TWM613150U - 噴吸同體式噴嘴結構 - Google Patents

Abstract

一種噴吸同體式噴嘴結構，包括一噴頭、一供液管以及一抽氣管。噴頭包括一通道及一孔洞，通道與孔洞相連通；供液管設置於通道，供液管用以傳輸一液體；以及抽氣管與孔洞相連接，抽氣管用以抽取一氣體或液體。藉此，本創作藉由供液管以及抽氣管之結構，使供液管內殘存的液體可經由抽氣管抽出，達到防止殘存之液體滴落之功效，或是精準控制供液管前端之液量，以作為蝕刻設備中的蝕刻作業管。

Description

噴吸同體式噴嘴結構

本創作是有關一種噴嘴結構的技術領域，特別是一種噴吸同體式噴嘴結構。

噴嘴結構為一種清洗設備中常用的結構，廣泛地應用於傳統半導體的製造過程中，用以清洗基板上的油漬、膠或微粒等，或蝕刻設備的製造過程中，用以噴灑蝕刻製程中的化學液體。

在傳統半導體的製造過程中，由於基板一般需要經過多個加工製成，因此基板上可能會殘留前次製程的油漬、膠或微粒等，以往會透過噴灑液體來清洗半導體基板上的油漬、膠或微粒等，以將基板上的加工處污漬清除乾淨，維持產品的品質。

然而，透過噴嘴結構噴灑清洗後，噴嘴結構的管體內難免仍具有尚未噴出而殘存的液體，殘存的液體匯聚後，往往會在非需要噴灑的製程中出現滴落於基板或工作機台上，進而造成基板或工作機台的汙染，也降低整體的清洗之品質。

此外，蝕刻製程中也會透過噴嘴結構來維持適量的化學液體，利用化學液體具有的腐蝕性，對基板上所指定的特定區域進行相關的特定區域蝕刻作業，為此本創作也思考能提供此類的蝕刻作業管的噴嘴，以滿足蝕刻作業上的需求。

本創作的主要目的在於提供一種噴吸同體式噴嘴結構，以期能可吸取管內殘存之液體，防止殘存之液體滴落，或是精確控制輸出液量，以進行相關蝕刻作業。

為了達成前述的目的，本創作將提供一種噴吸同體式噴嘴結構，包括一噴頭、一供液管以及一抽氣管。噴頭包括一通道及一孔洞，通道與孔洞相連通；供液管設置於通道，供液管用以傳輸一液體；以及抽氣管與孔洞相連接，抽氣管用以抽取一氣體或液體。

在本創作一實施例中，通道包括一第一通道及一第二通道，第一通道及第二通道相連通，孔洞與第二通道相連通，供液管設置於第一通道及第二通道。

在本創作一實施例中，供液管包括一細管，細管位於第一通道及第二通道，細管的外徑與第一通道之內徑具有一第一間距，細管的外徑與第二通道之內徑具有一第二間距。

在本創作一實施例中，第二通道之內徑大於第一通道之內徑，第二間距大於第一間距。

在本創作一實施例中，供液管更包括一連接管，連接管設置於細管之一端，並且位於第二通道。

在本創作一實施例中，通道更包括一噴出口，噴出口開設於第一通道的一端，噴出口與細管的一端具有一距離。

在本創作一實施例中，噴頭為向自由端漸縮的圓錐形，且噴出口位於圓錐形之頂端。

在本創作一實施例中，噴嘴結構更包括一卡榫，噴頭更包括一榫孔，供液管包括一卡榫部，榫孔與通道相連通，卡榫通過榫孔設置於卡榫部。

在本創作一實施例中，抽氣管更包括一轉接件及一管體，轉接件包括一第一管道及一第二管道，第一管道與第二管道相連通，並且第一管道的軸心線與第二管道的軸心線相互垂直，第一管道與孔洞相連通，第二管道與管體相連接。

本創作的功效在於，本創作能夠藉由供液管以及抽氣管之結構，使供液管內殘存的液體可經由第一通道與細管之間的第一間距及第二通道與細管之間的第二間距被吸取到孔洞，並且經由抽氣管抽出，達到防止殘存之液體滴落之功效。

本創作的功效在於，本創作能夠藉由供液管與抽氣管的相互配合，讓噴頭前端維持著定量的液體，以液體來蝕刻整片基板或基板上所指定的特定區域，故本創作也可作業蝕刻設備的蝕刻作業管。

以下配合圖式及元件符號對本創作的實施方式做更詳細的說明，俾使熟習該項技藝者在研讀本說明書後能據以實施。

圖1為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的立體組合圖。圖2為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的剖視圖。圖3為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的局部放大圖。如圖1、圖2及圖3所示，本創作提供一種噴吸同體式噴嘴結構，包括：一噴頭10、一供液管20及一抽氣管30。以下針對各個零件進行細部解說。

