CN214956782U - 一种psa贴合装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种PSA贴合装置，涉及PSA贴合技术领域，主要是为了解决现有的PSA贴合存在工作效率低和精确度低的问题，一种PSA贴合装置包括承载部和位于承载部上的贴合工位，还包括位于承载部上的送料机构、移动机构和定位机构，所述定位机构用于引导移动机构移动至贴合工位，承载部上的送料机构能够将物料自动送至贴合工位处等待贴合，移动机构将送料机构上的物料取出并贴合工位进行贴合，定位机构用于引导移动机构移动至贴合工位，用于提高物料贴合的精度，可在贴装、检测、装配等自动化设备上广泛使用，极大的提高了设备的使用效率和自动化程度，提高了产品的精度和准确性，提高生产效率，降低维护成本。

Description

一种PSA贴合装置

技术领域

本申请涉及PSA贴合技术领域，具体是一种PSA贴合装置。

背景技术

晶圆(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，针对由晶元盘(Wafer)来料的产品加工过程中需要使用PSA贴合工艺。

现有的PSA贴合装置容易出现贴合偏差的问题，而且整个贴合过程所消耗的工时较长，导致工作效率比较低。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种PSA贴合装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种PSA贴合装置，包括承载部和位于承载部上的贴合工位，还包括：

位于承载部上的送料机构，所述送料机构用于上料和剥料；以及

位于承载部上的移动机构，所述移动机构将送料机构上的物料取出并贴合工位进行贴合；以及

位于承载部上的定位机构，所述定位机构用于引导移动机构移动至贴合工位。

作为本申请进一步的方案：所述送料机构包括磁力轮机构和Wafer上料机构，所述磁力轮机构用于将物料移送至贴合工位，所述Wafer上料机构用于顶针剥离。

作为本申请再进一步的方案：所述移动机构设计为位于承载部上的高精度龙门移栽平台，所述高精度龙门移栽平台用于将磁力轮机构移送至贴合工位的物料取出并进行贴合。

作为本申请再进一步的方案：所述送料机构还包括PSA剥料飞达，所述PSA剥料飞达用于剥料。

作为本申请再进一步的方案：所述定位机构设计为视觉引导ZR轴模块，所述视觉引导ZR轴模块用于视觉引导定位贴合。

与现有技术相比，本申请的有益效果是：

承载部上的送料机构能够将物料自动送至贴合工位处等待贴合，移动机构将送料机构上的物料取出并贴合工位进行贴合，定位机构用于引导移动机构移动至贴合工位，用于提高物料贴合的精度，可在贴装、检测、装配等自动化设备上广泛使用，极大的提高了设备的使用效率和自动化程度，提高了产品的精度和准确性，提高生产效率，降低维护成本，解决了现有的PSA贴合存在工作效率低和精确度低的问题。

附图说明

图1为本申请实施例中一种PSA贴合装置的俯视图。

图2为本申请实施例中一种PSA贴合装置的拆分图。

图3为本申请实施例中一种PSA贴合装置的动作示意图。

图中：1-磁力轮机构、2-高精度龙门移栽平台、3-视觉引导ZR轴模块、4-Wafer上料机构、5-PSA剥料飞达。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

请参阅图1至图3，本实施例提供了一种PSA贴合装置，包括承载部和位于承载部上的贴合工位，还包括：

位于承载部上的送料机构，所述送料机构用于上料和剥料；以及

位于承载部上的移动机构，所述移动机构将送料机构上的物料取出并贴合工位进行贴合；以及

位于承载部上的定位机构，所述定位机构用于引导移动机构移动至贴合工位。

请参阅图1，以上所述的方案中，所述承载部设计为固定框架，所述贴合工位、送料机构、移动机构和定位机构均安装在固定框架，当然，所述固定框架上还安装有驱动设备、网络设备等用于驱动内部各个机构运行的电器等设备，此处便不再一一介绍，为了便于移动，所述固定框架上还可安装有移动组件，便于工作人员将其移动至需要的位置，此处均为现有技术中的常规技术手段，便不再进行赘述。

