CN215113860U - 一种高温烧结炉进气循环结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种高温烧结炉进气循环结构，包括烧结炉，烧结炉内左右两侧设有加热管，烧结炉内左右两侧底端设有进气管，进气管内端表面通过切割表皮形成进气孔，烧结炉底端设有架空放置机构，靶材放置在架空放置机构上，烧结炉顶端设有排气管，烧结炉内中间设有旋流机构。通过设置进气管从两侧进行气体通入，在进气管上切割形成进气孔，使气体多方位通入，旋流机构带动气体运动，使气体从外侧向中间形成气体旋涡，气体旋流使与产品充分均匀接触，减少产品差异，提高产品质量。

Description

一种高温烧结炉进气循环结构

技术领域

本实用新型涉及靶材生产设备领域，尤其涉及一种高温烧结炉进气循环结构。

背景技术

随着科技的迅速发展，电子行业在市场中占据巨大的份额，电子行业市场中很多电子产品都用到了平面显示器，例如平面显示器、液晶电脑、液晶电视等等。ITO靶材是三氧化二铟和二氧化锡的混合物，是ITO薄膜制备的重要原料，ITO靶材因其具有较高的耐热冲击性能、导热率和机械强度，并且电阻率较低，还能够提高电子产品的使用寿命，因此作为主要材料应用于平面液晶显示器的制造，在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。ITO靶材坯体制备成型后需要经过烧结才能作为基础材料生产电子产品。

专利号CN112512728A公开了一种双向气氛控制工艺及双向气氛烧结炉，通过正向进气管和逆向进气管分别向烧结室内通入气体，在通过方向抽真空的形式使气体流动，通过双向气氛控制，使气氛流动完全，但是通过抽真空的形式，气流会随抽真空的方向快速流动，容易导致中间部位与气氛接触不完全，容易导致中间区域与外部区域产品产生差异，影响产品质量，因此解决这个问题就变得很重要了。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高温烧结炉进气循环结构，通过在左右两侧设有进气管从两侧进行气体通入，再通过在进气管上切割形成进气孔，使进气管上增加一个向上的通气口向上进行通气，原始的通气口横向通气，电机通过转动轴带动扇叶转动，使气体从外侧向中间形成气体旋涡，气体旋流使与产品充分均匀接触，减少产品差异，从而提高产品质量。

本实用新型提供一种高温烧结炉进气循环结构，包括烧结炉，烧结炉内左右两侧设有加热管，烧结炉内左右两侧底端设有进气管，进气管内端表面通过切割表皮形成进气孔，烧结炉底端设有放置板，放置板上下对称设置的上放置板和下放置板组成，靶材放置在上放置板上，上放置板和下放置板之间设有架空支架，上放置板表面设有通气孔，烧结炉顶端设有排气管，烧结炉内中间顶端设有转动轴，转动轴上端伸出烧结炉连接有电机，转动轴下端表面设有扇叶。

进一步改进在于，下放置板表面设有导向块，导向块设有不止一个，导向块左右两侧为斜坡结构，导向块从两侧到中间高度逐渐增高。

进一步改进在于：扇叶表面采用螺旋结构，转动轴和扇叶都采用耐高温材料。

进一步改进在于：烧结炉内顶端设有导向板，导向板下端向中间倾斜设置。

进一步改进在于：所述进气管表面切割的表皮通过可调节固定杆固定形成导向片。

本实用新型的有益效果：通过从左右两侧设置进气管向烧结室内通入气体，同时进气管上切割形成进气孔，使进气管可以横向和纵向多方位向烧结室内通入气体，使气体通入分布更加广泛，通过一根进气管实现多方位的气体同时，使气体分别与靶材的内侧表面和外侧表面分别的充分接触；横向通入的气体进行架空支架内流动，导向块对流动的气体进行导向，使气体导向通过通气孔进行靶材内部，与靶材内表面接触；纵向通入的气体向上流动，导向片对气体流动方向进行导向，使气体快速与靶材外表面接触，烧结室内中间通过电机带动扇叶转动，使分布在外侧的气体随扇叶旋转方向向中间旋转流动，使气体分布更加均匀，气体在旋转流动的过程中充分与靶材接触，减少产品之间的差异，提高产品的质量。

附图说明

图1是本实用新型的主视结构图。

图2是进气管结构示意图。

其中：1-烧结炉，2-加热管，3-进气管，4-进气孔，5-放置板，51-上放置板，52-下放置板，6-架空支架，7-通气孔，8-排气管，9-转动轴，10-电机，11-扇叶，12-导向块，13-导向板，14-固定杆，15-导向片。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