噴頭10包括一通道11及一孔洞12，通道11與孔洞12相連通。在本創作較佳實施例中，通道11的軸心線(圖中未示)與孔洞12的軸心線(圖中未示)互相垂直，然而通道11與孔洞12的設置方式不限於此，可依照需求更改使通道11的軸心線與孔洞12的軸心線之間具有一角度。

供液管20設置於通道11，並且用以傳輸一液體90。具體而言，供液管20之一端與一供液裝置(圖中未示)連接，供液裝置用以提供液體90，液體90經由供液管20之一端進入，並且透過供液管20傳輸後，由供液管20之另一端噴出。

抽氣管30與孔洞12相連接，並且用以抽取一氣體或液體90。具體而言，抽氣管30之一端與一抽氣裝置(圖中未示)連接，抽氣裝置藉由抽氣管30抽取與孔洞12相連通之通道11內的氣體，或供液管20所噴出的液體90。

在本創作一實施例中，抽氣管30更包括一轉接件44及一管體45，轉接件44包括一第一管道441及一第二管道442；第一管道441與第二管道442相連通，第一管道441與孔洞12相連通，第二管道442與管體45相連通，且第一管道441的軸心線(圖中未示)與第二管道442的軸心線(圖中未示)相互垂直。藉由轉接件44之結構，使抽氣管30的軸心線可與供液管20的軸心線互相平行，減少整體的結構的空間。

在本創作一實施例中，噴頭10的通道11包括一第一通道111及一第二通道112；第一通道111及第二通道112相連通，孔洞12與第二通道112相連通，供液管20設置於第一通道111及第二通道112。較佳地，第二通道112的內徑大於第一通道111的內徑。

在本創作一實施例中，供液管20包括一細管21；細管21位於第一通道111及第二通道112，細管21的外徑與第一通道111之內徑具有一第一間距40，細管21的外徑與第二通道112之內徑具有一第二間距42。較佳地，第二間距42大於第一間距40。

在本創作一實施例中，供液管20更包括一連接管22；連接管22設置於細管21之一端，並且位於第二通道112。較佳地，連接管22包括至少一膠圈24及至少一凹槽25；該少一膠圈24設置於該至少一凹槽25中。在本創作較佳實施例中連接管22包括二膠圈24及二凹槽25，二膠圈24分別設置於二凹槽25中；藉由膠圈24及凹槽25的結構，可增加連接管22與第二通道112的摩擦力，避免連接管22位移，且透過膠圈24的設置，可防止液體90從第二通道112溢出。

在本創作較佳實施例中，噴吸同體式噴嘴結構更包括一卡榫50，噴頭10更包括一榫孔13，供液管20包括一卡榫部23；榫孔13與通道11相連通，卡榫50通過榫孔13設置於卡榫部23。藉由卡榫50之結構，使供液管20可固定於第二通道112。

具體而言，卡榫部23設置於連接管22，噴頭10的榫孔13與第二通道112相連通；當連接管22設置於第二通道112時，可透過將卡榫50穿過榫孔13，並設置於連接管22上的卡榫部23，使連接管22固定於第二通道112。

圖4為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的噴水示意圖。圖5為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的噴水局部放大示意圖。如圖4及圖5所示，使用時，先將本創作之噴頭10固定，使噴頭10朝向欲清洗之基板或工作機台的方向，並且將供液管20之一端連接供液裝置，將抽氣管30之一端連接抽氣裝置，便可藉由供液管20噴出液體90，以清潔機板或是機台上的加工物。

圖6為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的吸水局部放大示意圖。如圖6所示，其中，在確認清洗完畢且欲停止供液時，便可控制抽氣裝置開始運作，透過抽氣管30抽取噴頭10通道11內部的氣體以及液體90；此時，供液管20一端殘存的液體90便會經由第一通道111與細管21之間的第一間距40及第二通道112與細管21之間的第二間距42被吸取到孔洞12，並且經由抽氣管30抽出；藉此，以防止在停止噴頭10噴灑清潔後，噴頭10仍具有殘存的液體90滴落之情形，避免造成基板或工作機台汙染，以及降低整體清洗之品質。較佳地，液體90為清水或者其他清洗液體90。

請參考圖5及圖6，在本創作較佳實施例中，通道11更包括一噴出口113；噴出口113開設於第一通道111的一端，噴出口113與細管21的一端具有一距離43。較佳地，噴頭10為向自由端漸縮的圓錐形，且噴出口113位於圓錐形之頂端。

藉由細管21與噴出口113之間的距離43，使細管21即使還殘存有尚未噴出的液體90時，也不會馬上從噴出口113滴出，並且可透過抽氣裝置將尚未噴出的液體90經由第一間距40、第二間距42以及抽氣管30抽取出。

