CN215176493U - 一种用于晶圆片加工的甩干机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆片生产技术领域，且公开了一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒，所述控制盒内设置有伺服电器和控制器，所述伺服电器的输出端贯穿控制盒的顶部并延伸至控制盒的外侧，所述伺服电器的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的顶部设置有夹持组件，所述夹持组件包括圆形安装盒，所述圆形安装盒内的底部中心处固定连接有固定杆。本实用新型通过夹持组件可同时调整三个夹持隔离杆之间的间距，来使其夹持不同直径的晶圆片，操作简单方便，泛用性强，夹持隔离杆上的第一限位薄片和第二限位薄片可间隔放置晶圆片，无需手动调整晶圆片之间的距离，使该设备可同时甩干多片晶圆片，提高甩干效率，减少工人劳动强度。

Description

一种用于晶圆片加工的甩干机

技术领域

本实用新型涉及晶圆片生产技术领域，具体为一种用于晶圆片加工的甩干机。

背景技术

晶圆片是由晶棒根据设计尺寸切割，再经过车削，研磨，腐蚀等工艺加工成的。晶圆片表面经过腐蚀后表面成分复杂，有大量的金属离子和有机物，并且牢固的吸附在晶圆片上，如果不清除并被真空镀膜银层电极覆盖后，会导致晶圆片的相关产品质量不合格，废品率高。

所以要对镀膜前的晶圆片进行清洗，清洗后的晶圆片表面带有水迹，如果不进行充分的甩干或干燥，同样会对晶圆片的频率造成很大的影响，生产出来的晶体就会不合格，所以对晶圆片清洗后的干燥操作是非常重要的环节。

目前国内大多公司一般使用微波炉或者专门的烘箱对晶圆片进行干燥，其本身会对晶圆片造成污染，且用微波炉时晶圆片会跳动，可能会造成晶圆片的损伤。干燥的时间太长而且不容易掌控，微波炉使用的时间长后容易发生故障。

有些国内公司则使用甩干机，现有的甩干机存在一下问题：其一，加工的晶规格不同，现有的甩干机需要配备不同的规格的固定容器来固定晶圆片，配置成本较高，且在使用时需要频繁地更换，增加操作人员的劳动强度，容易出现更换失误，导致废品率高，生产效率低；其二，不同的规格的固定容器为了便于操作人员放入晶圆片，固定容器和晶圆片之间存在一定间隙，当甩干机做高速的离心运行时，由于惯性的特点，在启动与停止瞬间，晶圆片与固定容器内壁发生严重的碰撞，从而造成晶圆片边缘的损伤或内部出现微裂纹，更严重造成产品碎裂，从而造成直接或间接的损失或事故；其三，现有的甩干机只能固定一片晶圆片并对其进行甩干，甩干效率低，增加操作人员劳动强度，因此发明人设计了一种用于晶圆片加工的甩干机，解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于晶圆片加工的甩干机，解决了现有的甩干机只能固定一片晶圆片且需要配备不同的规格的固定容器来固定晶圆片，配置成本较高，需要频繁更换，固定容器和晶圆片之间存在一定间隙，在启动与停止瞬间两者会发生严重碰撞的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒，所述控制盒内设置有伺服电器和控制器，所述伺服电器的输出端贯穿控制盒的顶部并延伸至控制盒的外侧，所述伺服电器的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的顶部设置有夹持组件，所述夹持组件包括圆形安装盒，所述圆形安装盒内的底部中心处固定连接有固定杆，所述固定杆的另一端固定连接有轴承圈，所述轴承圈的外圈固定连接有蜗轮，所述圆形安装盒内左右对称设置有轴承座，两个所述轴承座的轴承内圈固定连接有蜗杆，所述蜗杆的一端贯穿轴承座和圆形安装盒的侧壁并固定连接有调节块，所述蜗杆和蜗轮齿轮啮合，所述蜗轮的顶部固定连接有旋转盘，所述旋转盘的顶部周向阵列有三个长条滑槽，三个所述长条滑槽均关于中心圆的切线方向设置，三个所述长条滑槽内均活动连接有第一滑动块，三个第一滑动块的顶部均固定连接有转轴杆，三个所述第一滑动块的顶部均通过转轴杆活动连接有第二滑动块，所述圆形安装盒的顶部阵列开设有三个供相对应的第二滑动块穿过的T型滑槽，三个所述第二滑动块贯穿相对应的T型滑槽并延伸至圆形安装盒的顶部外侧，三个所述第二滑动块的顶部均固定连接有夹持隔离杆；

