CN214361642U - 一种张网装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种张网装置，爪夹滑轨为两条，两条爪夹滑轨分别置于张网机台的左右两侧；爪夹机构为两个，两条爪夹滑轨上分别设置有一个爪夹机构，两个爪夹机构相对设置，相对设置的两个爪夹机构用于抓取多条掩膜条进行张网；张网机台用于放置掩膜框；多个爪夹位于爪夹本体靠近张网机台的一侧上，多个爪夹置于同一水平面上；爪夹本体滑动设置于爪夹滑轨上；两个爪夹机构上的多个爪夹一一对应，位于相同位置上的两个爪夹组成一对爪夹。在爪夹本体上设置的多个爪夹，实现同时对多条掩膜条进行张网的功能；每对爪夹也可独立对所抓取的掩膜条实施张网作业。多个爪夹的设置可使张网、量测以及焊接作业同步进行，提高装置的工作效率。

Description

一种张网装置

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备领域，尤其涉及一种张网装置。

背景技术

现有有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)制程中，高精细金属掩膜板(Fine Metal Mask)是蒸镀必不可少的一部分。通常张网机在制作Fine sheet过程中，需要按照对位量测、张网、焊接的顺序逐步进行，且每台张网机一次仅可进行一条fine sheet张网。在无数子像素中选取若干个点位进行量测需要大量时间，且通常需要多次不断量测与张网调整才可达到规格要求，完成量测与张网后才可进行镭射焊接，故现有设备张网效率低。

实用新型内容

为此，需要提供一种张网装置，提高张网效率。

为实现上述目的，本申请提供了一种张网装置，包括：张网机台、爪夹滑轨和爪夹机构；所述爪夹滑轨为两条，两条所述爪夹滑轨分别置于所述张网机台的左右两侧；所述爪夹机构为两个，两条所述爪夹滑轨上分别设置有一个所述爪夹机构，且两个所述爪夹机构相对设置，相对设置的两个所述爪夹机构用于抓取多条掩膜条进行张网；所述张网机台用于放置掩膜框；

所述爪夹机构包括：多个爪夹和爪夹本体；多个所述爪夹位于所述爪夹本体靠近所述张网机台的一侧上，多个所述爪夹置于同一水平面上；所述爪夹本体滑动设置于所述爪夹滑轨上；两个所述爪夹机构上的多个所述爪夹一一对应，位于相同位置上的两个所述爪夹组成一对所述爪夹，每对所述爪夹用于抓取一条掩膜条。

进一步地，还包括：龙门支架、支架滑轨和CCD镜头；所述支架滑轨为两条，所述支架滑轨置于所述爪夹滑轨远离所述张网机台的一侧，所述支架滑轨与所述爪夹滑轨相互平行；所述龙门支架的两滑动端分别设置于两条所述支架滑轨上；所述CCD镜头滑动设置于所述龙门支架上，且所述CCD镜头的位移方向与所述龙门支架的位移方向相互垂直。

进一步地，还包括：焊接头；所述焊接头为两个，且两个所述焊接头滑动设置于所述龙门支架的两端，且所述焊接头的位移方向与所述龙门支架的位移方向平行，所述焊接头用于焊接下方的掩膜条和掩膜框。

进一步地，所述CCD镜头为两个，两个所述CCD镜头位移方向相互平行，且两个所述CCD镜头位移轨道相互独立，两个所述CCD镜头分别用于量测一条掩膜条。

进一步地，所述焊接头的滑动轨道置于所述CCD镜头滑动轨道的两端。

进一步地，一个所述爪夹本体上设置有两个、三个或四个所述爪夹。

进一步地，还包括：驱动单元；所述驱动单元电连接所述焊接头、CCD镜头、爪夹机构和龙门支架。

区别于现有技术，上述技术方案，通过在所述爪夹本体上设置的多个所述爪夹，实现同时对多条掩膜条进行张网的功能；每对爪夹也可独立对所抓取的掩膜条实施张网作业。多个爪夹的设置可使张网、量测以及焊接作业同步进行，以此提高了装置的工作效率。

