CN214086597U - 一种多层载板搬运系统及太阳能电池生产线 - Google Patents

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CN214086597U CN202023338374.4U CN202023338374U CN214086597U CN 214086597 U CN214086597 U CN 214086597U CN 202023338374 U CN202023338374 U CN 202023338374U CN 214086597 U CN214086597 U CN 214086597U
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许明现
蔡涔
谷士斌
洪昀
张杜超
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Dongfang Risheng Changzhou New Energy Co ltd
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Abstract

本申请实施例提供一种多层载板搬运系统及太阳能电池生产线,涉及太阳能电池生产技术领域。多层载板搬运系统的多载板提升搬运装置设置于输送带上方且能够移动至多载板缓存升降装置的顶部内,多载板缓存升降装置内具有能够在顶部和底部之间升降移动的多层载板缓存架,多载板提升搬运装置被配置成能够依次抓取输送带上的载板并分层设置,还能够将抓取的分层载板同时搬运并放置于位于多载板缓存升降装置顶部的多层载板缓存架上;多载板输出装置设置于多载板缓存升降装置的底部外,多载板输出装置被配置成能够同时移出位于多载板缓存升降装置底部的多层缓存架上的分层载板。多层载板搬运系统实现多层载板同时传送,提高生产效率,保证载板定位精度。

Description

一种多层载板搬运系统及太阳能电池生产线
技术领域
本申请涉及太阳能电池生产技术领域,具体而言,涉及一种多层载板搬运系统及太阳能电池生产线。
背景技术
太阳能电池是公认的未来可大规模推广应用的清洁能源之一,我国对高效电池的支持力度逐年上升,高效异质结电池在高效电池领域中又占据了很大比重。高效异质结电池制备过程中最为关键的工序是PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强化学气相沉积)、RPD(Rcactivc Plasma Deposition,反应等离子体沉积)或PVD(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)。该工序通常是先通过传送装置将硅片原片移载到载板上,再通过移载机构带动已排布硅片的载板放置到腔室中进行镀膜。
为了避免镀膜时镀膜到硅片背面,需要将载板及硅片按照精确定位的方式放置于腔室中,一般载板及硅片的放置精度不大于±0.1mm。为了保证放置精度,这对载板的定位精度和硅片的放置精度均提出了更高要求。另外,随着镀膜工艺的提升,同时为了满足在较小的设备使用空间内创造更大的生产产能,关于多层载板镀膜工艺的研究日益增多。因此,实现多层载板传送至腔室中并精确定位是PECVD/RPD/PVD工序的重要环节。
常规的多层载板传送方式是通过升降装置将输送带上的载板依次传送至PECVD/RPD/PVD腔室内,比如先依次将输送带上的若干载板提升至腔室上半部分并放置,再依次将输送带上的若干载板下降至腔室下半部分并放置,以完成多层载板的输送任务。
这种方式的主要缺陷在于:在利用升降装置带动载板向PECVD/RPD/PVD腔室传送时,位于输送带的载板必须停止输送,待完成输出端的载板的传送任务后,才能继续输送带的输送工作,直接导致生产效率降低、稼动率下降的问题。而且这种多层载板多次传送的方式,每次传送都需要考虑定位精度的问题,难以保证腔室中多层载板的定位精度。
实用新型内容
本申请实施例的目的在于提供一种多层载板搬运系统及太阳能电池生产线,实现多层载板同时传送,用以提高生产效率,保证载板定位精度。
