CN213936138U - 喷吸同体式喷嘴结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种喷吸同体式喷嘴结构，包括一喷头、一供液管以及一抽气管。喷头包括一通道及一孔洞，通道与孔洞相连通；供液管设置于通道，供液管用以传输一液体；以及抽气管与孔洞相连接，抽气管用以抽取一气体或液体。借此，本实用新型借由供液管以及抽气管的结构，使供液管内残存的液体可经由抽气管抽出，达到防止残存的液体滴落的功效，或是精准控制供液管前端的液量，以作为蚀刻设备中的蚀刻作业管。

Description

喷吸同体式喷嘴结构

技术领域

本实用新型涉及喷嘴结构技术领域，特别是涉及一种喷吸同体式喷嘴结构。

背景技术

喷嘴结构为一种清洗设备中常用的结构，广泛地应用于传统半导体的制造过程中，用以清洗基板上的油渍、胶或微粒等，或蚀刻设备的制造过程中，用以喷洒蚀刻制程中的化学液体。

在传统半导体的制造过程中，由于基板一般需要经过多个加工制成，因此基板上可能会残留上次过程的油渍、胶或微粒等，以往会通过喷洒液体来清洗半导体基板上的油渍、胶或微粒等，以将基板上的加工处污渍清除干净，维持产品的质量。

然而，通过喷嘴结构喷洒清洗后，喷嘴结构的管体内难免仍具有尚未喷出而残存的液体，残存的液体汇聚后，往往会在非需要喷洒的制程中出现滴落于基板或工作机台上，进而造成基板或工作机台的污染，也降低整体的清洗质量。

此外，蚀刻制程中也会通过喷嘴结构来维持适量的化学液体，利用化学液体具有的腐蚀性，对基板上所指定的特定区域进行相关的特定区域蚀刻作业，为此本实用新型也思考能提供此类的蚀刻作业管的喷嘴，以满足蚀刻作业上的需求。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种喷吸同体式喷嘴结构，以期能吸取管内残存的液体，防止残存的液体滴落，或是精确控制输出液量，以进行相关蚀刻作业。

为了达成前述的目的，本实用新型将提供一种喷吸同体式喷嘴结构，包括一喷头、一供液管以及一抽气管。喷头包括一通道及一孔洞，通道与孔洞相连通；供液管设置于通道，供液管用以传输一液体；以及抽气管与孔洞相连接，抽气管用以抽取一气体或液体。

在本实用新型一实施例中，通道包括一第一通道及一第二通道，第一通道及第二通道相连通，孔洞与第二通道相连通，供液管设置于第一通道及第二通道。

在本实用新型一实施例中，供液管包括一细管，细管位于第一通道及第二通道，细管的外径与第一通道的内径具有一第一间距，细管的外径与第二通道的内径具有一第二间距。

在本实用新型一实施例中，第二通道的内径大于第一通道的内径，第二间距大于第一间距。

在本实用新型一实施例中，供液管还包括一连接管，连接管设置于细管的一端，并且位于第二通道。

在本实用新型一实施例中，通道还包括一喷出口，喷出口开设于第一通道的一端，喷出口与细管的一端具有一距离。

在本实用新型一实施例中，喷头为向自由端渐缩的圆锥形，且喷出口位于圆锥形的顶端。

在本实用新型一实施例中，喷嘴结构还包括一卡榫，喷头还包括一榫孔，供液管包括一卡榫部，榫孔与通道相连通，卡榫通过榫孔设置于卡榫部。

在本实用新型一实施例中，抽气管还包括一转接件及一管体，转接件包括一第一管道及一第二管道，第一管道与第二管道相连通，并且第一管道的轴心线与第二管道的轴心线相互垂直，第一管道与孔洞相连通，第二管道与管体相连接。

本实用新型的功效在于，本实用新型能够借由供液管以及抽气管之结构，使供液管内残存的液体可经由第一通道与细管之间的第一间距及第二通道与细管之间的第二间距被吸取到孔洞，并且经由抽气管抽出，达到防止残存的液体滴落的功效。

本实用新型的功效在于，本实用新型能够借由供液管与抽气管的相互配合，让喷头前端维持着定量的液体，以液体来蚀刻整片基板或基板上所指定的特定区域，故本实用新型也可作业蚀刻设备的蚀刻作业管。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的立体组合图。