附图说明

图1为所述装载台、张网机台和掩膜条位置关系图；

图2为所述龙门支架结构图；

图3为所述龙门支架和CCD镜头结构图；

图4为两个所述CCD镜头结构图；

图5为所述焊接头结构图；

图6为所述CCD镜头和焊接头位移轨道图；

图7为焊接区和显示区结构图；

图8为所述爪夹机构和掩膜条结构图。

附图标记说明：

1、张网机台；2、爪夹滑轨；3、爪夹机构；4、装载台；5、掩膜条；6、龙门支架；7、CCD镜头；8、焊接头；

31、爪夹；32、爪夹本体。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1至图8，在本申请中提供了一种张网装置，包括：张网机台1、爪夹滑轨2和爪夹机构3；所述爪夹滑轨2为两条，两条所述爪夹31轨道分别置于所述张网机台1的左右两侧；所述爪夹机构3为两个，两条所述爪夹滑轨2上分别设置有一个所述爪夹机构3，且两个所述爪夹机构3相对设置，相对设置的两个所述爪夹机构3用于抓取多条掩膜条5进行张网；所述张网机台1用于放置掩膜框；所述爪夹机构3包括：多个爪夹31和爪夹本体32；多个所述爪夹31位于所述爪夹本体32靠近所述张网机台1的一侧上，多个所述爪夹31置于同一水平面上；所述爪夹本体32滑动设置于所述爪夹31轨道上；两个所述爪夹机构3上的多个所述爪夹31一一对应，位于相同位置上的两个所述爪夹31组成一对所述爪夹31，每对所述爪夹31用于抓取一条掩膜条5。在某些实施例中，还包括：驱动单元；所述驱动单元电连接所述焊接头8、CCD镜头7、爪夹机构3和龙门支架6。需要说明的是，两条所述爪夹31轨道相互平行，爪夹31架构通过滚轮等方式活动设置于爪夹31轨道上。还需要说明的是，相对设置的两个所述爪夹机构3处于同一水平线上，且二者同步运行；即，二者是同步启动、加速、减速以及停止，两个所述爪夹机构3在所述爪夹滑轨2上的位置也相同；在某些实施例中，两个所述抓夹机构还可以通过一根横杆连接，防止二者发生错位。还需要说明的是，两个所述爪夹机构3上的所述爪夹31数相同，且一一对应；即，一侧所述抓夹本体上的第一位置爪夹31与另一侧所述抓夹本体上的第一位置爪夹31对应，同时抓取一条掩膜条5；同理，一侧所述抓夹本体上的第二位置爪夹31与另一侧所述抓夹本体上的第二位置爪夹31对应，同时抓取一条掩膜条5。

请参阅图1、图2和图8，还需要说明的是，两个所述抓夹机构从装载台4上抓取多条掩膜条5，经所述抓夹滑轨移动至所述张网机台1上，随后进行量测、张网以及焊接作业。还需要说明的是，在本实施例中，一个所述爪夹31上这只有两个子爪夹31，两个子爪夹31分别抓取掩膜条5的两脚，即，一对所述爪夹31上设置有四个子爪夹31，分别抓取掩膜条5的四角，进行张网作业。在张网作业中，通过量测掩膜条5的偏移下垂量单独调节每个子爪夹31。

上述技术方案，通过在所述爪夹本体32上设置的多个所述爪夹31，实现同时对多条掩膜条5进行张网的功能；每对爪夹31也可独立对所抓取的掩膜条5实施张网作业。多个爪夹31的设置可使张网、量测以及焊接作业同步进行，以此提高了装置的工作效率。