第一方面,本申请实施例提供了一种多层载板搬运系统,其包括多载板提升搬运装置以及沿输送方向依次排布的输送带、多载板缓存升降装置和多载板输出装置;
多载板提升搬运装置设置于输送带上方且能够移动至多载板缓存升降装置的顶部内,多载板缓存升降装置内具有能够在顶部和底部之间升降移动的多层载板缓存架,多载板提升搬运装置被配置成能够依次抓取输送带上的载板并分层设置,还能够将抓取的分层载板同时搬运并放置于位于多载板缓存升降装置顶部的多层载板缓存架上;
多载板输出装置设置于多载板缓存升降装置的底部外,多载板输出装置被配置成能够同时移出位于多载板缓存升降装置底部的多层缓存架上的分层载板。
在上述实现过程中,采用多载板提升搬运装置分次抓取输送带上传送的载板,不影响输送带传送载板的连续性;而且多载板提升搬运装置抓取的载板分层设置,能够同时传送至多载板缓存升降装置顶部内,并分层放置在顶部内的多层载板缓存架上;多层载板缓存架能够保证载板的定位精度,尤其是可以按照PECVD/RPD/PVD腔室的多层间距设置;通过多层载板缓存架升降能够将多层载板同时传送至多载板缓存升降装置底部,再通过多载板输出装置同时移出,多载板输出装置还能够直接传送至PECVD/RPD/PVD腔室内。通过上述各装置的配合,从而实现多层载板的同时传送,提高生产效率,而且传送过程中多层载板位置准确可靠,从而能够保证多层载板的定位精度。另外,多载板缓存升降装置在传送过程中,多载板提升搬运装置可以进行下一组载板的抓取输送,整个系统能够实现载板连续传送。
在一种可能的实现方式中,多载板提升搬运装置包括用于分层抓取载板的抓取模组和用于实现抓取模组横移的横移模组,抓取模组安装于横移模组上。
在上述实现过程中,抓取模组用于分次抓取载板并分层设置,通过横移模组能够使抓取模组带着分层载板平稳传送至下一个传送单元。
在一种可能的实现方式中,抓取模组包括至少两个夹爪组、至少两个夹紧气缸和至少两个升降气缸,夹爪组与夹紧气缸、升降气缸一一对应,每个夹爪组包括相对设置的两个夹爪,所有夹爪组的其中一个夹爪位于输送方向的同一侧,夹爪组的另外一个夹爪位于输送方向的另一侧;每个夹紧气缸被配置成能够驱动对应的夹爪组张合,每个升降气缸被配置成能够驱动对应的夹爪组升降。
在上述实现过程中,抓取模组的每个工作单元利用升降气缸、夹紧气缸控制夹爪组以实现相应功能:通过升降气缸控制对应的夹爪组下降,通过夹紧气缸控制对应的夹爪组张合抓取一块载板,再通过升降气缸控制对应的夹爪组上升至特定位置;抓取模组的多个工作单元按照上述过程依次工作,实现依次抓取多层载板并分层放置。
在一种可能的实现方式中,位于同一侧的所有夹爪中的一个夹爪具有缺口,其他夹爪位于缺口内,且能够自由移出。
在上述实现过程中,为了保证夹爪组能够独立工作,避免相互干扰,具有缺口的夹爪一般先抓取载板,并提升至预设位置,缺口内的夹爪再从缺口内移出、下降抓取载板,并提升至预设位置。
在一种可能的实现方式中,多层载板缓存架包括多层层叠设置的缓存托板,每层缓存托板的两侧具有沿输送方向布置的导向槽,导向槽的两端分别为插入口和拔出口。
在上述实现过程中,多层层叠设置的缓存托板能够保证其承载的载板的定位精度,尤其是缓存托板可以按照PECVD/RPD/PVD腔室的多层间距设置,从而使多层载板按照PECVD/RPD/PVD腔室的要求设置并传送,便于多层载板能够直接、精确放入PECVD/RPD/PVD腔室内。
缓存胶条的设置能够减少载板的振动,从而减少移载过程中因振动造成载板中的电池片脱出或移位,影响后续镀膜质量。
在一种可能的实现方式中,每层缓存托板的上板面设置有多个可滚动的支撑轮,支撑轮能够托住缓存托板上的载板。
在上述实现过程中,缓存托板的上板面设置有支撑轮,支撑轮滚动,便于载板插入缓存托板上和载板移出缓存托板,支撑轮为吸振的橡胶材质,能够减少其上载板的振动,减少载板因振动导致的损伤。
在一种可能的实现方式中,多载板输出装置包括多层层叠设置的支撑托板,支撑托板能够与缓存托板一一对接,每个支撑托板的板面设置有沿输送方向布置的移动槽,以及可沿移动槽移动的可伸缩拉爪,拉爪被配置成能够抓住对应缓存托板上的载板,并拉出至支撑托板上。
