KR200442082Y1 - 팬 필터 유닛 - Google Patents

Abstract

본 고안은 팬 필터 유닛에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 컨베이어를 구비한 작업대에 장착되어 이송되는 작업대상물의 흡착 먼지를 제거하고 정전기를 중화·억제하기 위하여, 전면의 상단부에 지면과 평행하게 토출구가 관통 형성되고, 상기 토출구 하부측에 흡입창이 절개 형성되며, 상기 흡입창에서 토출구측까지 유로를 형성하되, 상기 유로는 지면과 수직을 이루며 적어도 하나 이상 장착되는 유도판에 의하여 복수개의 섹션으로 분할되고, 상기 작업대에 탈착 가능하게 결합되는 하우징; 상기 흡입창에 탈착 가능하게 결합되는 필터; 상기 필터 후방측의 하우징에 내장되는 것으로, 상기 섹션에 대응하는 위치에 각각 장착되는 흡입팬; 상기 유로의 토출구측에 장착되는 것으로, 양, 음이온이 각각 배출되는 바를 교대로 배치한 이온바; 상기 하우징 전면의 토출구와 흡입창 사이에 장착되는 것으로, 전원의 온/오프, 흡입팬과 이온바의 가동을 제어하는 컨트롤 패널;을 포함하는 것을 기술적 요지로 하여 제조 라인의 증감 배치가 보다 용이하게 이루어지도록 함은 물론 토출되는 풍량의 균등하고 정밀한 제어가 가능한 팬 필터 유닛 팬 필터 유닛에 관한 것이다.

팬 필터 유닛, 하우징, 필터, 흡입팬, 이온바, 컨트롤 패널

Description

팬 필터 유닛{Fan filter unit}

도 1은 종래 팬 필터 유닛의 전체적인 구성을 나타낸 단면 개념도

도 2는 본 고안에 따른 팬 필터 유닛의 일 실시예를 나타낸 개념도

도 3은 도 2의 A 시점에서 바라본 측면 개념도

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

100...팬 필터 유닛 110...하우징

120...필터 130...흡입팬

140...이온바 150...컨트롤 패널

본 고안은 팬 필터 유닛에 관한 것으로, 보다 상세히는 하우징을 컴팩트화하여 컨베이어가 구비된 작업대에 간단히 탈착 결합시키는 구조를 채택함으로써 작업대상물의 정전기 방지와 먼지 제거 및 제조 라인의 용이한 증감 배치가 가능함은 물론 토출되는 풍량의 균등하고 정밀한 제어가 가능한 팬 필터 유닛에 관한 것이다.

통상, 고정밀도를 요하는 반도체 및 TFT-LCD 패널의 제조공정 상, 작업자의 동작으로 끊임없이 발산되는 먼지를 신속히 제거하며, 먼지가 작업대상물 표면에 묻지 않으면서도, 작업대상물 표면에 발생되는 정전기 발생을 억제하는 것은 매우 중요한 문제이다.

상기와 같은 관점에서 도 1에 도시된 바와 같이, 특허출원 제10-2004-0079374호의 '이온바가 부착된 클린룸용 팬 필터 유닛'(이하 '선행기술')과 같은 것을 들 수 있으며, 상기 선행기술은 도 1과 같이 송풍부(10), 덕트부(20), 토출부(30), 이송부(40) 및 제어부(50)로 이루어진 구성이다.

도 1에서 미설명 부호로 60은 작업등을 나타낸다.

여기서, 상기 이송부(40)는 수 미터 내지는 수십 미터까지 연장 형성된 컨베이어 라인으로 대체가능하며, 상기 컨베이어 라인 일측을 따라 상기 선행기술이 복수대로 장착되는 것이다.

그러나, 상기 선행기술은 컨베이어 라인 일측을 대부분 차지하는 문제점으로 인하여 대형화 추세의 TFT-LCD 패널과 같은 작업대상물의 운반시 컨베이어 라인 양측에서 운반하는 것 자체가 힘든 문제점이 있었다.

