CN214519538U - 一种自动高效平面靶材研磨装置 - Google Patents

Abstract

一种自动高效平面靶材研磨装置，属于靶材研磨设备技术领域，包括工作台、竖杆和横梁，所述工作台上部两侧分别设置滑槽和工件放置槽，所述滑槽内壁两侧中间设置凸起，所述竖杆底部设置横截面为工字型的底座，所述竖杆通过底座滑动设置在滑槽内，所述竖杆上部设置控制模块，所述横梁一端垂直固定设置在竖杆上，所述横梁外表面上滑动设置套筒，所述套筒底部连接电动研磨机构，所述电动研磨机构由伸缩转轴、电机、转筒、防尘护罩和研磨盘组成，所述控制模块与底座、套筒和电机电性连接。本实用新型可以自动、高效的对靶材表面进行研磨抛光，减少人力投入，并且能够在研磨过程中对产生的粉尘杂质进行吸附，减少后续靶材清洁过程的工作量，实用性强。

Description

一种自动高效平面靶材研磨装置

技术领域

本实用新型涉及靶材研磨设备技术领域，具体涉及一种自动高效平面靶材研磨装置。

背景技术

溅镀是一种物理气相沉积技术，主要是利用高能量的离子束或原子束射入靶材中，而使靶材表面的原子获得额外动能以脱离靶材，进而使原子得以飞溅至待镀物上而沉积成薄膜。靶材包含正板与背板，正板使用的材质即为待镀物所欲沉积的材质。例如，待镀物上若是欲沉积铝薄膜，则正板的材质为铝。正板与背板相贴合，其中背板略大于正板，由于靶材的正板与背板的材质不同，所以在制作靶材时，需要经过靶材绑定将正板与背板绑定在一起，才能做为靶材使用。

在一般的靶材制作过程中，通常是先分别提供正板以及背板，并分别清洗正板与背板，清洁干净后的正板与背板上涂布绑定层，以使正板与背板得以焊接在一起，绑定后的正板与背板需要再经过研磨操作，才能做为靶材使用，然而，在上述靶材的制作过程中，传统的研磨操作通常是由人工手持小型研磨机对靶材表面进行研磨，不仅耗时耗力，而且受人为因素影响下研磨质量无法保证，提高了废品率进而也提高了靶材的制作成本。

公开号为CN207206083U的专利公开了一种靶材研磨机，包括机架、基座、传动轮和抛光带，其特征在于：所述基座设置在所述机架的上方，所述传动轮设置在所述基座上，所述传动轮包括驱动轮、研磨调节轮和张紧调节轮，所述驱动轮、研磨调节轮和张紧调节轮呈三角形分布，所述驱动轮由第一电机驱动工作，所述抛光带(套设所述驱动轮、研磨调节轮和张紧调节轮上，所述驱动轮与所述研磨调节轮之间的抛光带下方设置有工作平台，所述工作平台下方设置有平台控制装置，所述平台控制装置包括转轴和旋转台，所述转轴与所述旋转台连接，且所述工作平台设置在 所述旋转台的上，所述转轴由第二电机驱动旋转，所述基座上开设有研磨调节槽和张紧调节槽，所述基座与所述机架之间设有滑块和与所述滑块相配合的滑轨，所述滑块在滑轨上能够沿着抛光带垂直运动。该技术方案通过设有研磨调节槽和张紧调节槽，可以调节驱动轮和研磨调节轮之间的研磨长度，在基座与机架之间设有滑块和与之配合的滑轨，可以使得抛光带垂直于工作平台运动，从而可以调节靶材宽度方向上的距离，进而可以进行大面积的靶材研磨，但是未对研磨过程中产生的粉尘进行处理，且抛光带易损耗，成本较高。

发明内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种自动高效平面靶材研磨装置，通过控制模块控制电动研磨机构在靶材表面作往复运动从而实现自动高效的靶材研磨操作，减少人力的投入，同时提高了研磨质量。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种自动高效平面靶材研磨装置，包括工作台、竖杆和横梁，所述工作台上部一侧设置滑槽，所述工作台上部另一侧设置工件放置槽，所述滑槽内壁两侧中间设置凸起，所述竖杆底部设置横截面为工字型的底座，所述竖杆通过底座滑动设置在滑槽内，所述竖杆上部设置控制模块，所述横梁一端垂直固定设置在竖杆上，所述横梁外表面上滑动设置套筒，所述套筒底部连接电动研磨机构，所述电动研磨机构由伸缩转轴、电机、转筒、防尘护罩和研磨盘组成，所述伸缩转轴顶部与套筒活动连接，所述伸缩转轴底部与电机顶部连接，所述电机底部从上到下依次由转筒、防尘护罩和研磨盘连接而成，所述控制模块与底座、套筒和电机电性连接。