所述夹持隔离杆包括安装框，所述安装框内的一侧竖向设置有多个转动杆，所述转动杆的下方均设置有第一限位杆和第二限位杆，所述第一限位杆和第二限位杆均与安装框的内侧壁固定连接，所述第二限位杆位于第一限位杆的上方，所述第一限位杆均位于远离圆形安装盒中心处的安装框内侧，所述第二限位杆均位于靠近圆形安装盒中心处的安装框内侧，所述转动杆、第一限位杆和第二限位杆均平行于圆形安装盒的顶部，位于安装框最下方的所述转动杆均活动连接有第一限位薄片，位于第一限位薄片上方的所述转动杆均活动连接有第二限位薄片，所述第一限位薄片靠近圆形安装盒中心处的一端均位于安装框的外侧，所述第一限位薄片远离圆形安装盒中心处的一端均位于安装框的外侧并其底部固定连接有重力块，所述第二限位薄片靠近圆形安装盒中心处的一端均位于安装框的内侧，所述第二限位薄片远离圆形安装盒中心处的一端均位于安装框的外侧并其底部通过第一活动销活动连接有连杆，所述第一限位薄片和第二限位薄片远离圆形安装盒中心处一端的上表面均固定连接有限位滑轨，所述限位滑轨均通过第二活动销与相对应的连杆活动连接，所述限位滑轨与第二活动销活动连接，所述第一限位薄片和第二限位薄片远离圆形安装盒中心处一端的下表面与第二限位杆相抵触，所述第一限位薄片和第二限位薄片位于限位滑轨处的上表面与处于垂直状态的连杆下端存在活动距离，所述安装框靠近圆形安装盒中心处的框边竖向开设有凹口，所述凹口与平行于圆形安装盒顶部的第一限位薄片和第二限位薄片的位置相对应。

优选的，所述旋转盘的顶部和环形侧面均与圆形安装盒的内侧壁存在安全间隙，通过采用上述技术方案，避免旋转盘旋转触碰圆形安装盒的内侧壁，避免其两者之间摩擦受损，延长结构使用寿命，便于操作人员旋转旋转盘，减少操作人员劳动强度，提高调节效率。

优选的，三个所述第一滑动块和相对应的长条滑槽为间隙配合，三个所述第二滑动块和相对应的T型滑槽为间隙配合，通过采用上述技术方案，便于第一滑动块和第二滑动块在相对应的长条滑槽和T型滑槽内滑动配合，同时便于操作人员安装或更换第一滑动块和第二滑动块。

优选的，所述圆形安装盒的环形侧面对称开设有嵌入槽，所述轴承座嵌入相对应的嵌入槽内侧并通过第一螺钉与圆形安装盒螺纹连接，通过采用上述技术方案，便于操作人员安装或更换轴承座，减少轴承座占用圆形安装盒内的使用空间，使结构配合协调有序。

优选的，所述圆形安装盒的环形外侧壁固定连接有三个凸耳，所述圆形安装盒通过第二螺钉贯穿相对应的凸耳与转动盘螺纹连接，通过采用上述技术方案，使圆形安装盒能稳定固定于转动盘的上表面，同时便于操作人员安装或拆卸圆形安装盒。

优选的，所述凹口的下内侧壁与处于平行状态的第一限位薄片和第二限位薄片的上表面相齐平，所述凹口从靠近圆形安装盒中心处的宽度逐渐向内减小，通过采用上述技术方案，当操作人员通过夹持组件调整三个夹持隔离杆之间间距，使三个相对应的凹口夹持位于第一限位薄片或第二限位薄片上的晶圆片时，避免晶圆片的侧壁与凹口相互抵触或碰撞，避免磨损，减少报废率，提高加工质量，凹口的开口宽度由大向内减小，使其能夹持不同厚度的晶圆片，泛用性强。

优选的，所述控制盒的顶部设置有防污盖，所述控制盒的顶部周围开设有相连通的插嵌槽，所述防污盖插入插嵌槽内与控制盒插接连接，通过采用上述技术方案，防污盖能防止晶圆片表面的清洗液或水甩出并非飞溅至周围环境或操作人员的身上，避免污染环境和对操作人员造成身体伤害，也防止周围环境的杂物掉落至晶圆片表面表面并造成污染，提高加工质量。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种用于晶圆片加工的甩干机。具备以下有益效果：

