CN215148914U - 玻璃光罩存放装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例公开了一种玻璃光罩存放装置，包括存放台、支架以及空气净化装置。存放台上设有储存架，储存架用于存放玻璃光罩，支架设于存放台并自存放台向上延伸。空气净化装置设于支架，空气净化装置位于储存架的上方，空气净化装置用于向储存架输送洁净空气。通过支架将空气净化装置设置于储存架的上方，空气净化装置能够向储存架输送洁净空气，且该洁净空气形成的气流能够阻挡不洁空气进入储存架，从而为玻璃光罩提供符合洁净度要求的储存环境。并且，采用洁净的气流来阻挡不洁的空气进入储存架的方式，操作人员可直接穿过气流将玻璃光罩存放至储存架或从储存架将玻璃光罩取出，玻璃光罩的存取过程较为便捷。

Description

玻璃光罩存放装置

技术领域

本实用新型涉及存放装置技术领域，尤其涉及一种玻璃光罩存放装置。

背景技术

玻璃光罩的洁净度对其功能影响较大，因此对于玻璃光罩的存放环境的洁净度要求较高。目前行业内往往使用密封盒来存放玻璃光罩，在拿取或存放玻璃光罩的过程中需要执行打开和关闭密封盒的步骤，玻璃光罩的存取过程较为繁琐。

实用新型内容

本实用新型实施例公开了一种玻璃光罩存放装置，在保证存放环境的洁净度符合要求的同时，便于玻璃光罩的存取。

为了实现上述目的，本实用新型公开了一种玻璃光罩存放装置，包括：

存放台，所述存放台上设有储存架，所述储存架用于存放玻璃光罩；

支架，所述支架设于所述存放台并自所述存放台向上延伸；以及

空气净化装置，所述空气净化装置设于所述支架，所述空气净化装置位于所述储存架的上方，所述空气净化装置用于向所述储存架输送洁净空气以清洁所述储存架上的所述玻璃光罩。

作为一种可选的实施方式，所述空气净化装置输送空气的方向垂直于所述存放台的台面。

作为一种可选的实施方式，所述储存架上间隔设有多个凹槽，各所述凹槽分别用于插设所述玻璃光罩，以实现所述玻璃光罩在所述储存架上的存放。

作为一种可选的实施方式，所述储存架包括相连接的第一部分以及第二部分，所述第二部分与所述第一部分相互垂直，所述第一部分设于所述存放台，所述第二部分抵止于所述支架，所述凹槽设于所述第一部分和/或所述第二部分。

作为一种可选的实施方式，所述凹槽设于所述第一部分和所述第二部分时，所述凹槽包括相连通的第一子凹槽以及第二子凹槽，所述第一子凹槽设于所述第一部分，所述第二子凹槽设于所述第二部分，所述第一子凹槽和所述第二子凹槽分别用于插设所述玻璃光罩的相邻两侧。

作为一种可选的实施方式，所述凹槽的槽宽为d，9mm≤d≤15mm。

作为一种可选的实施方式，任意相邻两个所述凹槽之间的间距为b，40mm≤b≤60mm。

作为一种可选的实施方式，所述支架包括第一架体以及第二架体，所述第一架体设于所述存放台的一侧，所述第二架体连接于所述第一架体，且所述第二架体位于所述储存架的上方，所述空气净化装置设于所述第二架体。

作为一种可选的实施方式，所述玻璃光罩存放装置还包括离子风机，所述离子风机设于所述支架，所述离子风机位于所述空气净化装置与所述储存架之间，所述离子风机用于向所述储存架输送带电荷空气，所述空气净化装置用于将所述带电荷空气以及所述洁净空气输送至所述储存架。

