CN214610208U - 双臂式换晶环机构 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种双臂式换晶环机构，包括第一搬运臂；第二搬运臂；搬运驱动单元，分别与第一搬运臂和第二搬运臂相连，用于驱动第一搬运臂和第二搬运臂在晶环上料位与晶环下料位之间往复移动。本申请通过第一搬运臂可将晶环上料位之盛装有晶片的晶环移动至晶环下料位，便于顶晶机构将晶环上的晶片顶出；通过第二搬运臂可将晶环下料位之使用后的晶环取出，便于第一搬运臂对晶环的上料；通过搬运驱动单元可驱动第一搬运臂和第二搬运臂在晶环上料位与晶环下料位之间往复移动。如此，晶环的上料作业可由第一搬运臂完成，晶环的下料作业可由第二搬运臂完成，从而有助于提高晶环上料及下料的速率，减少晶环上下料的等待时长，进而提高固晶效率。

Description

双臂式换晶环机构

技术领域

本申请属于固晶技术领域，更具体地说，是涉及一种双臂式换晶环机构。

背景技术

在固晶设备中，需要将盛装有晶片的晶环通过机械臂移动至晶环旋转平台上，再由顶晶机构将晶片顶出，顶出后的晶片由吸嘴移动至固晶位实现与支架的固晶作业。

然而，当晶环旋转平台上的晶环需要更换时，通常是由该机械臂将使用后的晶环取下，即晶环的上下料作业都是由同一机械臂来完成，这就导致晶环的上下料效率低，进而影响固晶效率。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种双臂式换晶环机构，以解决相关技术中存在的：晶环的上下料作业都是由同一机械臂来完成，这就导致晶环的上下料效率低，进而影响固晶效率的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：

提供一种双臂式换晶环机构，包括：

第一搬运臂，用于将晶环上料位之盛装有晶片的晶环移动至晶环下料位；

第二搬运臂，用于将所述晶环下料位之使用后的晶环取出；

搬运驱动单元，分别与所述第一搬运臂和所述第二搬运臂相连，用于驱动所述第一搬运臂和所述第二搬运臂在所述晶环上料位与所述晶环下料位之间往复移动。

在一个实施例中，所述第一搬运臂包括用于夹持所述晶环的第一夹爪单元和用于驱动所述第一夹爪单元升降的第一搬运升降单元；所述第一搬运升降单元安装于所述搬运驱动单元上，所述第一搬运升降单元与所述第一夹爪单元相连。

在一个实施例中，所述第一搬运升降单元包括安装于所述搬运驱动单元上的第一安装座、安装于所述第一安装座上的滑动座和用于驱动所述滑动座升降的第一搬运升降件；所述第一搬运升降件安装于所述第一安装座上，所述第一搬运升降件与所述滑动座相连，所述第一夹爪单元安装于所述滑动座上。

在一个实施例中，所述第一夹爪单元包括安装于所述第一搬运升降单元上的第一固定夹、用于与所述第一固定夹配合夹持所述晶环的第一活动夹、用于驱动所述第一活动夹靠近或远离所述第一固定夹的第一夹爪驱动件和支撑所述第一夹爪驱动件的支撑座；所述支撑座安装于所述第一固定夹上，所述第一夹爪驱动件与所述第一活动夹相连。

在一个实施例中，所述第一夹爪单元还包括安装于所述第一活动夹上的第一导向轴，所述支撑座上对应开设有供所述第一导向轴穿过的第一通孔。

在一个实施例中，所述第二搬运臂包括用于夹持所述晶环的第二夹爪单元、用于驱动所述第二夹爪单元升降的第二搬运升降单元和用于驱动所述第二夹爪单元旋转的搬运旋转单元；所述搬运旋转单元安装于所述第二搬运升降单元上，所述搬运旋转单元与所述第二夹爪单元相连，所述第二搬运升降单元安装于所述搬运驱动单元上。

在一个实施例中，所述第二搬运升降单元包括第二安装座、与所述第二安装座铰接的连接座和安装于所述搬运驱动单元上的第二搬运升降件，所述第二搬运升降件与所述第二安装座相连；所述搬运旋转单元包括安装于所述连接座上的转动座和安装于所述搬运驱动单元上的搬运旋转件，所述搬运旋转件与所述转动座相连，所述第二夹爪单元安装于所述连接座上。

