CN217372936U - 硅棒夹持机构及硅棒加工设备 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种硅棒夹持机构及硅棒加工设备,涉及太阳能光伏技术领域。所述硅棒夹持机构包括:基座,以及用于夹持硅棒的至少两组夹持组件;夹持组件设置于基座上,且至少两组夹持组件沿第一方向间隔设置,相邻的两组夹持组件之间具有间隙第一方向为垂直于硅棒轴心线的方向。本申请实施例所述硅棒夹持机构可以适配半片电池制备的新切割工艺,也就可以有效提升半片或1/N片电池的产品质量及生产效率。
Description
技术领域
本申请属于太阳能光伏技术领域,具体涉及一种硅棒夹持机构及硅棒加工设备。
背景技术
随着光伏技术的发展,太阳能作为绿色、环保、可再生能源受到了大范围推广。单晶硅是太阳能光伏组件的核心材料,因此,市场对单晶硅或者说是对硅片的需求日益增多。
现有技术中,通常是将硅棒切割成硅块后,将硅块直接切片,以制备成整片光伏电池后,再采用激光对整片光伏电池进行切割,从而得到半片光伏电池。然而,直接切割整片电池片制备小尺寸电池片的方式,很容易在断面处形成热损伤和机械损伤,这些损伤会在电池的切割断面处引入缺陷态,这些缺陷态会引起少子复合,导致小尺寸电池片转换效率的降低,而且在电池端切割分片可能会产生破片和隐裂等问题。为了避免上述问题,目前,沿平行于硅棒长度方向,将硅棒切割成端面面积为原硅棒端面面积的1/N的小硅块,再将小硅块切割成半片或1/N片小尺寸硅片,以制备成对应的半片电池或1/N片小尺寸电池,逐渐成为制备半片或1/N片小尺寸电池的方向。
然而,现有的硅棒夹持机构大部分是与传统的硅棒切割工艺相适配的,这就导致现有的硅棒夹持机构无法适配现有的硅棒切割需求。
实用新型内容
本申请实施例的目的是提供一种硅棒夹持机构及硅棒加工设备,能够解决现有硅棒夹持机构无法适配硅棒切割需求的问题。
第一方面,本申请实施例提供了一种硅棒夹持机构,所述硅棒夹持机构包括:基座,以及用于夹持硅棒的至少两组夹持组件;
所述夹持组件设置于所述基座上,且至少两组所述夹持组件沿第一方向间隔设置,相邻的两组所述夹持组件之间具有间隙,所述第一方向为垂直于所述硅棒轴心线的方向。
可选的,所述间隙的位置对应于所述硅棒沿第一方向的N等分线上,N≥2;
所述间隙的宽度可供切割线进入,以将所述硅棒切割为至少两个长方体方棒。
可选的,所述基座上设置有至少两个滑台;
所述滑台沿平行于所述硅棒轴心线的方向延伸,且所述滑台与所述夹持组件一一对应,所述夹持组件可滑动地设置于所述滑台上。
可选的,所述硅棒夹持机构还包括:第一微调件,所述第一微调件沿所述第一方向延伸;
所述滑台可活动地设置于所述第一微调件上,所述滑台带动所述夹持组件沿所述第一微调件的延伸方向滑动,以调节相邻的两组所述夹持组件之间的所述间隙对应于所述硅棒的位置。
可选的,所述硅棒夹持机构还包括:第二微调件,所述第二微调件沿第二方向延伸;所述第二方向为垂直于所述滑台所在平面的方向;
所述第二微调件与所述滑台固定连接;
所述夹持组件可活动地设置于所述第二微调件上,所述夹持组件沿所述第二微调件的延伸方向滑动,以调节所述夹持组件与所述滑台之间的距离。
可选的,所述夹持组件包括:相对设置的两个夹持件,两个所述夹持件中,至少一个所述夹持件可相对另一个所述夹持件移动,每个所述夹持件分别对应夹持于一个所述长方体方棒长度方向的两端面上。
可选的,所述夹持组件还包括:连接板;
所述连接板设置于所述基座上,所述连接板上设置有滑轨或滑槽,所述滑轨或所述滑槽沿平行于所述硅棒轴心线的方向延伸;
两个所述夹持件中,至少一个所述夹持件可活动设置于所述滑轨或所述滑槽上。
可选的,所述基座上还设置有滑板;
所述滑板在所述基座上可沿平行于所述硅棒轴心线的方向移动,以运送所述硅棒。
可选的,所述硅棒夹持机构还包括:夹持驱动件;
