KR101612880B1

KR101612880B1 - 융합집진기

Info

Publication number: KR101612880B1
Application number: KR1020140117300A
Authority: KR
Inventors: 윤홍범
Original assignee: (주)와이에이치비
Priority date: 2014-09-03
Filing date: 2014-09-03
Publication date: 2016-04-18
Also published as: KR20160028633A

Abstract

본 발명은 융합집진기에 관한 것으로서, 내부에 공간부가 형성되고, 상기 공간부를 하부로부터 제1공간부와 제2공간부와 제3공간부로 각각 구획하는 제1격벽과 제2격벽을 구비하는 캐비닛과; 상기 제1공간부에 설치되어 상기 제1공간부로 유입되는 공기에 포함된 이물질을 필터링하는 필터부와, 상기 제1공간부 상측의 상기 제2공간부에 설치되어 상기 필터부를 향하여 고압의 공기를 분사하여 상기 필터부에 잔재하는 이물질을 제거하는 분사부와, 상기 필터부의 하부에 배치되어 상기 분사부에 의해 상기 필터부로부터 이탈되어 낙하하는 이물질을 수거하는 수거부와, 상기 제2공간부 상측의 상기 제3공간부에 설치되어 상기 공간부 외부의 공기를 상기 공간부 내부로 유입시키도록 흡입력을 제공하는 송풍부를 포함하는 제1집진유닛과; 상기 캐비닛의 상부에 설치되며, 상기 제3공간부를 통과하는 공기에 포함된 이물질을 대전시키는 방전극과 대전된 이물질을 포집하는 집진극을 포함하는 제2집진유닛;을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

융합집진기{Hybrid Collector}

본 발명은 융합집진기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 필터를 이용한 일반적인 더스트 집진기와 방전극 및 집진극을 이용한 전기 집진기를 결합한 형태의 융합집진기에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자 제조용 재료로서 광범위하게 사용되고 있는 웨이퍼(wafer)는 단결정 실리콘 박판을 지칭한다. 이러한 웨이퍼의 제조공정은 다결정의 용융실리콘을 초크랄스키법(Czochralski method)에 의해 단결정 실리콘 잉곳(ingot)으로 성장시키는 성장공정, 성장된 단결정 실리콘 잉곳을 웨이퍼 형태로 자르는 절단공정, 웨이퍼의 두께를 균일화하여 평면화하는 래핑(lapping)공정, 웨이퍼의 데미지를 제거 또는 완화하는 에칭(etching)공정, 웨이퍼 표면을 경면화하는 연마(Polishing)공정, 그리고, 완료된 웨이퍼를 세정하는 세정공정 등으로 이루어진다. 또한, 이렇게 제조된 웨이퍼는 소정 금속막이 증착된 후 패터닝되는 증착공정 등을 거침으로써, 반도체로 제조된다.

상기와 같은 제조공정들을 통해 제조되는 반도체는 그 제조공정 중의 먼지, 분진 또는 파티클(Particle)과 같은 이물질에 민감하게 반응한다. 즉, 상기와 같은 소정의 제조공정이 진행되는 반도체 제조설비의 내의 이물질로 인해 제조되는 반도체의 품질이 저하되는 것이다. 따라서, 상기 반도체 제조설비의 경우, 내부의 이물질을 제거하기 위한 집진장치를 구비한다.

반도체 제조설비에 채용되는 종래의 일반적인 집진장치는 이물질이 유입되는 유입구를 구비하는 집진몸체, 이 집진 몸체로 집진력을 제공하는 집진펌프를 포함한다. 여기서, 상기 집진 몸체의 일 측에는 상기 반도체 제조설비의 내부를 향해 개방됨으로써 이물질이 유입되는 유입구와, 유입구와 마주하는 타 측에 마련되어 이물질을 필터링하는 필터부재를 구비한다. 또한, 그 상측에는 상기 집진펌프와 연결되어 집진 몸체의 내부에 흡입기류를 제공하기 위한 연결구가 형성된다.