作为一种可选的实施方式，所述离子风机输送空气的方向与所述存放台的台面之间形成夹角θ，5°≤θ≤35°。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型实施例提供的玻璃光罩存放装置，通过在存放台上设置储存架以用于存放玻璃光罩，利用设于存放台的支架设置空气净化装置，以使空气净化装置位于储存架的上方，从而空气净化装置能够向储存架输送洁净空气，且输送的洁净空气形成的气流能够阻挡未经净化的空气进入储存架，进而为玻璃光罩提供符合洁净度要求的储存环境。并且，采用输送的洁净空气形成的气流阻挡未经净化的空气进入储存架的方式，不会对玻璃光罩的存取造成阻挡，操作人员可直接穿过气流将玻璃光罩存放至储存架或从储存架取离玻璃装置，玻璃光罩的存取较为便捷。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例公开的玻璃光罩存放装置的结构示意图；

图2是图1的A-A剖面图；

图3是本实用新型实施例公开的储存架的结构示意图；

图4是本实用新型实施例公开的第二架体的结构示意图。

图标：1、玻璃光罩存放装置；10、存放台；11、支架；110、第一子支架；110a、安装槽；110b、通风孔；111、第二子支架；1110a、外框；1110b、内框；1111、封闭板；112、第一支撑件；113、第二支撑件；12、空气净化装置；13、储存架；131、凹槽；131a、第一子凹槽；131b、第二子凹槽；13a、第一部分；13b、第二部分；14、离子风机；15、隔断帘；2、玻璃光罩。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“第一”、“第二”等主要是用于区分不同的装置、元件或组成部分(具体的种类和构造可能相同也可能不同)，并非用于表明或暗示所指示装置、元件或组成部分的相对重要性和数量。除非另有说明，“多个”的含义为两个或两个以上。

下面将结合实施例和附图对本实用新型的技术方案作进一步的说明。

请参阅图1，图1是本实用新型实施例公开的玻璃光罩存放装置1的结构示意图。本实用新型实施例公开了一种玻璃光罩存放装置1，包括存放台10、支架11以及空气净化装置12，存放台10上设有储存架13，储存架13用于存放玻璃光罩2，支架11设于存放台10并自存放台10向上延伸，空气净化装置12设于支架11，空气净化装置12位于储存架13的上方，空气净化装置12用于向储存架13输送洁净空气以清洁储存架13上的玻璃光罩2。

相关技术中，往往使用密封盒来存放玻璃光罩2，将玻璃光罩2存放至或取离于密封盒的过程中需要执行打开和关闭密封盒的步骤，玻璃光罩2的存取过程较为繁琐。因此，本实施例通过在存放台10上设置储存架13以用于存放玻璃光罩2，通过设于存放台10的支架11设置空气净化装置12，以使空气净化装置12位于储存架13的上方，空气净化装置12能够向储存架13输送洁净空气，同时该输送的洁净空气形成的气流能够阻挡未经净化的空气进入储存架13，从而为玻璃光罩2提供符合洁净度要求的储存环境。并且，采用输送的洁净空气形成的气流来阻挡未经净化的空气进入储存架13的方式，不会对玻璃光罩2的存取造成阻挡，即，操作人员可直接穿过气流将玻璃光罩2存放至储存架13或从储存架13将玻璃光罩2取出，玻璃光罩2的存取过程较为便捷。

在本实施例中，结合图1和图2所示，图2是图1的A-A剖面图，其中，图2中带箭头的虚线示出了空气净化装置12输送的空气流动方向，空气净化装置12可与存放台10的台面之间呈夹角。可以理解的，只要空气净化装置12可以向储存架13输送洁净空气，且空气净化装置12输送洁净空气易于填充空气净化装置12与储存架13之间的空间，以阻挡玻璃光罩存放装置1外部的不洁空气直接流向储存架13即可，对于空气净化装置12的空气输出方向，本实施例不作具体限定。

优选地，空气净化装置12输送空气的方向可垂直于存放台10的台面，从而能够使得空气净化装置12输送的洁净空气尽可能多地运动至存放台10的台面，以提高空气净化装置12输送的洁净空气的利用率。