在一个实施例中，所述第二夹爪单元包括安装于所述连接座上的固定座、与所述固定座相连的第二固定夹、用于与所述第二固定夹配合夹持所述晶环的第二活动夹和用于驱动所述第二活动夹靠近或远离所述第二固定夹的第二夹爪驱动件；所述第二夹爪驱动件安装于所述固定座上，所述第二夹爪驱动件与所述第二活动夹相连。

在一个实施例中，所述第二夹爪单元还包括安装于所述第二活动夹上的第二导向轴，所述第二固定夹上对应开设有供所述第二导向轴穿过的第二通孔。

在一个实施例中，所述搬运驱动单元包括支撑架、安装于所述支撑架上的丝杆、安装于所述丝杆上的滑块和用于驱动所述丝杆转动的搬运驱动件；所述搬运驱动件安装于所述支撑架上，所述搬运驱动件与所述丝杆相连，所述第一搬运臂和所述第二搬运臂分别安装于所述滑块上。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：本申请通过第一搬运臂可将晶环上料位之盛装有晶片的晶环移动至晶环下料位，便于顶晶机构将晶环上的晶片顶出；通过第二搬运臂可将晶环下料位之使用后的晶环取出，便于第一搬运臂对晶环的上料；通过搬运驱动单元可驱动第一搬运臂和第二搬运臂在晶环上料位与晶环下料位之间往复移动。如此，晶环的上料作业可由第一搬运臂完成，晶环的下料作业可由第二搬运臂完成，从而有助于提高晶环上料及下料的速率，减少晶环上下料的等待时长，进而提高固晶效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的分解示意图；

图3为本申请实施例提供的第一搬运臂的结构示意图；

图4为图3的分解示意图；

图5为本申请实施例提供的第二搬运臂的结构示意图；

图6为图5的分解示意图。

其中，图中各附图主要标记：

1-第一搬运臂；11-第一夹爪单元；111-第一固定夹；112-第一活动夹；113-第一夹爪驱动件；114-支撑座；1140-第一通孔；115-第一导向轴；12-第一搬运升降单元；121-第一安装座；1210-第一开孔；1211-第一滑槽；122-滑动座；1221-第一滑轨；1222-第一限位块；123-第一搬运升降件；

2-第二搬运臂；21-第二夹爪单元；211-固定座；212-第二固定夹；2120-第二通孔；213-第二活动夹；214-第二夹爪驱动件；215-第二导向轴；216-第二限位块；22-第二搬运升降单元；221-第二安装座；2211-定位轴；222-连接座；2220-第二开孔；2221-第二滑轨；223-第二搬运升降件；224-定位块；2240-定位孔；23-搬运旋转单元；231-转动座；2311-第二滑槽；232-搬运旋转件；

3-搬运驱动单元；31-支撑架；32-丝杆；33-滑块；34-搬运驱动件；

4-晶环。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在整个说明书中参考“一个实施例”或“实施例”意味着结合实施例描述的特定特征，结构或特性包括在本申请的至少一个实施例中。因此，“在一个实施例中”或“在一些实施例中”的短语出现在整个说明书的各个地方，并非所有的指代都是相同的实施例。此外，在一个或多个实施例中，可以以任何合适的方式组合特定的特征，结构或特性。

请参阅图1和图2，现对本申请实施例提供的双臂式换晶环机构进行说明。该双臂式换晶环机构包括第一搬运臂1、第二搬运臂2和搬运驱动单元3，搬运驱动单元3分别与第一搬运臂1和第二搬运臂2相连。第一搬运臂1用于将晶环上料位之盛装有晶片的晶环4移动至晶环下料位；第二搬运臂2用于将晶环下料位之使用后的晶环4取出；搬运驱动单元3用于驱动第一搬运臂1和第二搬运臂2在晶环上料位与晶环下料位之间往复移动。此处，晶环上料位可理解为用于存储晶环4的存料机构所在的位置，晶环下料位可理解为晶环旋转平台上正对于顶晶机构的位置。此结构，本申请通过第一搬运臂1可将晶环上料位之盛装有晶片的晶环4移动至晶环下料位，便于顶晶机构将晶环4上的晶片顶出；通过第二搬运臂2可将晶环下料位之使用后的晶环4取出，便于第一搬运臂1对晶环4的上料；通过搬运驱动单元3可驱动第一搬运臂1和第二搬运臂2在晶环上料位与晶环下料位之间往复移动。如此，晶环4的上料作业可由第一搬运臂1完成，晶环4的下料作业可由第二搬运臂2完成，从而有助于提高晶环4上料及下料的速率，减少晶环4上下料的等待时长，进而提高固晶效率。