在上述实现过程中,支撑托板能够与缓存托板一一对接,保证已经精确定位的多层载板移动至支撑托板上仍然保持精确定位,拉爪移动至移动槽靠近缓存托板的一端并伸出可以抓住对应缓存托板上的载板,拉爪沿移动槽向远离缓存托板的方向移动,就能够将载板拉出至支撑托板上。支撑托板上的支撑轮同样具有便于载板平移的效果。
在一种可能的实现方式中,多载板缓存升降装置还包括框架和驱动多层载板缓存架在框架内升降的驱动模组,多层载板缓存架设置于框架内,驱动模组安装于框架上。
在上述实现过程中,框架的设计不仅便于多层载板缓存架升降移动,而且便于载板插入内部和由内部移出,还便于观察内部的运行状况。
在一种可能的实现方式中,输送带包括多个沿输送方向布置的输送段,多载板提升搬运装置设置于输出端的输送段上方。
第二方面,本申请实施例提供了一种太阳能电池生产线,其包括第一方面提供的多层载板搬运系统。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本申请第一实施例提供的一种多层载板搬运系统的结构示意图;
图2为图1另一视角的结构示意图;
图3为图1中多载板提升搬运装置的结构示意图;
图4为图3除去第二升降气缸后的分解结构示意图;
图5为图1中多载板缓存升降装置和多载板输出装置的结构示意图;
图6为图5除去部分框架后的结构示意图;
图7为本申请第二实施例提供的一种多层载板搬运系统中多载板提升搬运装置的结构示意图。
图标:100-多层载板搬运系统;110-输送带;111-第一段输送段;112-第二输送段;113-第三输送段;120-多载板提升搬运装置;130-抓取模组;131-第一夹爪组;132-第二夹爪组;133-横杆;134-夹持点;135-缺口;136-第一夹紧气缸;137-第二夹紧气缸;138-第一升降气缸;139-第二升降气缸;140-横移模组;150-多载板缓存升降装置;151-框架;152-缓存托板;153-驱动模组;160-多载板输出装置;161-支撑托板;162-移动槽;163-拉爪;171-机架;172-支撑板;173-载板;210-抓取模组;211-第三夹爪组;212-第三夹紧气缸。
具体实施方式
发明人发现,目前传送载板,特别是在连续将载板传送PECVD/RPD/PVD主体设备时,因为传送装置的传送时间节拍限制,传送速度太快会造成载板内的电池片发生位置偏移,严重影响镀膜效果;传送速度太慢将影响主体设备的生产节拍。
为了解决该问题,发明人探索出一种能够同时传送多层载板,并精确定位,还能实现载板连续传送的系统及方法。
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行描述。
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本申请实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本申请的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
第一实施例
请参看图1和图2,本实施例提供的一种多层载板搬运系统100,实现同时分层传送至少两块载板173,为了保证载板173平稳传送,在整个过程中,载板173始终水平设置,本申请实施例中的分层是指所有载板173或托板层叠、间隔设置。作为一种实施方式,多层载板搬运系统100用于同时传送两块载板173,载板173可以为PECVD载板。多层载板搬运系统100包括输送带110、多载板提升搬运装置120、多载板缓存升降装置150、多载板输出装置160,其中的输送带110、多载板缓存升降装置150和多载板输出装置160沿输送方向依次排布。输送带110固定于机架171上,多载板缓存升降装置150和多载板输出装置160固定于支撑板172上,以保证各装置之间高度匹配,而且机架171和支撑板172的底部可以设置滚轮,以便于移动装置和系统。
一、输送带110
输送带110包括多个沿输送方向布置的输送段,每个输送段独立工作,用于将载板173从输入端向输出端输送。本实施例中,输送带110包括至少三个输送段,本实施例仅示意出靠近输出端的三个输送段,沿输送方向分别定义为第一段输送段111、第二输送段112和第三输送段113。