所述夹持驱动件与所述夹持组件相连,用于给所述夹持组件提供夹持或滑动的动力。
第二方面,本申请实施例还提供了一种硅棒加工设备,所述硅棒加工设备包括:上述硅棒夹持机构。
在本申请实施例中,通过至少两组夹持组件沿垂直于硅棒轴心线的方向间隔设置,从而使切割线可以由相邻的两组夹持组件之间的间隙进入,进而沿平行于硅棒轴心线的方向对硅棒进行切割,将硅棒切割为至少两个长方体方棒,后续通过对长方体方棒进行切片,即可形成半片或1/N片硅片,进而制备半片或1/N片电池。由于每组夹持组件可以对应夹持一个长方体方棒,因此,通过本申请实施例所述硅棒夹持机构,不但在硅棒切割过程中可以更加方便快捷的对硅棒进行稳定的夹持,还可以对硅棒切割得到至少两个长方体方棒进行夹持,从而适配半片电池制备的新切割工艺,也就可以有效提升半片或1/N片电池的产品质量及生产效率。
附图说明
图1是本申请实施例所述硅棒夹持机构的结构示意图之一;
图2是本申请实施例所述硅棒夹持机构的结构示意图之二;
图3是本申请实施例所述夹持组件的结构示意图之一;
图4是本申请实施例所述夹持组件的结构示意图之二。
附图标记说明:
10:基座;20:夹持组件;11:滑台;12:滑板;30:第一微调件;201:夹持件;202:连接板;41:夹持驱动件;42:滑台驱动件;43:第一微调驱动件;44:滑板驱动件。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外,说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一,字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图,通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例提供的显示装置及电子设备进行详细地说明。
参照图1和图2,示出了本申请实施例所述硅棒夹持机构的结构示意图。
本申请实施例中,硅棒夹持机构具体可以包括:基座10,以及用于夹持硅棒的至少两组夹持组件20;夹持组件20设置于基座10上,且至少两组夹持组件20沿第一方向间隔设置,相邻的两组夹持组件20之间具有间隙,第一方向为垂直于硅棒轴心线的方向。
本申请实施例中,硅棒可以为经过开方后的方棒,也可以为初始的柱形原生硅棒,本申请实施例中,以硅棒为开方后的方棒为例进行解释说明。
在本申请实施例中,通过至少两组夹持组件20沿垂直于硅棒轴心线的方向间隔设置,从而使切割线可以由相邻的两组夹持组件20之间的间隙进入,进而使切割线以平行于硅棒的轴心线的方向对硅棒进行切割,将硅棒切割为至少两个长方体方棒,后续通过对长方体方棒进行切片,即可形成半片或1/N片硅片,进而制备半片或1/N片电池。由于每组夹持组件20可以对应夹持一个长方体方棒,因此,通过本申请实施例所述硅棒夹持机构,不但在硅棒切割过程中可以更加方便快捷的对硅棒进行稳定的夹持,还可以对硅棒切割得到至少两个长方体方棒进行夹持,从而适配半片电池制备的新切割工艺,也就可以有效提升半片或1/N片电池的产品质量及生产效率。
本申请实施例中,可以根据硅棒切割后的长方体方棒的数量,设置对应的夹持组件20的数量。其中,夹持组件20可以与长方体方棒一一对应设置,从而使每一组夹持组件20对应夹持一个长方体方棒。例如,在长方体方棒的数量为两个时,可以设置两组夹持组件20,通过将切割线由两组夹持组件20之间的间隙进入,从而对硅棒进行切割,从而使每组夹持组件20对应夹持一个长方体方棒,这样,就有效提升了对每个长方体方棒的夹持稳定性及可靠性。或者,夹持组件20的数量可以大于长方体方棒的数量,或者说是硅棒切割后的长方体方棒的数量可以小于或等于夹持组件20数量,以使硅棒夹持机构可以兼容不同数量长方体方棒的切割工艺。例如,可以设置3组夹持组件20,3组夹持组件20形成两个间隙,用户可以设置切割线由其中任意一个间隙进入对硅棒进行切割,以将硅棒切割为两个长方体方棒,这样,其中一个长方体方棒由一组夹持组件20夹持,另一个长方体方棒即可以由两组夹持组件20夹持;或者,也可以设置切割线由两个间隙均进入对硅棒进行切割,以将硅棒切割为三个长方体方棒,这样,每一组夹持组件20即对应夹持一个长方体方棒。