그러나, 이상과 같은 구성을 가지는 종래의 집진장치는 상기 집진펌프의 집진력 전달이 상기 집진 몸체의 내측 테두리에서 원활하지 못하다. 그로 인해, 상기 집진 펌프의 집진력이 상기 집진 몸체의 중앙에 치중되고 이에 비해 내면에서는 상대적으로 낮으며, 이러한 집진력의 편차는 상기 집진 몸체의 내부로 유입된 이물질이 집진력이 높은 부분 또는 영역에서만 남아있게 되므로 집진효율이 저하되는 문제가 있다.

KR

10-2010-0104796

A

KR

10-2013-0063688

A

KR

10-2014-0005441

A

KR

10-2014-0047441

A

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 집진력을 비교적 균일하게 분포시킴으로써 집진효율을 높일 수 있는 융합집진기를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 융합집진기는 내부에 공간부가 형성되고, 상기 공간부를 하부로부터 제1공간부와 제2공간부와 제3공간부로 각각 구획하는 제1격벽과 제2격벽을 구비하는 캐비닛과; 상기 제1공간부에 설치되어 상기 제1공간부로 유입되는 공기에 포함된 이물질을 필터링하는 필터부와, 상기 제1공간부 상측의 상기 제2공간부에 설치되어 상기 필터부를 향하여 고압의 공기를 분사하여 상기 필터부에 잔재하는 이물질을 제거하는 분사부와, 상기 필터부의 하부에 배치되어 상기 분사부에 의해 상기 필터부로부터 이탈되어 낙하하는 이물질을 수거하는 수거부와, 상기 제2공간부 상측의 상기 제3공간부에 설치되어 상기 공간부 외부의 공기를 상기 공간부 내부로 유입시키도록 흡입력을 제공하는 송풍부를 포함하는 제1집진유닛과; 상기 캐비닛의 상부에 설치되며, 상기 제3공간부를 통과하는 공기에 포함된 이물질을 대전시키는 방전극과 대전된 이물질을 포집하는 집진극을 포함하는 제2집진유닛;을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 캐비닛의 일 측 하부에는 외부 공기를 상기 제1공간부로 유입시킬 수 있도록 개방된 유입구가 형성되고, 상기 제1집진유닛은 상기 유입구를 통해 상기 제1공간부로 유입되는 공기가 상기 필터부의 일 측으로만 편중되는 것을 방지하도록 상기 제1공간부의 내측을 따라 설치된 분배덕트를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 송풍부는 상기 제3공간부로 유입되는 공기가 상기 제3공간부의 일 측으로만 편중되는 것을 방지하도록 상기 제2공간부로부터 이동하는 공기를 상기 제3공간부 전역으로 분산되게 배출시키는 분산덕트를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 캐비닛의 일 면에는 상기 제1공간부와 대응하는 위치에 제1개구부가 형성되고, 상기 제1개구부에는 상기 제1공간부를 개폐할 수 있도록 제1개폐도어가 설치되며, 상기 제1집진유닛은 상기 필터부를 상기 제1격벽에 대하여 지지 및 상기 제1개구부를 통해 출입시킬 수 있도록 상기 제1격벽에 설치되는 제1출입지지부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 캐비닛의 일 면에는 상기 제3공간부와 대응하는 위치에 제3개구부가 형성되고, 상기 제3개구부에는 상기 제3공간부를 개폐할 수 있도록 제3개폐도어가 설치되며, 상기 제1집진유닛은 상기 송풍부를 상기 제2격벽에 대하여 지지 및 상기 제3개구부를 통해 출입시킬 수 있도록 상기 제2격벽에 설치되는 제2출입지지부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 융합집진기에 의하면, 분배덕트 및 분산덕트를 통해 집진력을 비교적 균일하게 분포시킴으로써 집진효율을 높일 수 있으면서, 1차로는 카트리지 필터를 통해 먼지를 제거하고 2차로는 전기집진부를 통해 먼지뿐만 아니라 유해한 가스나 연기를 제거할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 융합집진기를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 융합집진기의 제1집진유닛을 나타낸 부분발췌사시도.
도 3은 도 1에 도시된 융합집진기의 송풍부를 나타낸 부분발췌사시도.
도 4는 도 1에 도시된 융합집진기의 제2출입지지부를 나타낸 발췌사시도.
도 5는 도 1에 도시된 본 발명에 따른 융합집진기의 단면도.
도 6은 도 1에 도시된 본 발명에 따른 융합집진기의 단면도.
도 7은 도 4에 도시된 제2출입지지부의 다른 실시 예를 나타낸 단면도.
도 8은 도 7에 도시된 제2출입지지부를 나타낸 단면도.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 융합집진기에 대하여 상세하게 설명한다.