二、多载板提升搬运装置120
结合图3和图4所示,多载板提升搬运装置120设置于输送带110上方且能够移动至多载板缓存升降装置150的顶部内。多载板提升搬运装置120通常设置于输出端的输送段上方,比如第三输送段113的上方。多载板提升搬运装置120被配置成能够依次抓取输送带110的第三输送段113上的载板173并分层设置,还能够将抓取的分层载板173同时搬运并一一对应放置于位于多载板缓存升降装置150顶部的多层载板173缓存架上。
具体地,多载板提升搬运装置120包括用于分层抓取载板173的抓取模组130和用于实现抓取模组130横移的横移模组140,抓取模组130安装于横移模组140上。横移模组140包括横移导轨和滑块,横移导轨沿输送方向平行位于输送带110的上方,其中一端位于输送段的第三输送段113的上方,另一端插入多载板缓存升降装置150顶部内;抓取模组130安装于横移导轨上的滑块上且能够沿横移导轨移动。横移模组140还包括驱动抓取模组130整体移动的搬运气缸。当抓取模组130移动至输送段的第三输送段113的上方时,处于搬运位;当抓取模组130移动至多载板缓存升降装置150顶部内时,处于放置位。虽然图中在搬运位和放置位都示意了抓取模组130,在实际使用中,抓取模组130位于搬运位或放置位。
抓取模组130包括至少两个夹爪组、夹紧气缸和升降气缸,夹爪组与夹紧气缸、升降气缸一一对应,每个夹爪组包括相对设置的两个夹爪:左夹爪和右夹爪,所有夹爪组的其中一个夹爪(左夹爪)位于输送方向的同一侧,夹爪组的另外一个夹爪(右夹爪)位于输送方向的另一侧,两个夹爪的相对面设置有与载板173的相对两侧边接触的夹持部,每个夹爪组还包括用于连接两个夹爪的连接部;每个夹紧气缸被配置成能够驱动对应的夹爪组张合(张开和合拢),每个升降气缸被配置成能够驱动对应的夹爪组升降。位于同一侧的所有夹爪中的一个夹爪具有缺口135,其他夹爪位于缺口135内,且能够自由移出。
本实施例实现两块载板173的分次抓取和分层布置,相应地,抓取模组130具体包括两个夹爪组:第一夹爪组131和第二夹爪组132,第二夹爪组132的夹爪具有缺口135,第一夹爪组131相同侧的夹爪能够移动至缺口135内,以及两个夹紧气缸:第一夹紧气缸136、第二夹紧气缸137,两个升降气缸:第一升降气缸138、第二升降气缸139。第一夹紧气缸136和第一升降气缸138用于控制第一夹爪组131活动,第二夹紧气缸137和第二升降气缸139用于控制第二夹爪组132活动。第一升降气缸138移动安装于横移导轨上,第一升降气缸138下方依次连接有第一夹紧气缸136、第一夹爪组131,第一夹紧气缸136先连接第一夹爪组131的连接部,再通过连接部连接两个夹爪,第一升降气缸138旁设置有第二升降气缸139,第二升降气缸139下方依次连接有第二夹紧气缸137、第二夹爪组132,第二夹紧气缸137先连接第一夹爪组131的连接部,再通过连接部连接两个夹爪。第一夹爪组131的连接部和第二夹爪组132的连接部并列设置,以左夹爪为例,第二夹爪组132的左夹爪的夹持部具有横杆133和横杆133两端向下延伸出的夹持点134,两个夹持点134和横杆133之间形成开口向下的缺口135,第一夹爪组131的左夹爪的夹持部位于该缺口135内,其能够通过夹爪的相对移动移出该缺口135。
该抓取模组130实现分两次抓取第三输送段113上的载板173并分层设置的过程为:
第一升降气缸138驱动第一夹紧气缸136和第一夹爪组131下降,第一夹爪组131的夹爪由第二夹爪组132的夹爪的缺口135向下移出,再通过第一夹紧气缸136控制第一夹爪组131张合,夹住下方的载板173,再通过第一升降气缸138将载板173提升至特定位置。
第二夹紧气缸137控制第二夹爪组132张开,避开第一夹爪组131抓取的载板173,再通过第二升降气缸139驱动第二夹紧气缸137和第二夹爪组132下降,第二夹紧气缸137控制第二夹爪组132合拢,夹住下方的载板173,再通过第二升降气缸139将载板173提升至特定位置,该载板173刚好位于第一夹爪组131抓取的载板173正下方且相距设定距离。