(1)、该用于晶圆片加工的甩干机通过夹持组件中的蜗杆和蜗轮旋转配合，来驱动旋转盘旋转，并带动第一滑动块和第二滑动块在相对应的长条滑槽和T型滑槽中移动，从而操作人员可同时控制三个夹持隔离杆相互靠近和远离，调整其之间的间距，来使三个夹持隔离杆夹持不同直径的晶圆片，操作简单方便，泛用性强。

(2)、该用于晶圆片加工的甩干机设置的夹持隔离杆，操作人员可将晶圆片放置于第一限位薄片上后，第一限位薄片受晶圆片重力向远离重力块方向旋转倾斜，第一限位薄片的下表面抵触第二限位杆，此时第一限位薄片处于平行状态，第一限位薄片一端的上表面抵触并抬起连杆，连杆带动第二限位薄片向远离重力块方向倾斜，使第二限位薄片靠近圆形安装盒中心处一端漏出安装框，随后操作人员便可放置第二片晶圆片于第二限位薄片上，并使第二限位薄片平行并抵触相对应的第二限位杆上，无需操作人员自己调整晶圆片之间的距离并可平行叠放多片晶圆片，放置简单快速，使该设备可同时甩干多片晶圆片，大大提高甩干效率，减少工作人员的劳动强度。

(3)、该用于晶圆片加工的甩干机设置的夹持隔离杆上的凹口，操作人员将晶圆片放置于第一限位薄片和第二限位薄片上后，操作人员可再次调整夹持隔离杆之间的间距，使凹口二次稳固夹持相对应第一限位薄片或第二限位薄片上的晶圆片，减少夹持隔离杆和晶圆片之间的间隙，避免惯性影响，在启动与停止瞬间，晶圆片通过间隙发生位移而导致与夹持隔离杆内壁发生碰撞，加强夹持的稳固性，提高甩干质量，实用性强，且凹口的开口宽度由大向内减小，使其能夹持不同厚度的晶圆片，泛用性强。

