CN214582316U - 烘干固化炉装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种烘干固化炉装置，包括：花篮，工件沿第一方向叠放于花篮上，炉体装置，花篮沿第二方向在炉体装置内传送，第一方向和第二方向相垂直。本实用新型的技术方案中，花篮用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率。

Description

烘干固化炉装置

技术领域

本实用新型涉及烘干固化炉设备技术领域，具体而言，涉及一种烘干固化炉装置。

背景技术

目前，相关技术中的烘干固化炉装置需要人工进行辅助作业，这样导致烘干固化炉装置的烘干效率低，进而影响了硅片的产能。以上也就是说，亟待开放一种烘干效率高的烘干固化炉装置。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个目的在于提供一种烘干固化炉装置。

为了实现上述目的，本实用新型的实施例提供了一种烘干固化炉装置，用于烘干工件，固化炉装置包括：花篮，工件沿第一方向叠放于花篮上，炉体装置，花篮沿第二方向在炉体装置内传送，第一方向和第二方向相垂直。

在该技术方案中，工件层叠放置于花篮上，花篮在炉体装置内垂直于工件层叠方向传送。花篮用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率，本申请中工件可以理解为硅片。

另外，本实用新型提供的上述实施例中的花篮还可以具有如下附加技术特征：在上述技术方案中，固化炉装置还包括：机架，包括主容纳腔和设置于主容纳腔至少一侧的侧腔内，炉体装置设置在主容纳腔内；升降机构，设置在侧腔内；控制系统，与升降机构和炉体装置连接；其中，花篮沿第一方向放置在升降机构上或者炉体装置内；控制系统通过控制升降机构动作，以将工件传送至炉体装置内进行烘干，或者以将烘干后的工件传送至其他位置。

在该技术方案中，烘干固化炉装置利用控制系统控制升降机构动作，将花篮和装载在花篮内的硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，即上下料机构，便于其下料。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率，本申请中工件可以理解为硅片。

在上述任一技术方案中，烘干固化炉装置还包括回传机构，回传机构用于回传空载的花篮。

在该技术方案中，回传机构用于接收位于右侧的侧腔内的升降机构传送的空载的花篮，此时花篮内的硅片已经卸除，并将该空载的花篮传送至位于左侧的侧腔内的升降机构，从而确保花篮能够重复利用，进而提高了烘干固化炉装置的工作效率，同时节约了烘干固化炉装置的使用成本。

在上述任一技术方案中，机架还包括中间分隔板，中间分隔板设置在主容纳腔内，用于将主容纳腔分隔成上腔体和下腔体，炉体装置设置在上腔体内。

在该技术方案中，炉体装置具有烘干作用，用于烘干烘干件，进而满足烘干固化炉装置的烘干要求。

在上述任一技术方案中，机架包括两个侧腔，两个侧腔分别设置在主容纳腔的两侧，固化炉装置包括两个升降机构，两个升降机构分别设置在对应的侧腔内，回传机构设置在下腔体内，且与控制系统连接。

在该技术方案中，烘干固化炉装置利用控制系统控制升降机构动作，将花篮和装载在花篮内的硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，即上下料机构，便于其下料。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求。

在上述任一技术方案中，花篮包括：上端板；下端板，与上端板在第一方向上间隔设置，且位于上端板的下方；支撑件，一端与上端板连接，支撑件的另一端与下端板连接；其中，支撑件包括安装槽，安装槽用于装载工件。

在该技术方案中，在上端板与下端板之间的空间内沿花篮的高度方向叠放设置多个安装槽，即多个硅片沿花篮的高度方向叠放设置在上端板与下端板之间，该种叠放放置的方式节约了硅片在第二方向的占地面积，从而避免了相关技术中由于硅片的产能增加时，即单位时间内加工硅片的数量增加，烘干固化炉装置的占地面积增加而导致烘干固化炉装置使用不方便的问题，进而使得烘干固化炉装置在满足硅片产能增加的要求时，节约烘干固化炉装置的占地面积以确保其使用的便利性。同时也避免了烘干固化炉装置的占地面积增加需要增设加热件而导致其能耗较高的问题，从而使得烘干固化炉装置能够满足设备节能减排的要求。

在上述任一技术方案中，烘干固化炉装置还包括两个上下料机构，两个上下料机构分别设置在对应的侧腔内，两个上下料机构与两个升降机构一一对应地设置，且与控制系统连接，一一对应设置可以理解为，沿第一方向，以主腔中心线为中心，两个上下料机构与两个升降机构镜像对称布设。

在该技术方案中，控制系统控制位于左侧的侧腔内的上下料机构和升降机构动作，以将需要烘干的硅片装满放置在升降机构上的空载的花篮内，从而满足花篮的装载要求。控制系统控制位于右侧的侧腔内的上下料机构和升降机构动作，以将花篮内装载的烘干后的硅片卸除，从而确保花篮后续能够循环使用。