三.多载板缓存升降装置150
结合图5和图6所示,多载板缓存升降装置150包括框架151,框架151内具有能够在顶部和底部之间升降移动的多层载板173缓存架,驱动多层载板173缓存架在框架151内升降的驱动模组153,驱动模组153安装于框架151上,当多层载板173缓存架移动至顶部时,处于上升位;当多层载板173缓存架移动至底部时,处于下降位。虽然图中在上升位和下降位都示意了多层载板173缓存架,在实际使用中,多层载板173缓存架位于上升位或下降位。
多层载板173缓存架包括多层层叠设置的缓存托板152,本实施例为两层缓存托板152,缓存托板152连接成一个整体,保证同时升降,每层缓存托板152的两侧具有沿输送方向布置的导向槽,导向槽内设置有缓存胶条,导向槽的两端分别为插入口和拔出口,插入口与载板173接触的部位设置为方便插入的倒角方式。
每层缓存托板152的上板面设置有多个可滚动的支撑轮,支撑轮能够托住缓存托板152上的载板173,支撑轮通常为半嵌入式结构,可以为辊轮,也可以为万向支撑轮,比如半嵌入式滚球;通常情况下,支撑轮为橡胶材质。
另外,每层缓存托板152内还可以设置有伸出至上板面的支撑轮,以便于托起载板173,便于载板173移动。
驱动模组153包括驱动电机和同步带,同步带与多层载板173缓存架连接,驱动电机用于驱动同步带转动,从而带动多层载板173缓存架升降。
四、多载板输出装置160
多载板输出装置160设置于多载板缓存升降装置150的框架151底部外,多载板输出装置160被配置成能够同时移出位于多载板缓存升降装置150底部的多层缓存架上的分层载板173。
多载板输出装置160包括多层层叠设置的支撑托板161,本实施例为两层支撑托板161,当多层载板173缓存架移动至下降位,支撑托板161能够与缓存托板152一一对接,每个支撑托板161的板面设置有沿输送方向布置的移动槽162,以及可沿移动槽162移动的可伸缩拉爪163,拉爪163被配置成能够抓住对应缓存托板152上的载板173,并拉出至支撑托板161上。每层支撑托板161的上板面同样可以设置有多个可滚动的支撑轮(万向支撑轮)。
另外,本申请实施例还提供一种基于上述的多层载板搬运系统100的多层载板173搬运方法,其包括以下步骤:
阶段1、铺满电池片的载板173由前端设备输送到输送带110上,通过输送带110由输入端持续向输出端输送载板173,多载板缓存升降装置150的抓取模组130位于搬运位,为了满足节拍要求,当一块载板173到达输送带110的输出端,多载板缓存升降装置150下降抓取载板173并提起后,下一块载板173到达输送带110的输出端,多载板缓存升降装置150再抓取载板173。具体的,当一块载板173到达输送带110的第三输送段113,多载板缓存升降装置150的第一夹爪组131抓取该载板173并到位,此时之前位于第二输送段112的载板173刚好输送到第三输送段113,多载板缓存升降装置150的第二夹爪组132抓取该载板173并到位,上述抓取过程参见前述关于抓取模组130的说明。
阶段2、多载板缓存升降装置150将抓取到的分层载板173搬运至多载板缓存升降装置150顶部内的放置位,并同时插入位于多载板缓存升降装置150顶部的多层载板173缓存架上,即将两块载板173由插入口插入放置在装有支撑轮的对应缓存架板上,并由挡块将各载板173分别定位,防止在升降过程位置偏移。
阶段3、多层载板173缓存架承载分层载板173由上升位下降至多载板缓存升降装置150底部的下降位,多载板输出装置160同时移出多层缓存架上的分层载板173,然后直接输送至PECVD/PVD/RPD腔室中。
第二实施例
本实施例提供了一种多层载板搬运系统,其结构与第一实施例的结构大致相同,不同之处在于:
