CN216504032U - 一种用于光刻领域的载板超精密加工装置 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，其包括底板和打磨机构，所述底板安装在已有超精密加工机床上，所述底板的上端设置有打磨机构；本方案通过电机带动转动轴旋转，转动轴带动打磨带同步旋转运动，从而实现对载板的断口面进行打磨的功能，进而达到去除毛刺的效果，通过设置两组打磨带可实现对载板的两端断口处进行同时打磨的功能，提高了打磨效率，且通过打磨带的循环打磨方式可增强打磨效果。
Description
技术领域
本申请涉及载板的技术领域，尤其是涉及一种用于光刻领域的载板超精密加工装置。
背景技术
载板指薄层色谱中负载固定相薄层的平面介质，一般为玻璃板、金属板或塑料板，而用于光刻领域的载板主要是用以承载晶圆，故大部分是塑料或者玻璃材质，而用于光刻领域的载板载板一般都是在超精密加工机床上进行加工成型的。
但是，载板在超精密加工成型过程中需要将其裁剪成合适的尺寸大小，而裁剪后的载板的断口面会有一些毛刺，尤其是玻璃材质的载板，若不对毛刺进行处理，则会影响搬运等。因此，本领域技术人员提供了一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
实用新型内容
为了解决上述背景技术中提出的问题，本申请提供一种用于光刻领域的载板超精密加工装置。
本申请提供的一种用于光刻领域的载板超精密加工装置采用如下的技术方案：
一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，包括底板和打磨机构，所述底板安装在已有超精密加工机床上，所述底板的上端设置有打磨机构。
所述打磨机构包括固定模块、支撑杆、安装板、转动轴、打磨带和电机，所述固定模块设置在所述底板的上端，所述底板的上端前后对称设置有支撑杆，所述固定模块位于两个所述支撑杆之间，所述支撑杆的上端固定连接有安装板，所述安装板的左右两端均转动连接有转动轴，所述转动轴的外壁安装有带轮，两个所述带轮之间套设有打磨带，位于所述安装板右端的转动轴的下端安装有电机，所述电机通过电机座与所述安装板固定连接。
通过采用上述技术方案，可通过人工方式将裁切好的载板放置到固定模块上进行固定，并使得载板的断口面与打磨带接触，然后启动电机，通过电机带动转动轴旋转，转动轴带动打磨带同步旋转运动，从而实现对载板的断口面进行打磨，通过设置两组打磨带可实现对载板的两端断口处进行同时打磨的功能，提高了打磨效率，且通过打磨带的循环打磨方式可增强打磨效果。
优选的，所述固定模块包括液压柱、匚型板、匚型架、气缸、联动板、倒T型板和真空吸盘，所述液压柱安装在所述底板的上端，所述液压柱的上端安装有开口朝上的匚型板，所述匚型板的左右两端之间安装有开口朝下的匚型架，所述匚型架上安装有气缸，所述气缸的下端安装有联动板，所述联动板的下端均匀安装有三个倒T型板，所述倒T型板的下端从前往后均匀安装有若干真空吸盘，液压柱可实现匚型板的升降功能，从而认可便于取放载板。
通过采用上述技术方案，当载板被放置到匚型板上后，可通过气缸带动联动板下降，联动板带动倒T型板同步下降，倒T型板带动真空吸盘向下同步运动，使得真空吸盘与载板的上端面接触，并通过真空吸盘对其进行吸附，从而实现了对载板进行固定的功能，且通过气缸的伸缩长度可实现该固定模块对不同厚度的载板进行固定。
优选的，所述底板的上端前后对称开设有限位槽，所述限位槽内转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端安装有旋钮，所述旋钮位于所述底板的外侧，且螺纹杆的外壁与所述支撑杆的下端之间螺纹配合。
通过采用上述技术方案，可通过人工方式旋转旋钮，使得旋钮带动螺纹杆旋转，螺纹杆带动支撑杆做直线运动，从而可实现对打磨带与载板之间的间距进行调节的功能，进而实现对载板进行精细打磨，另外还可对不同尺寸的载板进行打磨，提高了该装置的实用性。