在上述任一技术方案中，烘干固化炉装置还包括两个缓存机构，两个缓存机构分别设置在对应的侧腔内，两个缓存机构与两个上下料机构一一对应地设置，且与控制系统连接。

在该技术方案中，烘干固化炉装置利用控制系统控制升降机构动作，将花篮和装载在花篮内的硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，即上下料机构，便于其下料。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求。

在上述任一技术方案中，烘干固化炉装置还包括翻片机构，翻片机构设置在主容纳腔右侧的侧腔内，且与位于同一侧腔内的上下料机构对应设置。

在该技术方案中，翻片机构用于接收上下料机构传送的硅片，并对该硅片进行翻面，从而满足下一到工序的要求。

在上述任一技术方案中，烘干固化炉装置还包括校位机构，校位机构设置在主容纳腔右侧的侧腔内，且位于同一侧腔内的上下料机构和翻片机构之间。

在该技术方案中，校位机构用于接收上下料机构传送的硅片，并对其进行位置较正，再将其传送至翻片机构的接驳位置，从而确保硅片能够正常地翻片，以满足下一到工序的要求。

在上述任一技术方案中，炉体装置包括炉体和设置在炉体内的分隔门，分隔门将炉体分隔成多个加热腔室。

在该技术方案中，热腔室具有加热密封功能，能够对硅片进行加热烘干，进而满足硅片的加热烘干要求。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了根据本实用新型实施例的花篮的立体结构示意图；

图2示出了图1中的花篮的主视图；

图3示出了图2中的花篮的局部放大图；

图4示出了根据本实用新型实施例的烘干固化炉装置的立体结构示意图；

图5示出了图4中的烘干固化炉装置的主视图；

图6示出了图4中的炉体装置、回传机构和机架的装配关系图；

图7示出了图4中的升降机构的立体结构示意图；

图8示出了图4中的升降机构另一个角度的立体结构示意图

图9示出了图4中的升降机构的主视图；

图10示出了图4中的缓存机构的立体结构示意图；

图11示出了图4中的上下料结构的立体结构示意图(伸缩平台处于缩回状态)；

图12示出了图11中的上下料结构(伸缩平台处于伸出状态)；

图13示出了图4中的上下料结构另一个角度的立体结构示意图(伸缩平台处于缩回状态)。

其中，图1至图13中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10、花篮；12、上端板；14、下端板；16、支撑件；162、安装槽；164、杆件；1642、凹槽；1644、下槽壁；100、升降机构；102、固定支架；104、升降组件；1042、升降件；1044、传送装置；1046、稳固装置；1047、缸体；1048、连接板；1049、驱动活塞；106、滑动结构；1062、滑动导轨；1064、滑动平台；107、驱动装置；1072、驱动电机；109、位置检测装置；200、机架；202、主容纳腔；2022、上腔体；2024、下腔体；204、侧腔；206、中间分隔板；300、炉体装置；301、第一分隔门；302、炉体装置上料门；303、第二分隔门；304、炉体装置下料门；306、第一传送件；308、第二传送件；309、第三传送件；400、回传机构；402、第一输送装置；404、第二输送装置；406、第三输送装置；408、驱动件；500、上下料机构；501、运送驱动装置；502、支撑框架；504、伸缩平台；503、伸缩驱动装置；506、固定平台；508、运送装置；5082、传动轮组；5084、传动皮带；5086、滑动轮；600、工件；700、缓存机构；702、固定立架；704、驱动组件；706、缓存腔；709、缓存分隔位；800、翻片机构；900、校位机构；1000、传送导轨。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，本申请中的第一方向是指升降机构100和花篮10的高度方向，本申请中的第二方向是指烘干固化炉装置的传送方向，具体可参考图2、图5和图8。

下面参照图1至图13描述根据本实用新型一些实施例的烘干固化炉装置。

如图4和图5所示，本实用新型的实施例提供了一种烘干固化炉装置，包括花篮10和炉体装置300。其中，工件600沿第一方向叠放于花篮10上。花篮10沿第二方向在炉体装置300内传送。进一步地，第一方向和第二方向相垂直，即工件600层叠放置于花篮10上，花篮10在炉体装置300内垂直于工件600层叠方向传送。

在上述设置中，花篮10用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置300进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率，本申请中工件可以理解为硅片。

具体地，如图4和图5所示，固化炉装置还包括机架200、升降机构100和控制系统。其中，机架200包括主容纳腔202和设置于主容纳腔202至少一侧的侧腔204内，炉体装置300设置在主容纳腔202内。升降机构100设置在侧腔204内。控制系统与升降机构100和炉体装置300连接。花篮10沿第一方向放置在升降机构100上或者炉体装置300内，控制系统通过控制升降机构100动作，以将工件600传送至炉体装置300内进行烘干，或者以将烘干后的工件600传送至其他位置。

上述设置中，烘干固化炉装置利用控制系统控制升降机构100动作，将花篮10和装载在花篮10内的硅片送入炉体装置300进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，即上下料机构500，便于其下料。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率。

具体地，如图4和图5所示，机架包括两个侧腔204，两个侧腔204分别设置在主容纳腔202的两侧，固化炉装置包括两个升降机构100，两个升降机构100分别设置在对应的侧腔204内。

