CN214956778U - 一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台 - Google Patents

Abstract

一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，本实用新型涉及刻蚀机技术领域，槽体的内侧壁上开设有一号导向槽，一号导向槽的内部活动嵌设有转动环；转动环的外侧壁上开设有环形槽，转动环的内侧壁上等圆角固定设置有数个二号气嘴，数个二号气嘴分别与相对应位置上的导气孔相连通设置；槽体的外侧壁底部通过电机支架固定设置有气泵；一号电机的输出轴穿过槽体后，与一号齿轮的中部固定连接，一号齿轮的下侧与一号齿环相啮合设置；齿轮箱顶面上活动嵌设有调节块，调节块的顶面固定设置有支撑台；能够有效的防止反应气体在晶圆边缘聚集的现象发生，使得晶圆的边缘区域刻蚀更加均匀，提高了产品的生产质量，实用性更强。

Description

一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台

技术领域

本实用新型涉及刻蚀机技术领域，具体涉及一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台。

背景技术

刻蚀工艺是晶圆制程工艺中的一个重要步骤，干式蚀刻是目前最常用的蚀刻方式，其以气体为主要的蚀刻媒介，由电浆来驱动反应；蚀刻是将表面某种不需要的材质部分移除；现有晶圆刻蚀工艺中，刻蚀机台包括：气体传送装置及腔室，所述气体传送装置设于所述腔室内并位于腔室内放置的晶圆的上方，用于向晶圆表面喷射刻蚀晶圆需要的反应气体；但是现有刻蚀机台存在晶圆的边缘区域相较于中心区域反应气体聚集得更多的现象，导致晶圆的边缘区域相较于中心区域刻蚀不均匀的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种设计合理的能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，能够有效的防止反应气体在晶圆边缘聚集的现象发生，使得晶圆的边缘区域刻蚀更加均匀，提高了产品的生产质量，实用性更强。

为达到上述目的，本实用新型采用了下列技术方案：它包含槽体、上盖、凸缘和液压推杆；槽体为上侧开口的中空结构，槽体上侧的开口端上罩设有上盖，槽体的四周壁上以及上盖的四周壁上均固定设置有凸缘，槽体的左右两侧对称设置有液压推杆，液压推杆的上下两端分别固定设置在上下两侧的凸缘相对面上；上盖的底面上固定设置有一号气嘴，二号气嘴的上端固定连接有总管，总管穿过上盖的中部后，与外部供气机构连接；它还包含转动环、一号电机、二号电机、一号齿环、二号齿环、调节块、支撑台、一号齿轮和二号齿轮；槽体的内侧壁上开设有一号导向槽，一号导向槽的内部活动嵌设有转动环，转动环的截面呈十字形设置；转动环的外侧壁上开设有环形槽，转动环的内侧壁上等圆角开设有数个导气孔，数个导气孔均与环形槽的内部相连通设置，转动环的内侧壁上等圆角固定设置有数个二号气嘴，数个二号气嘴分别与相对应位置上的导气孔相连通设置；槽体的外侧壁底部通过电机支架固定设置有气泵，气泵的输入端上固定连接有进气管，进气管的另一端穿过槽体的侧壁后，与槽体的内底部相连通设置；气泵的输出端上固定设置有排气管，排气管的另一端固定穿过槽体的侧壁后，与环形槽的内部相连通设置；转动环的顶面上固定设置有一号齿环，槽体的左侧壁上通过电机支架固定设置有一号电机，一号电机的输出轴穿过槽体后，与一号齿轮的中部固定连接，一号齿轮的下侧与一号齿环相啮合设置；槽体的内底面上固定设置有齿轮箱，齿轮箱顶面上活动嵌设有调节块，调节块的顶面固定设置有支撑台，调节块伸设在齿轮箱内部的外侧壁上固定设置有二号齿环，二号齿环的一侧相啮合设置有二号齿轮，齿轮箱的内底面上通过电机支架固定设置有二号电机，二号电机的输出轴与二号齿轮的中部固定连接；所述的一号电机、气泵和二号电机均与外部电源连接。

优选地，所述的齿轮箱顶面的开口端内侧壁上开设有二号导向槽，调节块的外侧壁上固定设置有导向环，导向环滑动嵌设在二号导向槽的内部。

优选地，所述的一号导向槽与转动环的连接部位均固定设置有密封圈，密封圈的内侧壁与转动环的侧壁相活动抵触设置。

优选地，所述的调节块底面的前侧固定设置有安装板，安装板的左右两侧壁上均固定设置有按压开关，按压开关与二号电机连接，二号齿环前后两侧的齿轮箱内顶面的前后两侧对称垂直固定设置有安装杆，安装杆的端头上固定设置有拨动板，拨动板与按压开关的位置相配合设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，能够有效的防止反应气体在晶圆边缘聚集的现象发生，使得晶圆的边缘区域刻蚀更加均匀，提高了产品的生产质量，实用性更强，本实用新型具有设置合理，制作成本低等优点。