本申请实施例中,相邻的夹持组件20之间间隙的位置还可以起到切割线的切割位置的导向作用。在本申请实施例中,通过设置间隙的位置对应于硅棒沿第一方向的N等分线上,N≥2,从而可以使切割线由N等分线位置对硅棒进行切割,从而方便快捷的得到不同比例的两个或多个长方体方棒。可以理解的是,本申请实施例中,间隙的宽度可供切割线进入,以将所述硅棒切割为至少两个长方体方棒。具体的,间隙可以大于或等于切割线的线径。在实际应用中,为了使切割线可以更为方便快捷的由间隙进入对硅棒进行切割,可以设置沿第一方向间隙的尺寸大于或等于2倍的切割线的线径。
在本申请实施例中,在夹持组件20为两组,间隙的位置位于硅棒沿第一方向的2等分线的位置时,可以通过切割线将硅棒切割为2个尺寸相同的长方体方棒,进而对长方体方棒进行切片可以得到半片硅片(相对于方棒直接切片得到的整片硅片),进而可以使用半片硅棒制备半片电池。
可以理解的是,通过设置间隙的位置位于硅棒沿第一方向的N等分线上,既可以将硅棒进行N等分的切割(即将硅棒切割为N个尺寸相同的长方体方棒),也可以将硅棒切割为比例为1/(N-1)的两个长方体方棒,具体的,本领域技术人员可以根据实际情况对硅棒进行切割,本申请实施例对此不作限定。
在本申请实施例中,硅棒夹持机构还包括:夹持驱动件41;夹持驱动件41与夹持组件20相连,用于给夹持组件20提供夹持或滑动的动力。具体的,夹持驱动件41可以包括但不限于:电机、气缸等。
在实际应用中,夹持驱动件41的数量可以与夹持组件20的数量相同,即,夹持驱动件41与夹持组件20一一对应设置,每一个夹持驱动件41用于给一组夹持组件20提供夹持动力,这样,可以通过夹持驱动件41驱动其对应的夹持组件20对硅棒(或长方体方棒)进行夹持。或者,为了使夹持组件20的夹持同步性更好,也可以设置一个夹持驱动件41与至少两个夹持组件20相连,以通过一个夹持驱动件41可以同时驱动至少两个夹持组件20对硅棒(长方体方棒)进行夹持,这样还可以有效减少夹持驱动件41的数量,降低夹持驱动件41的成本。
本申请实施例中,基座10上还设置有至少两个滑台11;滑台11沿平行于硅棒轴心线的方向延伸,且滑台11与夹持组件20一一对应,夹持组件20可滑动地设置于滑台11上。本申请实施例中,通过设置夹持组件20与滑台11一一对应,从而可以在硅棒切割完毕后,通过夹持组件20沿滑台11滑动从而将相邻的两个长方体方棒之间快速分离。具体的,可以设置滑台11由切割位置(硅棒的切割位置)至下料位置(长方体方棒的下料位置),这样,通过夹持组件20沿滑台11滑动即可快速将其夹持的长方体方棒传送至下料位置,进入下一工序(例如,打磨工序等)。
需要说明的是,夹持驱动件41还可以用于给夹持组件20提供在滑台11上滑动的动力,以减少驱动件的数量。在切割完毕后,可以先通过一个夹持驱动件41驱动其中一组夹持组件20带动长方体方棒沿滑台11滑动,其余的夹持组件20夹持其对应的长方体方棒并保持原位置不动,这样就可以快速将长方体方棒错位分离。或者,为了使夹持组件20夹持的同步性更好,也可以设置一个夹持驱动件41同时与至少两个夹持组件20相连,以同时驱动至少两个夹持组件20分别带动其对应的长方体方棒沿滑台11滑动,以减少夹持驱动件41的数量。例如,可以使用具有双活塞杆的气缸,每一个活塞杆与一组夹持组件20相连,用于给一组夹持组件20提供夹持或沿滑台11移动的动力,这样,可以有效减少气缸的数量,减小硅棒夹持机构的成本。