附图说明

图1为本实用新型结构主视示意图；

图2为本实用新型结构夹持组件轴侧示意图；

图3为本实用新型结构旋转盘和第一滑动块轴侧示意图；

图4为本实用新型结构夹持组件俯视示意图；

图5为本实用新型结构夹持隔离杆不工作状态侧面剖视示意图；

图6为本实用新型结构图5中A处放大示意图；

图7为本实用新型结构放置晶圆片状态剖视示意图；

图8为本实用新型结构图7中B处放大示意图。

图中：1、控制盒；2、伺服电器；3、控制器；4、转动盘；5、夹持组件； 6、圆形安装盒；7、固定杆；8、轴承圈；9、蜗轮；10、轴承座；11、蜗杆； 12、调节块；13、旋转盘；14、长条滑槽；15、第一滑动块；16、第二滑动块；17、T型滑槽；18、夹持隔离杆；19、安装框；20、转动杆；21、第一限位杆；22、第一限位薄片；23、第二限位薄片；24、重力块；25、连杆；26、限位滑轨；27、凹口；28、嵌入槽；29、凸耳；30、防污盖；31、插嵌槽； 32、第二限位杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-7所示，本实用新型提供一种技术方案：一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒1，控制盒1内设置有伺服电器2和控制器3，伺服电器 2的输出端贯穿控制盒1的顶部并延伸至控制盒1的外侧，伺服电器2的输出端固定连接有转动盘4，转动盘4的顶部设置有夹持组件5，夹持组件5包括圆形安装盒6，圆形安装盒6的环形外侧壁固定连接有三个凸耳29，圆形安装盒6通过第二螺钉贯穿相对应的凸耳29与转动盘4螺纹连接，使圆形安装盒6能稳定固定于转动盘4的上表面，同时便于操作人员安装或拆卸圆形安装盒6，圆形安装盒6内的底部中心处固定连接有固定杆7，固定杆7的另一端固定连接有轴承圈8，轴承圈8的外圈固定连接有蜗轮9，圆形安装盒6内左右对称设置有轴承座10，圆形安装盒6的环形侧面对称开设有嵌入槽28，轴承座10嵌入相对应的嵌入槽28内侧并通过第一螺钉与圆形安装盒6螺纹连接，便于操作人员安装或更换轴承座10，减少轴承座10占用圆形安装盒6 内的使用空间，使结构配合协调有序，两个轴承座10的轴承内圈固定连接有蜗杆11，蜗杆11的一端贯穿轴承座10和圆形安装盒6的侧壁并固定连接有调节块12，蜗杆11和蜗轮9齿轮啮合，蜗轮9的顶部固定连接有旋转盘13，旋转盘13的顶部和环形侧面均与圆形安装盒6的内侧壁存在安全间隙，避免旋转盘13旋转触碰圆形安装盒6的内侧壁，避免其两者之间摩擦受损，延长结构使用寿命，便于操作人员旋转旋转盘13，减少操作人员劳动强度，提高调节效率，旋转盘13的顶部周向阵列有三个长条滑槽14，三个长条滑槽14 均关于中心圆的切线方向设置，三个长条滑槽14内均活动连接有第一滑动块 15，三个第一滑动块15的顶部均固定连接有转轴杆，三个第一滑动块15的顶部均通过转轴杆活动连接有第二滑动块16，圆形安装盒6的顶部阵列开设有三个供相对应的第二滑动块16穿过的T型滑槽17，三个第二滑动块16贯穿相对应的T型滑槽17并延伸至圆形安装盒6的顶部外侧，三个第一滑动块 15和相对应的长条滑槽14为间隙配合，三个第二滑动块16和相对应的T型滑槽17为间隙配合，便于第一滑动块15和第二滑动块16在相对应的长条滑槽14和T型滑槽17内滑动配合，同时便于操作人员安装或更换第一滑动块 15和第二滑动块16，三个第二滑动块16的顶部均固定连接有夹持隔离杆18。

夹持隔离杆18包括安装框19，安装框19内的一侧竖向设置有多个转动杆20，转动杆20的下方均设置有第一限位杆21和第二限位杆32，第一限位杆21和第二限位杆32均与安装框19的内侧壁固定连接，第二限位杆32位于第一限位杆21的上方，第一限位杆21均位于远离圆形安装盒6中心处的安装框19内侧，第二限位杆32均位于靠近圆形安装盒6中心处的安装框19 内侧，转动杆20、第一限位杆21和第二限位杆32均平行于圆形安装盒6的顶部，位于安装框19最下方的转动杆20均活动连接有第一限位薄片22，位于第一限位薄片22上方的转动杆20均活动连接有第二限位薄片23，第一限位薄片22靠近圆形安装盒6中心处的一端均位于安装框19的外侧，第一限位薄片22远离圆形安装盒6中心处的一端均位于安装框19的外侧并其底部固定连接有重力块24，第一限位薄片22靠近重力块24的下表面抵触相对应的第一限位杆21并无法继续向重力块24方向倾斜旋转，第一限位杆21使第一限位薄片22保持倾斜状态，第二限位薄片23靠近圆形安装盒6中心处的一端均位于安装框19的内侧，第二限位薄片23远离圆形安装盒6中心处的一端均位于安装框19的外侧并其底部通过第一活动销活动连接有连杆25，第一限位薄片22和第二限位薄片23远离圆形安装盒6中心处一端的上表面均固定连接有限位滑轨26，限位滑轨26均通过第二活动销与相对应的连杆25 活动连接，限位滑轨26与第二活动销活动连接，第一限位薄片22和第二限位薄片23远离圆形安装盒6中心处一端的下表面与第二限位杆32相抵触，第一限位薄片22和第二限位薄片23位于限位滑轨26处的上表面与处于垂直状态的连杆25下端存在活动距离，安装框19靠近圆形安装盒6中心处的框边竖向开设有凹口27，凹口27与平行于圆形安装盒6顶部的第一限位薄片 22和第二限位薄片23的位置相对应，凹口27的下内侧壁与处于平行状态的第一限位薄片22和第二限位薄片23的上表面相齐平，凹口27从靠近圆形安装盒6中心处的宽度逐渐向内减小，当操作人员通过夹持组件5调整三个夹持隔离杆18之间间距，使三个相对应的凹口27夹持位于第一限位薄片22或第二限位薄片23上的晶圆片时，避免晶圆片的侧壁与凹口27相互抵触或碰撞，避免磨损，减少报废率，提高加工质量，凹口27的开口宽度由大向内减小，使其能夹持不同厚度的晶圆片，泛用性强，控制盒1的顶部设置有防污盖30，控制盒1的顶部周围开设有相连通的插嵌槽31，防污盖30插入插嵌槽31内与控制盒1插接连接，防污盖30能防止晶圆片表面的清洗液或水甩出并非飞溅至周围环境或操作人员的身上，避免污染环境和对操作人员造成身体伤害，也防止周围环境的杂物掉落至晶圆片表面表面并造成污染，提高加工质量。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