圖7為本創作第二實施例之噴吸同體式噴嘴結構的使用立體圖圖。圖8為本創作第二實施例之噴吸同體式噴嘴結構的剖面示意圖。如圖7及圖8所示，其中，本創作之噴吸同體式噴嘴結構除了可以使用於清潔機構以外，也可使用於蝕刻設備上；藉由將供液管20之一端與一化學液體91供應裝置(圖中未示)連接，便可經由供液管20提供蝕刻設備所需要的化學液體91。

其中，藉由供液管20所噴出之化學液體91與抽氣管30的吸加是經過計算的；具體而言，與供液管20連接之化學液體91供應裝置以及與抽氣管30連接之抽氣裝置可與一控制系統連接，控制系統可控制供液管20所供液的量大於抽氣管30所抽取的量，使噴頭10前端維持著適量的化學液體91，藉由此化學液體91對基板進行蝕刻作業。

綜上所述，本創作能夠藉由供液管20以及抽氣管30之結構，使供液管20內殘存的液體90可經由第一通道111經由抽氣管30抽出，達到防止殘存之液體90滴落之功效。或是在蝕刻作業中，讓噴頭10形成適的蝕刻液，以進行蝕刻作業，因此本創作噴吸同體式噴嘴結構可作為多種用途。

以上所述者僅為用以解釋本創作的較佳實施例，並非企圖據以對本創作做任何形式上的限制，是以，凡有在相同的創作精神下所作有關本創作的任何修飾或變更，皆仍應包括在本創作意圖保護的範疇。

10:噴頭 11:通道 111:第一通道 112:第二通道 113:噴出口 12:孔洞 13:榫孔 20:供液管 21:細管 22:連接管 23:卡榫部 24:膠圈 25:凹槽 30:抽氣管 40:第一間距 42:第二間距 43:距離 44:轉接件 441:第一管道 442:第二管道 45:管體 50:卡榫 90:液體 91:化學液體

圖1為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的立體組合圖。 圖2為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的剖視圖。 圖3為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的局部放大圖。 圖4為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的噴水示意圖。 圖5為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的噴水局部放大示意圖。 圖6為本創作第一實施例之噴吸同體式噴嘴結構的吸水局部放大示意圖。 圖7為本創作第二實施例之噴吸同體式噴嘴結構的使用立體圖圖。 圖8為本創作第二實施例之噴吸同體式噴嘴結構的使用剖面圖。

10:噴頭

11:通道

111:第一通道

112:第二通道

113:噴出口

12:孔洞

13:榫孔

20:供液管

21:細管

22:連接管

23:卡榫部

30:抽氣管

50:卡榫

Claims (9)

1. 一種噴吸同體式噴嘴結構，包括：一噴頭，包括一通道及一孔洞，該通道與該孔洞相連通；一供液管，設置於該通道，該供液管用以傳輸一液體；以及一抽氣管，與該孔洞相連接，該抽氣管用以抽取一氣體或該液體。
2. 如請求項1所述的噴吸同體式噴嘴結構，其中，該通道包括一第一通道及一第二通道，該第一通道及該第二通道相連通，該孔洞與該第二通道相連通，該供液管設置於該第一通道及該第二通道。
3. 如請求項2所述的噴吸同體式噴嘴結構，其中，該供液管包括一細管，該細管位於該第一通道及該第二通道，該細管的外徑與該該第一通道之內徑具有一第一間距，該細管的外徑與該第二通道之內徑具有一第二間距。
4. 如請求項3所述的噴吸同體式噴嘴結構，其中，該第二通道之內徑大於該第一通道之內徑，該第二間距大於該第一間距。
5. 如請求項3所述的噴吸同體式噴嘴結構，其中，該供液管更包括一連接管，該連接管設置於該細管之一端，並且位於該第二通道。
6. 如請求項3所述的噴吸同體式噴嘴結構，其中，該通道更包括一噴出口，該噴出口開設於該第一通道的一端，該噴出口與該細管的一端具有一距離。
7. 如請求項6所述的噴吸同體式噴嘴結構，其中，該噴頭為向自由端漸縮的圓錐形，且該噴出口位於該圓錐形之頂端。
8. 如請求項1所述的噴吸同體式噴嘴結構，更包括一卡榫，該噴頭更包括一榫孔，該供液管包括一卡榫部，該榫孔與該通道相連通，該卡榫通過該榫孔設置於該卡榫部。
9. 如請求項1所述的噴吸同體式噴嘴結構，其中，該抽氣管更包括一轉接件及一管體，該轉接件包括一第一管道及一第二管道，該第一管道與該第二管道相連通，並且該第一管道的軸心線與該第二管道的軸心線相互垂直，該第一管道與該孔洞相連通，該第二管道與該管體相連接。

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