CN214254359U

CN214254359U - 一种晶片剥离治具

Info

Publication number: CN214254359U
Application number: CN202120340005.4U
Authority: CN
Inventors: 王铭乾; 钟兴才; 周旦兴
Original assignee: Shenzhen Xinyijing Technology Co ltd
Current assignee: Shenzhen Xinyijing Technology Co ltd
Priority date: 2021-02-05
Filing date: 2021-02-05
Publication date: 2021-09-21
Anticipated expiration: 2031-02-05

Abstract

一种晶片剥离治具，涉及晶片制造领域，包括底座、载板、立板、压紧组件、剥离组件、左右调节组件和前后调节组件；载板和立板分别滑动设置在底座的上端两侧；剥离组件对应载板位置设置在立板上；压紧组件设置在在剥离组件上；左右调节组件和前后调节组件均设置在底座上，且与立板配合。本实用新型结构紧凑小巧，操作简单方便；设置多组剥离块，实现大片晶片的整排剥离或单个子晶片的剥离；设置滑动的载板、压紧组件、剥离组件互相配合，利用压紧块固定产品，剥离弹簧拉扯剥离块对产品进行剥离，对产品固定牢固，剥离效率高、效果好；设置左右调节组件和前后调节组件配合，对剥离位置进行微调，进一步提高了剥离的精度。

Description

一种晶片剥离治具

技术领域

本实用新型涉及晶片制造领域，尤其涉及一种晶片剥离治具。

背景技术

随着微电子行业的日益发展，各类芯片用到的晶片需求量越大。由于晶片的需求量大故生产效率需同步进行提升。晶片尺寸较小且较薄，很难通过人工方式进行逐个剥离，且人为方式易损坏及弄脏产品。

实用新型内容

（一）实用新型目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种晶片剥离治具。本实用新型结构紧凑小巧，操作简单方便；设置多组剥离块，实现大片晶片的整排剥离或单个子晶片的剥离；设置滑动的载板、压紧组件、剥离组件互相配合，利用压紧块固定产品，剥离弹簧拉扯剥离块对产品进行剥离，对产品固定牢固，剥离效率高、效果好；设置左右调节组件和前后调节组件配合，对剥离位置进行微调，进一步提高了剥离的精度。

（二）技术方案

为解决上述问题，本实用新型提出了一种晶片剥离治具，包括底座、载板、立板、压紧组件、剥离组件、左右调节组件和前后调节组件；载板和立板分别滑动设置在底座的上端两侧；剥离组件对应载板位置设置在立板上；压紧组件设置在剥离组件上；左右调节组件和前后调节组件均设置在底座上，且与立板配合；剥离组件包括剥离板、剥离弹簧和剥离块；剥离板滑动连接立板，且位于载板的上方；剥离弹簧的两端分别连接剥离板和底座；剥离块设置在剥离板朝向载板的一侧；压紧组件包括第一限位块、滑块座、压紧弹簧、压紧块、第一导轨和第一滑块；剥离板上设置有通槽和卡槽；滑块座设置在卡槽上；第一滑块和第一限位块均设置在滑块座上；压紧块位于第一限位块的下方，且下端穿过通槽；压紧弹簧的两端分别连接第一限位块和压紧块；第一导轨设置在压紧块上，且与第一滑块滑动连接；左右调节组件包括左右调整千分尺和第一千分尺支架；第一千分尺支架设置在底座上；左右调整千分尺的一端转动连接第一千分尺支架，另一端螺纹连接立板的一侧；前后调节组件包括前后调整千分尺和第二千分尺支架；第二千分尺支架设置在底座上；前后调整千分尺的一端转动连接第二千分尺支架，另一端螺纹连接立板的后端。