그리고, 상기 선행기술은 컨베이어 라인 상부측으로 상당 높이 토출부(30)가 돌출 형성되어 있으므로, 작업자는 시각적으로 답답함을 느끼게 되어 쾌적한 분위기의 작업이 힘든 문제점도 있었다.

그리고, 상기 선행기술은 컨베이어 라인 일측을 일정 높이로 가리는 관계로 현장 관리자가 각 제조 라인의 이상 발생 유무를 즉각 확인하는 것이 불가능한 문제점도 있었다.

또한, 상기 토출부(30)가 이송부(40)로부터 이격되어 있어 상기 토출부(30)에서의 토출 풍속이 감쇄되는 문제점으로 인하여 작업대상물 상의 무거운 이물질 제거가 제대로 이루어지지 못하는 문제점이 있었다.

특히, 상기 선행기술은 토출되는 바람의 풍량을 토출부(30) 전체에 걸쳐 균일하게 제어하는 것이 불가능한 문제점 또한 있었다.

본 고안은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 작업 공간의 효율적인 운용이 가능하며 제조 라인의 증감 배치가 보다 용이하도록 함은 물론 토출되는 풍량의 균등하고 정밀한 제어가 가능한 팬 필터 유닛을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 작업대에 구비된 컨베이어 상에서 이송되는 작업대상물의 흡착 먼지를 제거하고 정전기를 중화·억제하는 클린룸용의 팬 필터 유닛에 있어서, 전면의 상단부에 지면과 평행하게 토출구가 관통 형성되고, 상기 토출구 하부측에 흡입창이 절개 형성되며, 상기 흡입창에서 토출구측까지 유로를 형성하되, 상기 유로는 지면과 수직을 이루며 적어도 하나 이상 장착되는 유도판에 의하여 복수개의 섹션으로 분할되고, 상기 작업대(T)에 탈착 가능하게 결합되는 하우징; 상기 흡입창에 탈착 가능하게 결합되는 필터; 상기 필터 후방측의 하우징에 내장되는 것으로, 상기 섹션에 대응하는 위치에 각각 장착되는 흡입팬; 상기 유로의 토출구측에 장착되는 것으로, 양, 음이온이 각각 배출되는 바를 교대로 배치한 이온바; 상기 하우징 전면의 토출구와 흡입창 사이에 장착되는 것으로, 전원의 온/오프, 흡입팬과 이온바의 가동을 제어하는 컨트롤 패널;을 포함하여 구성되어, 상기 토출구와 필터 사이에 상기 컨베이어가 위치하도록 작업대 일측에 장착되어지는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 토출구는 상기 하우징 전면의 상단부를 따라 연장 형성되며, 상기 토출구를 포함한 상기 하우징의 이온바 직상부는 상기 이온바 직하부와 분리되고 상호 탈착 결합되어 상기 토출구가 하우징 전면 또는 후면측을 향하게 장착 가능한 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 흡입팬은 각각 상기 섹션의 상, 하부측에 교대로 장착되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 섹션에는 별도로 구비된 소음진동 흡수재가 상기 섹션의 상부측에 배치된 흡입팬 하부에 장착되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 필터는 균등 분할한 상기 흡입창에 각각 장착되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참고로 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.

도 2는 본 고안에 따른 팬 필터 유닛의 일 실시예를 나타낸 개념도이며, 도 3은 도 2의 A 시점에서 바라본 측면 개념도이다.

참고로, 도 2(a)는 본 고안에 따른 팬 필터 유닛의 일 실시예에 있어서 정면도를, 도 2 (b)는 도 2(a)의 B 시점에서 바라본 평면 개념도이다.

도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 팬 필터 유닛(100)은 크게 작업대(T)에 탈착 결합되는 하우징(110), 상기 하우징(110)에 장착되는 필터(120), 상기 하우징(110)에 내장되는 흡입팬(130), 이온바(140) 및 상기 하우징(110)의 전면에 장착되는 컨트롤 패널(150)로 이루어진다.