在一个实施例中，请参阅图1，第一搬运臂1和第二搬运臂2可由搬运驱动单元3同步驱动并朝同一方向移动，即第一搬运臂1和第二搬运臂2由晶环上料位向晶环下料位同步移动，或者，第一搬运臂1和第二搬运臂2由晶环下料位向晶环上料位同步移动，可保证第一搬运臂1和第二搬运臂2往复移动的同步性。在一些实施例中，第一搬运臂1和第二搬运臂2可由搬运驱动单元3同步驱动并相向或相对移动，即当第一搬运臂1由晶环上料位朝晶环下料位的方向移动时，第二搬运臂2由晶环下料位朝晶环上料位的方向移动；或者，当第一搬运臂1由晶环下料位朝晶环上料位的方向移动时，第二搬运臂2由晶环上料位朝晶环下料位的方向移动，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图1和图2，作为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的一种具体实施方式，搬运驱动单元3包括支撑架31、安装于支撑架31上的丝杆32、安装于丝杆32上的滑块33和用于驱动丝杆32转动的搬运驱动件34；搬运驱动件34安装于支撑架31上，搬运驱动件34与丝杆32相连，第一搬运臂1和第二搬运臂2分别安装于滑块33上。此结构，通过搬运驱动件34驱动丝杆32转动，可带动滑块33在晶环上料位与晶环下料位之间往复移动，进而带动第一搬运臂1和第二搬运臂2移动，可靠性好。其中，搬运驱动件34可为电机。

在一些实施例中，搬运驱动单元3也可为滑台直线电机、气缸推动机构、液压推动机构、油压推动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图3和图4，作为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的一种具体实施方式，第一搬运臂1包括用于夹持晶环4的第一夹爪单元11和用于驱动第一夹爪单元11升降的第一搬运升降单元12；第一搬运升降单元12安装于搬运驱动单元3上，第一搬运升降单元12与第一夹爪单元11相连。此结构，当第一夹爪单元11夹持晶环4时，并在第一搬运升降单元12及搬运驱动单元3的驱动下，可实现水平内面的横向移动及竖直面内的升降，从而可将晶环4从晶环上料位移动至晶环下料位，实现晶环4的上料作业。

在一个实施例中，请参阅图3和图4，作为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的一种具体实施方式，第一搬运升降单元12包括安装于搬运驱动单元3上的第一安装座121、安装于第一安装座121上的滑动座122和用于驱动滑动座122升降的第一搬运升降件123；第一搬运升降件123安装于第一安装座121上，第一搬运升降件123与滑动座122相连，第一夹爪单元11安装于滑动座122上。具体地，第一安装座121安装于滑块33上。此结构，第一搬运升降件123可驱动滑动座122在第一安装座121上升降，从而可带动第一夹爪单元11升降。其中，第一搬运升降件123可为气缸、电缸、油缸等。

在一个实施例中，请参阅图4，第一安装座121上开设有供滑动座122穿过的第一开孔1210，第一安装座121于第一开孔1210的位置处安装有第一滑槽1211，滑动座122上对应安装有与第一滑槽1211配合的第一滑轨1221，从而可对滑动座122的上下移动起到定向引导作用。

在一个实施例中，请参阅图3和图4，滑动座122伸出第一开孔1210的一端安装有第一限位块1222，第一限位块1222可与第一安装座121配合抵挡，从而可对滑动座122的行程进行限位控制。

在一些实施例中，第一搬运升降单元12也可为丝杆传动机构、滑台直线电机等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图3和图4，作为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的一种具体实施方式，第一夹爪单元11包括安装于第一搬运升降单元12上的第一固定夹111、用于与第一固定夹111配合夹持晶环4的第一活动夹112、用于驱动第一活动夹112靠近或远离第一固定夹111的第一夹爪驱动件113和支撑第一夹爪驱动件113的支撑座114；支撑座114安装于第一固定夹111上，第一夹爪驱动件113与第一活动夹112相连。具体地，第一固定夹111安装于滑动座122上。此结构，当第一夹爪驱动件113驱动第一活动夹112靠近第一固定夹111时，第一活动夹112可与第一固定夹111配合将晶环4夹持，从而便于拾取晶环上料位处的晶环4；当第一夹爪驱动件113驱动第一活动夹112远离第一固定夹111时，可将晶环4释放于晶环下料位处。