优选的，底座上设置有进料槽；载板滑动连接进料槽的槽壁。

优选的，载板上设置有产品放置槽；剥离块对应产品放置槽位置设置多组。

优选的，压紧组件设置多组，多组压紧组件分别设置在产品放置槽的两侧。

优选的，压紧组件还包括第一限位螺钉；第一限位螺钉的下端螺纹连接剥离板，上端转动连接压紧块。

优选的，剥离组件还包括第二限位螺钉；第二限位螺钉的下端螺纹连接底座，上端转动连接剥离板。

优选的，剥离板上设置有第二滑块；立板上设置有第二导轨；第二滑块滑动连接第二导轨。

优选的，还包括限位件；限位件包括第二限位板和第三限位螺丝；第二限位板设置在立板上；第三限位螺丝的上端螺纹连接第二限位板，下端位于剥离板的上方。

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

一、本实用新型结构紧凑小巧，操作简单方便；

二、本实用新型设置多组剥离块，实现大片晶片的整排剥离或单个子晶片的剥离；

三、本实用新型设置滑动的载板、压紧组件、剥离组件互相配合，利用压紧块固定产品，剥离弹簧拉扯剥离块对产品进行剥离，对产品固定牢固，剥离效率高、效果好；

四、本实用新型设置左右调节组件和前后调节组件配合，对剥离位置进行微调，进一步提高了剥离的精度。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶片剥离治具的结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种晶片剥离治具的拆分示意图。

图3为本实用新型提出的一种晶片剥离治具的部分结构示意图。

附图标注：1、第一限位块；2、滑块座；3、压紧弹簧；4、压紧块；5、剥离板；6、剥离弹簧；7、载板；8、底座；9、第一导轨；10、左右调整千分尺；11、第一千分尺支架；12、第二千分尺支架；13、前后调整千分尺；14、立板；15、第二限位板；16、第二导轨；17、剥离块；18、第一滑块；19、压紧组件；20、剥离组件；21、第二限位螺钉；22、第一限位螺钉；23、第三限位螺丝；24、第二滑块；25、卡槽；26、通槽；27、前后调节组件；28、左右调节组件；29、限位件。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1-3所示，本实用新型提出的一种晶片剥离治具，包括底座8、载板7、立板14、压紧组件19、剥离组件20、左右调节组件28和前后调节组件27；载板7和立板14分别滑动设置在底座8的上端两侧；剥离组件20对应载板7位置设置在立板14上；压紧组件19设置在剥离组件20上；左右调节组件28和前后调节组件27均设置在底座8上，且与立板14配合；剥离组件20包括剥离板5、剥离弹簧6和剥离块17；剥离板5滑动连接立板14，且位于载板7的上方；剥离弹簧6的两端分别连接剥离板5和底座8；剥离块17设置在剥离板5朝向载板7的一侧；压紧组件19包括第一限位块1、滑块座2、压紧弹簧3、压紧块4、第一导轨9和第一滑块18；剥离板5上设置有通槽26和卡槽25；滑块座2设置在卡槽25上；第一滑块18和第一限位块1均设置在滑块座2上；压紧块4位于第一限位块1的下方，且下端穿过通槽26；压紧弹簧3的两端分别连接第一限位块1和压紧块4；第一导轨9设置在压紧块4上，且与第一滑块18滑动连接；左右调节组件28包括左右调整千分尺10和第一千分尺支架11；第一千分尺支架11设置在底座8上；左右调整千分尺10的一端转动连接第一千分尺支架11，另一端螺纹连接立板14的一侧；前后调节组件27包括前后调整千分尺13和第二千分尺支架12；第二千分尺支架12设置在底座8上；前后调整千分尺13的一端转动连接第二千分尺支架12，另一端螺纹连接立板14的后端。

在一个可选的实施例中，底座8上设置有进料槽；载板7滑动连接进料槽的槽壁。

在一个可选的实施例中，载板7上设置有产品放置槽；剥离块17对应产品放置槽位置设置多组。

在一个可选的实施例中，压紧组件19设置多组，多组压紧组件19分别设置在产品放置槽的两侧。

在一个可选的实施例中，压紧组件19还包括第一限位螺钉22；第一限位螺钉22的下端螺纹连接剥离板5，上端转动连接压紧块4。

在一个可选的实施例中，剥离组件20还包括第二限位螺钉21；第二限位螺钉21的下端螺纹连接底座8，上端转动连接剥离板5。

在一个可选的实施例中，剥离板5上设置有第二滑块24；立板14上设置有第二导轨16；第二滑块24滑动连接第二导轨16。

在一个可选的实施例中，还包括限位件29；限位件29包括第二限位板15和第三限位螺丝23；第二限位板15设置在立板14上；第三限位螺丝23的上端螺纹连接第二限位板15，下端位于剥离板5的上方。