如图1和图2所示,也可以单独设置滑台驱动件42给夹持组件20提供在滑台11上滑动的动力,以给夹持组件20提供夹持动力,滑台驱动件42给夹持组件20提供沿滑台滑动的动力。具体的,滑台驱动件42也包括但不限于电机、气缸等。
在本申请实施例中,硅棒夹持机构还包括:第一微调件30,第一微调件30沿第一方向延伸;滑台11可活动地设置于第一微调件30上,滑台11带动夹持组件20沿第一微调件30的延伸方向滑动,以调节相邻的两组夹持组件20之间的间隙对应于硅棒的位置。具体的,第一微调件30可以为导轨、螺杆、齿条等。本申请实施例中,通过将滑台11可活动地设置于导轨、螺杆或齿条上,从而通过滑台11带动夹持组件20沿第一方向位移,这样,就可以快速精准地调节相邻的两组夹持组件20之间的间隙对应于硅棒的位置。
在实际应用中,在第一微调件30为螺杆时,可以设置螺杆与滑台11一一对应,这样,通过调整滑台11在其对应的螺杆上的位置,从而实现单个夹持组件20第一方向的位移调整,使夹持组件20的调整更加灵活。或者,在夹持组件20为两个的情况下,也可以两个夹持组件20均设置于一个螺杆上,通过一个螺杆上分别设置两段相反的螺纹结构,每一组夹持组件20可活动地设置于其中一段螺纹结构上,从而实现一个螺杆可以同时带动两个夹持组件20相互靠近或远离,结构更加简单、零件数量更少。
在本申请实施例中,第一微调件30可以与第一微调驱动件43相连,以通过第一微调驱动件43通过驱动第一微调件30,从而使夹持组件20在滑台11上移动。具体的,第一微调驱动件43包括但不限于电机或气缸等。
本申请实施例中,第一方向可以理解为硅棒的宽度尺寸方向。在本申请实施例中,通过滑台11带动夹持组件20沿第一方向位移,以使夹持组件20可以根据硅棒的宽度尺寸对硅棒的夹持位置进行调整,以使夹持组件20可以适配不同宽度尺寸的硅棒。本申请实施例中,夹持组件20对硅棒(或者说长方体方棒)的两端面进行夹持。为了使夹持组件20对切割后的长方体方棒的夹持稳定性更高、更可靠,夹持组件20可以夹持于其对应的长方体方棒的端面的中心位置,因此,在硅棒的尺寸规格发生变化时,通过调整滑台11在第一微调件30上的位置,从而使滑台11带动夹持组件20移动,进而使夹持组件20能始终夹持于其对应的长方体方棒端面的中心位置。
本申请实施例中,硅棒夹持机构还包括:第二微调件,第二微调件沿第二方向延伸;第二方向为垂直于滑台11所在平面的方向;第二微调件与滑台11固定连接;夹持组件20可活动地设置于第二微调件上,夹持组件20沿第二微调件的延伸方向滑动,以调节夹持组件20与滑台11之间的距离。具体的,第二微调件也可以为导轨、螺杆、齿条等。
本申请实施例中,第二方向可以理解为硅棒高度尺寸的方向。本申请实施例中,通过第二微调件可以使夹持组件20根据硅棒的高度尺寸进行调整位置,使夹持组件20可以适配于更多高度尺寸的硅棒。
本申请实施例中,夹持组件20与第二微调件之间的结构及原理可以参照夹持组件20与第一微调件30之间的结构及原理,此处不再赘述。本申请实施例中,通过第二微调件带动夹持组件20沿第二方向移动,从而使夹持组件20可以始终夹持于其对应的长方体方棒端面的中心位置,对长方体方棒的夹持更加稳定可靠,适配的硅棒尺寸范围也更广。
可以理解的是,第二微调件也可以与第二微调驱动件(图中未示出)相连,以通过第二微调驱动件驱动第二微调件带动夹持组件20沿第二方向移动。具体的,第二微调驱动件包括但不限于电机、气缸等。
需要说明的是,可以通过第一微调件30、第二微调件分别带动夹持组件20的位置偏移,可以使夹持组件20夹持于长方体方棒端面的任意位置,本申请实施例仅以夹持于端面的中心位置为例,对夹持组件20的位置调整的原理进行解释说明,其他参照执行即可。