优选的，所述打磨带远离所述匚型板的一端均匀粘贴有若干刷毛。
通过采用上述技术方案，在打磨过程中，刷毛可及时地对打磨产生的碎屑进行清除，以免碎屑粘附在载板的断口处影响打磨效果。
综上所述，本申请包括以下有益技术效果：
1.本方案通过电机带动转动轴旋转，转动轴带动打磨带同步旋转运动，从而实现对载板的断口面进行打磨的功能，进而达到去除毛刺的效果，通过设置两组打磨带可实现对载板的两端断口处进行同时打磨的功能，提高了打磨效率，且通过打磨带的循环打磨方式可增强打磨效果；
2.本方案可通过人工方式旋转旋钮，使得旋钮带动螺纹杆旋转，螺纹杆带动支撑杆做直线运动，从而可实现对打磨带与载板之间的间距进行调节的功能，进而实现对载板进行精细打磨，另外还可对不同尺寸的载板进行打磨，提高了该装置的实用性；
3.本方案中的刷毛可及时地对打磨产生的碎屑进行清除，以免碎屑粘附在载板的断口处影响打磨效果。
附图说明
图1是本申请实施例中一种用于光刻领域的载板超精密加工装置的立体图；
图2是本申请实施例中一种用于光刻领域的载板超精密加工装置的侧视图；
图3是本申请实施例中一种用于光刻领域的载板超精密加工装置的俯视图。
附图标记说明：1、底板；2、打磨机构；11、限位槽；12、螺纹杆；20、固定模块；21、支撑杆；22、安装板；23、转动轴；24、打磨带；25、电机； 121、旋钮；201、液压柱；202、匚型板；203、匚型架；204、气缸；205、联动板；206、倒T型板；207、真空吸盘。
具体实施方式
以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种用于光刻领域的载板超精密加工装置。参照图1，一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，包括底板1和打磨机构2，底板1 安装在已有超精密加工机床上，底板1的上端设置有打磨机构2。
参照图1至图3，打磨机构2包括固定模块20、支撑杆21、安装板22、转动轴23、打磨带24和电机25，固定模块20设置在底板1的上端，底板1 的上端前后对称设置有支撑杆21，固定模块20位于两个支撑杆21之间，支撑杆21的上端固定连接有安装板22，安装板22的左右两端均转动连接有转动轴23，转动轴23的外壁安装有带轮，两个带轮之间套设有打磨带24，位于安装板22右端的转动轴23的下端安装有电机25，电机25通过电机座与安装板22固定连接，底板1的上端前后对称开设有限位槽11，限位槽11内转动连接有螺纹杆12，螺纹杆12的一端安装有旋钮121，旋钮121位于底板1 的外侧，且螺纹杆12的外壁与支撑杆21的下端之间螺纹配合，可通过人工方式将裁切好的载板放置到固定模块20上进行固定，并使得载板的断口面与打磨带24接触，然后启动电机25，通过电机25带动转动轴23旋转，转动轴23带动打磨带24同步旋转运动，从而实现对载板的断口面进行打磨的功能，通过设置两组打磨带24可实现对载板的两端断口处进行同时打磨的功能，提高了打磨效率，且通过打磨带24的循环打磨方式可增强打磨效果，在打磨之前，可通过人工方式旋转旋钮121，使得旋钮121带动螺纹杆12旋转，螺纹杆12带动支撑杆21做直线运动，从而可实现对打磨带24与载板之间的间距进行调节的功能，进而实现对载板进行精细打磨，另外还可对不同尺寸的载板进行打磨，提高了该装置的实用性。
参照图1和图2，固定模块20包括液压柱201、匚型板202、匚型架203、气缸204、联动板205、倒T型板206和真空吸盘207，液压柱201安装在底板1的上端，液压柱201的上端安装有开口朝上的匚型板202，打磨带24远离匚型板202的一端均匀粘贴有若干刷毛，刷毛可及时地对打磨产生的碎屑进行清除，以免碎屑粘附在载板的断口处影响打磨效果，匚型板202的左右两端之间安装有开口朝下的匚型架203，匚型架203上安装有气缸204，气缸 204的下端安装有联动板205，联动板205的下端均匀安装有三个倒T型板206，倒T型板206的下端从前往后均匀安装有若干真空吸盘207，在打磨之前，可通过气缸204带动联动板205下降，联动板205带动倒T型板206同步下降，倒T型板206带动真空吸盘207向下同步运动，使得真空吸盘207与载板的上端面接触，并通过真空吸盘207对其进行吸附，从而实现了对载板进行固定的功能，且通过气缸204的伸缩长度可实现该固定模块对不同厚度的载板进行固定。