도 2 및 도 3에서 미설명 부호로 R은 작업대(T) 상부면에 구비된 컨베이어(C)를 순환시키는 롤러를 나타낸다.

상기 하우징(110)은 전면의 상단부에 지면과 평행한 방향으로 토출구(112)가 슬릿 형상으로 관통 형성되며, 상기 토출구(112) 하부측에 후술할 필터(120)를 장착하게 되는 흡입창(114)을 절개 형성하고, 상기 흡입창(114)에서 토출구(112)측까지 도 3과 같은 유로(116)를 형성한 것이다.

여기서, 상기 유로(116)는 도 2(a)와 같이 지면과 수직을 이루며 도 2(b)에 도시된 바와 같이 적어도 하나 이상 장착되는 유도판(118)에 의하여 복수개의 섹션(122', 122", 122"', 122"")으로 분할되는 것이다.

상기 하우징(110)은 정사각형의 것으로 작업대(T)의 높이에 맞게 그 높이와 폭을 적절히 대응되게 제작할 수 있으며, 두께는 불필요한 구성부품의 내장이 필요없으므로 되도록 얇게, 바람직하게는 10 내지 15cm 범위 내에서 제작되도록 할 수 있다.

여기서, 상기 토출구(112)는 지면과 평행한 방향으로 연장 형성되는 것이며, 바람직하게는 상하의 폭을 1 내지 3cm 범위 내에서 적절히 선택할 수 있고, 상기 토출구(112)는 10 내지 20cm 범위 내에서 컨베이어(C) 상부측에 위치하도록 적절히 그 높이를 조절할 수 있으며, 상기 컨베이어(C)는 토출구(112)와 필터(120) 사이에 위치되도록 한다.

이때, 상기 토출구(112)의 폭은 1cm 이하일 경우 정상적인 바람(W)의 토출이 이루어질 뿐 아니라, 하우징(110) 내부에서 흡입팬(130)에 과중한 부하가 걸리면서 고장의 원인이 될 수도 있으며, 폭이 3cm 이상일 경우, 토출구(112)에서 컨베이어(C)에 이르는 동안 토출되는 바람(W)의 풍속 손실이 발생할 수 있으므로, 상기 1 내지 3cm의 범위에서 형성되도록 하는 것이 바람직하다.

상기 토출구(112)의 위치인 컨베이어(C) 상부측 10 내지 20cm의 범위는 다양한 작업자의 하반신 길이에 대응 가능한 범위이며, 작업대(T)가 작업자의 허리높이임을 감안할 때 작업자의 명치에서 허리 사이의 범위에 상기 토출구(112)가 위치되도록 함으로써 토출되는 바람(W)으로 인한 콜트드래프트와 같은 불쾌감이 없도록 한 범위인 것이다.

그리고, 상기 토출구(112)의 높이는 최근 PDP TV의 패널과 TFT-LCD 패널 등과 같은 대형화 추세의 작업대상물의 운반에 지장이 없을 뿐 아니라 컨베이어(C) 양측에서 작업자가 위치하여 운반하기에도 무리가 없을 정도의 높이라 할 수 있다.

이때, 상기 토출구(112)에는 상기 토출구(112)의 내측 또는 외측에 길이방향을 따라 가이드 밴(미도시)을 복수개 장착하여 상기 토출구(112)로부터 토출되는 바람(W)의 토출 방향을 상하 및 좌우로 조절하는 변형 및 응용 또한 가능하다.

상기 필터(120)는 상기 흡입창(114)에 탈착 가능하게 결합되는 것으로, 이를 위하여 상기 흡입창(114) 가장자리를 따라 하우징(110) 내측에 가이드 레일(115)이 형성되어, 상기 가이드 레일(115)을 따라 상기 필터(120)가 결합되는 것이다.

여기서, 상기 필터(120)는 ULPA(Ultra Low Penetration Air) 필터 또는 HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터 중에서 작업 환경 및 비용 등 여러 가지 여건에 따라 선택적으로 택일하여 사용할 수 있다.