工作原理：该设备处于初始状态时，第一限位薄片22受其一端连接的重力块24的作用，第一限位薄片22向重力块24处倾斜旋转，由于第一限位杆 21的设置，第一限位薄片22靠近重力块24的下表面抵触相对应的第一限位杆21并无法继续向重力块24方向倾斜旋转，第一限位杆21使第一限位薄片 22保持倾斜状态，且其远离重力块24的一端位于安装框19的外侧，由于第一限位薄片22靠近重力块24一端的上表面均通过限位滑轨26和连杆25与第二限位薄片23活动连接，重力块24通过连杆25使第二限位薄片23向重力块24方向倾斜旋转，同样的，第二限位薄片23靠近重力块24的下表面抵触相对应的第一限位杆21并无法继续向重力块24方向倾斜旋转，第一限位杆21使第二限位薄片23保持倾斜状态，且第二限位薄片23的另一端位于安装框19内，随后，操作人员通过调节块12带动蜗杆11和与其齿轮啮合的蜗轮9旋转，与蜗轮9固定连接的旋转盘13旋转，带动第一滑动块15和第二滑动块16在相对应的长条滑槽14和T型滑槽17中移动，从而操作人员可同时控制三个夹持隔离杆18相互靠近和远离，调整其之间的间距，当操作人员调整好三个夹持隔离杆18之间的间距后，操作人员将晶圆片放置于第一限位薄片22上后，第一限位薄片22受晶圆片重力向远离重力块24方向旋转倾斜，第一限位薄片22的下表面抵触第二限位杆32，此时第一限位薄片22处于平行状态，第一限位薄片22一端的上表面抵触并抬起连杆25，连杆25带动第二限位薄片23向远离重力块24方向倾斜，使第二限位薄片23靠近圆形安装盒6中心处一端漏出安装框19，随后通过相同操作，操作人员便可放置第二片晶圆片于第二限位薄片23上，并使第二限位薄片23平行并抵触相对应的第二限位杆32上，操作人员将晶圆片平行放置于第一限位薄片22和第二限位薄片23上后，操作人员可再次调整夹持隔离杆18之间的间距，使凹口27 二次稳固夹持相对应第一限位薄片22或第二限位薄片23上的晶圆片，减少夹持隔离杆18和晶圆片之间的间隙，随后完成晶圆片的放置和固定，最后操作人员盖上防污盖30，并通过控制器3启动伺服电器2，使伺服电器2的输出端带动转动盘4旋转，转动盘4带动夹持组件5旋转，对晶圆片进行高速旋转甩干操作。

本实用新型的控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，电源的提供也属于本领域的公知常识，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细解释控制方式和电路连接。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个引用结构”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒(1)，其特征在于：所述控制盒(1)内设置有伺服电器(2)和控制器(3)，所述伺服电器(2)的输出端贯穿控制盒(1)的顶部并延伸至控制盒(1)的外侧，所述伺服电器(2)的输出端固定连接有转动盘(4)，所述转动盘(4)的顶部设置有夹持组件(5)，所述夹持组件(5)包括圆形安装盒(6)，所述圆形安装盒(6)内的底部中心处固定连接有固定杆(7)，所述固定杆(7)的另一端固定连接有轴承圈(8)，所述轴承圈(8)的外圈固定连接有蜗轮(9)，所述圆形安装盒(6)内左右对称设置有轴承座(10)，两个所述轴承座(10)的轴承内圈固定连接有蜗杆(11)，所述蜗杆(11)的一端贯穿轴承座(10)和圆形安装盒(6)的侧壁并固定连接有调节块(12)，所述蜗杆(11)和蜗轮(9)齿轮啮合，所述蜗轮(9)的顶部固定连接有旋转盘(13)，所述旋转盘(13)的顶部周向阵列有三个长条滑槽(14)，三个所述长条滑槽(14)均关于中心圆的切线方向设置，三个所述长条滑槽(14)内均活动连接有第一滑动块(15)，三个第一滑动块(15)的顶部均固定连接有转轴杆，三个所述第一滑动块(15)的顶部均通过转轴杆活动连接有第二滑动块(16)，所述圆形安装盒(6)的顶部阵列开设有三个供相对应的第二滑动块(16)穿过的T型滑槽(17)，三个所述第二滑动块(16)贯穿相对应的T型滑槽(17)并延伸至圆形安装盒(6)的顶部外侧，三个所述第二滑动块(16)的顶部均固定连接有夹持隔离杆(18)；