优选的，在一个所述爪夹本体32上设置有两个、三个或四个所述爪夹31；即所述爪夹机构3一次可以抓取二至四条掩膜条5。

请参阅图3，还需要说明的是，所述一种张网装置还包括：龙门支架6、支架滑轨和CCD镜头7；所述支架滑轨为两条，所述支架滑轨置于所述爪夹滑轨2远离所述张网机台1的一侧，所述支架滑轨与所述爪夹滑轨2相互平行；所述龙门支架6的两滑动端分别设置于两条所述支架滑轨上；所述CCD镜头7滑动设置于所述龙门支架6上，且所述CCD镜头7的位移方向与所述龙门支架6的位移方向相互垂直。需要说明的是，所述CCD镜头7移动方向是与掩膜条5相互平行的。

需要进一步说明的是，所述龙门支架6跨设在所述张网机台1和两个爪夹机构3上方，并通过滑动设置于其上的CCD镜头7实现对掩膜条5的量测。具体的，当掩膜条5载入至掩膜框上时，所述龙门支架6上的CCD镜头7先对第一条掩膜条5进行PPA量测，当第一条掩膜条5量测结束后，所述CCD镜头7即刻转至第二条掩膜条5开始对其进行量测，与此同时，完成初次量测的第一条掩膜条5开始根据量测结果调动抓取第一条掩膜条5的爪夹31进行张网作业；当第二条掩膜条5完成量测，所述CCD镜头7又转至第一条掩膜条5进行量测，与此同时第二条掩膜条5开始调动抓取第二条掩膜条5的爪夹31进行张网作业。以此规律，所述CCD镜头7与爪夹31配合，同时进行PPA量测与张网，相比常规的张网机，减少量测后等待张网的时间。

请参阅图4，在某些实施例中，所述CCD镜头7为两个，两个所述CCD镜头7位移方向相互平行，且两个所述CCD镜头7位移轨道相互独立，两个所述CCD镜头7分别用于量测一条掩膜条5，即，一个所述CCD镜头7量测一条掩膜条5；驱动单元可以对二者进行独立控制。需要说明的是，以相同的方式载入两条掩膜条5，然后使用两个所述CCD镜头7对两条掩膜条5进行同步量测，量测完成后对应爪夹31对掩膜条5进行张网作业，两条掩膜条5都完成张网作业后再同步进行量测，直至PPA符合要求。此方式虽无法同时进行量测与张网，但由于PPA量测时长远大于所述爪夹机构3的张网时长，两个所述CCD镜头7同时量测可节约的时长也小于一个所述CCD镜头7量测时长。以此规律，所述CCD镜头7与爪夹31配合，同时进行PPA量测与张网，相比常规的张网机，减少量测后等待张网的时间。

请参阅图5，在量测和张网作业完成后还需进行焊接作业，因此所述一种张网装置还包括：焊接头8；所述焊接头8为两个，且两个所述焊接头8滑动设置于所述龙门支架6的两端，且所述焊接头8的位移方向与所述龙门支架6的位移方向平行，所述焊接头8用于焊接下方的掩膜条5和掩膜框。需要说明的是，两个所述焊接头8的滑轨是置于所述CCD镜头7的滑轨的两端，且所述焊接头8的滑轨与所述CCD镜头7的滑轨是相互垂直设置的；当然，在某些实施例中，所述CCD镜头7的滑轨也可固定设置于所述龙门支架6上，通过所述龙门支架6的移动带动其进行焊接作业。

还需要说明的是，当两条掩膜条5完成量测与张网后，需要使用所述焊接头8进行焊接，使其固定于掩膜框上，于是在龙门架上增设两个焊接头8。两个所述焊接头8分别对掩膜条5的左端与右端进行同步焊接，若第一条掩膜条5与第一条掩膜条5同时完成PPA量测与张网，则所述焊接头8从上至下将2条掩膜条5一次性焊接于掩膜框上；若2条掩膜条5中有一条先完成量测与张网，则laser焊接头8可对其先进行焊接，与此同时，另一条继续进行量测与张网。不同掩膜条5的量测与焊接互不干涉。可移动焊接头8的设置可使焊接与量测、张网互不干涉，可大幅提高所述一种张网装置的张网效率。