도 1 내지 도 6에는 본 발명에 따른 융합집진기(1)가 도시되어 있다. 도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 다른 융합집진기(1)는 캐비닛(100)과; 제1집진유닛(200)과; 제2집진유닛(300);을 구비한다.

상기 캐비닛(100)은 직사각 형상으로 내부에 공간부가 형성되고, 상기 공간부를 하부로부터 제1공간부(110)와, 제2공간부(130)와, 제3공간부(150)로 각각 구획하는 제1격벽(120)과, 제2격벽(140)이 설치되어 있다. 상기 공간부는 제1격벽(120)과 제2격벽(140)에 의해 하부에서 상방으로 제1공간부(110), 제2공간부(130), 제3공간부(150) 순으로 배치되어 있다.

상기 제1격벽(120)에는 제1공간부(110)로 유입된 공기가 필터부(210) 즉, 카트리지 필터(211)를 통과하여 제2공간부(130)로 흘러들어갈 수 있도록 제1통과구멍이 형성되어 있고, 상기 제2격벽(140)에는 제2공간부(130)로부터 제3공간부(150)로 공기가 통과할 수 있도록 중앙에 제2공기통과구멍이 형성되어 있다.

상기 캐비닛(100)의 전면에는 제1공간부(110)에 대응되는 위치에는 제1개구부가 형성되어 있고, 제2공간부(130)에 대응되는 위치에는 제2개구부가 형성되어 있으며, 제3공간부(150)와 대응되는 위치에는 제3개구부가 형성되어 있다. 그리고, 상기 캐비닛(100)의 측면 하부에는 외부 공기를 상기 제1공간부(110)로 유입시킬 수 있도록 개방된 유입구가 형성되어 있고, 후면은 폐쇄되어 있으며, 상면은 후술하는 제2집진유닛(300)으로 공기를 보낼 수 있도록 부분적으로 개방되어 있다.

상기 캐비닛(100)의 전면에 형성된 제1개구부, 제2개구부, 제3개구부에는 각각 제1공간부(110), 제2공간부(130), 제3공간부(150)를 개별적으로 개폐시킬 수 있도록 캐비닛(100)에 회전가능하게 결합된 제1개폐도어(101), 제2개폐도어(102), 제3개폐도어(103)가 설치되어 있다. 상기 제3개폐도어(103)에는 후술하는 제3공간부(150)에 설치되는 송풍부(240)를 작동시키기 위한 스위치가 설치되어 있다. 그리고, 캐비닛(100)의 하부에는 이동이 가능하도록 캐스터가 장착되어 있다.

상기 제1집진유닛(200)은 필터부(210)와, 분사부(220)와, 수거부(230)와, 송풍부(240), 분배덕트(250), 제1출입지지부(260)를 구비한다.

상기 필터부(210)는 상기 제1공간부(110)에 설치되어 상기 유입구를 통해 상기 제1공간부(110)로 유입되는 공기에 포함된 이물질을 필터링하는 것으로서, 다수의 카트리지 필터(211)와 상기 카트리지 필터(211)를 지지하는 지지플레이트(212)를 포함한다. 상기 지지플레이트(212)에는 카트리지 필터(211)가 설치되는 위치와 대응되는 위치에 카트리지 필터(211)를 통과한 공기가 제2공간으로 흘러들어갈 수 있도록 카트리지의 개수와 대응되는 개수의 제2통과구멍이 형성되어 있다. 상기 지지플레이트(212)는 고정볼트(213)를 통해 제1격벽(120)의 저면에 밀착고정된다.