如图1-2所示，本实施例提供一种高温烧结炉进气循环结构，包括烧结炉1，烧结炉1内左右两侧设有加热管2，加热管对烧结炉1内进行加热，烧结炉1内左右两侧底端设有进气管3，通过进气管3向烧结炉1 内通入气体，进气管3内端表面通过切割表皮形成进气孔4，使进气管3通过不同方向向烧结炉1内通入气体，进气孔4向上通入气体，使气体快速与靶材外表面接触，进气管3出口横向通入气体，使气体快速与靶材内表面接触，从而使气体与靶材接触更加均匀更加全面；进气管3表面切割的表皮通过设置可调节固定杆14固定形成导向片15，导向片15对进气孔4中通入的气体进行导向，使气体可以快速与靶材表面接触，提高效率，固定杆14通过安装环固定安装在进气管上，固定杆和安装环转动连接，固定杆上端与导向片15固定连接，通过转动固定杆进行角度调节，从而调整导向片15的导向方向；烧结炉1底端设有放置板5，放置板5上下对称设置的上放置板51和下放置板52组成，靶材放置在上放置板51上，放置板5之间设有架空支架6，上放置板51表面设有通气孔7，通过架空支架6的设置便于气体在上放置板51和下放置板52之间流动，下放置板52表面设有导向块12，导向块12设有不止一个，导向块12左右两侧为斜坡结构，导向块12从两侧到中间高度逐渐增高，气体在放置板5之间流动时，通过上放置板51上的通气孔7流动进入靶材内部，与靶材内表面接触，从而使靶材内外侧与气体接触更加均匀，减少内外侧之间的差异，导向块12对气体流向进行导向，使气体快速沿导向块12斜坡方向通过通气孔7进入靶材内部，与靶材内表面接触；烧结炉1顶端设有排气管8，通过排气管8快速将烧结炉1内的废气排出；烧结炉1内中间顶端设有转动轴9，转动轴9上端伸出烧结炉连接有电机10，转动轴9下端表面设有扇叶11, 扇叶11表面采用螺旋结构，转动轴9和扇叶11都采用耐高温材料；转动轴9通过电机10作用带动扇叶11进行转动，通入的气体随扇叶11转动的方向向中间流动，气体形成气流旋随扇叶11旋转，使气体分布更加均匀。烧结炉1内顶端设有导向板13，导向板13下端向中间倾斜设置，气体在向中间旋流的过程中上升，上升的气流与导向板13接触，导向板13对上升的气流导向，使气流向下流动，向下流动的气体再与靶材表面接触，提高了靶材烧结的效果。

工作时，通过加热管2对烧结炉1内进行加热，进气管3向烧结炉1内通入气体，气体通过从进气孔4和进气管3出口多方位通入，进气孔4通入的气体随导向片15导向向上流动，电机10通过转动轴9带动扇叶11旋转，外侧的气体随扇叶11转动方向向中间旋转流动，使气体与外部和中间位置的靶材充分接触均匀；进气管3出口通入的气体进入架空支架6内，导向块12对气体的流向进行导向，使气体沿导向12块导向通过通气孔7进入靶材内部，与靶材内侧表面充分接触；通过上侧的气体与靶材外表面充分接触，下侧的气体进入靶材内部与靶材内表面充分接触，从而提高靶材内外质量的一致性，提高产品质量。

Claims (7)

1.一种高温烧结炉进气循环结构，包括烧结炉（1），烧结炉（1）内左右两侧设有加热管（2），其特征在于，烧结炉（1）内左右两侧底端设有进气管（3），进气管（3）内端表面通过切割表皮形成进气孔（4），烧结炉（1）底端设有架空放置机构，靶材放置在架空放置机构上，烧结炉（1）顶端设有排气管（8），烧结炉（1）内中间设有旋流机构。

2.如权利要求1所述的一种高温烧结炉进气循环结构，其特征在于：所述架空放置机构由上放置板（51）和下放置板（52）组成，上放置板（51）和下放置板（52）之间设有架空支架（6），上放置板（51）表面设有通气孔（7）。

3.如权利要求2所述的一种高温烧结炉进气循环结构，其特征在于： 下放置板（52）表面设有导向块（12），导向块（12）设有不止一个，导向块（12）左右两侧为斜坡结构，导向块（12）从两侧到中间高度逐渐增高。

4.如权利要求1所述的一种高温烧结炉进气循环结构，其特征在于：所述旋流机构包括转动轴（9），转动轴（9）上端伸出烧结炉连接有电机（10），转动轴（9）下端表面设有扇叶（11）。

5.如权利要求4所述的一种高温烧结炉进气循环结构，其特征在于：扇叶（11）表面采用螺旋结构，转动轴（9）和扇叶（11）都采用耐高温材料。

6.如权利要求1所述的一种高温烧结炉进气循环结构，其特征在于： 烧结炉（1）内顶端设有导向板（13），导向板（13）下端向中间倾斜设置。

7.如权利要求1所述的一种高温烧结炉进气循环结构，其特征在于：所述进气管（3）表面切割的表皮通过设置可调节固定杆（14）固定形成导向片（15）。

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