在一个实施例中，请参阅图4，作为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的一种具体实施方式，第一夹爪单元11还包括安装于第一活动夹112上的第一导向轴115，支撑座114上对应开设有供第一导向轴115穿过的第一通孔1140。此结构，通过第一导向轴115与第一通孔1140的对位配合，可对第一活动夹112的往复移动起到定位引导作用，进而可提高第一活动夹112移动的可靠性。

在一些实施例中，第一夹爪单元11也可为气动夹、电动夹、液压夹等，在此不作唯一限定。第一搬运臂1也可为第一夹爪单元11、横向移动机构、纵向移动机构和升降机构的组合体，从而可实现第一夹爪单元11沿水平面内的横向及纵向移动，以及沿竖直面内的升降。其中，横向移动机构、纵向移动机构和升降机构均可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图5和图6，作为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的一种具体实施方式，第二搬运臂2包括用于夹持晶环4的第二夹爪单元21、用于驱动第二夹爪单元21升降的第二搬运升降单元22和用于驱动第二夹爪单元21旋转的搬运旋转单元23；搬运旋转单元23安装于第二搬运升降单元22上，搬运旋转单元23与第二夹爪单元21相连，第二搬运升降单元22安装于搬运驱动单元3上。此结构，通过第二搬运升降单元22可实现第二夹爪单元21在竖直面内的升降，通过搬运旋转单元23可实现第二夹爪单元21在水平面内的旋转，进而可对第二夹爪单元21的位置进行多方位调节。

在一个实施例中，请参阅图5和图6，作为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的一种具体实施方式，第二搬运升降单元22包括安装于搬运驱动单元3之滑块33上的第二搬运升降件223，与第二搬运升降件223相连的第二安装座221和与第二安装座221铰接的连接座222；搬运旋转单元23包括与连接座222相连的转动座231和安装于搬运驱动单元3之滑块33上的搬运旋转件232，该搬运旋转件232与转动座231相连，连接座222与转动座231可相对滑动；第二夹爪单元21安装于连接座222上。此结构，当第二搬运升降件223驱动连接座222在转动座231上升降时，可实现第二夹爪单元21在竖直面内的升降。当搬运旋转件232驱动转动座231转动时，转动座231一并带动连接座222绕第二安装座221转动，可实现第二夹爪单元21在水平面内的旋转，从而实现对第二夹爪单元21位置的多方向调节。其中，第二搬运升降件223可为气缸、电缸、油缸等；搬运旋转件232可为电机。

在一个实施例中，请参阅图6，连接座222上开设有供转动座231穿过的第二开孔2220，转动座231上安装有穿过第二开孔2220的第二滑槽2311，连接座222上对应安装有与第二滑槽2311配合的第二滑轨2221。将转动座231通过第二开孔2220插穿连接座222，从而可带动连接座222及第二夹爪单元21绕第二安装座221转动，进而带动第二夹爪单元21的转动。通过第二滑槽2311与第二滑轨2221的配合，可对连接座222在转动座231上的移动起到定向引导作用。

在一个实施例中，请参阅图6，第二搬运升降单元22还包括支撑第二搬运升降件223的定位块224；第二安装座221上安装有定位轴2211，定位块224上对应开设有供定位轴2211插入的定位孔2240。通过定位轴2211与定位孔2240的配合，可实现对第二安装座221升降的定位引导作用，提高第二安装座221移动的可靠性。

在一些实施例中，第二搬运升降单元22也可为丝杆传动机构、滑台直线电机等。搬运旋转单元23也可为电机与转动盘的组合构件，第二搬运升降单元22安装于转动盘上，第二搬运升降单元22与第二夹爪单元21相连。或者，搬运旋转单元23也可为电机、齿轮及齿盘的组合构件，齿轮安装于电机的主轴上，齿轮与齿盘相啮合，第二搬运升降单元22安装于齿盘上。通过齿盘的转动可一并带动第二搬运升降单元22与第二夹爪单元21旋转。