可选地，空气净化装置12可以通过螺纹连接、卡扣连接或其他可拆卸的连接方式连接于支架11，以实现空气净化装置12与支架11的连接稳固的同时，还可使空气净化装置12易于拆装检修。

示例性地，空气净化装置12可为FFU(Fan Filter Unit，风机过滤机组)。FFU具有可连续工作时间长、噪声小、震动小、可无级调速、出风速度均匀、安装方便且易于维护等特点。例如，FFU可连续工作时间长的特点适于对长时间存放于储存架13上的玻璃光罩2进行输送洁净空气的工作；震动小的特点能够降低空气净化装置12自身产生的震动经支架11传递至储存架13，导致存放于储存架13上的玻璃光罩2因震动而受到损伤的风险；出风速度均匀的特点能够保持空气净化装置12向储存架13输送的洁净空气的气流稳定，从而能够长时间保持洁净空气形成的气流对储存架13外部的不洁空气的阻挡作用。

一些实施方式中，存放台10具有一定高度使得储存架13具有一定的离地高度，便于操作人员存取玻璃光罩2。示例性地，存放台10可为储物柜、置物架、桌子等，本实施例对此不作具体限定。

可选地，储存架13可通过卡扣连接、螺纹连接、焊接、胶粘等连接方式固定连接于存放台10的台面，以使储存架13与存放台10稳固连接，避免储存架13在受到外力撞击时脱离存放台10而导致损坏玻璃光罩2的情况发生。

一些实施方式中，如图3所示，图3是本实用新型实施例公开的储存架13的结构示意图，储存架13上间隔设有多个凹槽131，各个凹槽131分别用于插设玻璃光罩2，以实现玻璃光罩2在储存架13上的存放。可以理解的是，通过将多个凹槽131相间隔设置，使得存放于储存架13上的多块玻璃光罩2之间相互间隔，从而避免相邻的两块玻璃光罩2之间发生碰撞而导致玻璃光罩2损坏的情况发生。

进一步地，通过令存放于储存架13上的多块玻璃光罩2之间相互间隔，使得相邻的玻璃光罩2之间形成间隔空间，空气净化装置12输送的洁净空气能够进入该间隔空间，避免形成洁净空气的气流无法达到的死角，有利于提高玻璃光罩2所处的环境的洁净度。

可选地，凹槽131的边缘可设有倒角或者圆角，以在存取玻璃光罩2的过程中，降低因玻璃光罩2与凹槽131的尖锐的边缘发生碰撞，而导致玻璃光罩2损坏的风险。

考虑到市面上的玻璃光罩2的厚度大多为3mm至8mm，所以，为了适于放置不同规格的玻璃光罩2，凹槽131的槽宽d可设置为大于或略大于玻璃光罩2的厚度，以在玻璃光罩2的存取的过程中，使凹槽131的槽壁不易对玻璃光罩2的表面产生磨损，凹槽131的槽宽d可满足：9mm≤d≤15mm，例如，槽宽d可为：9mm、10mm、11mm、12mm、13mm、14mm或15mm等。

示例性的，两个凹槽131之间的间距b可满足：40mm≤b≤60mm。可以理解的是，间距b在此范围内，能够为操作人员存取玻璃光罩2提供足够的操作空间，避免操作人员碰撞到相邻的其他玻璃光罩2，且能够尽可能多的设置凹槽131，玻璃光罩存放装置1内的空间利用率较大。因此，间距b可为：40mm、41mm、42mm、43mm、44mm、45mm、46mm、47mm、48mm、49mm、50mm、51mm、52mm、53mm、54mm、55mm、56mm、57mm、58mm、59mm或60mm等。

一些可选的实施方式中，储存架13可包括相连接的第一部分13a以及第二部分13b，第二部分13b与第一部分13a相互垂直，第一部分13a设于存放台10，第二部分13b抵止于支架11，凹槽131设于第一部分13a和/或第二部分13b。通过将储存架13分为第一部分13a与第二部分13b，并且令第二部分13b抵止于支架11，能够通过支架11来阻挡储存架13，避免储存架13朝向支架11的方向倾倒，从而使储存架13能够稳定设置于存放台10。

