CN213796549U - 一种一体式陶瓷机械手臂 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及机械臂技术领域，具体涉及一种一体式陶瓷机械手臂，包括固定臂、吸附臂和夹持臂，所述固定臂和夹持臂之间固定连接有吸附臂。本实用新型中，通过将吸附臂和顶部固定有固定臂，且于吸附臂的底部固定有夹持臂，并且固定臂和夹持臂的卡合板能在传输晶圆时能够提供较好的卡接效果，通过于吸附臂上开设有通气槽一和两个通气槽二，从而能通过对输气管进行抽取空气来提高三个吸附口的真空吸附能力，又通过于吸附臂的弧形外壁上固定连接有缓冲棉垫能降低晶圆外壁出现痕迹的几率，同时也能利用夹持臂上的弧形抵触板对晶圆进行抵触固定，进一步加强了设备的稳定性，避免了不必要的损失。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械臂技术领域，具体涉及一种一体式陶瓷机械手臂。
背景技术
目前随着半导体设备自动化程度的提高以及晶片多样化程度的加大，对半导体设备传输晶片所用的机械手的要求也愈来愈高。机械手被称为最早期的工业机器人，能模仿人手和手臂的某些动作功能，用以按固定程序抓取、搬运物件或操作工具的自动操作装置。在集成电路、芯片制造等半导体行业中，大量使用机械手运送传输硅片晶圆。
现有的陶瓷机械手臂在用于传输硅片晶圆时难以保持较好稳定性，没有足够的稳定性可能会导致晶圆的背面出现痕迹，从而会降低晶圆的合格率，并且现有的机械手臂中真空吸附的孔洞没有防尘的功能。
实用新型内容
为了克服上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种一体式陶瓷机械手臂，通过将吸附臂和顶部固定有固定臂，且于吸附臂的底部固定有夹持臂，并且固定臂和夹持臂的卡合板能在传输晶圆时能够提供较好的卡接效果，通过于吸附臂上开设有通气槽一和两个通气槽二，从而能通过对输气管进行抽取空气来提高三个吸附口的真空吸附能力，又通过于吸附臂的弧形外壁上固定连接有缓冲棉垫能降低晶圆外壁出现痕迹的几率，同时也能利用夹持臂上的弧形抵触板对晶圆进行抵触固定，进一步加强了设备的稳定性，避免了不必要的损失；通过于吸附臂的三个吸附口中均固定有固定环，且于固定环之间都设置有过滤网，而且能在停止使用机械臂时，能将弧形抵触板升高到一定的位置，来防止异物进入到通气槽中，从而加强了设备的防尘能力。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：
一种一体式陶瓷机械手臂，包括固定臂、吸附臂和夹持臂，所述固定臂和夹持臂之间固定连接有吸附臂，所述固定臂的顶部的一端关于其竖直中心面对称开设有两个安装孔一，所述固定臂的弧形外侧壁上固定连接有卡合板一，所述吸附臂顶部的一端关于其竖直中心面对称开设有两个安装孔二，所述吸附臂顶部的中线位置处开设有通气槽一，所述吸附臂顶部关于其竖直中心面对称开设有两个通气槽二，所述通气槽一之间固定连接有输气管，所述输气管的一端固定连接有连通管，且连通管与输气管相连通，所述连通管的两侧壁上均固定连接有固定板，两个所述固定板与吸附臂之间均固定连接有固定环一，两个所述固定板之间固定连接有固定环二，所述吸附臂的弧形外侧壁上等距离固定连接有四个缓冲棉垫，所述输气管的一侧壁上固定连接有吸气连接管，且吸气连接管与输气管的管道相连通，通过在吸附臂的弧形外侧壁上等距离固定连接有缓冲棉垫，从而能在吸附晶圆时，不会对晶圆的侧壁造成破碎。
进一步在于，所述夹持臂的弧形外侧壁上固定连接有卡合板二，所述卡合板二的顶部的中线位置处开设有弧形孔，所述卡合板二顶部两端均关于其竖直中心面对称固定连接有两个连接柱，所述连接柱的顶部固定连接有连接板，两个相对应的连接板之间固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端固定连接有弧形抵触板，且弧形抵触板与弧形孔滑动连接，通过于电动伸缩杆的一端固定连接有弧形抵触板，从而能在传输晶圆时，能有效的稳定夹持住晶圆。
进一步在于，所述固定臂和夹持臂的形状大小一致，形状大小相同的固定臂和夹持臂能够有效的夹持晶圆。
进一步在于，所述固定环一和固定环二的内侧壁之间均固定连接有过滤网，通过于固定环一和固定环二的内侧壁之间固定连接有过滤网，从而能够防止外界灰尘进入机械臂的内部。