图2为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的剖视图。

图3为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的局部放大图。

图4为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的喷水示意图。

图5为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的喷水局部放大示意图。

图6为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的吸水局部放大示意图。

图7为本实用新型第二实施例的喷吸同体式喷嘴结构的使用立体图图。

图8为本实用新型第二实施例的喷吸同体式喷嘴结构的使用剖面图。

附图标记说明：

10-喷头；11-通道；111-第一通道；112-第二通道；113-喷出口；12-孔洞；13-榫孔；20-供液管；21-细管；22-连接管；23-卡榫部；24-胶圈；25-凹槽；30-抽气管；40-第一间距；42-第二间距；43-距离；44-转接件；441-第一管道；442-第二管道；45-管体；50-卡榫；90-液体；91-化学液体。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例对本实用新型进行详细描述。图1为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的立体组合图。图2为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的剖视图。图3为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的局部放大图。如图1、图2及图3所示，本实用新型提供一种喷吸同体式喷嘴结构，包括：一喷头10、一供液管20及一抽气管30。以下针对各个零件进行细部解说。

喷头10包括一通道11及一孔洞12，通道11与孔洞12相连通。在本实用新型较佳实施例中，通道11的轴心线(图中未示)与孔洞12的轴心线(图中未示)互相垂直，然而通道11与孔洞12的设置方式不限于此，可依照需求更改使通道11的轴心线与孔洞12的轴心线之间具有一角度。

供液管20设置于通道11，并且用以传输一液体90。具体而言，供液管20的一端与一供液装置(图中未示)连接，供液装置用以提供液体90，液体90经由供液管20之一端进入，并且通过供液管20传输后，由供液管20的另一端喷出。

抽气管30与孔洞12相连接，并且用以抽取一气体或液体90。具体而言，抽气管30的一端与一抽气装置(图中未示)连接，抽气装置借由抽气管30抽取与孔洞12相连通的通道11内的气体，或供液管20所喷出的液体90。

在本实用新型一实施例中，抽气管30还包括一转接件44及一管体45，转接件44包括一第一管道441及一第二管道442；第一管道441与第二管道442相连通，第一管道441与孔洞12相连通，第二管道442与管体45相连通，且第一管道441的轴心线(图中未示)与第二管道442的轴心线(图中未示)相互垂直。借由转接件44的结构，使抽气管30的轴心线可与供液管20的轴心线互相平行，减少整体的结构的空间。

在本实用新型一实施例中，喷头10的通道11包括一第一通道111及一第二通道112；第一通道111及第二通道112相连通，孔洞12与第二通道112相连通，供液管20设置于第一通道111及第二通道112。较佳地，第二通道112的内径大于第一通道111的内径。

在本实用新型一实施例中，供液管20包括一细管21；细管21位于第一通道111及第二通道112，细管21的外径与第一通道111的内径具有一第一间距40，细管21的外径与第二通道112的内径具有一第二间距42。较佳地，第二间距42大于第一间距40。

在本实用新型一实施例中，供液管20更包括一连接管22；连接管22设置于细管21的一端，并且位于第二通道112。较佳地，连接管22包括至少一胶圈24及至少一凹槽25；该少一胶圈24设置于该至少一凹槽25中。在本实用新型较佳实施例中连接管22包括二胶圈24及二凹槽25，二胶圈24分别设置于二凹槽25中；借由胶圈24及凹槽25的结构，可增加连接管22与第二通道112的摩擦力，避免连接管22位移，且通过胶圈24的设置，可防止液体90从第二通道112溢出。

在本实用新型较佳实施例中，喷吸同体式喷嘴结构还包括一卡榫50，喷头10更包括一榫孔13，供液管20包括一卡榫部23；榫孔13与通道11相连通，卡榫50通过榫孔13设置于卡榫部23。借由卡榫50的结构，使供液管20可固定于第二通道112。

具体而言，卡榫部23设置于连接管22，喷头10的榫孔13与第二通道112相连通；当连接管22设置于第二通道112时，可通过将卡榫50穿过榫孔13，并设置于连接管22上的卡榫部23，使连接管22固定于第二通道112。

图4为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的喷水示意图。图5为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的喷水局部放大示意图。如图4及图5所示，使用时，先将本实用新型的喷头10固定，使喷头10朝向欲清洗的基板或工作机台的方向，并且将供液管20的一端连接供液装置，将抽气管30的一端连接抽气装置，便可借由供液管20喷出液体90，以清洁机板或是机台上的加工物。