所述夹持隔离杆(18)包括安装框(19)，所述安装框(19)内的一侧竖向设置有多个转动杆(20)，所述转动杆(20)的下方均设置有第一限位杆(21)和第二限位杆(32)，所述第一限位杆(21)和第二限位杆(32)均与安装框(19)的内侧壁固定连接，所述第二限位杆(32)位于第一限位杆(21)的上方，所述第一限位杆(21)均位于远离圆形安装盒(6)中心处的安装框(19)内侧，所述第二限位杆(32)均位于靠近圆形安装盒(6)中心处的安装框(19)内侧，所述转动杆(20)、第一限位杆(21)和第二限位杆(32)均平行于圆形安装盒(6)的顶部，位于安装框(19)最下方的所述转动杆(20)均活动连接有第一限位薄片(22)，位于第一限位薄片(22)上方的所述转动杆(20)均活动连接有第二限位薄片(23)，所述第一限位薄片(22)靠近圆形安装盒(6)中心处的一端均位于安装框(19)的外侧，所述第一限位薄片(22)远离圆形安装盒(6)中心处的一端均位于安装框(19)的外侧并其底部固定连接有重力块(24)，所述第二限位薄片(23)靠近圆形安装盒(6)中心处的一端均位于安装框(19)的内侧，所述第二限位薄片(23)远离圆形安装盒(6)中心处的一端均位于安装框(19)的外侧并其底部通过第一活动销活动连接有连杆(25)，所述第一限位薄片(22)和第二限位薄片(23)远离圆形安装盒(6)中心处一端的上表面均固定连接有限位滑轨(26)，所述限位滑轨(26)均通过第二活动销与相对应的连杆(25)活动连接，所述限位滑轨(26)与第二活动销活动连接，所述第一限位薄片(22)和第二限位薄片(23)远离圆形安装盒(6)中心处一端的下表面与第二限位杆(32)相抵触，所述第一限位薄片(22)和第二限位薄片(23)位于限位滑轨(26)处的上表面与处于垂直状态的连杆(25)下端存在活动距离，所述安装框(19)靠近圆形安装盒(6)中心处的框边竖向开设有凹口(27)，所述凹口(27)与平行于圆形安装盒(6)顶部的第一限位薄片(22)和第二限位薄片(23)的位置相对应。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的甩干机，其特征在于：所述旋转盘(13)的顶部和环形侧面均与圆形安装盒(6)的内侧壁存在安全间隙。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的甩干机，其特征在于：三个所述第一滑动块(15)和相对应的长条滑槽(14)为间隙配合，三个所述第二滑动块(16)和相对应的T型滑槽(17)为间隙配合。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的甩干机，其特征在于：所述圆形安装盒(6)的环形侧面对称开设有嵌入槽(28)，所述轴承座(10)嵌入相对应的嵌入槽(28)内侧并通过第一螺钉与圆形安装盒(6)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的甩干机，其特征在于：所述圆形安装盒(6)的环形外侧壁固定连接有三个凸耳(29)，所述圆形安装盒(6)通过第二螺钉贯穿相对应的凸耳(29)与转动盘(4)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的甩干机，其特征在于：所述凹口(27)的下内侧壁与处于平行状态的第一限位薄片(22)和第二限位薄片(23)的上表面相齐平，所述凹口(27)从靠近圆形安装盒(6)中心处的宽度逐渐向内减小。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的甩干机，其特征在于：所述控制盒(1)的顶部设置有防污盖(30)，所述控制盒(1)的顶部周围开设有相连通的插嵌槽(31)，所述防污盖(30)插入插嵌槽(31)内与控制盒(1)插接连接。

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