CN214588763U - 一种自动化轻减装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种自动化轻减装置，包括本体，所述本体的顶部固定安装有控制器，所述控制器的顶部固定安装有警示灯，所述本体的顶部固定安装有滑轨，所述滑轨的一端固定安装有固定块，所述本体的顶部设置有第一电磁块，所述本体的顶部设置有第二电磁块，所述滑轨的内腔设置有比较器，所述滑轨的顶部设置有限位装置，所述限位装置的顶部固定安装有料盒。本实用新型，通过电流输入使料盒在电磁滑轨顶部移动，控制器和位移传感器能够便于料盒智能化控制，限位装置内部设置有传动杆能够确保料盒在移动时不会掉落，滑轨内部设置有比较器能够在出现偏差时及时发送信号，通过控制器和警示灯能够发送警报并及时停止运行。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种自动化轻减装置。
背景技术
随着社会的发展半导体制造已经成为重要产业，在半导体加工过程中晶圆是重要的半导体材料，在半导体的加工生产过程中，需要将晶圆放置于晶圆料盒或晶圆料箱中，由于晶圆料盒或晶圆料箱的尺寸大小不同，现有的晶圆料盒的限位装置尺寸固定，难以同时适用于不同尺寸的晶圆料盒，在晶圆料盒向前移动的过程中，易导致料盒的位置出现偏差，影响晶圆的上料，影响后续生产工序，降低生产效率，给生产带来不便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种自动化轻减装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动化轻减装置，包括本体，所述本体的顶部固定安装有控制器，所述控制器的顶部固定安装有警示灯，所述本体的顶部固定安装有滑轨，所述滑轨的一端固定安装有固定块，所述本体的顶部设置有第一电磁块，所述本体的顶部设置有第二电磁块，所述滑轨的内腔设置有比较器，所述滑轨的顶部设置有限位装置，所述限位装置的顶部固定安装有料盒，所述料盒的正面设置有位移传感器，所述限位装置的内腔固定安装有弹簧，所述弹簧的底部活动安装有底座，所述底座的顶部固定安装有按压杆，所述限位装置的内腔固定安装有固定杆，所述固定杆的一端活动安装有传动杆，所述传动杆的一端固定安装有移动块，所述料盒的内腔固定安装有滑动板，所述滑动板的侧壁设置有挡板。
优选的，所述滑轨的顶部设置有工字型凹槽，所述移动块位于上述凹槽内且和凹槽尺寸相适配。
优选的，所述滑轨的数量为两个且相互平行，两个所述滑轨的一端和第一电磁块以及第二电磁块固定安装。
优选的，所述限位装置的底部开设有通孔，上述通孔和底座的尺寸相适配。
优选的，所述传动杆的侧壁设置有凹槽，所述按压杆的一端位于上述凹槽内且和凹槽相适配。
优选的，所述挡板的侧壁设置有凹槽且上述凹槽呈竖直排列，所述滑动板的侧壁设置有滑槽，所述挡板和上述凹槽相适配。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该自动化轻减装置，通过电流输入使料盒在电磁滑轨顶部移动，控制器和位移传感器能够便于料盒智能化控制，限位装置内部设置有传动杆和移动块能够确保料盒在移动时不会掉落，滑轨内部设置有比较器能够在出现偏差时及时发送信号，通过控制器和警示灯能够发送警报并及时停止运行。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型俯视图；
图3为本实用新型限位装置内部结构侧视图；
图4为本实用新型料盒内部结构侧视图。
图中：1、本体；2、控制器；3、警示灯；4、滑轨；5、固定块；6、第一电磁块；7、第二电磁块；8、比较器；9、限位装置；10、料盒；11、位移传感器；12、弹簧；13、底座；14、按压杆；15、固定杆；16、传动杆；17、移动块；18、滑动板；19、挡板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种自动化轻减装置，包括本体1，本体1的顶部固定安装有控制器2，控制器2的内腔设置有和警示灯3、第一电磁块6、第二电磁块7、比较器8和位移传感器11相适配的电源和相配套的电源和电路，控制器2的顶部固定安装有警示灯3，本体1的顶部固定安装有滑轨4，滑轨4的数量为两个且相互平行，两个滑轨4的一端和第一电磁块6以及第二电磁块7固定安装，滑轨