请参阅图6至图7，所述龙门支架6由两条x方向与两条y方向的大理石柱组成，各大理石柱同为一体，同步移动。而两个所述CCD镜头7分别在x1和x2方向上的轨道行进，两个所述焊接头8分别在y1和y2方向上的轨道行进。所述CCD镜头7的移动路径与所述焊接头8的移动路径互不干涉，其装设在龙门架上的移动轨道也互不干涉，使得PPA量测与laser(镭射)焊接可同时进行。具体的，请参阅图7，所述CCD镜头7的移动路径为显示区，所述焊接头8的移动路径为焊接区。

张网机台1是蒸镀工艺的设备，在张网机台1外还包括蒸镀腔体，所述张网机台1、爪夹机构3和爪夹滑轨2设置在所述蒸镀腔体中。爪夹滑轨2一般连接蒸镀腔体的两侧，可以使爪夹机构3从蒸镀腔体的载入端移动到载出端。

所述CCD镜头7中的主要元件是CCD，CCD是电荷耦合器件(charge coupleddevice)的简称，它能够将光线变为电荷并将电荷存储及转移，也可将存储之电荷取出使电压发生变化，因此是理想的CCD镜头7的元件，以其构成的CCD相机具有体积小、重量轻、不受磁场影响、具有抗震动和撞击之特性而被广泛应用。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种张网装置，其特征在于，包括：张网机台、爪夹滑轨和爪夹机构；所述爪夹滑轨为两条，两条所述爪夹滑轨分别置于所述张网机台的左右两侧；所述爪夹机构为两个，两条所述爪夹滑轨上分别设置有一个所述爪夹机构，且两个所述爪夹机构相对设置，相对设置的两个所述爪夹机构用于抓取多条掩膜条进行张网；所述张网机台用于放置掩膜框；

所述爪夹机构包括：多个爪夹和爪夹本体；多个所述爪夹位于所述爪夹本体靠近所述张网机台的一侧上，多个所述爪夹置于同一水平面上；所述爪夹本体滑动设置于所述爪夹滑轨上；两个所述爪夹机构上的多个所述爪夹一一对应，位于相同位置上的两个所述爪夹组成一对所述爪夹，每对所述爪夹用于抓取一条掩膜条。

2.根据权利要求1所述一种张网装置，其特征在于，还包括：龙门支架、支架滑轨和CCD镜头；所述支架滑轨为两条，所述支架滑轨置于所述爪夹滑轨远离所述张网机台的一侧，所述支架滑轨与所述爪夹滑轨相互平行；所述龙门支架的两滑动端分别设置于两条所述支架滑轨上；所述CCD镜头滑动设置于所述龙门支架上，且所述CCD镜头的位移方向与所述龙门支架的位移方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述一种张网装置，其特征在于，还包括：焊接头；所述焊接头为两个，且两个所述焊接头滑动设置于所述龙门支架的两端，且所述焊接头的位移方向与所述龙门支架的位移方向平行，所述焊接头用于焊接下方的掩膜条和掩膜框。

4.根据权利要求2所述一种张网装置，其特征在于，所述CCD镜头为两个，两个所述CCD镜头位移方向相互平行，且两个所述CCD镜头位移轨道相互独立，两个所述CCD镜头分别用于量测一条掩膜条。

5.根据权利要求3所述一种张网装置，其特征在于，所述焊接头的滑动轨道置于所述CCD镜头滑动轨道的两端。

6.根据权利要求1所述一种张网装置，其特征在于，一个所述爪夹本体上设置有两个、三个或四个所述爪夹。

7.根据权利要求3所述一种张网装置，其特征在于，还包括：驱动单元；所述驱动单元电连接所述焊接头、CCD镜头、爪夹机构和龙门支架。

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