CN214012918U - 一种半导体硅片导片器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体硅片技术领域，且公开了一种半导体硅片导片器，包括工作台，所述工作台的顶部开设有活动槽，所述活动槽的内底壁固定连接有伸缩推杆，所述伸缩推杆的顶端固定连接有顶块，所述顶块的顶部开设有弧形槽，所述工作台的顶部固定连接有两个支撑板，所述支撑板的顶部固定连接有顶板，所述顶板的内部开设有导向孔。该半导体硅片导片器，通过伸缩推杆、顶块、支撑板、顶板、导向孔、导向杆、保护罩、第一插槽、滑槽、滑杆、固定条和第二插槽之间的相互配合，可以将硅片花篮内部的硅片顶出，并通过保护罩和两个固定条对硅片进行夹持固定，防止硅片发生偏移，从而便于将硅片转移到另外的硅片花篮内部。

Description

一种半导体硅片导片器

技术领域

本实用新型涉及半导体硅片技术领域，具体为一种半导体硅片导片器。

背景技术

在对硅片进行不同工序加工时，需要将硅片运输到下一个工序进行加工，而在运输过程中需要通过硅片花篮对硅片进行装载运输，但因加工的工序不同，所需要用到的硅片花篮的材质也是不同的，所以在对硅片进行运输时，需要对硅片花篮进行更换。

而现有技术中，需要将硅片从一个硅片花篮转移到另一个硅片花篮上时，是通过将硅片一片一片从硅片花篮中夹取出来，再放入到另外一个硅片花篮中，这样夹取的过程中有可能损坏硅片，而且十分耗时，这样不仅浪费了人力，而且生产率还十分低下，因此需要提出一种半导体硅片导片器来解决上述所出现的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体硅片导片器，具备便于对硅片进行转移输送，省时省力，提高工作效率等优点，解决了通过夹取的方式对硅片进行转移输送，有可能损坏硅片，而且十分耗时，这样不仅浪费了人力，而且生产率还十分低下的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体硅片导片器，包括工作台，所述工作台的顶部开设有活动槽，所述活动槽的内底壁固定连接有伸缩推杆，所述伸缩推杆的顶端固定连接有顶块，所述顶块的顶部开设有弧形槽，所述工作台的顶部固定连接有两个支撑板，所述支撑板的顶部固定连接有顶板，所述顶板的内部开设有导向孔，所述导向孔的内部活动插接有导向杆，所述导向杆的顶端固定连接有挡块，所述导向杆的底端固定连接有保护罩，所述保护罩的内侧壁开设有第一插槽，所述支撑板的内部开设有左右贯穿的滑槽，所述滑槽的内部活动连接有滑杆，所述滑杆的侧表面固定连接有固定条，所述固定条远离滑杆的一侧开设有第二插槽。

优选的，所述顶板的内部开设有上下贯穿的螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底端活动连接有活动块，所述活动块的底部开设有限位槽，所述螺纹杆的顶端固定连接有旋钮。

优选的，所述螺纹孔和螺纹杆的数量均为两个，两个所述螺纹杆分别位于两个支撑板的左右两侧，所述限位槽与滑杆相互适配。

优选的，所述工作台的顶部固定连接有限位块和L形块，所述工作台的顶部设置有硅片花篮，所述硅片花篮的内部设置有硅片，所述顶块位于硅片花篮的正下方。

优选的，所述保护罩位于顶块的正上方，所述固定条位于保护罩的下方，所述固定条远离滑杆的一侧设置为弧面状，所述滑杆设置为矩形

优选的，所述第一插槽与硅片相互适配，所述第二插槽与硅片相互适配，所述第一插槽与第二插槽的位置相对应。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体硅片导片器，具备以下有益效果：

1、该半导体硅片导片器，通过伸缩推杆、顶块、支撑板、顶板、导向孔、导向杆、保护罩、第一插槽、滑槽、滑杆、固定条和第二插槽之间的相互配合，可以将硅片花篮内部的硅片顶出，并通过保护罩和两个固定条对硅片进行夹持固定，防止硅片发生偏移，从而便于将硅片转移到另外的硅片花篮内部。

2、该半导体硅片导片器，通过螺纹孔、螺纹杆、活动块、限位槽和旋钮之间的相互配合，顺时针转动旋钮，可以带动螺纹杆在螺纹孔的内部向下移动，从而使得活动块一同向下移动，并使得限位槽与滑杆的位置相对应，使得滑杆位于限位槽的内部，从而可以对滑杆进行限位，防止滑杆在滑槽的内部发生移动，进而对滑杆进行固定，避免硅片在固定条上掉落下来。