本申请实施例中,在切割前以及切割过程中,夹持组件20起到夹持并固定硅棒的作用,以及在硅棒切割完毕后,夹持组件20起到夹持对应的长方体方棒的作用。具体的,夹持组件20可以通过负压吸附、两端夹持等方式对硅棒(长方体方棒)进行夹持。本申请实施例中,以夹持组件20夹持于硅棒两端的端面为例,对夹持组件20的具体结构进行解释说明。
参照图3和图4,示出了本申请实施例所述夹持组件的结构示意图。具体的,夹持组件20可以包括:相对设置的两个夹持件201,两个夹持件201中,至少一个夹持件201可相对另一个夹持件201移动,每个夹持件201分别对应夹持于一个所述长方体方棒长度方向的两端面上。本申请实施例中,通过两个夹持件201分别夹持于硅棒或长方体方棒长度方向的两端面上,结构简单、可靠性高。
在实际应用中,两个夹持件201可以均为活动件或其中一者为活动件,在夹持驱动件41的带动下,两个夹持件201相互靠近以夹持于硅棒或长方体方棒两端的端面上,或相互远离以解除对硅棒或长方体方棒的夹持。本申请实施例中,通过至少一个夹持件201相对另一个夹持件201移动,从而可以使两个夹持件201适配不同长度的硅棒,适配范围更广。
在本申请实施例中,夹持驱动件41与至少一个夹持件201相连,以驱动夹持件201沿硅棒轴心线方向移动,从而使两个夹持件201之间的距离与硅棒的长度相适配,两个夹持件201夹持于硅棒长度方向的两端面上。
本申请实施例中,夹持件201可以为夹板或夹块。具体的,夹持件201夹持于硅棒端面时,夹持件201与硅棒端面的接触面积可以与切割后的长方体方棒的端面面积相同,以通过增大接触面积提升夹持稳定性。
在本申请实施例中,如图3和图4所示,夹持组件20具体还包括:连接板202;接板设置于基座10上,连接板202上设置有滑轨或滑槽,滑轨或滑槽沿平行于硅棒轴心线的方向延伸;两个夹持件201中,至少一个夹持件201可活动设置于滑轨或滑槽上。本申请实施例中,连接板202一方面可以起到支撑和固定夹持件201的作用,另一方面还可以通过在连接板202上设置滑轨或滑槽,以使夹持件201在滑轨或滑槽上滑动,起到对夹持件201的导向作用,提升夹持件201的夹持稳定性以及精度。
可以理解的是,在实际应用中,滑轨或滑槽还可以直接设置于基座10上,使夹持件201在滑轨或滑槽上可滑动地设置,这样可以减少硅棒夹持机构的零件数量及成本。
在本申请实施例中,基座10上还设置有滑板12;滑板12在基座10上可沿平行于硅棒轴心线的方向移动,以运送硅棒。在实际应用中,可以首先通过机械手等将硅棒放置于滑板12上,滑板12沿平行于硅棒轴心线的方向移动,将硅棒运送至夹持组件20所对应的切割区域,然后通过夹持组件20将硅棒夹持固定后再对硅棒进行切割。
需要说明的是,还可以设置滑板驱动件44,以通过滑板驱动件44给滑板12提供滑动的动力。具体的,滑板驱动件44包括但不限于电机、气缸等。
综上,本申请实施例所述的硅棒夹持机构至少包括以下优点:
在本申请实施例中,通过至少两组夹持组件沿垂直于硅棒轴心线的方向间隔设置,从而使切割线可以由相邻的两组夹持组件之间的间隙进入,进而沿平行于硅棒轴心线的方向对硅棒进行切割,将硅棒切割为至少两个长方体方棒,后续通过对长方体方棒进行切片,即可形成半片或1/N片硅片,进而制备半片或1/N片电池。由于每组夹持组件20可以对应夹持一个长方体方棒,因此,通过本申请实施例所述硅棒夹持机构,不但在硅棒切割过程中可以更加方便快捷的对硅棒进行稳定的夹持,还可以对硅棒切割得到至少两个长方体方棒进行夹持,从而适配半片电池制备的新切割工艺,也就可以有效提升半片或1/N片电池的产品质量及生产效率。
本申请实施例还提供了一种硅棒加工设备,所述硅棒加工设备具体可以包括上述硅棒夹持机构。
需要说明的是,本申请实施例中所述硅棒夹持机构与上述各实施例所述硅棒夹持机构的结构及原理相同,此处不再赘述。