附图说明：

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1中的A部放大图。

图3是图1中的B部放大图。

图4是本实用新型的转动环的结构示意图。

图5是本实用新型的齿轮箱的内顶面结构示意图。

附图标记说明：

槽体1、上盖2、凸缘3、液压推杆4、一号气嘴5、总管6、一号导向槽7、转动环8、环形槽9、导气孔10、二号气嘴11、气泵12、进气管13、排气管14、一号齿环15、一号电机16、一号齿轮17、齿轮箱18、调节块19、支撑台20、二号齿环21、二号齿轮22、二号电机23、二号导向槽24、导向环25、密封圈26、安装板27、按压开关28、安装杆29、拨动板30。

具体实施方式：

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-图5所示，本具体实施方式采用如下技术方案：它包含槽体1、上盖2、凸缘3和液压推杆4；槽体1为上侧开口的中空结构，槽体1上侧的开口端上罩设有上盖2，槽体1的四周壁上以及上盖2的四周壁上均固定焊设有凸缘3，槽体1的左右两侧对称设置有液压推杆4，液压推杆4的上下两端分别通过螺栓固定设置在上下两侧的凸缘3相对面上；上盖2的底面上通过螺栓固定设置有一号气嘴5，二号气嘴11的上端固定连接有总管6，总管6穿过上盖2的中部后，与外部供气机构连接；它还包含转动环8、一号电机16、二号电机23、一号齿环15、二号齿环21、调节块19、支撑台20、一号齿轮17和二号齿轮22；槽体1的内侧壁上开设有一号导向槽7，一号导向槽7的内部活动嵌设有转动环8，转动环8的截面呈十字形设置；一号导向槽7与转动环8的连接部位均通过胶粘固定设置有密封圈26，密封圈26的内侧壁与转动环8的侧壁相活动抵触设置，增加了转动环8与一号导向槽7之间的密封性；转动环8的外侧壁上开设有环形槽9，转动环8的内侧壁上等圆角开设有数个导气孔10，数个导气孔10均与环形槽9的内部相连通设置，转动环8的内侧壁上等圆角固定设置有数个二号气嘴11，数个二号气嘴11分别与相对应位置上的导气孔10相连通设置；槽体1的外侧壁底部通过电机支架和螺栓固定设置有气泵12，气泵12采用的是2BV真空泵，气泵12的输入端上通过螺栓和法兰固定连接有进气管13，进气管13的另一端穿过槽体1的侧壁后，与槽体1的内底部相连通设置；气泵12的输出端上通过螺栓和法兰固定设置有排气管14，排气管14的另一端固定穿过槽体1的侧壁后，与环形槽9的内部相连通设置；转动环8的顶面上固定焊设有一号齿环15，槽体1的左侧壁上通过电机支架和螺栓固定设置有型号是60KTYZ的一号电机16，一号电机16的输出轴穿过槽体1后，与一号齿轮17的中部固定焊接，一号齿轮17的下侧与一号齿环15相啮合设置；槽体1的内底面上固定焊设有齿轮箱18，齿轮箱18顶面上活动嵌设有调节块19，调节块19的顶面固定焊设有支撑台20，调节块19伸设在齿轮箱18内部的外侧壁上固定焊设有二号齿环21，二号齿环21的一侧相啮合设置有二号齿轮22，齿轮箱18的内底面上通过电机支架和螺栓固定设置有型号是60KTYZ的二号电机23，二号电机23的输出轴与二号齿轮22的中部固定焊接；所述的齿轮箱18顶面的开口端内侧壁上开设有二号导向槽24，调节块19的外侧壁上固定焊设有导向环25，导向环25滑动嵌设在二号导向槽24的内部，导向环25和二号导向槽24的配合滑动对调节块19起到支撑和导向的作用；所述的调节块19底面的前侧固定焊设有安装板27，安装板27的左右两侧壁上均通过螺栓固定设置有按压开关28，按压开关28与二号电机23连接，二号齿环21前后两侧的齿轮箱18内顶面的前后两侧对称垂直固定设置有安装杆29，安装杆29的端头上固定设置有拨动板30，拨动板30与按压开关28的位置相配合设置，当调节块19转动到按压开关28与拨动板30相接触时，二号电机23反向转动，如此反复；所述的一号电机16、气泵12和二号电机23均与外部电源连接。