상기 분사부(220)는 상기 제1공간부(110) 상측의 상기 제2공간부(130)에 설치되어 상기 필터부(210)를 향하여 고압의 공기를 분사하여 상기 필터부(210)에 잔재하는 이물질을 제거하는 것으로서, 후술하는 송풍부(240)의 가동이 중지된 상태에서 카트리지 필터(211)의 내측 공간을 향하여 강한 압축공기를 분사하도록 되어 있다. 상기 분사부(220)는 카트리지 필터(211)의 개수와 대응되는 개수의 분사노즐(221) 구비하며, 각각의 분사노즐(221)은 카트리지 필터(211)의 중앙에 위치하도록 배치 및 하방으로 소정길이 연장되어 있다.

상기 수거부(230)는 상기 필터부(210)의 하부에 배치되어 상기 분사부(220)에 의해 상기 필터부(210)로부터 이탈되어 낙하하는 이물질을 수거하는 것으로서, 캐비닛(100)의 하부에 서랍식으로 인출가능하게 설치되며, 이물질을 수용하기 위한 수용공간을 갖는 수거함(231)을 구비한다.

상기 제1출입지지부(260)는 상기 필터부(210)를 상기 제1격벽(120)에 대하여 지지 및 상기 제1개구부를 통해 출입시킬 수 있도록 상기 제1격벽(120)에 설치되는 것으로서, 상기 제1격벽(120)의 저면에 카트리지 필터(211)들이 설치된 지지플레이트(212)의 좌우폭에 대응하는 간격으로 이격되게 설치된 제1가이드(261)와, 상기 제1가이드(261)를 따라 이동할 수 있도록 상기 지지플레이트(212)의 양측 단부에 하방으로 절곡 형성된 걸림부(262)를 포함한다.

상기 제1가이드(261)는 상기 필터부(210)를 인출시킬 때, 하방으로 경사지게 인출시킬 수 있도록 캐비닛(100)의 내부로부터 캐비닛(100) 전면을 향하여 경사지게 형성되어 있다.

상기 송풍부(240)는 상기 제2공간부(130) 상측의 상기 제3공간부(150)에 설치되어 상기 공간부 외부의 공기를 상기 공간부 내부로 유입시키도록 흡입력을 제공하는 것으로서, 구동모터(241)와, 송풍팬(242)과, 분산덕트(243) 및 제2출입지지부(270)를 포함한다.

상기 분산덕트(243)는 상기 제2공간부(130)로부터 상기 제3공간부(150)로 유입되는 공기가 상기 제3공간부(150)의 일 측으로만 편중되어 상부로 빠져나가는 것을 방지하도록 상기 제2공간부(130)로부터 이동하는 공기를 상기 제3공간부(150) 전역으로 분산되게 배출시키는 것으로서, 상기 제2격벽(140)에 형성된 제2통과구멍 주변에 하단이 안착되는 안착플레이트(244)와, 상기 안착플레이트(244)의 상방으로 연장되고 내부에 상기 송풍팬(242)을 회전가능하게 장착할 수 있도록 중공부가 형성된 측벽부(245)와, 상기 측벽부(245)의 상부를 폐쇄하며 상기 송풍팬(242)을 회전구동시키기 위한 구동모터(241)가 고정 설치되는 상판(246)을 구비한다.

상기 측벽부(245)는 구동모터(241)에 의해 회전되는 송풍팬(242)에 의해 제2공간부(130)로부터 제3공간부(150)로 흡입되는 공기가 제3공간부(150)에 전역으로 퍼져나갈 수 있도록 서로 다른 네 방향에 각각 배출구가 형성되어 있다. 그리고, 상기 측벽부(245)는 소정의 길이와 폭을 가지며 길이방향을 따라 원호 형상으로 굴곡지게 형성된 다수의 분할플레이트들을 세워 형성하며, 상기 송풍팬(242)을 중심으로 나선 구조를 이루도록 배치되어 있다.