在一个实施例中，请参阅图5和图6，作为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的一种具体实施方式，第二夹爪单元21包括安装于连接座222上的固定座211、与固定座211相连的第二固定夹212、用于与第二固定夹212配合夹持晶环4的第二活动夹213和用于驱动第二活动夹213靠近或远离第二固定夹212的第二夹爪驱动件214；第二夹爪驱动件214安装于固定座211上，第二夹爪驱动件214与第二活动夹213相连。此结构，当第二夹爪驱动件214驱动第二活动夹213靠近第二固定夹212时，第二活动夹213与第二固定夹212配合将晶环4夹持，从而可将使用后的晶环4从晶环下料位取出。当第二夹爪驱动件214驱动第二活动夹213远离第二固定夹212时，可将使用后的晶环4释放。其中，第二夹爪驱动件214可为气缸、电缸、油缸等。

在一些实施例中，第二夹爪单元21也可为气动夹、电动夹、液压夹等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图6，作为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的一种具体实施方式，第二搬运臂2还包括安装于第二活动夹213上的第二导向轴215，第二固定夹212上对应开设有供第二导向轴215穿过的第二通孔2120。此结构，通过第二导向轴215与第二通孔2120的对位配合，可对第二活动夹213的往复移动起到定位引导作用，进而可提高第二活动夹213往复移动的可靠性。

在一个实施例中，请参阅图6，第二搬运臂2还包括用于抵挡第二活动夹213的第二限位块216，第二限位块216安装于固定座211上。此结构，通过第二限位块216对第二活动夹213的抵挡，可限制第二活动夹213的移动行程。

在一些实施例中，第二搬运臂2也可为第二夹爪单元21、横向移动机构、纵向移动机构和升降机构的组合体，从而可实现第二夹爪单元21沿水平面内的横向及纵向移动，以及沿竖直面内的升降。其中，横向移动机构、纵向移动机构和升降机构均可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的操作步骤如下：

1、搬运驱动单元3驱动第一搬运臂1至晶环上料位，第一搬运臂1夹持盛装有晶片的晶环4。具体地，搬运驱动件34通过丝杆32及滑块33实现第一搬运臂1在水平面内的移动；通过第一夹爪驱动件113驱动第一活动夹112靠近第一固定夹111，以将晶环4夹持。

2、搬运驱动单元3驱动第一搬运臂1至晶环下料位，第二搬运臂2将晶环下料位上使用完的晶环4取出，第一搬运臂1将夹持的晶环4放置于晶环下料位。具体地，第二夹爪驱动件214驱动第二活动夹213靠近第二固定夹212以将使用完的晶环4夹持；通过搬运旋转单元23驱动第二夹爪单元21转动90度以将使用完的晶环4取出，并实现对第一搬运臂1的避让；第一搬运臂1在第一搬运升降单元12的驱动下下降，第一夹爪驱动件113驱动第一活动夹112远离第一固定夹111，将盛装有晶片的晶环4放置于晶环下料位。

3、搬运驱动单元3驱动第二搬运臂2至晶环回收处，第二搬运臂2将夹持的晶环4释放以实现回收。具体地，在搬运驱动单元3的驱动作用下，第二夹爪驱动件214驱动第二活动夹213远离第二固定夹212，将使用完的晶环4释放于晶环回收处；随后，第二搬运臂2在搬运旋转单元23的驱动下恢复至初始位置。

该双臂式换晶环机构通过重复上述步骤，由第一搬运臂1完成晶环4的上料作业，由第二搬运臂2完成晶环4的下料作业，相较于传统仅由一个机械臂实现晶环4的上料及下料作业来说，本申请有助于提高晶环4上料及下料的速率，减少晶环4上下料的等待时长，进而提高固晶效率。

应理解，上述实施例中各步骤的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本申请实施例的实施过程构成任何限定。

以上所述仅为本申请的可选实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.双臂式换晶环机构，其特征在于，包括：

第一搬运臂(1)，用于将晶环上料位之盛装有晶片的晶环(4)移动至晶环下料位；

第二搬运臂(2)，用于将所述晶环下料位之使用后的晶环(4)取出；

搬运驱动单元(3)，分别与所述第一搬运臂(1)和所述第二搬运臂(2)相连，用于驱动所述第一搬运臂(1)和所述第二搬运臂(2)在所述晶环上料位与所述晶环下料位之间往复移动。