需要说明的是，位于左侧的侧腔204内的升降机构100用于将硅片送入炉体装置300内，位于右侧的侧腔204内的升降机构100用于将烘干后的硅片传送至其他部件，比如右侧侧腔的上下料机构500。

具体地，如图7至图9所示，升降机构100包括固定支架102和升降组件104。其中，升降组件104与固定支架102滑动连接，升降组件104能够沿第一方向相对于固定支架102滑动。升降组件104用于支撑和固定花篮10，升降机构100还包括驱动装置107，驱动装置107能够驱动升降组件104沿第一方向滑动至预设的位置。

上述设置中，由于驱动装置107能够驱动升降组件104沿第一方向滑动至预设的位置。这样使得升降组件104能够与回传机构400或炉体装置300或上下料机构500顺利地进行接驳，从而确保花篮10能够在升降组件104与回传机构400或炉体装置300或上下料机构500之间传送，进而确保烘干固化炉装置能够实现对硅片的烘干固化功能。

具体地，如图7至图9所示，在本实用新型的实施例中，升降组件104包括升降件1042、传送装置1044和稳固装置1046。其中，传送装置1044设置在升降件1042上，且位于升降件1042的底部。稳固装置1046设置在升降件1042上，且位于升降件1042的顶部。花篮10位于传送装置1044和稳固装置1046之间，稳固装置1046能够将花篮10固定在传送装置1044上，传送装置1044用于支撑花篮10，并将花篮10朝第二方向传送。

上述设置中，稳固装置1046能够将花篮10固定在传送装置1044上，这样在花篮10在传送的过程中，能够稳定花篮10，避免其晃动而影响硅片的传送，从而确保硅片能够稳定地传送，进而确保烘干固化炉装置能够实现对硅片的烘干固化功能。

具体地，如图8所示，在本实用新型的实施例中，稳固装置1046包括缸体1047和驱动活塞1049。其中，缸体1047固定在升降件1042的顶部，驱动活塞1049设置在缸体1047内，驱动活塞1049能够沿第一方向伸缩。其中，驱动活塞1049能够从缸体1047伸出与花篮10抵接，并将其压紧固定在传送装置1044上。

上述设置中，稳固装置1046通过控制驱动活塞1049的伸缩以将花篮10压紧固定在传送装置1044上，从而实现对花篮10的稳固作用，进而确保装载在花篮10上的硅片能够顺利地在升降组件104上传送。可根据实际情况，稳固装置1046可采用驱动气缸或者油缸。

具体地，如图7至图9所示，在本实用新型的实施例中，升降组件104还包括连接板1048，连接板1048的一端与缸体1047连接，连接板1048的另一端与升降件1042的顶部连接。

上述设置中，连接板1048具有连接作用，稳固装置1046通过连接板1048悬挂固定在升降件1042上，进而确保稳固装置1046能够稳定地伸缩，以实现对花篮10的稳固功能。

具体地，如图7至图9所示，在本实用新型的实施例中，升降机构100还包括滑动结构106，滑动结构106位于固定支架102和升降组件104之间，升降组件104通过滑动结构106与固定支架102滑动连接。

上述设置中，滑动结构106使得升降组件104能够沿第一方向相对于固定支架102滑动，从而确保驱动装置107能够驱动升降组件104滑动至预设的位置。进而确保升降组件104能够与回传机构400或炉体装置300或上下料机构500顺利地进行接驳，以实现烘干固化炉装置对硅片的烘干固化功能。

具体地，如图7至图9所示，在本实用新型的实施例中，滑动结构106包括滑动导轨1062和滑动平台1064。其中，滑动导轨1062沿第一方向延伸设置在固定支架102上。滑动平台1064与滑动导轨1062滑动连接，滑动平台1064能够在滑动导轨1062上滑动，滑动平台1064与升降组件104连接。

上述设置中，滑动结构106设置成导轨和滑块相配合的形式以实现升降机构100的升降功能，从而确保驱动装置107能够驱动升降组件104滑动至预设的位置。

具体地，如图7至图9所示，在本实用新型的实施例中，驱动装置107包括驱动电机1072和与驱动电机1072连接的传动丝杠，传动丝杠与升降机构100的滑动平台1064螺纹连接。

上述设置中，传动丝杠与滑动平台1064构成螺纹丝杠传动结构，通过驱动电机1072驱动传动丝杠转动，从而实现滑动平台1064在传动丝杠上移动，进而确保升降组件104滑动至预设的位置。

具体地，如图7至图9所示，在本实用新型的实施例中，传送装置1044包括驱动电机、皮带轮和传送带。其中，驱动电机设置在升降件1042上。皮带轮与驱动电机的输出端连接，传送带套设在皮带轮的外周上，花篮10放置在传送带上。

上述设置中，皮带轮和传送带组成皮带传送结构，驱动电机能够带动皮带轮转动，从而带动传送带移动，进而将花篮10沿第二方向传送至预设的位置，以满足升降机构100的传送要求。