在本申请实施例中,通过在硅棒加工设备中将至少两组夹持组件沿垂直于硅棒轴心线的方向间隔设置,从而使切割线可以由相邻的两组夹持组件之间的间隙进入,进而沿平行于硅棒轴心线方向对硅棒进行切割,以将硅棒切割得到至少两个长方体方棒,后续通过对长方体方棒进行切片,即可形成半片或1/N片硅片,进而制备半片或1/N片电池。本申请实施例所述硅棒夹持机构可以适配半片电池制备的新切割工艺,也就可以有效提升半片或1/N片电池的产品质量及生产效率。
上面结合附图对本申请的实施例进行了描述,但是本申请并不局限于上述的具体实施方式,上述的具体实施方式仅仅是示意性的,而不是限制性的,本领域的普通技术人员在本申请的启示下,在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下,还可做出很多形式,均属于本申请的保护之内。
Claims (10)
1.一种硅棒夹持机构,其特征在于,所述硅棒夹持机构包括:基座,以及用于夹持硅棒的至少两组夹持组件;
所述夹持组件设置于所述基座上,且至少两组所述夹持组件沿第一方向间隔设置,相邻的两组所述夹持组件之间具有间隙,所述第一方向为垂直于所述硅棒轴心线的方向。
2.根据权利要求1所述的硅棒夹持机构,其特征在于,所述间隙的位置对应于所述硅棒沿第一方向的N等分线上,N≥2;
所述间隙的宽度可供切割线进入,以将所述硅棒切割为至少两个长方体方棒。
3.根据权利要求1所述的硅棒夹持机构,其特征在于,所述基座上设置有至少两个滑台;
所述滑台沿平行于所述硅棒轴心线的方向延伸,且所述滑台与所述夹持组件一一对应,所述夹持组件可滑动地设置于所述滑台上。
4.根据权利要求3所述的硅棒夹持机构,其特征在于,所述硅棒夹持机构还包括:第一微调件,所述第一微调件沿所述第一方向延伸;
所述滑台可活动地设置于所述第一微调件上,所述滑台带动所述夹持组件沿所述第一微调件的延伸方向滑动,以调节相邻的两组所述夹持组件之间的所述间隙对应于所述硅棒的位置。
5.根据权利要求3所述的硅棒夹持机构,其特征在于,所述硅棒夹持机构还包括:第二微调件,所述第二微调件沿第二方向延伸;所述第二方向为垂直于所述滑台所在平面的方向;
所述第二微调件与所述滑台固定连接;
所述夹持组件可活动地设置于所述第二微调件上,所述夹持组件沿所述第二微调件的延伸方向滑动,以调节所述夹持组件与所述滑台之间的距离。
6.根据权利要求2所述的硅棒夹持机构,其特征在于,所述夹持组件包括:相对设置的两个夹持件,两个所述夹持件中,至少一个所述夹持件可相对另一个所述夹持件移动,每个所述夹持件分别对应夹持于一个所述长方体方棒长度方向的两端面上。
7.根据权利要求6所述的硅棒夹持机构,其特征在于,所述夹持组件还包括:连接板;
所述连接板设置于所述基座上,所述连接板上设置有滑轨或滑槽,所述滑轨或所述滑槽沿平行于所述硅棒轴心线的方向延伸;
两个所述夹持件中,至少一个所述夹持件可活动设置于所述滑轨或所述滑槽上。
8.根据权利要求1所述的硅棒夹持机构,其特征在于,所述基座上还设置有滑板;
所述滑板在所述基座上可沿平行于所述硅棒轴心线的方向移动,以运送所述硅棒。
9.根据权利要求1所述的硅棒夹持机构,其特征在于,所述硅棒夹持机构还包括:夹持驱动件;
所述夹持驱动件与所述夹持组件相连,用于给所述夹持组件提供夹持或滑动的动力。
10.一种硅棒加工设备,其特征在于,所述硅棒加工设备包括:权利要求1至9任一项所述的硅棒夹持机构。
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CN202220306258.4U CN217372936U (zh) | 2022-02-15 | 2022-02-15 | 硅棒夹持机构及硅棒加工设备 |
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