이때, 상기 필터(120)는 토출구(112) 하부측에 일체로 절개 형성된 흡입창(114)에 단일 장착되도록 할 수 있음은 물론, 교체 및 청소의 편의를 위하여 도시된 바와 같이 복수개로 균등 분할되어 형성된 흡입창(114)에 각각 장착하는 것도 가능하며, 본 발명에서는 도 2 및 도 3에 도시된 일 실시예를 위주로 설명하기로 한다.

또한, 상기 필터(120)는 특별히 도시되지는 않았으나, 하우징(110) 전면에 걸쳐 상기 필터(120)를 외부 충격으로부터 보호하기 위한 보호 그릴을 장착하고, 상기 하우징(110) 후면에는 교체를 위한 커버를 탈착가능하게 결합시키는 등의 변형 및 응용이 가능함은 물론이다.

한편, 상기 흡입팬(130)은 상기 필터(120) 후방측의 하우징(110)에 내장되는 것으로 상기 각 섹션(122', 122", 122"', 122"")에 대응하는 위치에 각각 한 대씩 장착되어지되, 각각 상기 각 섹션(122', 122", 122"', 122"")의 상, 하부측에 교대로 장착되게 된다.

상기 흡입팬(130)은 40db 이하의 저소음에 경량이면서도 흡입 풍량이 큰 소형의 것을 선택하도록 하며, 흡입팬(130)에서 흡입된 작업장 내 공기는 필터(120)에 의하여 집진 여과후 하우징(110) 내로 유입되어 유로(116)를 통하여 토출 구(112)로 배출하는 역할을 하게 된다.

여기서, 상기 흡입팬(130)은 도 3과 같이 흡입팬(130)에 의하여 토출구(112)로 토출되는 바람(W)의 풍속이 상기 토출구(112)에서 1m 거리에서 0.5m/s 내지 1.5m/s 범위를 유지할 수 있는 정도의 토출력을 지니는 것이 장착되도록 한다.

이때, 상기 토출구(112)로부터의 풍속은 아래의 표 1과 같이 시점인 토출측에서 종점인 컨베이어까지의 거리가 멀어 종점에서의 풍속이 시점의 27%(손실률 73%)에 불과한 상기 선행기술에 비하여 그 풍속의 손실률이 4.2% 정도에 불과한 것으로 실험결과 나타났다.

참고로, 표 1 상의 거리(m)는 토출구(112)로부터 도 3에 도시된 컨베이어(C) 좌측에서 우측에 이르는 거리, 즉 컨베이어(C)의 폭을 말하며, 상기 컨베이어(C)의 폭은 1m로 가정한 것이다.

(표 1)

거리(m)	0.1	0.2	0.3	0.4	0.5	0.6	0.7	0.8	0.9	1.0
풍속(m/s)	1.45	1.44	1.43	1.43	1.42	1.41	1.41	1.40	1.39	1.39

여기서, 본 고안이 상기 표 1과 같은 실험 데이터의 획득이 가능한 것은 복수개의 상기 각 섹션(122', 122", 122"', 122"")을 구획하는 유도판(118)과, 상기 각 섹션(122', 122", 122"', 122"")당 각각 상, 하부측에 교대로 장착된 흡입팬(130)과, 폭이 좁고 긴 토출구(112)의 구조 및 상기 선행기술에 비해 상대적으로 짧은 상기 토출구(112)와 컨베이어(C) 사이의 거리에 기인한 것이라 할 수 있다.

즉, 토출구(112)로부터의 토출 풍속은 상기 유도판(118) 없이 필터(120) 후방, 즉 하우징(110) 후면의 중앙부에 단일의 흡입팬(130)을 내장한 경우와, 유도 판(118)이 복수개 형성된 경우와 판이하게 다르게 나타남으로써 확인할 수 있는 것이다.