具体地，如图8所示，在本实用新型的实施例中，升降机构100还包括位置检测装置109，位置检测装置109设置在升降组件104和升降机构100的滑动结构106上。

上述设置中，位置检测装置109用于检测升降组件104是否滑动至预设的位置，即升降组件104是否滑动至预设的接驳位置，这样确保升降组件104能够准确地滑动至预设的位置，从而确保升降组件104能够与回传机构400或炉体装置300或上下料机构500顺利地进行接驳，进而满足花篮10的接驳要求。

需要说明的是，如图8所示，升降机构100还包括位置检测装置109，沿升降机构100的高度方向，从下往上依次为第一位置检测装置、第二位置检测装置、第三位置检测装置。其中，第一位置检测装置、第二位置检测装置和第三位置检测装置设置在滑动导轨1062上，第一位置检测装置用于检测升降组件104是否滑动至第一接驳位，即升降组件104与回传机构400的接驳位，第二位置检测装置用于检测升降组件104是否滑动至第二接驳位，即升降组件104与上下料机构500的接驳位，第三位置检测装置用于检测升降组件104是否滑动至第三接驳位，即升降组件104与炉体装置300的接驳位。升降机构100还包括第四位置检测装置，第四位置检测装置设置在升降组件104上，用于检测升降件1042内是否有花篮10。

具体地，如图5和图6所示，在本实用新型的实施例中，机架200还包括中间分隔板206，中间分隔板206设置在主容纳腔202内，用于将主容纳腔202分隔成上腔体2022和下腔体2024，炉体装置300设置在上腔体2022内，烘干固化炉装置还包括回传机构400，回传机构400设置在下腔体2024内，且与控制系统连接。

上述设置中，回传机构400用于接收位于右侧的侧腔204内的升降机构100传送的空载的花篮10，此时花篮10内的硅片已经卸除，并将该空载的花篮10传送至位于左侧的侧腔204内的升降机构100，从而确保花篮10能够重复利用，进而提高了烘干固化炉装置的工作效率，同时节约了烘干固化炉装置的使用成本。

具体地，如图6所示，在本实用新型的实施例中，回传机构400设置在底板上，位于中间分隔板206的下方，回传机构400包括输送装置，输送装置包括第一输送装置402、第二输送装置404和第三输送装置406，回传机构400还包括驱动件408，驱动件408设置在输送装置上。沿硅片的传送方向，输送装置依次设置，其传送平面(与花篮10的下端板14接触的平面)位于同一水平高度。同时，传送平面至中间分隔板206的垂直高度应大于花篮10的高度，以满足传送空载的花篮10的传送空间要求。第三输送装置406用于承接升降机构100传送的空载的花篮10，第一输送装置402用于传送空载的花篮10至左侧侧腔的升降机构100上。第一输送装置402、第二输送装置404和第三输送装置406上均设置有检测装置，第一输送装置402上的检测装置用于检测第一输送装置402上是否有花篮10，第三输送装置406上的检测装置用于检测第三输送装置406上是否有花篮10。

具体地，如图4和图5所示，在本实用新型的实施例中，烘干固化炉装置还包括两个上下料机构500，两个上下料机构500分别设置在对应的侧腔204内，两个上下料机构500与两个升降机构100一一对应地设置，且与控制系统连接。

上述设置中，控制系统控制位于左侧的侧腔204内的上下料机构500和升降机构100动作，以将需要烘干的硅片装满放置在升降机构100上的空载的花篮10内，从而满足花篮10的装载要求。控制系统控制位于右侧的侧腔204内的上下料机构500和升降机构100动作，以将花篮10内装载的烘干后的硅片卸除，从而确保花篮10后续能够循环使用。

具体地，图11至图13所示，在本实用新型的实施例中，上下料机构500包括支撑框架502、伸缩平台504、固定平台506和运送装置508。其中，伸缩平台504和固定平台506设置在支撑框架502的顶端，伸缩平台504能够在支撑框架502上伸缩滑动。运送装置508包括传动轮组5082和传动皮带5084，两组传动轮组5082分别设置支撑框架502的两侧，两根传动皮带5084一一对应地设置在两组传动轮组5082上。传动皮带5084部分设置在伸缩平台504和固定平台506上。传动轮组5082包括滑动轮5086，滑动轮5086能够随伸缩平台504一起伸缩。上下料机构500还包括三个检测装置，三个检测装置分别设在伸缩平台504、固定平台506和支撑框架502的一侧。上下料机构500还包括运送驱动装置501和伸缩驱动装置503，运送驱动装置501用于驱动运送装置508动作，伸缩驱动装置503用于驱动伸缩平台504动作。

具体地，如图4和图5所示，在本实用新型的实施例中，烘干固化炉装置还包括两个缓存机构700，两个缓存机构700分别设置在对应的侧腔204内，两个缓存机构700与两个上下料机构500一一对应地设置，且与控制系统连接。

上述设置中，当缓存机构700所处位置的后道工序出现故障或异常时，控制系统启动缓存机构700，缓存机构700收集前道工序传送至当下位置的硅片，从而避免损坏硅片的问题，进而确保硅片能够顺利在烘干固化炉装置内烘干。