进一步在于，所述吸附臂的厚度为0.65mm，所述固定臂和夹持臂的厚度均为0.3mm。
进一步在于，所述弧形抵触板的一侧壁上固定连接有橡胶垫，通过于弧形抵触板的侧壁上设置有橡胶垫，从而能在固定晶圆时，避免对其造成损坏。
本实用新型的有益效果：
1、通过将吸附臂和顶部固定有固定臂，且于吸附臂的底部固定有夹持臂，并且固定臂和夹持臂的卡合板能在传输晶圆时能够提供较好的卡接效果，通过于吸附臂上开设有通气槽一和两个通气槽二，从而能通过对输气管进行抽取空气来提高三个吸附口的真空吸附能力，又通过于吸附臂的弧形外壁上固定连接有缓冲棉垫能降低晶圆外壁出现痕迹的几率，同时也能利用夹持臂上的弧形抵触板对晶圆进行抵触固定，进一步加强了设备的稳定性，避免了不必要的损失；
2、通过于吸附臂的三个吸附口中均固定有固定环，且于固定环之间都设置有过滤网，而且能在停止使用机械臂时，能将弧形抵触板升高到一定的位置，来防止异物进入到通气槽中，从而加强了设备的防尘能力。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
图1是本实用新型整体结构示意图；
图2是本实用新型整体内部结构示意图；
图3是本实用新型中吸附臂结构示意图；
图4是本实用新型中抵触机构结构示意图。
图中：100、固定臂；101、安装孔一；102、卡合板一；200、吸附臂；201、安装孔二；202、通气槽一；203、通气槽二；204、输气管；205、连通管；206、固定板；207、固定环一；208、固定环二；209、过滤网；210、缓冲棉垫；211、吸气连接管；300、夹持臂；301、卡合板二；302、弧形孔；303、连接柱；304、连接板；305、电动伸缩杆；306、弧形抵触板；307、橡胶垫。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4所示，一种一体式陶瓷机械手臂，包括固定臂100、吸附臂200和夹持臂300，固定臂100和夹持臂300之间固定连接有吸附臂200，固定臂100的顶部的一端关于其竖直中心面对称开设有两个安装孔一101，固定臂100的弧形外侧壁上固定连接有卡合板一102，吸附臂200顶部的一端关于其竖直中心面对称开设有两个安装孔二201，吸附臂200顶部的中线位置处开设有通气槽一202，吸附臂200顶部关于其竖直中心面对称开设有两个通气槽二203，通气槽一202之间固定连接有输气管204，输气管204的一端固定连接有连通管205，且连通管205与输气管204相连通，连通管205的两侧壁上均固定连接有固定板206，两个固定板206与吸附臂200之间均固定连接有固定环一207，两个固定板206之间固定连接有固定环二208，吸附臂200的弧形外侧壁上等距离固定连接有四个缓冲棉垫210，输气管204的一侧壁上固定连接有吸气连接管211，且吸气连接管211与输气管204的管道相连通，通过在吸附臂200的弧形外侧壁上等距离固定连接有缓冲棉垫210，从而能在吸附晶圆时，不会对晶圆的侧壁造成破碎。
夹持臂300的弧形外侧壁上固定连接有卡合板二301，卡合板二301的顶部的中线位置处开设有弧形孔302，卡合板二301顶部两端均关于其竖直中心面对称固定连接有两个连接柱303，连接柱303的顶部固定连接有连接板304，两个相对应的连接板304之间固定连接有电动伸缩杆305，电动伸缩杆305的一端固定连接有弧形抵触板306，且弧形抵触板306与弧形孔302滑动连接，通过于电动伸缩杆305的一端固定连接有弧形抵触板306，从而能在传输晶圆时，能有效的稳定夹持住晶圆；固定臂100和夹持臂300的形状大小一致，形状大小相同的固定臂100和夹持臂300能够有效的夹持晶圆。
固定环一207和固定环二208的内侧壁之间均固定连接有过滤网209，通过于固定环一207和固定环二208的内侧壁之间固定连接有过滤网209，从而能够防止外界灰尘进入机械臂的内部；吸附臂200的厚度为0.65mm，固定臂100和夹持臂300的厚度均为0.3mm。
弧形抵触板306的一侧壁上固定连接有橡胶垫307，通过于弧形抵触板306的侧壁上设置有橡胶垫307，从而能在固定晶圆时，避免对其造成损坏。