图6为本实用新型第一实施例的喷吸同体式喷嘴结构的吸水局部放大示意图。如图6所示，其中，在确认清洗完毕且欲停止供液时，便可控制抽气装置开始运作，通过抽气管30抽取喷头10通道11内部的气体以及液体90；此时，供液管20一端残存的液体90便会经由第一通道111与细管21之间的第一间距40及第二通道112与细管21之间的第二间距42被吸取到孔洞12，并且经由抽气管30抽出；借此，以防止在停止喷头10喷洒清洁后，喷头10仍具有残存的液体90滴落之情形，避免造成基板或工作机台污染，以及降低整体清洗的质量。较佳地，液体90为清水或者其他清洗液体90。

请参考图5及图6，在本实用新型较佳实施例中，通道11还包括一喷出口113；喷出口113开设于第一通道111的一端，喷出口113与细管21的一端具有一距离43。较佳地，喷头10为向自由端渐缩的圆锥形，且喷出口113位于圆锥形之顶端。

借由细管21与喷出口113之间的距离43，使细管21即使还残存有尚未喷出的液体90时，也不会马上从喷出口113滴出，并且可通过抽气装置将尚未喷出的液体90经由第一间距40、第二间距42以及抽气管30抽取出。

图7为本实用新型第二实施例的喷吸同体式喷嘴结构的使用立体图图。图8为本实用新型第二实施例的喷吸同体式喷嘴结构的剖面示意图。如图7及图8所示，其中，本实用新型的喷吸同体式喷嘴结构除了可以使用于清洁机构以外，也可使用于蚀刻设备上；借由将供液管20的一端与一化学液体91供应装置(图中未示)连接，便可经由供液管20提供蚀刻设备所需要的化学液体91。

其中，借由供液管20所喷出的化学液体91与抽气管30的吸取是经过计算的；具体而言，与供液管20连接的化学液体91供应装置以及与抽气管30连接的抽气装置可与一控制系统连接，控制系统可控制供液管20所供液的量大于抽气管30所抽取的量，使喷头10前端维持着适量的化学液体91，借由此化学液体91对基板进行蚀刻作业。

综上所述，本实用新型能够借由供液管20以及抽气管30的结构，使供液管20内残存的液体90可经由第一通道111经由抽气管30抽出，达到防止残存之液体90滴落的功效。或是在蚀刻作业中，让喷头10形成合适的蚀刻液，以进行蚀刻作业，因此本实用新型喷吸同体式喷嘴结构可作为多种用途。

以上所述的是本实用新型的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本实用新型所述的原理前提下还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也在本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种喷吸同体式喷嘴结构，包括：

一喷头，包括一通道及一孔洞，所述通道与所述孔洞相连通；

一供液管，设置于所述通道，所述供液管用以传输一液体；以及

一抽气管，与所述孔洞相连接，所述抽气管用以抽取一气体或所述液体。

2.根据权利要求1所述的喷吸同体式喷嘴结构，其特征在于，所述通道包括一第一通道及一第二通道，所述第一通道及所述第二通道相连通，所述孔洞与所述第二通道相连通，所述供液管设置于所述第一通道及所述第二通道。

3.根据权利要求2所述的喷吸同体式喷嘴结构，其特征在于，所述供液管包括一细管，所述细管位于所述第一通道及所述第二通道，所述细管的外径与所述第一通道的内径具有一第一间距，所述细管的外径与所述第二通道的内径具有一第二间距。

4.根据权利要求3所述的喷吸同体式喷嘴结构，其特征在于，所述第二通道的内径大于所述第一通道的内径，所述第二间距大于所述第一间距。

5.根据权利要求3所述的喷吸同体式喷嘴结构，其特征在于，所述供液管还包括一连接管，所述连接管设置于所述细管的一端，并且位于所述第二通道。

6.根据权利要求3所述的喷吸同体式喷嘴结构，其特征在于，所述通道还包括一喷出口，所述喷出口开设于所述第一通道的一端，所述喷出口与所述细管的一端具有一距离。

7.根据权利要求6所述的喷吸同体式喷嘴结构，其特征在于，所述喷头为向自由端渐缩的圆锥形，且所述喷出口位于所述圆锥形的顶端。

8.根据权利要求1所述的喷吸同体式喷嘴结构，还包括一卡榫，所述喷头还包括一榫孔，所述供液管包括一卡榫部，所述榫孔与所述通道相连通，所述卡榫通过所述榫孔设置于所述卡榫部。

9.根据权利要求1所述的喷吸同体式喷嘴结构，其特征在于，所述抽气管还包括一转接件及一管体，所述转接件包括一第一管道及一第二管道，所述第一管道与所述第二管道相连通，并且所述第一管道的轴心线与所述第二管道的轴心线相互垂直，所述第一管道与所述孔洞相连通，所述第二管道与所述管体相连接。

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