可选地，凹槽131可仅设于第一部分13a或第二部分13b，或者，凹槽131可同时设于第一部分13a和第二部分13b。本实施例提供了多种凹槽131的设置方式，可根据实际情况选择，满足不同的使用需求。

示例性地，以凹槽131同时设于第一部分13a和第二部分13b为例，该凹槽131可包括相连通的第一子凹槽131a以及第二子凹槽131b，第一子凹槽131a设于第一部分13a，第二子凹槽131b设于第二部分13b，第一子凹槽131a和第二子凹槽131b分别用于插设玻璃光罩2的相邻两侧边，从而增强凹槽131对玻璃光罩2的限制作用，以使放置于储存架13上的玻璃光罩2较稳定，不易脱离于凹槽131。

另一些可选的实施方式中，储存架13的第二部分13b可与第一部分13a相间隔设置，即，第一部分13a固定连接于存放台10，第二部分13b与第一部分13a相间隔，第二部分13b固定连接于支架11，从而可以在保证从两个相垂直的方向来限制玻璃光罩2在存放台10上的存放位置的同时，减少储存架13所使用的材料，以降低玻璃光罩存放装置1的生产成本。

接下来，将结合附图对设置于支架11的具体结构以及支架11上的其他器件进行详细说明。

一些实施方式中，支架11设置于存放台10的一侧，能够减少支架11对存放台10的台面空间的占用，从而增大储存架13能够占用的存放台10的台面空间，以增大储存架13对玻璃光罩2的容纳量。可选地，空气净化装置12可设置于支架11的顶部，从而实现通过支架11将空气净化装置12设置于储存架13的上方的效果。

进一步地，支架11可为板状结构，从而可以通过支架11来封闭玻璃光罩存放装置1的一侧，以阻挡不洁净的空气从玻璃光罩存放装置1的一侧进入储存架13。

一些实施方式中，支架11可包括第一架体110以及第二架体111，第一架体111可设于存放台10的一侧，第二架体111连接于第一架体110，第二架体111位于储存架13的上方，空气净化装置12设于第二架体111，从而通过第二架体111能够实现将空气净化装置12设置于储存架13的上方。可以理解的，在其他实施方式中，支架11自存放台10向上延伸，即，支架11整体位于存放台10的上方，空气净化装置12可固定连接于支架11沿延伸方向上的顶端，从而实现将空气净化装置12设置于储存架13的上方。

本实施例以支架11包括第一架体110以及第二架体111为例进行说明。

一种可选的实施方式中，第二架体111可设于第一架体110的顶部，且第二架体111平行于存放台10的台面，以便于将空气净化装置12安装至使空气净化装置12的出风方向垂直于存放台10的台面的位置。

另一种可选的实施方式中，第二架体111可设于第一架体110的顶部，且第二架体111与存放台10的台面之间形成一定角度设置，以便于将空气净化装置12安装至使空气净化装置12的出风方向与存放台10的台面呈夹角的位置。

一些实施方式中，如图1所示，支架11还可包括第一支撑件112以及第二支撑件113，第一支撑件112设于第一架体110与存放台10之间，以辅助支撑第一架体110，第二支撑件113设于第二架体111与第一架体110之间，以辅助支撑第二架体111，从而使支架11的整体结构更加稳固。

可选地，第一支撑件112以及第二支撑件113可分别为支撑杆或三角形支撑板中的任一种。示例性的，第一支撑件112以及第二支撑件113可均为三角形支撑板，第一支撑件112的相邻两边分别连接于第一架体110和存放台10，第一支撑件112的另一边与第一架体110和存放台10之间形成三角形区域，从而通过第一支撑件112加固存放台10对第一架体110的支撑，第二支撑件113分别连接于第一架体110和第二架体111，第二支撑件113的另一边与第一架体110和第二架体111之间形成三角形区域，从而通过第二支撑件113加固第一架体110对第二架体111的支撑。