具体地，如图10所示，在本实用新型的实施例中，缓存机构700包括固定立架702、驱动组件704、丝杆、缓存腔706和滑台板。缓存腔706通过滑台板固定在丝杆上，丝杆与固定立架702固定连接，固定立架702设置在机架200上，所示缓存腔706上设置有缓存分隔位709，缓存分隔位709用于放置硅片。

具体地，如图4和图5所示，在本实用新型的实施例中，烘干固化炉装置还包括翻片机构800，翻片机构800设置在主容纳腔202右侧的侧腔204内，且与位于同一侧腔204内的上下料机构500对应设置。

上述设置中，翻片机构800用于接收上下料机构500传送的硅片，并对该硅片进行翻面，从而满足下一到工序的要求。

具体地，如图4和图5所示，在本实用新型的实施例中，烘干固化炉装置还包括校位机构900，校位机构900设置在主容纳腔202右侧的侧腔204内，且位于同一侧腔204内的上下料机构500和翻片机构800之间。

上述设置中，校位机构900用于接收上下料机构500传送的硅片，并对其进行位置较正，再将其传送至翻片机构800的接驳位置，从而确保硅片能够正常地翻片，以满足下一到工序的要求。

具体地，如图4和图5所示，在本实用新型的实施例中，烘干固化炉装置还包括传送导轨1000，传送导轨1000设置在主容纳腔202左侧的侧腔204内，且与位于同一侧腔204内的上下料机构500对应设置。

上述设置中，传送导轨1000具有传送功能，能够将需要烘干的硅片传送至位于左侧的侧腔204内的上下料机构500上，从而方便上下料机构500后续将需要烘干的硅片传送至花篮10的安装槽162内。

具体地，如图6所示，在本实用新型的实施例中，炉体装置300包括炉体装置上料门302、炉体装置下料门304、加热腔、烘干腔、风机和传送结构。进一步地，传送结构包括第一传送件306、第二传送件308和第三传送件309，每个传送件对应设置有驱动设备，炉体装置300为本设备的烘干主体，烘干时，炉体装置300处于封闭状态，炉体装置上料门302、炉体装置下料门304用于硅片进入和离开炉体装置300。

具体的如图6所示，沿硅片的传送方向，第一传送件306、第二传送件308和第三传送件309依次设置，其传送平面位于同一水平高度，传送平面指与花篮10的下端板14接触的位置。进一步地，第一传送件306仅设置有一个传送位，第二传送件308可设置一个、两个或多个传送位，优选设置三个传送位，第三传送件309仅设置有一个传送位。

需要说明的是，当位于左侧的侧腔204内的升降机构100将首个花篮10(装载需要烘干的硅片)传送至炉体装置300时，炉体装置上料门302打开，第一传送件306快速承接花篮10，直至炉体装置300内的传送位上均布满花篮10，炉体装置上料门302关闭。待达到首个花篮10的烘干工艺时间后，炉体装置下料门304打开，第三传送件309将首个花篮10快速传送至位于右侧的侧腔204内的升降机构100上，炉体装置下料门304关闭，第二传送件308将第二个花篮10传送至第三传送件309上，这样第一传送件306上的花篮10依次传送至第三传送件309上，当第一传送件306上没有花篮10，位于左侧的侧腔204内的升降机构100与炉体装置300已接驳时，炉体装置上料门302打开，快速承接花篮10，承接完成后炉体装置上料门302关闭，依次反复。在第二传送件308上设置三处传送位，这样可节约传输时间，减少炉体装置上料门302和炉体装置下料门304打开或关闭的时间，避免造成炉体装置300内不必要的热量损失。另外，第一传送件306、第二传送件308和第三传送件309的传送速度可进行调节，烘干作业时，炉体装置300处于封闭状态。

进一步地，传送结构设置在中间分隔板206上，中间分隔板206可架设在电动杆上，电动杆上设置有电驱装置，可在电驱装置的作用下上下移动，便于传送结构的检修、维护和更换。其中，中间分隔板206可作为炉体装置300的底板的一部分，用于承载传送结构，炉体装置300处于工作状态下，中间分隔板206与炉体装置300密封连接，避免热量散失。

另外，第一传送件306上设置有检测装置，第三传送件309上设置有检测装置，第一传送件306上的检测装置用于检测第一传送件306上是否有花篮10，第三传送件309上的检测装置用于检测第三传送件309上是否有花篮10。

此外，炉体装置300内还设置有第一分隔门301和第二分隔门303，第一分隔门301用于将第一传送件306与第二传送件308分隔开，当炉体装置上料门302打开时，第一分隔门301处于关闭状态，炉体装置下料门304打开时，第二分隔门303处于关闭状态，当第一传送件306需要将花篮10传送至第二传送件308时，第一分隔门301打开，当第二传送件308需要将花篮10传送至第三传送件309时，第二分隔门303打开，当炉体装置上料门302关闭，第一分隔门301关闭，炉体装置下料门304打开时，第二分隔门303关闭，避免热量散失。

