定。
其中,提升底板11相对坩埚4底部一侧内壁转动连接有底转杆18,提升底板11靠近坩埚4底部侧壁设有限位环16,限位环16外弧侧固定连接有滑杆15,滑杆15贯穿且滑动连接有转动环13,滑杆15靠近转动环13内壁的一端焊接连接有弹簧17,弹簧17与限位环16外弧焊接连接,通过限位环16对坩埚4的固定,进而使得提升时更加的稳定,转动环13滑动连接有转动槽12,转动环13远离滑杆15的一侧转动连接有转动棍14,通过转动环13和转动槽12的相互转动,进而保证坩埚4在转动加工时不会受到提升装置的影响,保证正常的加工。
其中,固定环10相对坩埚4的一侧侧壁焊接连接有弹簧17,弹簧17另一端焊接设有固定弧板19,固定弧板19内弧一侧转动连接有弧板转杆20,通过固定弧板19,从而使得坩埚4在提升时保证稳定,同时转动的弧板转杆20也降低对坩埚4工作转动的影响。
工作原理:在坩埚4加工时,先将坩埚4穿过固定环10放到提升底板11上,此时固定弧板19通过弹簧17伸缩进行坩埚4口部的夹持,然后底部的限位环16和滑杆15通过弹簧17回弹,进而对底部进行夹持,然后将坩埚4插入到坩埚轴3上,之后进行加工,在坩埚4加工冶炼时,坩埚轴3带动坩埚4转动,此时通过转动环13在转动槽12内由转动辊14进行转动,同时坩埚4口部侧壁在弧板转杆20的表面带动起转动,进而减少提升装置对加工的影响,同时底部的底转杆18在坩埚4的底部转动,待单晶炉2内的坩埚4加工完成后,通过提升泵7收缩将坩埚4吊出单晶炉2内,之后通过转板6的转动将坩埚4移动到合适位置即可。
以上仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
本实用新型中其他未详述部分均属于现有技术,故在此不再赘述。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (5)

1.一种单晶炉用石墨坩埚提升装置,其特征在于,包括:底座(1),底座(1)顶部螺栓连接有单晶炉(2),所述单晶炉(2)内壁底部转动连接有坩埚轴(3),所述坩埚轴(3)顶部一端插接连接有坩埚(4),所述底座(1)顶部一侧螺栓连接有提升立杆(5),所述提升立杆(5)靠近单晶炉(2)的一侧通过电机转动连接有转板(6),所述转板(6)相对单晶炉(2)的一侧螺栓连接有提升泵(7),所述提升泵(7)靠近单晶炉(2)的一端螺栓连接有顶板(8),所述顶板(8)靠近单晶炉(2)内壁的一侧固定连接有连接杆(9),所述连接杆(9)靠近坩埚(4)开口的外弧位置贯穿连接有固定环(10),所述连接杆(9)远离顶板(8)的一端固定连接有提升底板(11)。
2.如权利要求1所述的一种单晶炉用石墨坩埚提升装置,其特征在于,所述提升底板(11)靠近坩埚(4)底部外弧的内壁开设有转动槽(12),所述转动槽(12)内壁滑动连接有转动环(13),所述转动环(13)相对转动槽(12)内壁的一侧转动连接有转动辊(14)。
3.如权利要求2所述的一种单晶炉用石墨坩埚提升装置,其特征在于,所述转动环(13)相对坩埚(4)的一侧贯穿且滑动连接有滑杆(15),所述滑杆(15)另一端固定连接有限位环(16),所述限位环(16)与滑杆(15)远离坩埚(4)的一侧与相对内壁之间均焊接有弹簧(17)。
4.如权利要求1所述的一种单晶炉用石墨坩埚提升装置,其特征在于,所述提升底板(11)相对坩埚(4)底部一侧的内壁转动连接有底转杆(18)。
5.如权利要求1所述的一种单晶炉用石墨坩埚提升装置,其特征在于,所述固定环(10)内弧一侧焊接连接有弹簧(17),所述弹簧(17)另一端焊接连接有固定弧板(19),所述固定弧板(19)相对坩埚(4)的一侧转动连接有弧板转杆(20)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115595654A (zh) * 2022-09-08 2023-01-13 吉林龙昌新能源有限责任公司(Cn) 一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置
CN117721524A (zh) * 2023-11-30 2024-03-19 连城凯克斯科技有限公司 一种单晶炉石墨坩埚提升装置

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