请参阅图2，作为本申请一种实施例，所述送料机构包括磁力轮机构1和Wafer上料机构4，所述磁力轮机构1用于将物料移送至贴合工位，所述Wafer上料机构4用于顶针剥离，所述磁力轮机构1实际上是一个磁力轮流水线，是利用磁力的吸附原理将物料吸附固定住，然后通过内部的驱动设备将物料移动至贴合工位所在的位置，驱动设备能够将物料停留在贴合工位所在的位置，等待下一步的贴合操作，使用磁力轮流水线和Wafer上料机构4相互配合的方式具备操作简单和自动化化程度高的特点，全程不需要人工进行操作，大大提高了工作效率，同时也降低了维护成本。

请参阅图2，进一步的，所述送料机构还包括PSA剥料飞达5，所述PSA剥料飞达5用于剥料，PSA通过飞达进行剥料，不需要人工进行操作，具备自动化程度高和工作效率高的特点。

请参阅图2，作为本申请一种实施例，所述移动机构设计为位于承载部上的高精度龙门移栽平台2，所述高精度龙门移栽平台2用于将磁力轮机构1移送至贴合工位的物料取出并进行贴合，采用高精度龙门移栽平台2自动取料和自动贴合的方式，具备自动化程度高和工作效率高的特点。

请参阅图1、图3，作为本申请一种实施例，所述定位机构设计为视觉引导ZR轴模块3，所述视觉引导ZR轴模块3用于视觉引导定位贴合，所述视觉引导ZR轴模块3通过视觉引导高精度龙门移栽平台2贴合的方式，能够防止高精度龙门移栽平台2移动过程中出现偏差，从而提高了贴合的精度，进而提高了产品的质量，具备精度高和效率高的特点，同时也降低了维护成本。

本申请使用时，首先物料通过磁力轮机构1进行上料，并且能够送到贴合工位的位置，然后高精度龙门移栽平台2能够自动将磁力轮机构1送来的物料取出，并且能够自动进行贴合，在高精度龙门移栽平台2移动的过程中，视觉引导ZR轴模块3能够对高精度龙门移栽平台2视觉引导定位，从而将物料在贴合工位上快速且精确的贴合，接着PSA剥料飞达5进行剥料，且Wafer上料机构4进行上料。

综上所述，承载部上的送料机构能够将物料自动送至贴合工位处等待贴合，移动机构将送料机构上的物料取出并贴合工位进行贴合，定位机构用于引导移动机构移动至贴合工位，用于提高物料贴合的精度，可在贴装、检测、装配等自动化设备上广泛使用，极大的提高了设备的使用效率和自动化程度，提高了产品的精度和准确性，提高生产效率，降低维护成本，解决了现有的PSA贴合存在工作效率低和精确度低的问题。

需要特别说明的是，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式，以上所述实施例仅表达了本技术方案的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本技术方案专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变性、改进及替代，这些都属于本技术方案的保护范围。

Claims (5)

1.一种PSA贴合装置，包括承载部和位于承载部上的贴合工位，其特征在于，还包括：

位于承载部上的送料机构，所述送料机构用于上料和剥料；以及

位于承载部上的移动机构，所述移动机构将送料机构上的物料取出并贴合工位进行贴合；以及

位于承载部上的定位机构，所述定位机构用于引导移动机构移动至贴合工位。

2.根据权利要求1所述的一种PSA贴合装置，其特征在于，所述送料机构包括磁力轮机构和Wafer上料机构，所述磁力轮机构用于将物料移送至贴合工位，所述Wafer上料机构用于顶针剥离。

3.根据权利要求1所述的一种PSA贴合装置，其特征在于，所述移动机构设计为位于承载部上的高精度龙门移栽平台，所述高精度龙门移栽平台用于将磁力轮机构移送至贴合工位的物料取出并进行贴合。

4.根据权利要求2所述的一种PSA贴合装置，其特征在于，所述送料机构还包括PSA剥料飞达，所述PSA剥料飞达用于剥料。

5.根据权利要求1所述的一种PSA贴合装置，其特征在于，所述定位机构设计为视觉引导ZR轴模块，所述视觉引导ZR轴模块用于视觉引导定位贴合。

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