本申请实施例一种用于光刻领域的载板超精密加工装置的实施原理为：先利用液压柱201将匚型板202抬升至一定高度，然后通过人工方式将裁切好的载板放置到匚型板202上，接着通过气缸204带动联动板205下降，联动板205带动倒T型板206同步下降，倒T型板206带动真空吸盘207向下同步运动，使得真空吸盘207与载板的上端面接触，并通过真空吸盘207对其进行吸附，从而对载板进行固定，载板固定好后，通过液压柱201带动匚型板202和载板下降，然后通过人工方式旋转旋钮121，使得旋钮121带动螺纹杆12旋转，螺纹杆12带动支撑杆21做直线运动，从而对打磨带24与载板之间的间距进行调节，使得载板的两端断口面与打磨带24接触，然后过电机25带动转动轴23旋转，转动轴23带动打磨带24同步旋转运动，从而对载板的断口面进行打磨，在打磨过程中，刷毛可及时地对打磨产生的碎屑进行清除。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，包括底板(1)和打磨机构(2)，其特征在于：所述底板(1)安装在已有超精密加工机床上，所述底板(1)的上端设置有打磨机构(2)；
所述打磨机构(2)包括固定模块(20)、支撑杆(21)、安装板(22)、转动轴(23)、打磨带(24)和电机(25)，所述固定模块(20)设置在所述底板(1)的上端，所述底板(1)的上端前后对称设置有支撑杆(21)，所述固定模块(20)位于两个所述支撑杆(21)之间，所述支撑杆(21)的上端固定连接有安装板(22)，所述安装板(22)的左右两端均转动连接有转动轴(23)，所述转动轴(23)的外壁安装有带轮，两个所述带轮之间套设有打磨带(24)，位于所述安装板(22)右端的转动轴(23)的下端安装有电机(25)，所述电机(25)通过电机座与所述安装板(22)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，其特征在于：所述固定模块(20)包括液压柱(201)、匚型板(202)、匚型架(203)、气缸(204)、联动板(205)、倒T型板(206)和真空吸盘(207)，所述液压柱(201)安装在所述底板(1)的上端，所述液压柱(201)的上端安装有开口朝上的匚型板(202)，所述匚型板(202)的左右两端之间安装有开口朝下的匚型架(203)，所述匚型架(203)上安装有气缸(204)，所述气缸(204)的下端安装有联动板(205)，所述联动板(205)的下端均匀安装有三个倒T型板(206)，所述倒T型板(206)的下端从前往后均匀安装有若干真空吸盘(207)。
3.根据权利要求1所述的一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，其特征在于：所述底板(1)的上端前后对称开设有限位槽(11)，所述限位槽(11)内转动连接有螺纹杆(12)，所述螺纹杆(12)的一端安装有旋钮(121)，所述旋钮(121)位于所述底板(1)的外侧，且螺纹杆(12)的外壁与所述支撑杆(21)的下端之间螺纹配合。
4.根据权利要求2所述的一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，其特征在于：所述打磨带(24)远离所述匚型板(202)的一端均匀粘贴有若干刷毛。
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