工作原理：使用时，需要将陶瓷机械手臂安装在驱动部件上，然后将吸气连接管211上连接有抽气装置，从而能够通过输气管204对通气槽一202以及通气槽二203进行空气抽取，从而能使三个吸附口对晶圆进行真空吸附，同时需要打开电动伸缩杆305，使得电动伸缩杆305能带动弧形抵触板306对晶圆进行夹持固定，防止在传输晶圆时发生位置偏移等问题，利用这样的结构能够进一步的提高晶圆的合格率。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上内容仅仅是对本实用新型所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种一体式陶瓷机械手臂，其特征在于，包括固定臂(100)、吸附臂(200)和夹持臂(300)，所述固定臂(100)和夹持臂(300)之间固定连接有吸附臂(200)，所述固定臂(100)的顶部的一端关于其竖直中心面对称开设有两个安装孔一(101)，所述固定臂(100)的弧形外侧壁上固定连接有卡合板一(102)，所述吸附臂(200)顶部的一端关于其竖直中心面对称开设有两个安装孔二(201)，所述吸附臂(200)顶部的中线位置处开设有通气槽一(202)，所述吸附臂(200)顶部关于其竖直中心面对称开设有两个通气槽二(203)，所述通气槽一(202)之间固定连接有输气管(204)，所述输气管(204)的一端固定连接有连通管(205)，且连通管(205)与输气管(204)相连通，所述连通管(205)的两侧壁上均固定连接有固定板(206)，两个所述固定板(206)与吸附臂(200)之间均固定连接有固定环一(207)，两个所述固定板(206)之间固定连接有固定环二(208)，所述吸附臂(200)的弧形外侧壁上等距离固定连接有四个缓冲棉垫(210)，所述输气管(204)的一侧壁上固定连接有吸气连接管(211)，且吸气连接管(211)与输气管(204)的管道相连通。
2.根据权利要求1所述的一种一体式陶瓷机械手臂,其特征在于，所述夹持臂(300)的弧形外侧壁上固定连接有卡合板二(301)，所述卡合板二(301)的顶部的中线位置处开设有弧形孔(302)，所述卡合板二(301)顶部两端均关于其竖直中心面对称固定连接有两个连接柱(303)，所述连接柱(303)的顶部固定连接有连接板(304)，两个相对应的连接板(304)之间固定连接有电动伸缩杆(305)，所述电动伸缩杆(305)的一端固定连接有弧形抵触板(306)，且弧形抵触板(306)与弧形孔(302)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种一体式陶瓷机械手臂,其特征在于，所述固定臂(100)和夹持臂(300)的形状大小一致。
4.根据权利要求1所述的一种一体式陶瓷机械手臂,其特征在于，所述固定环一(207)和固定环二(208)的内侧壁之间均固定连接有过滤网(209)。
5.根据权利要求1所述的一种一体式陶瓷机械手臂,其特征在于，所述吸附臂(200)的厚度为0.65mm，所述固定臂(100)和夹持臂(300)的厚度均为0.3mm。
6.根据权利要求2所述的一种一体式陶瓷机械手臂,其特征在于，所述弧形抵触板(306)的一侧壁上固定连接有橡胶垫(307)。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN113675132A (zh) * | 2021-10-22 | 2021-11-19 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种手持式晶圆吸附装置 |
| CN115415932A (zh) * | 2022-09-29 | 2022-12-02 | 合肥玖福半导体技术有限公司 | 一种半导体晶圆加工用定位装置 |
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| CN113675132B (zh) * | 2021-10-22 | 2022-06-10 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种手持式晶圆吸附装置 |
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