다시말해, 상기 하우징(110) 내에 단일의 흡입팬(130)이 장착된 경우는 토출되는 바람(W)의 풍속이 토출구(112) 중앙부를 기준으로 좌, 우 양측으로 갈수록 느려져 균일한 토출 풍속의 도모가 힘들어지게 된다.

이에 반해, 복수개의 유도판(118)에 의하여 생성된 섹션(122', 122", 122"', 122"") 각각에 흡입팬(130)이 장착된 경우는 토출구(112) 전체에 걸쳐 상기 섹션(122', 122", 122"', 122"")당 흡입팬(130) 각각에 의한 섹션별 흡입 토출이 이루어지게 되어 풍속의 손실없이 균등한 풍속으로 바람(W)을 토출할 수 있게 된다.

따라서, 상기 유로(116)의 섹션 수를 많이 나눌수록 해당 섹션의 상, 하부에 교대로 장착되는 흡입팬(130)의 개수 또한 늘어나게 되어 나뉜 섹션별로 각 흡입팬(130)들에 의한 보다 정밀하고 균일한 흡입 풍량의 제어가 가능하게 되는 것이다.

그리고, 상기 섹션(122', 122", 122"', 122"") 중 상기 흡입팬(130)이 상부측에 장착된 섹션(122', 122"")에는 도 3과 같이 필터(120) 후방측 또는 상기 섹션(122', 122"")에 대응하는 위치의 흡입팬(130) 주변에 소음진동 흡수재(160)를 부가적으로 장착하는 응용 또한 가능함은 물론이다.

상기 소음진동 흡수재(160)는 상기 흡입팬(130)이 저소음임에도 불구하고 미약하게나마 가동시 발생하는 소음을 차단함은 물론 상기 흡입팬(130)의 가동시 발생하는 진동 또한 차단되도록 하는 역할을 하게 된다.

한편, 상기 이온바(140)는 도 3과 같이 양이온과 음이온이 각각 배출되는 바(142, 142')를 교대로 상기 토출구(112)의 형성방향을 따라 배치한 것으로 상기 유로(116)의 토출구(112)측에 장착되는 것이다.

상기 이온바(140)에 관하여는 상기 선행기술의 내용과 대동소이한 관계로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

한편, 상기 컨트롤 패널(150)은 상기 하우징(110) 일측에 장착되며, 더욱 상세히는 사용자의 조작 편의와 직관적인 판단이 가능하도록 상기 컨베이어(C) 상부측에 노출되는 정도의 위치에 장착되도록 한다.

상기 컨트롤 패널(150)에서는 전원의 온/오프 동작을 수행하며, 흡입팬(130)의 회전수 제어 및 이온바(140)의 양, 음이온 밸런스 조작 등을 제어하게 된다.

또한, 상기 컨트롤 패널(150)에서는 상기 흡입팬(130) 및 이온바(140)의 정상작동 유무를 판단하는 표시등을 부가적으로 장착하여 전기적 결선의 문제나 상기 각 구성부(130, 140)의 이상작동 또는 정지시 점멸하는 등의 방법으로 작업자에 알려주는 방법 또한 실시할 수 있음은 물론이다.

상기와 같은 구성의 팬 필터 유닛(100)은 하우징(110)을 상기 작업대(T)에 고정쇠와 볼트 너트 조합에 의한 별도의 고정구(미도시)로 용이하게 탈착 결합이 가능하게 된다.

또한 본 고안은 별도로 도시하지는 않았으나, 상기 토출구(112)를 포함한 하우징(110)의 상단부를 이온바(140)를 기준으로 하여 상기 이온바(140)의 직상부에서 하우징(110)의 나머지 하부와 분리하고 상호 탈착 결합되도록 하는 것이 가능하 다.

즉, 본 고안은 상기와 같은 구조에 의하여 토출구(112)가 하우징(110)의 전면측 또는 후면측을 향하도록 장착할 수 있게 되므로, 팬 필터 유닛(100)의 설치 환경에 따라 클린룸 작업장 내 뿐 아니라, 창문에 장착하여 사용하는 공기청정기 의 역할 또한 가능하게 되는 것이다.