如图1和图2所示，本实用新型及本实用新型的实施例提供了一种花篮10，花篮10用于装载工件600，花篮10包括上端板12、下端板14和支撑件16。其中，下端板14与上端板12在第一方向上间隔设置，且位于上端板12的下方，支撑件16的一端与上端板12连接，支撑件16的另一端与下端板14连接。支撑件16包括安装槽162，安装槽162用于装载工件600。

需要说明的是，杆件164上等间距地设置有分隔位，即凹槽1642，在对应的位置上，每个杆件164上的分隔位围设成容置空间，即安装槽162，容置空间用于承载硅片。分隔位包括第一分隔位，设置位置靠近上端板12，包括第二分隔位至第N分隔位，第N分隔位为最后一处分隔位，第N分隔位靠近下端板14。凹槽1642的宽度为H1，相邻凹槽1642之间的间距为H2。

上述设置中，在上端板12与下端板14之间的空间内沿花篮10的高度方向叠放设置多个安装槽162，即多个硅片沿花篮10的高度方向叠放设置在上端板12与下端板14之间，该种叠放放置的方式节约了硅片在第二方向的占地面积，从而避免了相关技术中由于硅片的产能增加时，即单位时间内加工硅片的数量增加，烘干固化炉装置的占地面积增加而导致烘干固化炉装置使用不方便的问题，进而使得烘干固化炉装置在满足硅片产能增加的要求时，节约烘干固化炉装置的占地面积以确保其使用的便利性。同时也避免了烘干固化炉装置的占地面积增加需要增设加热件而导致其能耗较高的问题，从而使得烘干固化炉装置能够满足设备节能减排的要求。

需要说明的是，相关技术中的烘干炉体多采用单片传送，将硅片有序地以平铺的方式放置在如链条或传动辊上进行传送，当需要提高硅片产能时，即单位时间内加工硅片的数量增加，又因为每片硅片的加工时间一定，故需要通过增加传输装置的长度来提高硅片的产能，这样导致设备整体加长，对应地需要多增设加热件等装置，不仅增加了设备的占地面积，为使用者带来不便。同时，加热件的增多会导致设备的耗能量增加。

具体地，如图1和图2所示，在本实用新型的实施例中，支撑件16包括多根沿第一方向延伸设置的杆件164，每根杆件164上设置有凹槽1642，多根杆件164上的凹槽1642相互对应设置以构成安装槽162。

上述设置中，将支撑件16设置成多个杆件164，这样使得多个杆件164在支撑硅片的同时，多个杆件164之间具有足够的空间便于上下料机构500能够部分伸入到支撑件16内，以将硅片放置在相应的安装槽162内。另外，单个安装槽162由多个相互对应设置的凹槽1642组成，这样在无增设其他零件的情况下在原有零件的基础上设置了安装槽162，从而简化了花篮10的结构，进而节约了花篮10的制造成本。

具体地，如图1和图2所示，在本实用新型的实施例中，支撑件16包括四根沿第一方向延伸设置的杆件164。当然可根据实际情况设置两根或三根或五根等其他数目的杆件164，其设置位置不应阻碍工件的装载或卸载。

具体地，如图3所示，在本实用新型的实施例中，凹槽1642具有下槽壁1644，多个杆件164上的凹槽1642的下槽壁1644设置在同一平面上。

上述设置中，由于硅片放置在下槽壁1644上，每个杆件164同一位置处的凹槽1642的下槽壁1644在一个平面上时，这样使得硅片能够水平放置，从而满足硅片传送过程中水平放置的要求。

具体地，如图1至图3所示，在本实用新型的实施例中，支撑件16包括多个安装槽162，多个安装槽162沿第一方向间隔设置。

上述设置中，可根据实际情况，设置相应数目的安装槽162，从而装置多个硅片以满足硅片的产能要求。

下面阐述一下本申请中的烘干固化炉装置的主要传送过程：

1、硅片从左侧侧腔内的上下料机构500传送至左侧侧腔内的升降机构100。

上下料机构500上设置有三个检测装置，分别设置在上下料机构500靠近传送导轨1000的一端，即设置在固定平台506上，伸缩平台504上且靠近上下料机构500的一端，以及伸缩平台504的初始位置，即位于支撑框架502的一侧。位于支撑框架502的一侧的检测装置用于检测伸缩平台504是否回到初始位置。