상기 제2출입지지부(270)는 상기 송풍부(240)를 상기 제2격벽(140)에 대하여 지지 및 상기 제3개구부를 통해 출입시킬 수 있도록 상기 송풍부(240)와 상기 제2격벽(140)에 설치되는 것으로서, 제2격벽(140) 상에 캐비닛(100)의 전면으로부터 후면을 향하여 연장되고 상기 안착플레이트(244)의 좌우 폭 방향 양측에 각각 상기 안착플레이트(244)와 인접하도록 배치된 제2가이드(274)와, 일 측이 상기 안착플레이트(244)의 가장자리에 고정되고 타 측은 상기 안착플레이트(244)와 멀어지게 연장되어 상기 제2가이드(274)의 상방에 위치하는 고정브라켓(271)과, 상기 고정브라켓(271)에 나사결합되어 상하로 이동가능하게 된 높이조절용 로드(272)와, 상기 높이조절용 로드(272)의 하단을 일부를 회전가능하게 수용하는 수용부(273)와, 상기 수용부(273)의 하부에 결합되어 상기 제2가이드(274)에 구름접촉되면서 상기 제2가이드(274)를 따라 왕복 이동하는 바퀴부(275)를 포함한다.

상기 분배덕트(250)는 상기 유입구를 통해 상기 제1공간부(110)로 유입되는 공기가 상기 필터부(210)의 일 측으로만 편중되는 것을 방지하도록 상기 제1공간부(110)의 내측을 따라 설치되어 있다.

상기 분배덕트(250)는 제1공간부(110)로 유입되는 공기가 유입구와 인접한 위치에 배치된 카트리지 필터(211)를 통해서만 제2공간으로 유입되는 것을 방지하도록 유입구를 통해 제1공간부(110)로 유입되는 공기가 제1공간부(110)의 가장자리 영역을 따라 이동할 수 있도록 안내한다.

상기 분배덕트(250)는 상단부와 하단부가 캐비닛(100)의 내주면에 밀착고정되고, 상단부와 하단부 사이에는 공기가 이동할 수 있는 공기통로를 형성하도록 캐비닛(100)의 내주면과 이격되게 융기된 중앙부(255)를 가진다.

상기 분배덕트(250)의 길이방향 양측 단부는 각각 폐쇄되어 있으며, 상기 중앙부(255)에는 공기통로를 따라 이동하는 공기가 제1공간부(110)의 중앙 측을 향하도록 즉, 카트리지 필터(211)를 향하여 이동할 수 있도록 관통된 배출구멍(256)들이 길이방향을 따라 소정간격 이격되게 형성되어 있다.

상기 제2집진유닛(300)은 상기 캐비닛(100)의 상부에 설치되며, 상기 제3공간부(150)를 통과하는 공기에 포함된 이물질을 대전시키는 방전극과 대전된 이물질을 포집하는 집진극을 구비하는 전기집진부(320)를 포함한다.

상기 전기집진부(320)는 캐비닛(100)의 상부에 결합된 케이스(310) 내부에 설치되어 있으며, 상기 케이스(310)는 하부로부터 전치필터(321)를 장착하기 위한 제1장착공간과, 제1장착공간의 상측에 이온화장치(322)를 장착하기 위한 제2장착공간과, 제2장착공간의 상측에 상기 전기집진부(320)를 장착하기 위한 제3장착공간이 순차적으로 형성되어 있다. 상기 제1장착공간 내지 제3장착공간들은 서로 연통되게 형성되어 있어 제3공간부(150)로부터 유입되는 공기가 제1장착공간을 경유하여 제2장착공간 및 제3장착공간으로 이동할 수 있게 되어 있다.

상기 케이스(310)의 전면에는 제1장착공간 내지 제2장착공간을 모두 개폐할 수 있도록 도어부가 형성되어 있다. 본 실시 예에서 상기 케이스(310)는 캐니빗과 일체로 형성한 구조를 적용하였으나, 이와 다르게 캐비닛(100)으로부터 분리 내지는 결합시킬 수 있도록 캐비닛(100)과 독립적으로 구성할 수도 있다.