请结合图4所示，图4是本实用新型实施例公开的第二架体111的结构示意图，一些实施方式中，第二架体111可为包括外框1110a、内框1110b以及封闭板1111的支架结构。具体地，内框1110b设置于外框1110a内，内框1110b的中空部分对应空气净化装置12的出风端，以供空气净化装置12输送的洁净空气至储存架13，封闭板1111连接于外框1110a与内框1110b之间，封闭板1111用于封闭外框1110a与内框1110b之间的空间，以阻挡不洁净的空气穿过第二架体111直接流向储存架13。

一些实施方式中，玻璃光罩存放装置1还包括离子风机14。离子风机14设于支架11，离子风机14位于空气净化装置12与储存架13之间，离子风机14用于向储存架13输送带电荷空气，空气净化装置12用于将该电荷空气以及洁净空气输送至储存架13，电荷空气中携带的正负电荷能够与储存架13上以及存放于储存架13上的玻璃光罩2上所带的电荷相互中和，从而使得储存架13以及玻璃光罩2的表面不带电，实现减少玻璃光罩2所处的环境的静电的效果，避免玻璃光罩2因携带的静电积存并放电而受到静电电击，从而避免玻璃光罩2被静电损伤导致报废，同时，由于玻璃光罩2在被放置于储存架13上的过程中可能沾染空气中的细小不洁颗粒(如灰尘)，利用离子风机14输送的空气可以使玻璃光罩2的表面不带电，从而减小玻璃光罩2的表面对细小不洁颗粒产生的吸引力，使得灰尘等细小不洁颗粒易于被洁净的气流吹离玻璃光罩2的表面，并易于随着洁净的气流流向储存架13的外部，以提高玻璃光罩2所处环境的洁净度。

可选地，实际应用中，离子风机14可位于储存架13的一侧，且位于储存架13与空气净化装置12之间，从而使离子风机14输送的电荷空气与空气净化装置12输送的洁净空气相汇合后，能够流向储存架13。

可选地，离子风机14可以通过螺纹连接、卡扣连接或其他可拆卸的连接方式连接于支架11，以使离子风机14与支架11的连接稳固的同时，使离子风机14易于拆装检修。

可选地，离子风机14可为多个，多个离子风机14沿储存架13一侧的侧边的延伸方向间隔设置于支架11上，多个离子风机14输出的空气能够更完全地覆盖储存架13所处的环境区域，从而能够尽可能地去除储存架13所处的环境区域内的静电，避免因静电的吸附作用导致细小不洁颗粒(如灰尘)无法随洁净的气流流向储存架13的外部的情况。例如，当操作人员在存取玻璃光罩2的过程中将身上携带的细小不洁颗粒(如灰尘)抖落至储存架13时，细小不洁颗粒(如灰尘)难以吸附至储存架13所处的环境区域，反而能够随着洁净的气流流向储存架13的外部，从而提高玻璃光罩2所处环境的洁净度。

一些实施方式中，为了使离子风机14输出的电荷空气更易于随空气净化装置12输送的洁净空气流动至储存架13，离子风机14输送空气的方向与存放台10的台面之间可形成夹角θ，夹角θ满足：5°≤θ≤35°，例如，夹角θ可为：2°、5°、8°、10°、12°、15°、18°、20°、22°、25°、28°、30°、32°或35等。

一些实施方式中，在实际操作中，支架11上可设有用于安装离子风机14的安装槽110a，离子风机14的表面抵接于安装槽110a的槽壁，从而易于通过安装槽110a限制离子风机14与支架11的相对位置，以使离子风机14的装配过程简单。