当设备初始启动后，控制系统控制驱动装置107驱动升降件1042运动至与回传机构400进行接驳，此时位置检测装置109(第一位置检测装置)检测到升降件1042达到第一预设位置(升降件1042与回传机构400的接驳位置)，且第一输送装置402上的检测装置检测到第一输送装置402上有花篮10时，控制系统一方面控制传送装置1044运动承接花篮10，一方面控制驱动件408驱动第一输送装置402运动传送花篮10，实现空载的花篮10从回传机构400传送至升降机构100上，当升降机构100上的位置检测装置109(第一位置检测装置)检测到花篮10后，控制系统一方面控制传送装置1044停止传送，一方面控制稳固装置1046运动，使其与花篮10的上端板12抵接，以使花篮10能稳固地置留在传送装置1044上，一方面控制驱动装置107驱动升降件1042运动至升降机构100与上下料机构500接驳，此时位置检测装置109(第二位置检测装置)检测到升降件1042达到第二预设位置(升降件1042与上下料机构500的接驳位置)，控制系统控制运送驱动装置501驱动运送装置508运动，使伸缩平台504达到其预设位置(预设位置为伸缩平台504伸入升降机构100内以向花篮10输送的硅片的位置)，运送驱动装置501可为步径电机或伺服电机，运送装置508将硅片从上下料机构500靠近传送导轨1000的一端传送至靠近升降机构100的一端，当伸缩平台504上的检测装置检测到硅片后，控制系统控制驱动装置107驱动升降件1042上升H1和H2的高度和，将伸缩平台504末端的硅片收置在分隔位上，以此往后，直至花篮10中的分隔位布满硅片。其中一种方式为在控制系统中预设升降件1042上升的高度H后，向上移动N个(H1+H2)，可以理解为上升的高度H包括N个(H1+H2)当控制系统识别到升降件1042已上升N个(H1+H2)后，控制系统控制伸缩驱动装置503驱动伸缩平台504运动至初始位置，当伸缩平台504初始位置的检测装置检测到伸缩平台504后，控制系统控制驱动装置107驱动升降件1042向上运动至第三预设位置(升降件1042与炉体装置300的接驳位置)。其中，位置检测装置109(第三位置检测装置)检测硅片的数量，具体地，在控制系统中设定当检测到N个数量的硅片经过后，控制系统控制传送导轨1000停止运动，数量N应与花篮10上的分隔位数量一致。

2、花篮10从升降机构100传送至炉体装置300内，再从炉体装置300传送至右侧侧腔内的升降机构100。

升降机构100达到第三预设位置时，位置检测装置109(第三位置检测装置)检测到升降件1042，同时炉体装置300内的第一传送件306上的检测装置未检测到花篮10，控制系统控制炉体装置上料门302打开，稳固装置1046升起，传送装置1044传送花篮10，第一传送件306承接花篮10，花篮10从升降机构100传送至炉体装置300内，当第一传送件306上的检测装置检测到花篮10后，控制系统控制炉体装置上料门302关闭，当位置检测装置109(第四位置检测装置)未检测到花篮10，控制系统控制升降机构100运动至第一预设位置，以此往复以至炉体装置300内的传送工位上布满花篮10。当同一个花篮10完成从第一传送件306传送至第二传送件308，再传送至第三传送件309，其达到工艺烘干时间。同时，右侧侧腔的升降机构100的位置检测装置109(第三位置检测装置)检测到其上的升降件1042后，控制系统控制炉体装置下料门304打开，第三传送件309传送花篮10，控制系统控制传送装置1044承接花篮10，当第三传送件309上的检测装置未检测到花篮10时，控制系统控制炉体装置下料门304关闭。当右侧侧腔的升降机构100的位置检测装置109(第四位置检测装置)检测到花篮10后，传送装置1044停止传送，稳固装置1046与花篮10的上端板12抵接，右侧侧腔的升降机构100运动至第二预设位置，与右侧侧腔的上下料机构500接驳。当位置检测装置109(第二位置检测装置)检测到升降件1042到达第二预设位置，控制系统控制伸缩驱动装置503驱动伸缩平台504运动至其预设位置(预设位置为伸缩平台504伸入升降机构100内以承接花篮10上的硅片的位置)，升降件1042向下运动H1和H2的高度和，硅片落入到伸缩平台504上，伸缩平台504上的检测装置检测到硅片后，控制系统控制运送驱动装置501驱动运送装置508运动，将硅片传送至右侧侧腔的上下料机构500。当右侧侧腔的升降机构100上的硅片完全卸载后，伸缩平台504上的检测装置检测到已有N个硅片后，控制伸缩驱动装置503驱动伸缩平台504运动至初始位置，当支撑框架502的一侧的检测装置检测到伸缩平台504后，控制系统控制右侧侧腔的升降机构100运动至第一预设位置，位置检测装置109(第一位置检测装置)检测到升降件1042后，控制系统控制稳固装置1046回缩，控制系统控制传送装置1044运动，控制系统控制第三输送装置406运动承接空载的花篮10，空载的花篮10从右侧侧腔的升降机构100运动至回传机构400。当右侧侧腔的升降机构100上的位置检测装置109(第四位置检测装置)未检测到花篮10后，控制系统控制右侧侧腔204的升降机构100运动至第三预设位置，等待承接花篮10。

需要说明的是，伸缩平台504具有初始位置和预设位置，初始位置为伸缩平台504缩回支撑框架502的位置，预设位置为伸缩平台504伸出支撑框架502的位置，其中，初始位置可以为伸缩平台504缩回支撑框架502的极限位置，预设位置可以为伸缩平台504伸出支撑框架502的极限位置，或者，初始位置为满足工序需求，伸缩平台504伸出或回缩特定距离的位移位置，其目的在于承接花篮10上的硅片。运送驱动装置501可以为步径电机或伺服电机等或者是其他电机，应能实现伸缩平台504运动固定步长或路径，进而实现伸缩平台504到达预设位置和初始位置。