附图说明

图1为本实用新型正面结构剖视图；

图2为本实用新型侧面结构剖视图；

图3为本实用新型活动块结构示意图；

图4为本实用新型L形块结构立体图；

图5为本实用新型硅片花篮侧面结构剖视图。

其中：1、工作台；2、活动槽；3、伸缩推杆；4、顶块；5、弧形槽；6、支撑板；7、顶板；8、导向孔；9、导向杆；10、挡块；11、保护罩；12、第一插槽；13、滑槽；14、滑杆；15、固定条；16、第二插槽；17、螺纹孔；18、螺纹杆；19、活动块；20、限位槽；21、旋钮；22、限位块；23、L形块；24、硅片花篮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，一种半导体硅片导片器，包括工作台1，工作台1的顶部开设有活动槽2，活动槽2的内底壁固定连接有伸缩推杆3，伸缩推杆3的顶端固定连接有顶块4，顶块4的长度与硅片花篮24底部的槽口的大小相适配，使得顶块4可以位于硅片花篮24的内部，并通过伸缩推杆3带动顶块4向上移动，将硅片花篮24内部的硅片顶出硅片花篮24，顶块4的顶部开设有弧形槽5，硅片为圆形，从而通过设置弧形槽5与硅片的底部相适配，便于硅片进行移动，工作台1的顶部固定连接有两个支撑板6，两个支撑板6关于工作台1的中轴线左右对称，支撑板6的顶部固定连接有顶板7，顶板7的底部与两个支撑板6的顶部固定连接，顶板7的内部开设有导向孔8，导向孔8的数量为两个，导向孔8的内部活动插接有导向杆9，导向杆9的顶端固定连接有挡块10，通过设置挡块10，可以防止导向杆9从导向孔8的内部移动出来，导向杆9的底端固定连接有保护罩11，保护罩11设置为半圆柱形，通过设置两个导向杆9可以防止保护罩11在上下移动时发生偏移，保护罩11的内侧壁开设有第一插槽12，第一插槽12的数量为多个，且数量与硅片花篮24内部的硅片数量相同。

支撑板6的内部开设有左右贯穿的滑槽13，两个支撑板6上均开设有滑槽13，滑槽13的内部活动连接有滑杆14，滑杆14的数量为两个，且两个滑杆14的左右两端分别位于两个滑槽13的内部，滑杆14的侧表面固定连接有固定条15，保护罩11位于顶块4的正上方，固定条15位于保护罩11的下方，固定条15远离滑杆14的一侧设置为弧面状，通过将两个固定条15相对的一侧设置弧面状，使得两个固定条15对硅片的底部进行夹持固定时，可以防止硅片在两个固定条15上掉落下来，滑杆14设置为矩形，使得滑杆14只能在滑槽13的内部前后移动，固定条15远离滑杆14的一侧开设有第二插槽16，第二插槽16的数量与第一插槽12的数量相同，第一插槽12与硅片相互适配，第二插槽16与硅片相互适配，第一插槽12与第二插槽16的位置相对应，顶板7的内部开设有上下贯穿的螺纹孔17，螺纹孔17的数量为两个，且两个螺纹孔17分别位于两个支撑板6的左右两侧，螺纹孔17的内部螺纹连接有螺纹杆18，螺纹杆18的底端活动连接有活动块19，活动块19的底部开设有限位槽20，每个活动块19的底部均开设有两个限位槽20，且限位槽20与活动块19的左右两侧连通，螺纹孔17和螺纹杆18的数量均为两个，两个螺纹杆18分别位于两个支撑板6的左右两侧，限位槽20与滑杆14相互适配，当两个滑杆14的一端分别位于活动块19底部的两个限位槽20的内部时，可以防止滑杆14在滑槽13的内部发生移动，螺纹杆18的顶端固定连接有旋钮21，设置旋钮21便于对螺纹杆18进行转动，工作台1的顶部固定连接有限位块22和L形块23，限位块22和L形块23的数量均为两个，且通过设置限位块22和L形块23可以对硅片花篮24进行限位，便于硅片花篮24快速放置到指定位置，工作台1的顶部设置有硅片花篮24，硅片花篮24的内部设置有硅片，顶块4位于硅片花篮24的正下方。