2.如权利要求1所述的双臂式换晶环机构，其特征在于：所述第一搬运臂(1)包括用于夹持所述晶环(4)的第一夹爪单元(11)和用于驱动所述第一夹爪单元(11)升降的第一搬运升降单元(12)；所述第一搬运升降单元(12)安装于所述搬运驱动单元(3)上，所述第一搬运升降单元(12)与所述第一夹爪单元(11)相连。

3.如权利要求2所述的双臂式换晶环机构，其特征在于：所述第一搬运升降单元(12)包括安装于所述搬运驱动单元(3)上的第一安装座(121)、安装于所述第一安装座(121)上的滑动座(122)和用于驱动所述滑动座(122)升降的第一搬运升降件(123)；所述第一搬运升降件(123)安装于所述第一安装座(121)上，所述第一搬运升降件(123)与所述滑动座(122)相连，所述第一夹爪单元(11)安装于所述滑动座(122)上。

4.如权利要求2所述的双臂式换晶环机构，其特征在于：所述第一夹爪单元(11)包括安装于所述第一搬运升降单元(12)上的第一固定夹(111)、用于与所述第一固定夹(111)配合夹持所述晶环(4)的第一活动夹(112)、用于驱动所述第一活动夹(112)靠近或远离所述第一固定夹(111)的第一夹爪驱动件(113)和支撑所述第一夹爪驱动件(113)的支撑座(114)；所述支撑座(114)安装于所述第一固定夹(111)上，所述第一夹爪驱动件(113)与所述第一活动夹(112)相连。

5.如权利要求4所述的双臂式换晶环机构，其特征在于：所述第一夹爪单元(11)还包括安装于所述第一活动夹(112)上的第一导向轴(115)，所述支撑座(114)上对应开设有供所述第一导向轴(115)穿过的第一通孔(1140)。

6.如权利要求1-5任一项所述的双臂式换晶环机构，其特征在于：所述第二搬运臂(2)包括用于夹持所述晶环(4)的第二夹爪单元(21)、用于驱动所述第二夹爪单元(21)升降的第二搬运升降单元(22)和用于驱动所述第二夹爪单元(21)旋转的搬运旋转单元(23)；所述搬运旋转单元(23)安装于所述第二搬运升降单元(22)上，所述搬运旋转单元(23)与所述第二夹爪单元(21)相连，所述第二搬运升降单元(22)安装于所述搬运驱动单元(3)上。

7.如权利要求6所述的双臂式换晶环机构，其特征在于：所述第二搬运升降单元(22)包括第二安装座(221)、与所述第二安装座(221)铰接的连接座(222)和安装于所述搬运驱动单元(3)上的第二搬运升降件(223)，所述第二搬运升降件(223)与所述第二安装座(221)相连；所述搬运旋转单元(23)包括安装于所述连接座(222)上的转动座(231)和安装于所述搬运驱动单元(3)上的搬运旋转件(232)，所述搬运旋转件(232)与所述转动座(231)相连，所述第二夹爪单元(21)安装于所述连接座(222)上。

8.如权利要求7所述的双臂式换晶环机构，其特征在于：所述第二夹爪单元(21)包括安装于所述连接座(222)上的固定座(211)、与所述固定座(211)相连的第二固定夹(212)、用于与所述第二固定夹(212)配合夹持所述晶环(4)的第二活动夹(213)和用于驱动所述第二活动夹(213)靠近或远离所述第二固定夹(212)的第二夹爪驱动件(214)；所述第二夹爪驱动件(214)安装于所述固定座(211)上，所述第二夹爪驱动件(214)与所述第二活动夹(213)相连。

9.如权利要求8所述的双臂式换晶环机构，其特征在于：所述第二夹爪单元(21)还包括安装于所述第二活动夹(213)上的第二导向轴(215)，所述第二固定夹(212)上对应开设有供所述第二导向轴(215)穿过的第二通孔(2120)。

10.如权利要求1-5任一项所述的双臂式换晶环机构，其特征在于：所述搬运驱动单元(3)包括支撑架(31)、安装于所述支撑架(31)上的丝杆(32)、安装于所述丝杆(32)上的滑块(33)和用于驱动所述丝杆(32)转动的搬运驱动件(34)；所述搬运驱动件(34)安装于所述支撑架(31)上，所述搬运驱动件(34)与所述丝杆(32)相连，所述第一搬运臂(1)和所述第二搬运臂(2)分别安装于所述滑块(33)上。

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