可选地，安装槽110a的槽底与存放台10的台面可呈夹角设置，从而易于将离子风机14安装至使离子风机14的出风方向与存放台10的台面呈夹角的位置。

进一步地，安装槽110a的槽底可设有通风孔110b，以便于离子风机14通过通风孔110b向储存架13输送空气。

可以理解的，通风孔110b朝向离子风机14一侧的边缘可紧密贴合于离子风机14，从而防止未经处理的不洁净空气通过通风孔110b与离子风机14之间的间隙从玻璃光罩存放装置1的外部流向储存架13，以保证存放于储存架13的玻璃光罩2所处的环境的洁净度。

可选地，离子风机14的出风端朝向通风孔110b设置，离子风机14的吸气端朝向通风孔110b设置。可以理解的是，只要通风孔110b可以用于为空气从玻璃光罩存放装置1的外部经离子风机14的内部被输送至储存架13避让通道即可，对于离子风机14的设置位置，本实施例不作具体限定。示例性的，离子风机14可出风端朝向通风孔110b设置。

在实际设置中，由前文所述，支架11包括第一架体110与第二架体111，则该离子风机14可设于第一架体110。即，该第一架体110可设有如上文所述的安装槽110a以及通风孔110b，离子风机14可连接于安装槽110a，离子风机14的出风端可朝向通风孔110b设置。

接下来，将结合附图对空气净化装置12的出风方向垂直于存放台10的台面设置，且离子风机14的出风方向与存放台10的台面呈夹角设置时，空气净化装置12与储存架13之间的气流方向与分布进行说明。

为了便于说明，将空气净化装置12与储存架13之间的空气分为第一部分空气、第二部分空气以及第三部分空气，其中，第一部分空气为自空气净化装置12的靠近离子风机14的一侧输出的空气，第二部分空气为自空气净化装置12的中部输出的空气，第三部分空气为自空气净化装置12的远离离子风机14的一侧输出的空气。如图2所示，图2中的箭头方向示出了空气净化装置12与储存架13之间的气流方向，其中，图2中的虚线与箭头方向示出了第一部分空气的气流方向，两点与一线段交错排列的点划线与箭头方向示出了第二部分空气的气流方向，两短线与一长线交错排列的线条与箭头方向示出了第三部分空气的气流方向，粗直线与箭头方向示出了离子风机14输出的电荷空气的气流方向。

第一部分空气先以垂直于存放台10的台面的方向朝向储存架13运动，接着，在经过离子风机14时，受到离子风机14输出的电荷空气汇流至第一部分空气中，并使第一部分空气稍微改变流动方向，以与存放台10的台面呈接近90°的夹角的方向向储存架13运动。然后在空气运动至接近第一部分13a的表面时，在第一部分13a的表面的阻挡作用下，该部分空气被分流成两路，第一路空气沿着第一部分13a的表面朝向第二部分13b运动，再在第二部分13b的表面的引导下改变运动方向，沿着第二部分13b的表面朝向离子风机14运动，直至汇流进自离子风机14输出的电荷空气形成的气流中，第二路空气沿着第一部分13a的表面朝向玻璃光罩存放装置1的外部运动。

第二部分空气先以垂直于存放台10的台面的方向朝向储存架13运动，接着，在经过离子风机14时，受到离子风机14输出的空气的影响，稍微改变气流方向，以与存放台10的台面呈夹角的方向向储存架13运动。然后在空气运动至接近第一部分13a的表面时，在第一部分13a的表面的引导下改变运动方向，沿着第一部分13a的表面朝向玻璃光罩存放装置1的外部运动。

第三部分空气先以垂直于存放台10的台面的方向朝向储存架13运动，接着，在空气运动至接近第一部分13a时，在第一部分13a的表面的引导下改变运动方向，沿着第一部分13a的表面朝向玻璃光罩存放装置1的外部运动。