本实用新型的第二方面提供了一种烘干方法，烘干方法采用第一方面实施例中任一项的烘干固化炉装置，烘干方法包括以下步骤：步骤S30：位于烘干装置进料端的升降机构将装载有工件的花篮10传送至炉体装置；步骤S40：炉体装置对工件进行烘干；步骤S50：炉体装置将装载有烘干后的工件的花篮10传送至位于烘干装置出料端的升降机构。

炉体装置包括炉体和设置在炉体内的分隔门，分隔门将炉体分隔成多个加热腔室，在步骤S30之前，烘干方法还包括步骤S20，步骤S20：上下料机构将工件装载于位于烘干装置进料端的升降机构上的空载的花篮10上。在步骤S50之后，烘干方法还包括步骤S60，步骤S60：上下料机构将烘干后的工件从装载有烘干后的工件的花篮10内取出。

根据上述步骤，烘干固化炉装置利用控制系统控制升降机构100动作，将花篮10和装载在花篮10内的硅片送入炉体装置300进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，即上下料机构500，便于其下料。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求。

从以上的描述中，可以看出，花篮10用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置300进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率，本申请中工件可以理解为硅片。

在本实用新型中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种烘干固化炉装置，用于烘干工件(600)，其特征在于，所述固化炉装置包括：

花篮(10)，所述工件(600)沿第一方向叠放于所述花篮(10)上；

炉体装置(300)，所述花篮(10)沿第二方向在所述炉体装置(300)内传送，所述第一方向和所述第二方向相垂直。

2.根据权利要求1所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述固化炉装置还包括：

机架(200)，包括主容纳腔(202)和设置于所述主容纳腔(202)至少一侧的侧腔(204)内，所述炉体装置(300)设置在所述主容纳腔(202)内；

升降机构(100)，设置在所述侧腔(204)内；

控制系统，与所述升降机构(100)和所述炉体装置(300)连接；

其中，所述花篮(10)沿第一方向放置在所述升降机构(100)上或者所述炉体装置(300)内；所述控制系统通过控制所述升降机构(100)动作，以将所述工件(600)传送至所述炉体装置(300)内进行烘干，或者以将烘干后的所述工件(600)传送至其他位置。

3.根据权利要求2所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述烘干固化炉装置还包括回传机构(400)，所述回传机构(400)用于回传空载的所述花篮(10)。

4.根据权利要求2所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述机架(200)还包括中间分隔板(206)，所述中间分隔板(206)设置在所述主容纳腔(202)内，用于将所述主容纳腔(202)分隔成上腔体(2022)和下腔体(2024)，所述炉体装置(300)设置在所述上腔体(2022)内。

5.根据权利要求3所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述机架(200)还包括中间分隔板(206)和两个所述侧腔(204)，所述中间分隔板(206)设置在所述主容纳腔(202)内，用于将所述主容纳腔(202)分隔成上腔体(2022)和下腔体(2024)，所述炉体装置(300)设置在所述上腔体(2022)内，两所述侧腔(204)分别设置在所述主容纳腔(202)的两侧，所述固化炉装置包括两个所述升降机构(100)，两个所述升降机构(100)分别设置在对应的所述侧腔(204)内，所述回传机构(400)设置在所述下腔体(2024)内，且与所述控制系统连接。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述花篮(10)包括：

上端板(12)；

下端板(14)，与所述上端板(12)在第一方向上间隔设置，且位于所述上端板(12)的下方；

支撑件(16)，一端与所述上端板(12)连接，所述支撑件(16)的另一端与所述下端板(14)连接；

其中，所述支撑件(16)包括安装槽(162)，所述安装槽(162)用于装载所述工件(600)。

7.根据权利要求2所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述烘干固化炉装置还包括两个上下料机构(500)，两个所述上下料机构(500)分别设置在对应的所述侧腔(204)内，两个所述上下料机构(500)与两个所述升降机构(100)一一对应地设置，且与所述控制系统连接。

8.根据权利要求7所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述烘干固化炉装置还包括两个缓存机构(700)，两个所述缓存机构(700)分别设置在对应的所述侧腔(204)内，两个所述缓存机构(700)与两个所述上下料机构(500)一一对应地设置，且与所述控制系统连接。

9.根据权利要求7所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述烘干固化炉装置还包括翻片机构(800)，所述翻片机构(800)设置在所述主容纳腔(202)右侧的所述侧腔(204)内，且与位于同一所述侧腔(204)内的所述上下料机构(500)对应设置。

10.根据权利要求9所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述烘干固化炉装置还包括校位机构(900)，所述校位机构(900)设置在所述主容纳腔(202)右侧的所述侧腔(204)内，且位于同一所述侧腔(204)内的所述上下料机构(500)和所述翻片机构(800)之间。

11.根据权利要求1所述的烘干固化炉装置，其特征在于，所述炉体装置(300)包括炉体和设置在所述炉体内的分隔门，所述分隔门将所述炉体分隔成多个加热腔室。

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