따라서, 사용자는 필터(120)가 장착된 상기 하우징(110) 전면이 창문측에 장착되도록 하고 토출구(112)는 실내측을 향하도록 장착함으로써 봄, 가을의 황사 또는 유해 먼지가 많은 실외공기를 여과하여 유입시킬 필요가 있는 공간에 유용하게 사용 가능하게 된다.

이상과 같은 구성의 본 고안에 따른 팬 필터 유닛의 작동 과정을 간략히 설명하면 다음과 같다.

우선, 작업자는 컨베이어(C) 상에서 이송되는 작업대상물(미도시) 표면의 흡착먼지 제거와 정전기 방지를 위하여 팬 필터 유닛(100)의 컨트롤 패널(150)을 조작하여 전원을 켜고, 흡입팬(130) 및 이온바(140)를 가동시키게 된다.

최종적으로, 상기 팬 필터 유닛(100)의 흡입팬(130)은 작업장 내의 공기를 하우징(110) 내로 흡입하여 필터(120)로 집진 여과 후, 유도판(118)에 의하여 복수개의 섹션(122', 122", 122"', 122"")으로 분할된 유로(116)를 통하여 이온바(140)를 거쳐 중화된 상태로 유로(112)로부터 바람(W)을 토출시키는 것이다.

상기와 같은 구성의 본 고안은 작업 공간의 효율적인 운용이 가능하며 제조 라인의 증감 배치가 보다 용이하도록 한 팬 필터 유닛을 제공하는 것을 그 기본적 인 기술적 사상으로 하고 있음을 알 수 있다.

그리고, 본 고안의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서 당해 업계 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 클린룸과 같은 특수한 작업장 뿐 아니라, 미세먼지에 노출되어 환기에 어려움을 겪는 일반 초고층 아파트 등과 같은 실내 거주공간 또는 공기 청정이 필요한 사무실 등에서도 다양하게 활용이 가능하게 되는 등 다른 많은 변형 및 응용이 가능함은 물론이다.

이상과 같은 구성의 본 고안에 따르면 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.

우선, 유로를 유도판에 의하여 복수개의 섹션으로 분할하고, 상기 섹션 당 각각 흡입팬을 장착한 구성을 채택함으로써 토출 풍속의 손실없는 균등한 풍량 제어가 가능함은 물론, 토출구와 컨베이어까지의 거리가 멀어 토출 풍속의 손실에 따른 원활한 흡착 먼지 제거에 어려움이 있던 선행기술에 비하여, 컨베이어 직상부에 위치한 폭이 좁고 길이가 긴 형상의 토출구로부터 바람을 토출하는 구조를 채택함으로써 흡착 먼지에 의한 작업대상물의 불량률을 대폭 저감시켜 경제적 손실을 극소화하는 특장점이 있다.

그리고, 토출구가 하우징 전면 또는 후면측을 향하도록 탈착 결합되는 구조를 채택함으로써 클린룸과 같은 작업장뿐 아니라 유해먼지에 노출될 우려가 다분한 지역의 주거 및 사무 공간 내의 공기청정기 용도로도 사용할 수 있어 폭넓은 운용이 가능하며 사용자의 건강까지 고려한 측면에서 효용가치가 높다.

그리고, 작업자 일인이 용이하게 운반하여 작업대 등에 간편히 탈착 결합시 켜 설치후 사용 가능한 구조를 채택하였으므로, 장치의 컴팩트화 구현을 통한 제조 라인의 증감 배치가 보다 용이한 특장점이 있다.

그리고, 컨베이어 라인 일측의 공간을 대부분 차지하고 밀폐되면서 차단감을 주는 선행기술에 비하여 토출구가 작업자 허리 높이에 불과한 컨베이어 직상부에 위치하여 대형화 추세의 작업대상물의 운반이 컨베이어 양측에서 이루어지므로 작업 효율의 대폭적인 향상과 함께 생산성 향상의 이점이 있다.