상기 전치필터(321)는 상기 전기집진부(320)의 하방에 설치되어 비교적 입자가 큰 먼지나 에어로졸을 포집하는 것으로서, 제1장착공간에 입출가능하게 설치되어 있다. 상기 전치필터(321)는 상하를 관통하는 다수의 관통구멍들이 전 영역에 형성되되, 가장자리로부터 내측 중앙을 향하여 점진적으로 직경이 작아지도록 형성된 지지판(321a)과, 지지판(321a)의 일 면에 결합되는 망 형상의 메시부(321b)를 포함한다.

상기 이온화장치(322)는 공기중의 입자를 중성화시켜 정전기를 방지하는 것으로서 전치필터(321)를 통과하여 전기집진부(320)로 흘러들어가는 공기 중의 입자들을 중성화시키며, 제2장착공간에 출입가능하게 설치되어 있으며,

상기 전기집진부(320)는 제3장착공간에 출입가능하게 설치되어 있으며, 방전극과 집진극을 구비하여 방전극을 통해서는 코로나 방전을 통해 공기 중의 입자를 대전시키고 집진극을 통해서는 대전된 입자를 포집하는 통상적인 전기집진기의 구조를 적용하므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.

한편, 도 7 및 도 8에는 도 4에서 설명한 제2출입지지부의 다른 실시 예가 도시되어 있다.

도 7 및 도 8을 참조하면, 본 실시 예에 따른 제2출입지지부(280)는 안착플레이트(244)의 가장자리 측에 형성된 관통구멍(244A)에 설치되어 상기 안착플레이트(244)를 제2격벽(140)에 대하여 밀착 또는 상방으로 들어올림으로써 제2격벽(140)을 따라 이동시킬 수 있게 지지하는 것으로서, 관통구멍(244A)의 상측에 설치되어 관통구멍(244A)을 폐쇄하며 중앙에 중공이 형성된 원판부(281)와, 상기 원판부(281)의 중앙에 결합되는 너트부재(283)와, 상기 너트부재(283)에 나사체결되는 로드(285) 및 상기 로드(285)를 회전시키도록 상기 로드(285)의 상단에 결합되는 노브(287)와, 상기 로드(285)의 하단에 결합되는 볼캐스터(289)를 포함하여 구성되어 있다.

본 실시 예에 따른 제2출입지지부(280)는 도 4에 도시된 제2출입지지부(270)와 다르게 제2가이드(274)를 생략한 구조이며, 볼캐스터(289)를 이용하여 안착플레이트(244)를 쉽게 이동시킬 수 있도록 되어 있다.

상기 제2출입지지부(280)는 작업자가 노브(287)를 잡고 볼캐스터(289)가 제2격벽(140)의 상면으로부터 이격되게 로드(285)를 상승시키는 경우 안착플레이트(244)가 제2격벽(140) 상에 밀착되면서 이동 불가능하게 되고, 볼캐스터(289)를 제2격벽(140)의 상면에 닿도록 로드(285)를 하강시키는 경우 안착플레이트(244)가 볼캐스터(289)에 의해 제2격벽(140)과 이격되면서 볼캐스터(289)에 의해 슬라이딩 이동가능한 상태가 되는 것이다.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 융합집진기는 도면에 도시된 일 예를 참조하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호의 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

100 : 캐비닛
110 : 제1공간부
120 : 제1격벽
130 : 제2공간부
140 : 제2격벽
150 : 제3공간부
200 : 제1집진유닛
210 : 필터부
220 : 분사부
230 : 수거부
240 : 송풍부
2550 : 분배덕트
260 : 제1출입지지부
300 : 제2집진유닛
310 : 케이스
320 : 전기집진부
321 : 전치필터