将大片产品置于载板7的产品放置槽中，载板7滑入底座8的进料槽，同时压紧组件19作用，压紧弹簧3拉动压紧块4，使其朝向产品移动，压紧产品，通过调节第一限位螺钉22即可对压紧块4进行行程限制，多组压紧组件19可同时联动或单独动作；接着利用左右调节组件28和前后调节组件27配合，旋转前后调整千分尺13和左右调整千分尺10，对剥离组件20的位置进行微调；最后剥离组件20作用，剥离弹簧6的压力作为产品剥离力，带动剥离块17接触产品，并对其剥离，同时第二限位螺钉21和限位件29对剥离板5进行行程限制。

应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims

1.一种晶片剥离治具，其特征在于，包括底座（8）、载板（7）、立板（14）、压紧组件（19）、剥离组件（20）、左右调节组件（28）和前后调节组件（27）；载板（7）和立板（14）分别滑动设置在底座（8）的上端两侧；剥离组件（20）对应载板（7）位置设置在立板（14）上；压紧组件（19）设置在剥离组件（20）上；左右调节组件（28）和前后调节组件（27）均设置在底座（8）上，且与立板（14）配合；

剥离组件（20）包括剥离板（5）、剥离弹簧（6）和剥离块（17）；剥离板（5）滑动连接立板（14），且位于载板（7）的上方；剥离弹簧（6）的两端分别连接剥离板（5）和底座（8）；剥离块（17）设置在剥离板（5）朝向载板（7）的一侧；

压紧组件（19）包括第一限位块（1）、滑块座（2）、压紧弹簧（3）、压紧块（4）、第一导轨（9）和第一滑块（18）；剥离板（5）上设置有通槽（26）和卡槽（25）；滑块座（2）设置在卡槽（25）上；第一滑块（18）和第一限位块（1）均设置在滑块座（2）上；压紧块（4）位于第一限位块（1）的下方，且下端穿过通槽（26）；压紧弹簧（3）的两端分别连接第一限位块（1）和压紧块（4）；第一导轨（9）设置在压紧块（4）上，且与第一滑块（18）滑动连接；

左右调节组件（28）包括左右调整千分尺（10）和第一千分尺支架（11）；第一千分尺支架（11）设置在底座（8）上；左右调整千分尺（10）的一端转动连接第一千分尺支架（11），另一端螺纹连接立板（14）的一侧；

前后调节组件（27）包括前后调整千分尺（13）和第二千分尺支架（12）；第二千分尺支架（12）设置在底座（8）上；前后调整千分尺（13）的一端转动连接第二千分尺支架（12），另一端螺纹连接立板（14）的后端。

2.根据权利要求1所述的一种晶片剥离治具，其特征在于，底座（8）上设置有进料槽；载板（7）滑动连接进料槽的槽壁。

3.根据权利要求1所述的一种晶片剥离治具，其特征在于，载板（7）上设置有产品放置槽；剥离块（17）对应产品放置槽位置设置多组。

4.根据权利要求3所述的一种晶片剥离治具，其特征在于，压紧组件（19）设置多组，多组压紧组件（19）分别设置在产品放置槽的两侧。

5.根据权利要求1所述的一种晶片剥离治具，其特征在于，压紧组件（19）还包括第一限位螺钉（22）；第一限位螺钉（22）的下端螺纹连接剥离板（5），上端转动连接压紧块（4）。

6.根据权利要求1所述的一种晶片剥离治具，其特征在于，剥离组件（20）还包括第二限位螺钉（21）；第二限位螺钉（21）的下端螺纹连接底座（8），上端转动连接剥离板（5）。

7.根据权利要求1所述的一种晶片剥离治具，其特征在于，剥离板（5）上设置有第二滑块（24）；立板（14）上设置有第二导轨（16）；第二滑块（24）滑动连接第二导轨（16）。

8.根据权利要求1所述的一种晶片剥离治具，其特征在于，还包括限位件（29）；限位件（29）包括第二限位板（15）和第三限位螺丝（23）；第二限位板（15）设置在立板（14）上；第三限位螺丝（23）的上端螺纹连接第二限位板（15），下端位于剥离板（5）的上方。