그리고, 컨베이어 상에서 돌출되는 부분이 거의 미미하며 설치공간을 거의 차지하지 않는 이점으로 인하여 작업장 내의 시야 확보가 가능하여 밀폐감없이 쾌적한 상태로 작업에 임할 수 있음은 물론, 작업관리자의 경우 컨베이어 라인의 이상 발생 또는 작업자의 상태를 전체적으로 조망할 수 있게 된다는 점에서 작업자, 즉 수요자의 요구에 적극적으로 부응할 수 있는 이점이 있다.

또한, 작업자의 얼굴 높이에서 토출되는 바람으로 인한 콜드드래프트와 같은 불쾌감없이 작업자의 허리 부근의 높이에서 바람이 토출되는 토출구가 구비된 구조를 채택함으로써 쾌적한 작업환경의 조성이 가능하게 되는 등 매우 유용한 고안인 것이다.

Claims (5)

1. 삭제
2. 하우징(110) 전면의 상단부에 토출구(112), 하부측에 흡입창(114)과 상기 흡입창에서 토출구까지 유로(116)를 형성하고,

   상기 흡입창에는 탈착 가능하게 결합되는 필터(120)와 후방측에 흡입팬(130)을 구성하고,

   상기 토출구에는 양, 음이온이 각각 배출되는 바(142, 142')를 교대로 배치한 이온바(140)를 구성하여,

   전원 온/오프, 흡입팬과 이온바를 컨트롤 패널(150)에 의해 제어하면서 작업대에 구비된 컨베이어 상에서 이송되는 작업대상물의 흡착 먼지를 제거하고 정전기를 중화·억제하는 클린룸용의 팬 필터 유닛에 있어서,

   상기 하우징(110)의 토출구(112)는 지면과 평행하게 관통 형성되고,

   상기 흡입창(114)에서 토출구(112)까지 형성되는 유로(116)는 지면과 수직으로 적어도 하나 이상 장착되는 유도판(118)에 의하여 복수개의 섹션으로 분할 구성되어 각 섹션에 대응하는 위치로 각각 흡입팬(130)을 장착 구성하되,

   상기 하우징(110)은 토출구를 포함한 이온바(140) 직상부를 이온바 직하부와 분리 형성하여 상호 탈착 가능케 결합 구성하여서 상기 토출구가 하우징 전면 또는 후면측을 향하게 장착 가능한 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛.
3. 하우징(110) 전면의 상단부에 토출구(112), 하부측에 흡입창(114)과 상기 흡입창에서 토출구까지 유로(116)를 형성하고,

   상기 흡입창에는 탈착 가능하게 결합되는 필터(120)와 후방측에 흡입팬(130)을 구성하고,

   상기 토출구에는 양, 음이온이 각각 배출되는 바(142, 142')를 교대로 배치한 이온바(140)를 구성하여,

   전원 온/오프, 흡입팬과 이온바를 컨트롤 패널(150)에 의해 제어하면서 작업대에 구비된 컨베이어 상에서 이송되는 작업대상물의 흡착 먼지를 제거하고 정전기를 중화·억제하는 클린룸용의 팬 필터 유닛에 있어서,

   상기 하우징(110)의 토출구(112)는 지면과 평행하게 관통 형성되고,

   상기 흡입창(114)에서 토출구(112)까지 형성되는 유로(116)는 지면과 수직으로 적어도 하나 이상 장착되는 유도판(118)에 의하여 복수개의 섹션으로 분할 구성되어 각 섹션에 대응하는 위치로 각각 흡입팬(130)을 장착 구성하되,

   상기 흡입팬(130)은 각 섹션의 상, 하부측에 교대로 장착되는 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서,

   상기 각 섹션에는 별도 구비된 소음진동 흡수재(160)가 섹션의 상부측에 배치된 흡입팬 하부에 장착되는 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛.
5. 제2항 또는 제3항에 있어서,

   상기 필터(120)는 균등 분할한 상기 흡입창에 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛.

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