本具体实施方式的工作原理：在进行晶圆刻蚀时，将工件放置在支撑台20上，液压推杆4缩短，带动上盖2下降罩设在槽体1上侧的开口端上；然后通过外部供气机构进行供气，反应气体通过一号气嘴5喷射在工件的上侧面上，反应气体逐渐增多时，会不断聚集在齿轮箱18与槽体1内侧壁之间的凹槽内，此时打开气泵12，气泵12通过进气管13和排气管14将聚集的反应气体输送到环形槽9的内部，环形槽9内部的气压增大，通过导气孔10以及二号气嘴11喷出，喷射在工件的四周；打开一号电机16和二号电机23，一号电机16带动转动环8转动，使得二号气嘴11喷出的反应气体不集中在工件的同一点上，二号电机23通过二号齿轮22带动二号齿环21转动，即使得工件转动，且工件与转动环8转动的方向相反，使得反应气体与工件接触更加均匀。

采用上述结构后，本具体实施方式的有益效果如下：

1、支撑台20高于槽体1内底面设置，能够有效的防止反应气体在晶圆边缘聚集的现象发生，使得晶圆的边缘区域刻蚀更加均匀，提高了产品的生产质量，实用性更强；

2、支撑台20与转动环8的转动方向相反，使得反应气体与工件接触更加全面而又均匀。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，它包含槽体（1）、上盖（2）、凸缘（3）和液压推杆（4）；槽体（1）为上侧开口的中空结构，槽体（1）上侧的开口端上罩设有上盖（2），槽体（1）的四周壁上以及上盖（2）的四周壁上均固定设置有凸缘（3），槽体（1）的左右两侧对称设置有液压推杆（4），液压推杆（4）的上下两端分别固定设置在上下两侧的凸缘（3）相对面上；上盖（2）的底面上固定设置有一号气嘴（5），二号气嘴（11）的上端固定连接有总管（6），总管（6）穿过上盖（2）的中部后，与外部供气机构连接；其特征在于：它还包含转动环（8）、一号电机（16）、二号电机（23）、一号齿环（15）、二号齿环（21）、调节块（19）、支撑台（20）、一号齿轮（17）和二号齿轮（22）；槽体（1）的内侧壁上开设有一号导向槽（7），一号导向槽（7）的内部活动嵌设有转动环（8），转动环（8）的截面呈十字形设置；转动环（8）的外侧壁上开设有环形槽（9），转动环（8）的内侧壁上等圆角开设有数个导气孔（10），数个导气孔（10）均与环形槽（9）的内部相连通设置，转动环（8）的内侧壁上等圆角固定设置有数个二号气嘴（11），数个二号气嘴（11）分别与相对应位置上的导气孔（10）相连通设置；槽体（1）的外侧壁底部通过电机支架固定设置有气泵（12），气泵（12）的输入端上固定连接有进气管（13），进气管（13）的另一端穿过槽体（1）的侧壁后，与槽体（1）的内底部相连通设置；气泵（12）的输出端上固定设置有排气管（14），排气管（14）的另一端固定穿过槽体（1）的侧壁后，与环形槽（9）的内部相连通设置；转动环（8）的顶面上固定设置有一号齿环（15），槽体（1）的左侧壁上通过电机支架固定设置有一号电机（16），一号电机（16）的输出轴穿过槽体（1）后，与一号齿轮（17）的中部固定连接，一号齿轮（17）的下侧与一号齿环（15）相啮合设置；槽体（1）的内底面上固定设置有齿轮箱（18），齿轮箱（18）顶面上活动嵌设有调节块（19），调节块（19）的顶面固定设置有支撑台（20），调节块（19）伸设在齿轮箱（18）内部的外侧壁上固定设置有二号齿环（21），二号齿环（21）的一侧相啮合设置有二号齿轮（22），齿轮箱（18）的内底面上通过电机支架固定设置有二号电机（23），二号电机（23）的输出轴与二号齿轮（22）的中部固定连接；所述的一号电机（16）、气泵（12）和二号电机（23）均与外部电源连接。

2.根据权利要求1所述的一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，其特征在于：所述的齿轮箱（18）顶面的开口端内侧壁上开设有二号导向槽（24），调节块（19）的外侧壁上固定设置有导向环（25），导向环（25）滑动嵌设在二号导向槽（24）的内部。

3.根据权利要求1所述的一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，其特征在于：所述的一号导向槽（7）与转动环（8）的连接部位均固定设置有密封圈（26），密封圈（26）的内侧壁与转动环（8）的侧壁相活动抵触设置。

4.根据权利要求1所述的一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，其特征在于：所述的调节块（19）底面的前侧固定设置有安装板（27），安装板（27）的左右两侧壁上均固定设置有按压开关（28），按压开关（28）与二号电机（23）连接，二号齿环（21）前后两侧的齿轮箱（18）内顶面的前后两侧对称垂直固定设置有安装杆（29），安装杆（29）的端头上固定设置有拨动板（30），拨动板（30）与按压开关（28）的位置相配合设置。

Images