一些实施方式中，为了进一步封闭玻璃光罩存放装置1的侧面，以进一步避免不洁净的气流向储存架的同时，不影响操作人员对玻璃光罩2的拿放，玻璃光罩存放装置1还可包括两个隔断帘15，两个隔断帘15分别位于第一架体110的两相对侧，隔断帘15可一端连接于第二架体111，隔断帘15的另一端向下延伸至位于存放台10的一侧。具体地，隔断帘15用于阻止不洁净的空气从玻璃光罩存放装置1的两相对侧流向储存架13，从而配合空气净化装置12与离子风机14的输出气流，进一步地阻止位于玻璃光罩存放装置1外部的不洁净的空气流向储存架13，以保证存放于储存架13的玻璃光罩2所处的环境的洁净度，同时，留出玻璃光罩存放装置1的与第一架体110相对的一侧面不作任何遮挡，以便于操作人员从该侧面直接对玻璃光罩2进行拿放，且不会阻挡空气净化装置12与离子风机14的输出空气自储存架13流向玻璃光罩存放装置1的外部。

可选地，隔断帘15的一端可以通过扣环可滑动地连接于第二架体111的边缘，从而可以像调整窗帘一样根据需要调整隔断帘15的隔断位置与隔断面积。

本实用新型实施例公开的玻璃光罩存放装置1，通过在储存架13的上方设置用于向储存架13输送洁净空气的空气净化装置12，能够实现始终有洁净空气自空气净化装置12流向储存架13的同时，利用洁净空气形成的气流，使未经净化的空气无法流向储存架13，从而使放置于储存架13上的玻璃光罩2所处的空间环境的洁净度满足要求。通过在存放台10上设置储存架13来存放玻璃光罩2，使玻璃光罩2可以直接存放或拿取于玻璃光罩存放装置1，从而使玻璃光罩2的存取过程便利。

以上对本实用新型实施例公开的玻璃光罩存放装置行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的玻璃光罩存放装置及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种玻璃光罩存放装置，其特征在于，包括：

存放台，所述存放台上设有储存架，所述储存架用于存放玻璃光罩；

支架，所述支架设于所述存放台并自所述存放台向上延伸；以及

空气净化装置，所述空气净化装置设于所述支架，所述空气净化装置位于所述储存架的上方，所述空气净化装置用于向所述储存架输送洁净空气以清洁所述储存架上的所述玻璃光罩。

2.根据权利要求1所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述空气净化装置输送空气的方向垂直于所述存放台的台面。

3.根据权利要求1所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述储存架上间隔设有多个凹槽，各所述凹槽分别用于插设所述玻璃光罩，以实现所述玻璃光罩在所述储存架上的存放。

4.根据权利要求3所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述储存架包括相连接的第一部分以及第二部分，所述第二部分与所述第一部分相互垂直，所述第一部分设于所述存放台，所述第二部分抵止于所述支架，所述凹槽设于所述第一部分和/或所述第二部分。

5.根据权利要求4所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述凹槽设于所述第一部分和所述第二部分时，所述凹槽包括相连通的第一子凹槽以及第二子凹槽，所述第一子凹槽设于所述第一部分，所述第二子凹槽设于所述第二部分，所述第一子凹槽和所述第二子凹槽分别用于插设所述玻璃光罩的相邻两侧。

6.根据权利要求3所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述凹槽的槽宽为d，9mm≤d≤15mm。

7.根据权利要求3所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，任意相邻两个所述凹槽之间的间距为b，40mm≤b≤60mm。

8.根据权利要求1-7任一所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述支架包括第一架体以及第二架体，所述第一架体设于所述存放台的一侧，所述第二架体连接于所述第一架体，且所述第二架体位于所述储存架的上方，所述空气净化装置设于所述第二架体。

9.根据权利要求1-7任一所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述玻璃光罩存放装置还包括离子风机，所述离子风机设于所述支架，所述离子风机位于所述空气净化装置与所述储存架之间，所述离子风机用于向所述储存架输送带电荷空气，所述空气净化装置用于将所述带电荷空气以及所述洁净空气输送至所述储存架。

10.根据权利要求9所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述离子风机输送空气的方向与所述存放台的台面之间形成夹角θ，5°≤θ≤35°。

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