进一步的，所述工件放置槽为长方体凹槽，所述工件放置槽内两侧面固定连接弹簧，所述弹簧另一端设置固定条。

进一步的，所述防尘护罩上设置真空除尘机构，所述真空除尘机构由吸尘管、微型真空泵和集尘罩组成，所述吸尘管一端与防尘护罩内部连通，所述吸尘管另一端连接微型真空泵，所述微型真空泵另一端连接集尘罩。

进一步的，所述研磨盘底部设置若干圆孔，所述研磨盘底部覆盖一层磨砂垫。

进一步的，所述横梁的横截面呈T字型结构，所述横梁远离竖杆一端凸出部分的宽度大于套筒的直径，所述横梁的长度大于从竖杆到工件放置槽靠近工作台一边边缘的水平距离。

进一步的，所述控制模块采用PIC单片机。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的自动高效平面靶材研磨装置通过采用PIC单片机控制模块与底座、套筒和电机电性连接，可以控制底座和套筒的往复运动以及电机的转动从而实现对平面靶材的自动研磨，减少了人力的投入，提高了靶材的研磨质量。

同时，在工作台上设置工件放置槽，工件放置槽内部设置弹簧和固定条，可以对待研磨的靶材组件起到固定作用，弹簧的设置可以用来固定不同尺寸的靶材组件，防止靶材组件在被研磨的过程中发生位移从而影响研磨质量。

同时，通过设置防尘护可以避免研磨过程中产生的粉尘直接进入电机影响电机工作，另外设置真空除尘机构可以将研磨过程中产生的粉尘进行吸附，一方面减少了对工作环境的污染，另一方面减少了后续靶材清洗的工作量。

本实用新型所提供的一种自动高效平面靶材研磨装置，解决了以往传统的研磨操作由人工操作小型研磨机对靶材表面进行研磨时耗时耗力、研磨质量无法保证的问题，提高了工作效率，减少了人力的投入。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。

图1是本实用新型实施例1的结构示意图。

图2是本实用新型中研磨盘的底部示意图。

其中：1-工作台，2-竖杆，3-横梁，4-控制模块，5-滑槽，6-凸起，7-底座，8-真空除尘机构，9-工件放置槽，10-固定条，11-弹簧，12-套筒，13-伸缩转轴，14-电动研磨机构，15-电机，16-转筒，17-防尘护罩，18-研磨盘，19-集尘罩，20-微型真空泵，21-吸尘管，22-圆孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图1-2，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例1是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

如图1所示，该实施例提供了一种自动高效平面靶材研磨装置，包括工作台1、竖杆2和横梁3，所述工作台1上部一侧设置滑槽5，所述工作台1上部另一侧设置工件放置槽9，所述滑槽5内壁两侧中间设置凸起6，所述竖杆2底部设置横截面为工字型的底座7，所述竖杆2通过底座7滑动设置在滑槽5内，所述竖杆2上部设置控制模块4，所述横梁3一端垂直固定设置在竖杆2上，所述横梁3外表面上滑动设置套筒12，所述套筒12底部连接电动研磨机构14，所述电动研磨机构14由伸缩转轴13、电机15、转筒16、防尘护罩17和研磨盘18组成，所述伸缩转轴13顶部与套筒12活动连接，所述伸缩转轴13底部与电机15顶部连接，所述电机15底部从上到下依次由转筒16、防尘护罩17和研磨盘18连接而成，所述控制模块4与底座7、套筒12和电机15电性连接。

在本实用新型中，所述工件放置槽9为长方体凹槽，可以将带待研磨靶材组件放置在其中，所述工件放置槽9内两侧面固定连接弹簧11，所述弹簧11另一端设置固定条10，通过固定条10来对待研磨的靶材组件起到固定作用，同时弹簧11的设置可以用来固定不同尺寸的靶材组件，防止靶材组件在被研磨的过程中发生位移从而影响研磨质量。