4的顶部设置有工字型凹槽，移动块17位于上述凹槽内且和凹槽尺寸相适配，滑轨4的一端固定安装有固定块5，本体1的顶部设置有第一电磁块6，本体1的顶部设置有第二电磁块7，滑轨4的内腔设置有比较器8，滑轨4的顶部设置有限位装置9，限位装置9的底部开设有通孔，上述通孔和底座13的尺寸相适配，限位装置9的顶部固定安装有料盒10，料盒10的正面设置有位移传感器11，限位装置9的内腔固定安装有弹簧12，弹簧12的底部活动安装有底座13，底座13的顶部固定安装有按压杆14，限位装置9的内腔固定安装有固定杆15，固定杆15的一端活动安装有传动杆16，传动杆16的侧壁设置有凹槽，按压杆14的一端位于上述凹槽内且和凹槽相适配，传动杆16的一端固定安装有移动块17，料盒10的内腔固定安装有滑动板18，滑动板18的侧壁设置有挡板19，挡板19的侧壁设置有凹槽且上述凹槽呈竖直排列，滑动板18的侧壁设置有滑槽，挡板19和上述凹槽相适配。
工作原理：需要使用该装置时，工作人员将晶圆放置到料盒10中，由于滑动板18的侧壁设置有和挡板19相适配的滑槽，遇到不同尺寸的晶圆时移动挡板19能够调整放置尺寸，将限位装置9放置到滑轨4的顶部，限位装置9收到重力作用下降，使滑轨4带动底座13移动，底座13带动按压杆14移动，由于传动杆16的侧壁设置有和按压杆14相适配的凹槽，从而使按压杆14对传动杆16进行按压，传动杆16带动移动块17移动，由于滑轨4的顶部设置有和移动块17相适配的工字型凹槽，从而使移动块17进入到滑槽4顶部的凹槽中限位防止料盒10掉落，同时电源对第一电磁块6和第二电磁块7供电，当滑轨4通电时晶圆能够切割磁场，同时位移传感器11能够检测料盒10的移动位置，通过控制电流的输入使晶圆移动，当电流信号出现偏差时比较器8感应之后通过警示灯3发出信号并停止供电。
对于本领域技术人员而言，本实用新型不限于上述示例性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或范围的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，本实用新型的实施例是示例性的，而且是非限制性的。本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种自动化轻减装置，其特征在于：包括本体(1)，所述本体(1)的顶部固定安装有控制器(2)，所述控制器(2)的顶部固定安装有警示灯(3)，所述本体(1)的顶部固定安装有滑轨(4)，所述滑轨(4)的一端固定安装有固定块(5)，所述本体(1)的顶部设置有第一电磁块(6)，所述本体(1)的顶部设置有第二电磁块(7)，所述滑轨(4)的内腔设置有比较器(8)，所述滑轨(4)的顶部设置有限位装置(9)，所述限位装置(9)的顶部固定安装有料盒(10)，所述料盒(10)的正面设置有位移传感器(11)，所述限位装置(9)的内腔固定安装有弹簧(12)，所述弹簧(12)的底部活动安装有底座(13)，所述底座(13)的顶部固定安装有按压杆(14)，所述限位装置(9)的内腔固定安装有固定杆(15)，所述固定杆(15)的一端活动安装有传动杆(16)，所述传动杆(16)的一端固定安装有移动块(17)，所述料盒(10)的内腔固定安装有滑动板(18)，所述滑动板(18)的侧壁设置有挡板(19)。
2.根据权利要求1所述的一种自动化轻减装置，其特征在于：所述滑轨(4)的顶部设置有工字型凹槽，所述移动块(17)位于上述凹槽内且和凹槽尺寸相适配。
3.根据权利要求1所述的一种自动化轻减装置，其特征在于：所述滑轨(4)的数量为两个且相互平行，两个所述滑轨(4)的一端和第一电磁块(6)以及第二电磁块(7)固定安装。
4.根据权利要求1所述的一种自动化轻减装置，其特征在于：所述限位装置(9)的底部开设有通孔，上述通孔和底座(13)的尺寸相适配。
5.根据权利要求1所述的一种自动化轻减装置，其特征在于：所述传动杆(16)的侧壁设置有凹槽，所述按压杆(14)的一端位于上述凹槽内且和凹槽相适配。
6.根据权利要求1所述的一种自动化轻减装置，其特征在于：所述挡板(19)的侧壁设置有凹槽且上述凹槽呈竖直排列，所述滑动板(18)的侧壁设置有滑槽，所述挡板(19)和上述凹槽相适配。
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