结合图7所示,本实施例可以同时搬运三块载板,相应的,抓取模组210包括三个夹爪组:第一夹爪组131、第二夹爪组132和第三夹爪组211及相对应的第一夹紧气缸136、第二夹紧气缸137、第三夹紧气缸212和第一升降气缸138、第二升降气缸(图未示)、第三升降气缸(图未示),第一夹爪组131、第二夹爪组132的结构、设置与第一实施例的相同:第二夹爪组132具有缺口,第一夹爪组131位于该缺口内,且能够相对移动移出缺口,增加的第三夹爪组211同样具有缺口,第二夹爪组132位于该缺口内,且第二夹爪组132能够相对移动移出该缺口。从整体结构上看,第三夹爪组211半包围住第二夹爪组132,第二夹爪组132又半包围住第一夹爪组131,该抓取模组210的工作原理与第一实施例的类似,在此不再赘述。
另外,多层载板缓存架包括三层层叠设置的缓存托板;多载板输出装置包括三层层叠设置的支撑托板。
第三实施例
本实施例提供了一种多层载板搬运系统,其包括控制单元,用于控制输送带、多层载板缓存架的升降速率和多载板输出装置的输出速率,来实现输送带持续输送载板,整个系统连续传送载板,不停机或少停机,提高往PECVD/PVD/RPD腔室的传输效率,从而保证电池片制备的uptime。
综上所述,本申请实施例的多层载板搬运系统及太阳能电池生产线,实现多层载板同时传送,用以提高生产效率,保证载板定位精度。
以上所述仅为本申请的实施例而已,并不用于限制本申请的保护范围,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种多层载板搬运系统,其特征在于,其包括多载板提升搬运装置以及沿输送方向依次排布的输送带、多载板缓存升降装置和多载板输出装置;
所述多载板提升搬运装置设置于所述输送带上方且能够移动至所述多载板缓存升降装置的顶部内,所述多载板缓存升降装置内具有能够在顶部和底部之间升降移动的多层载板缓存架,所述多载板提升搬运装置被配置成能够依次抓取所述输送带上的载板并分层设置,还能够将抓取的分层载板同时搬运并放置于位于所述多载板缓存升降装置顶部的所述多层载板缓存架上;
所述多载板输出装置设置于所述多载板缓存升降装置的底部外,所述多载板输出装置被配置成能够同时移出位于所述多载板缓存升降装置底部的所述多层缓存架上的分层载板。
2.根据权利要求1所述的多层载板搬运系统,其特征在于,所述多载板提升搬运装置包括用于分层抓取载板的抓取模组和用于实现所述抓取模组横移的横移模组,所述抓取模组安装于所述横移模组上。
3.根据权利要求2所述的多层载板搬运系统,其特征在于,所述抓取模组包括至少两个夹爪组、至少两个夹紧气缸和至少两个升降气缸,所述夹爪组与所述夹紧气缸、所述升降气缸一一对应,每个夹爪组包括相对设置的两个夹爪,所有夹爪组的其中一个夹爪位于所述输送方向的同一侧,所述夹爪组的另外一个夹爪位于所述输送方向的另一侧;每个所述夹紧气缸被配置成能够驱动对应的所述夹爪组张合,每个所述升降气缸被配置成能够驱动对应的所述夹爪组升降。
4.根据权利要求3所述的多层载板搬运系统,其特征在于,位于同一侧的所有所述夹爪中的一个夹爪具有缺口,其他夹爪位于所述缺口内,且能够自由移出。
5.根据权利要求1所述的多层载板搬运系统,其特征在于,所述多层载板缓存架包括多层层叠设置的缓存托板,每层缓存托板的两侧具有沿输送方向布置的导向槽,所述导向槽的两端分别为插入口和拔出口。
6.根据权利要求5所述的多层载板搬运系统,其特征在于,每层所述缓存托板的上板面设置有多个可滚动的支撑轮,所述支撑轮能够托住所述缓存托板上的载板。
7.根据权利要求5所述的多层载板搬运系统,其特征在于,所述多载板输出装置包括多层层叠设置的支撑托板,所述支撑托板能够与所述缓存托板一一对接,每个所述支撑托板的板面设置有沿输送方向布置的移动槽,以及可沿移动槽移动的可伸缩拉爪,所述拉爪被配置成能够抓住对应所述缓存托板上的载板,并拉出至所述支撑托板上。
8.根据权利要求1所述的多层载板搬运系统,其特征在于,所述多载板缓存升降装置还包括框架和驱动所述多层载板缓存架在所述框架内升降的驱动模组,所述多层载板缓存架设置于所述框架内,所述驱动模组安装于所述框架上。
9.根据权利要求1所述的多层载板搬运系统,其特征在于,所述输送带包括多个沿输送方向布置的输送段,所述多载板提升搬运装置设置于输出端的输送段上方。
10.一种太阳能电池生产线,其特征在于,其包括如权利要求1至9中任一项所述的多层载板搬运系统。
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