在使用时，将装有硅片的硅片花篮24放在工作台1的顶部，并使得硅片花篮24的左右两侧分别与两个限位块22相对的一侧搭接，且使得硅片花篮24的后侧与L形块23的前侧搭接，从而可以对硅片花篮24进行限位，使得硅片花篮24与活动槽2的位置相对应，且位于顶块4和保护罩11之间，然后通过伸缩推杆3带动顶块4向上移动，并使得弧形槽5的内底壁与硅片花篮24内部硅片的底部搭接，从而可以将硅片在硅片花篮24的内部向上移动，且使得硅片的顶部位于保护罩11的内部，且每个硅片对应保护罩11内部的每一个第一插槽12，从而可以防止硅片在移动时发生偏移，当硅片的顶部与保护罩11的内顶壁搭接时，从而可以带动保护罩11一同向上移动，且使得导向杆9在导向孔8的内部向上移动，且使得硅片的下半部分从硅片花篮24的内部移动出来，然后将两个滑杆14在滑槽13的内部移动，并向两个滑杆14的中间方向移动，从而使得两个滑杆14上的固定条15分别与硅片的前后两侧搭接，并使得硅片的前后两侧分别位于两个固定条15内部的第二插槽16的内部，从而通过两个固定条15可以对硅片的底部进行夹持固定，然后顺时针转动旋钮21，并带动螺纹杆18顺时针转动，使得螺纹杆18在螺纹孔17的内部向下移动，并带动活动块19一同向下移动，且使得限位槽20与滑杆14的位置相对应，滑杆14位于限位槽20的内部，从而可以对两个滑杆14进行限位，防止滑杆14在滑槽13的内部发生移动，进而可以对硅片进行固定，然后可以对硅片花篮24进行更换，使得另外的硅片花篮24位于硅片的正下方，然后将两个滑杆14慢慢向前后两侧移动，从而使得硅片在重力作用下，向下移动，使得硅片的底部位于新的硅片花篮24的内部，且与弧形槽5的内侧壁搭接，从而可以通过伸缩推杆3带动顶块4向下移动，使得硅片位于新的硅片花篮24的内部，从而实现将硅片转移到另外的硅片花篮24的内部，操作简单快捷，节省时间，提高工作效率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体硅片导片器，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部开设有活动槽(2)，所述活动槽(2)的内底壁固定连接有伸缩推杆(3)，所述伸缩推杆(3)的顶端固定连接有顶块(4)，所述顶块(4)的顶部开设有弧形槽(5)，所述工作台(1)的顶部固定连接有两个支撑板(6)，所述支撑板(6)的顶部固定连接有顶板(7)，所述顶板(7)的内部开设有导向孔(8)，所述导向孔(8)的内部活动插接有导向杆(9)，所述导向杆(9)的顶端固定连接有挡块(10)，所述导向杆(9)的底端固定连接有保护罩(11)，所述保护罩(11)的内侧壁开设有第一插槽(12)，所述支撑板(6)的内部开设有左右贯穿的滑槽(13)，所述滑槽(13)的内部活动连接有滑杆(14)，所述滑杆(14)的侧表面固定连接有固定条(15)，所述固定条(15)远离滑杆(14)的一侧开设有第二插槽(16)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅片导片器，其特征在于：所述顶板(7)的内部开设有上下贯穿的螺纹孔(17)，所述螺纹孔(17)的内部螺纹连接有螺纹杆(18)，所述螺纹杆(18)的底端活动连接有活动块(19)，所述活动块(19)的底部开设有限位槽(20)，所述螺纹杆(18)的顶端固定连接有旋钮(21)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体硅片导片器，其特征在于：所述螺纹孔(17)和螺纹杆(18)的数量均为两个，两个所述螺纹杆(18)分别位于两个支撑板(6)的左右两侧，所述限位槽(20)与滑杆(14)相互适配。

4.根据权利要求1所述的一种半导体硅片导片器，其特征在于：所述工作台(1)的顶部固定连接有限位块(22)和L形块(23)，所述工作台(1)的顶部设置有硅片花篮(24)，所述硅片花篮(24)的内部设置有硅片，所述顶块(4)位于硅片花篮(24)的正下方。

5.根据权利要求1所述的一种半导体硅片导片器，其特征在于：所述保护罩(11)位于顶块(4)的正上方，所述固定条(15)位于保护罩(11)的下方，所述固定条(15)远离滑杆(14)的一侧设置为弧面状，所述滑杆(14)设置为矩形。

6.根据权利要求4所述的一种半导体硅片导片器，其特征在于：所述第一插槽(12)与硅片相互适配，所述第二插槽(16)与硅片相互适配，所述第一插槽(12)与第二插槽(16)的位置相对应。

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