Claims

내부에 공간부가 형성되고, 상기 공간부를 하부로부터 제1공간부와 제2공간부와 제3공간부로 각각 구획하는 제1격벽과 제2격벽을 구비하는 캐비닛과;
상기 제1공간부에 설치되어 상기 제1공간부로 유입되는 공기에 포함된 이물질을 필터링하는 필터부와, 상기 제1공간부 상측의 상기 제2공간부에 설치되어 상기 필터부를 향하여 고압의 공기를 분사하여 상기 필터부에 잔재하는 이물질을 제거하는 분사부와, 상기 필터부의 하부에 배치되어 상기 분사부에 의해 상기 필터부로부터 이탈되어 낙하하는 이물질을 수거하는 수거부와, 상기 제2공간부 상측의 상기 제3공간부에 설치되어 상기 공간부 외부의 공기를 상기 공간부 내부로 유입시키도록 흡입력을 제공하는 송풍부를 포함하는 제1집진유닛과;
상기 캐비닛의 상부에 설치되며, 상기 제3공간부를 통과하는 공기에 포함된 이물질을 대전시키는 방전극과 대전된 이물질을 포집하는 집진극을 포함하는 제2집진유닛;을 구비하고,
상기 캐비닛의 일 측 하부에는 외부 공기를 상기 제1공간부로 유입시킬 수 있도록 개방된 유입구가 형성되고, 상기 제1공간부와 대응하는 상기 캐비닛의 일 면에 제1개구부가 형성되며, 상기 제3공간부와 대응하는 상기 캐비닛의 일 면에 제3개구부가 형성되며,
상기 제1개구부에는 상기 제1공간부를 개폐할 수 있도록 제1개폐도어가 설치되고, 상기 제3개구부에는 상기 제3공간부를 개폐할 수 있도록 제3개폐도어가 설치되며,
상기 제1집진유닛은 상기 유입구를 통해 상기 제1공간부로 유입되는 공기가 상기 필터부의 일 측으로만 편중되는 것을 방지하도록 상기 제1공간부의 내측을 따라 설치된 분배덕트와, 상기 필터부를 상기 제1격벽에 대하여 지지 및 상기 제1개구부를 통해 출입시킬 수 있도록 상기 제1격벽에 설치되는 제1출입지지부와, 상기 송풍부를 상기 제2격벽에 대하여 지지 및 상기 제3개구부를 통해 출입시킬 수 있도록 상기 제2격벽에 설치되는 제2출입지지부를 더 구비하고,
상기 분배덕트는 상단부와 하단부가 캐비닛의 내주면에 밀착고정되고, 길이방향 양측 단부는 각각 폐쇄되며, 상단부와 하단부 사이에는 공기가 이동할 수 있는 공기통로를 형성하도록 캐비닛의 내주면과 이격되게 융기된 중앙부가 형성되고, 상기 중앙부에는 공기통로를 따라 이동하는 공기가 제1공간부의 중앙 측을 향하도록 배출구멍들이 길이방향을 따라 소정간격 이격되게 형성되며,
상기 제1출입지지부는 상기 제1격벽의 저면에 설치된 제1가이드와, 상기 제1가이드를 따라 이동할 수 있도록 필터부의 지지플레이트에 형성된 걸림부를 포함하고, 상기 제1가이드는 상기 필터부를 인출시킬 때, 하방으로 경사지게 인출시킬 수 있도록 캐비닛의 내부로부터 캐비닛의 전면을 향하여 경사지게 형성되며,
상기 제2출입지지부는 상기 제2격벽 상에 캐비닛의 전면으로부터 후면을 향하여 연장된 제2가이드와, 일 측이 송풍부의 안착플레이트에 고정되고 타 측이 상기 제2가이드의 상방에 위치하는 고정브라켓과, 상기 고정브라켓에 나사결합되어 상하로 이동가능하게 된 높이조절용 로드와, 상기 높이조절용 로드의 하단 일부를 회전가능하게 수용하는 수용부와, 상기 수용부의 하부에 결합되어 상기 제2가이드에 구름접촉되면서 상기 제2가이드를 따라 왕복 이동하는 바퀴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 융합집진기.
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제1항에 있어서,
상기 송풍부는 상기 제3공간부로 유입되는 공기가 상기 제3공간부의 일 측으로만 편중되는 것을 방지하도록 상기 제2공간부로부터 이동하는 공기를 상기 제3공간부 전역으로 분산되게 배출시키는 분산덕트를 포함하는 것을 특징으로 하는 융합집진기.
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