在本实用新型中，所述研磨盘18底部设置若干圆孔22，所述研磨盘18底部覆盖一层磨砂垫，工作时通过研磨盘18底部的磨砂垫转动对靶材表面进行研磨。

在本实用新型中，所述防尘护罩17上设置真空除尘机构8，设置防尘护罩17可以避免研磨过程中产生的粉尘直接进入电机15影响电机15工作，影响整个装置工作，所述真空除尘机构8由吸尘管21、微型真空泵20和集尘罩19组成，所述吸尘管21一端与防尘护罩17内部连通，所述吸尘管21另一端连接微型真空泵20，所述微型真空泵20另一端连接集尘罩19，当电机15转动带动研磨盘18工作时，启动微型真空泵20，更为具体的是微型真空泵20可采用型号为VBY8009A-Y的微型真空泵，体积小，抽吸效果好，此时靶材表面因研磨产生的粉尘杂质受吸力会通过研磨盘18底部的圆孔进入到防尘护罩17内进而通过吸尘管21之后被储存在集尘罩19中，一方面减少了对工作环境的污染，另一方面减少了后续靶材清洗的工作量。

在本实用新型中，所述横梁3的横截面呈T字型结构，所述横梁3远离竖杆2一端凸出部分的宽度大于套筒12的直径，以保证套筒12在横梁3上滑动时不会从横梁3上脱落，所述横梁3的长度大于从竖杆2到工件放置槽9靠近工作台1一边边缘的水平距离，以保证电动研磨机构14的研磨范围覆盖整个工件放置槽9。

在本实用新型中，所述控制模块4采用PIC单片机，通过控制模块4与与底座7、套筒12和电机15电性连接，可以控制底座7在滑槽内部滑动，以及控制套筒12在横梁3上滑动，同时可以根据研磨要求控制电机15的转速进而带动研磨盘18在靶材表面移动进而完成对靶材表面的自动高效研磨，且研磨均匀，减少了人力的投入，也可根据实际需要在工作台上设置多组研磨装置实现多条靶材同时研磨。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种自动高效平面靶材研磨装置，其特征在于：包括工作台、竖杆和横梁，所述工作台上部一侧设置滑槽，所述工作台上部另一侧设置工件放置槽，所述滑槽内壁两侧中间设置凸起，所述竖杆底部设置横截面为工字型的底座，所述竖杆通过底座滑动设置在滑槽内，所述竖杆上部设置控制模块，所述横梁一端垂直固定设置在竖杆上，所述横梁外表面上滑动设置套筒，所述套筒底部连接电动研磨机构，所述电动研磨机构由伸缩转轴、电机、转筒、防尘护罩和研磨盘组成，所述伸缩转轴顶部与套筒连接，所述伸缩转轴底部与电机顶部连接，所述电机底部从上到下依次由转筒、防尘护罩和研磨盘连接而成，所述控制模块与底座、套筒和电机电性连接。

2.如权利要求1所述的一种自动高效平面靶材研磨装置，其特征在于：所述工件放置槽为长方体凹槽，所述工件放置槽内两侧面固定连接弹簧，所述弹簧另一端设置固定条。

3.如权利要求1所述的一种自动高效平面靶材研磨装置，其特征在于：所述防尘护罩上设置真空除尘机构，所述真空除尘机构由吸尘管、微型真空泵和集尘罩组成，所述吸尘管一端与防尘护罩内部连通，所述吸尘管另一端连接微型真空泵，所述微型真空泵另一端连接集尘罩。

4.如权利要求1所述的一种自动高效平面靶材研磨装置，其特征在于：所述研磨盘底部设置若干圆孔，所述研磨盘底部覆盖一层磨砂垫。

5.如权利要求1所述的一种自动高效平面靶材研磨装置，其特征在于：所述横梁的横截面呈T字型结构，所述横梁远离竖杆一端凸出部分的宽度大于套筒的直径，所述横梁的长度大于从竖杆到工件放置槽靠近工作台一边边缘的水平距离。

6.如权利要求1所述的一种自动高效平面靶材研磨装置，其特征在于：所述控制模块采用PIC单片机。

Images